JP2012231107A - 窒化物半導体素子及びその製造方法 - Google Patents
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- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims abstract description 202
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 162
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 claims abstract description 13
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical class [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims description 10
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 214
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 28
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 10
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 10
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 10
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 10
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 10
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 10
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- AUCDRFABNLOFRE-UHFFFAOYSA-N alumane;indium Chemical compound [AlH3].[In] AUCDRFABNLOFRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 7
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 5
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 5
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 5
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 5
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004943 liquid phase epitaxy Methods 0.000 description 3
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 208000012868 Overgrowth Diseases 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7786—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
- H01L29/7787—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT with wide bandgap charge-carrier supplying layer, e.g. direct single heterostructure MODFET
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
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- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0607—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration
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- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/402—Field plates
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- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
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- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
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- H01L29/42376—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out characterised by the length or the sectional shape
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Abstract
【課題】FETのソース領域にショットキー電極を形成し、ゲート電極をソース電極の一部領域と窒化物半導体領域の一部に形成し、ドレイン電極と該ソース電極との間にフローティングガードリングを設けることによって、ノーマリ−オフで動作する半導体素子を提供する。
【解決手段】内部に2次元電子ガス(2DEG)チャネルを形成する窒化物半導体層30と、窒化物半導体層30にオーミック接合されたドレイン電極50と、ショットキー接合されたソース電極60と、ドレイン電極50とソース電極60との間で窒化物半導体層30にショットキー接合されたフローティングガードリング75と、ドレイン電極50とソース電極60との間及びソース電極60の少なくとも一部上にかけて形成された誘電層40と、誘電層40上に形成され、一部が、誘電層40を挟んでソース電極60のドレイン方向のエッジ部分上に形成されたゲート電極70とを含む。
【選択図】図1
【解決手段】内部に2次元電子ガス(2DEG)チャネルを形成する窒化物半導体層30と、窒化物半導体層30にオーミック接合されたドレイン電極50と、ショットキー接合されたソース電極60と、ドレイン電極50とソース電極60との間で窒化物半導体層30にショットキー接合されたフローティングガードリング75と、ドレイン電極50とソース電極60との間及びソース電極60の少なくとも一部上にかけて形成された誘電層40と、誘電層40上に形成され、一部が、誘電層40を挟んでソース電極60のドレイン方向のエッジ部分上に形成されたゲート電極70とを含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、窒化物半導体素子及びその製造方法に関し、詳しくは、ノーマリ−オフ動作する窒化物半導体素子及びその製造方法に関する。
グリーンエネルギー政策などによる電力消費の節減への関心が増加している。このため、電力変換効率の向上は必須な要素となる。電力変換において、パワースイッチング素子の効率が全体電力変換の効率を左右する。
現在、通常利用される電力素子は、シリコンを用いるパワーMOSFETやIGBTが大部分であるが、シリコンの材料的な限界によって素子の効率向上に限界が生ずるようになる。これを解決するために、窒化ガリウム(Gallium nitride:GaN)のような窒化物半導体を用いるトランジスタを製作して、変換効率を高めるような特許が出願されている。
しかし、GaNを用いる、例えば、高電子移動度トランジスタ(HEMT)構造は、ゲート電圧が0V(ノーマル状態)の時、ドレイン電極とソース電極との間の抵抗が低くて電流が流れるようになるオン状態になる。これによって、電流及び電力の消耗が発生し、これをオフ状態にするためには、ゲート電極に陰電圧(例えば、−5V)を加えなければならないという短所がある(ノーマリ−オン(Normally−on)構造)。
このようなノーマリ−オン構造の短所を解決するために、図6及び図7のような特許出願が従来に示されている。図6及び図7は、従来の高電子移動度HEMT構造を示す。
図6は、アメリカ公開特許US2007−0295993号の図面を示す。 図6では、AlGaN層でゲート(G)の下部領域と、ゲート(G)とドレイン(D)との間のゲート電極(G)に近い領域にイオンを打ち込み、AlGaN層133成長で形成されたチャネルの濃度を調節している。図6では、イオンインプラ(ion implantation)を用いて、ゲート(G)下部のチャネル領域131のキャリア濃度を調節してノーマリ−オフ(Normally−off)動作を具現した。
図7は、アメリカ登録特許US7038253号の図面であって、第1及び第2の電子共与層133a、133b間に形成されたチャネル層131上を絶縁層140で塗布し、絶縁層140上にゲート電極(G)を形成し、ゲート電極(G)下部で2DEGチャネル135が形成されないようにしている。図7では、ゲート(G)下部をリセス(recess)工程を用いてエッチングし、ノーマリ−オフ動作を具現した。
前述のようなノーマリ−オン構造の問題を解決すると共にノーマリ−オフ動作する半導体素子を具現する必要がある。
本発明は上記の問題点に鑑みて成されたものであって、その目的は、半導体素子、例えばFETのソース領域にショットキー(Schottky)電極を形成し、ゲート電極をソース電極の一部領域と窒化物半導体領域の一部に形成し、ドレイン電極と該ソース電極との間にフローティングガードリングを設けることによって、ノーマリ−オフ(Normally−off;N−off)またはエンハンスメントモード(Enhancement Mode)動作する半導体素子及び製造方法を提供することにある。
本発明は上記の問題点に鑑みて成されたものであって、その目的は、半導体素子、例えばFETのソース領域にショットキー(Schottky)電極を形成し、ゲート電極をソース電極の一部領域と窒化物半導体領域の一部に形成し、ドレイン電極と該ソース電極との間にフローティングガードリングを設けることによって、ノーマリ−オフ(Normally−off;N−off)またはエンハンスメントモード(Enhancement Mode)動作する半導体素子及び製造方法を提供することにある。
上記目的を解決するために、本発明の好適な実施形態によれば、基板上に配設され、内部に2次元電子ガス(2DEG)チャネルを形成する窒化物半導体層と、該窒化物半導体層にオーミック接合されたドレイン電極と、該ドレイン電極と離間して配設され、該窒化物半導体層にショットキー接合されたソース電極と、ドレイン電極とソース電極との間において該窒化物半導体層にショットキー接合されたフローティングガードリングと、ドレイン電極とソース電極との間の窒化物半導体層上及び該ソース電極の少なくとも一部上にかけて形成され、該ドレイン電極と該ソース電極との間でフローティングガードリングを塗布して形成される誘電層と、ドレイン電極と離間して誘電層上に配設され、一部が誘電層を挟んでソース電極のドレイン方向のエッジ部分上に形成されたゲート電極と、を含む窒化物半導体素子が提供される。
本発明によれば、ゲート電極は、ドレイン方向へ延在するフィールドプレート部を備え、該フィールドプレートは、誘電層を挟んでフローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成される。
本発明によれば、フローティングガードリングは、窒化物半導体層にショットキー接合される金属、金属シリサイドまたはこれらの合金からなる。
本発明によれば、該ゲート電極は、誘電層を挟んでソース電極のドレイン方向のエッジ部分上に形成された第1の領域、及びドレイン電極とソース電極との間の誘電層上でドレイン電極と離間して形成され、誘電層を挟んでフローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成された第2の領域を含み、第1の領域と第2の領域とは分離形成され、第2の領域は、フローティングゲートを形成する。
本発明によれば、窒化物半導体層は、基板上に配設され、窒化ガリウム系列の材料を含む第1の窒化物層と、該第1の窒化物層上に異種接合され、該第1の窒化物層より広いエネルギバンドギャップを有する異種の窒化ガリウム系列の材料を含む第2の窒化物層と、を含む。望ましくは、第1の窒化物層は、窒化ガリウム(GaN)を含み、第2の窒化物層は、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaN)、インジウム窒化ガリウム(InGaN)及びインジウムアルミニウム窒化ガリウム(InAlGaN)のうちのいずれか一つを含む。
また、上記目的を解決するために、本発明の他の好適な実施形態によれば、基板上に配設され、内部に2次元電子ガス(2DEG)チャネルを形成する窒化物半導体層と、該窒化物半導体層にオーミック接合されたドレイン電極と、該ドレイン電極と離間して配設され、該窒化物半導体層にショットキー接合されたソース電極と、ドレイン電極とソース電極との間の窒化物半導体層上及び該ソース電極の少なくとも一部上にかけて形成され、ドレイン電極とソース電極との間で内部にフローティングガードリングを含んで形成される誘電層と、ドレイン電極と離間して誘電層上に形成され、一部は、誘電層を挟んでソース電極のドレイン方向のエッジ部分上に形成されたゲート電極と、を含む窒化物半導体素子が提供される。
本発明によれば、ゲート電極は、ドレイン方向へ延在するフィールドプレート部を備え、該フィールドプレートは、誘電層を挟んでフローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成される。
本発明によれば、ゲート電極は、誘電層を挟んでソース電極のドレイン方向のエッジ部分上に形成された第1の領域、及びドレイン電極とソース電極との間の誘電層上でドレイン電極と離間して形成され、誘電層を挟んでフローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成された第2の領域を含み、第1の領域と第2の領域とは分離形成され、第2の領域は、フローティングゲートを形成する。
本発明によれば、窒化物半導体層は、基板上に配設され、窒化ガリウム系列の材料を含む第1の窒化物層と、該第1の窒化物層上に異種接合され、該第1の窒化物層より広いエネルギバンドギャップを有する異種の窒化ガリウム系列の材料を含む第2の窒化物層と、を含む。
本発明によれば、窒化物半導体素子は、基板と窒化物半導体層との間に設けられるバッファ層をさらに含む。
本発明によれば、窒化物半導体素子は、パワートランジスタ素子である。
また、上記目的を解決するために、本発明のさらに他の好適な実施形態によれば、基板上に、内部に2次元電子ガス(2DEG)チャネルを生成する窒化物半導体層を形成するステップと、該窒化物半導体層にオーミック接合されるドレイン電極を形成し、窒化物半導体層にドレイン電極と離間してショットキー接合されるソース電極を形成し、ドレイン電極とソース電極との間で窒化物半導体層にショットキー接合されるフローティングガードリングを形成するステップと、ドレイン電極とソース電極との間の窒化物半導体層上及び該ソース電極の少なくとも一部上にかけて誘電層を形成し、ドレイン電極とソース電極との間でフローティングガードリングを塗布して誘電層を形成するステップと、ドレイン電極と離間して誘電層上にゲート電極を形成し、ゲート電極の一部をソース電極のドレイン方向のエッジ部分上の誘電層上に形成するステップと、を含む窒化物半導体素子の製造方法が提供される。
本発明によれば、前記ゲート電極を形成するステップにおいて、ゲート電極からドレイン方向へ延在するフィールドプレート部が誘電層を挟んでフローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成する。
本発明によれば、前記ゲート電極を形成するステップにおいて、誘電層を挟んでソース電極のドレイン方向のエッジ部分上に形成された第1の領域、及びドレイン電極とソース電極との間の誘電層上でドレイン電極と離間して形成され、誘電層を挟んでフローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成された第2の領域を含むゲート電極を形成し、第1の領域と第2の領域を分離して形成し、第2の領域は、フローティングゲートを形成するようにする。
また、上記目的を解決するために、本発明のさらに他の好適な実施形態によれば、基板上に、内部に2次元電子ガス(2DEG)チャネルを生成する窒化物半導体層を形成するステップと、該窒化物半導体層にオーミック接合されるドレイン電極を形成し、窒化物半導体層にドレイン電極と離間してショットキー接合されるソース電極を形成するステップと、ドレイン電極とソース電極との間の窒化物半導体層上及び該ソース電極の少なくとも一部上にかけて誘電層を形成し、ドレイン電極とソース電極との間で内部にフローティングガードリングを含むように誘電層を形成するステップと、ドレイン電極と離間して誘電層上にゲート電極を形成し、ゲート電極の一部をソース電極のドレイン方向のエッジ部分上の誘電層上に形成するステップと、を含む窒化物半導体素子の製造方法が提供される。
本発明によれば、前記ゲート電極を形成するステップにおいて、ゲート電極からドレイン方向へ延在するフィールドプレート部が誘電層を挟んでフローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成する。
本発明によれば、前記ゲート電極を形成するステップにおいて、誘電層を挟んでソース電極のドレイン方向のエッジ部分上に形成された第1の領域、及びドレイン電極とソース電極との間の誘電層上でドレイン電極と離間して形成され、誘電層を挟んでフローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成された第2の領域を含むゲート電極を形成し、第1の領域と第2の領域を分離して形成し、第2の領域は、フローティングゲートを形成するようにする。
本発明によれば、半導体素子、例えばFETのソース領域にショットキー電極を形成し、ゲート電極をソース電極の一部領域及び窒化物半導体領域の一部に形成し、ドレイン電極とソース電極との間にフローティングガードリングを設けることによって、ノーマリ−オフまたはエンハンスメントモード動作し、該フローティングガードリングによってゲート電極の電界集中を防止すると共に、高耐圧で動作する半導体素子を得ることができるという効果が奏する。
また、本発明によれば、既存のGaNノーマリ−オフ素子に比べて高耐圧動作が可能であり、製造工程が簡単なので素子の製作が容易になる。すなわち、従来のノーマリ−オフHEMTのイオン注入、200〜300オングストロング厚さのAlGaN層エッチングなどを形成する高難易度の工程が必要ではなく、その製作が容易になる。
また、本発明によれば、ソース電極のショットキー障壁によってリーク電流が防止される構造で、既存ノーマリ−オフHEMTに比べてリーク電流が低く、耐圧が高くなるという効果が奏する。
また、ドレイン電極とソース電極との間にフローティングガードリングが設けられることによって、ゲート電極のドレイン方向の縁部での電界の集中を防止し、高耐圧動作が可能になる。
また、本発明によるゲート構造によっても、電界が分散して耐圧をさらに増加させることができる。また、ソース電極とゲート電極との間の距離が短く、トランスコンダクタンス(transconductance)が高くなるという長所がある。
以下、本発明の好適な実施の形態は図面を参考にして詳細に説明する。次に示される各実施の形態は当業者にとって本発明の思想が十分に伝達されることができるようにするために例として挙げられるものである。従って、本発明は以下示している各実施の形態に限定されることなく他の形態で具体化されることができる。そして、図面において、装置の大きさ及び厚さなどは便宜上誇張して表現されることができる。明細書全体に渡って同一の参照符号は同一の構成要素を示している。
本明細書で使われた用語は、実施形態を説明するためのものであって、本発明を制限しようとするものではない。本明細書において、単数形は文句で特別に言及しない限り複数形も含む。明細書で使われる「含む」とは、言及された構成要素、ステップ、動作及び/又は素子は、一つ以上の他の構成要素、ステップ、動作及び/又は素子の存在または追加を排除しないことに理解されたい。
図1は、本発明の一実施形態による窒化物半導体素子の概略的な断面図である。図2a〜図2dは各々、図1の窒化物半導体素子の製造方法を概略的に示す断面図である。図3は、本発明の他の実施形態による窒化物半導体素子の概略的な断面図である。図4は、本発明のさらに他の実施形態による窒化物半導体素子の概略的な断面図である。図5は、本発明のさらに他の実施形態による窒化物半導体素子の概略的な断面図である。
まず、図1、図3、図4及び図5に示すように、本発明の一実施形態による窒化物半導体素子を詳記する。
図1、図4及び図5に示すように、本発明の一実施形態による窒化物半導体素子は、基板10上に配設された窒化物半導体層30、ドレイン電極50、ソース電極60、誘電層40、フローティングガードリング75及びゲート電極70を含む。本発明の実施形態によれば、示されていないが、フローティングガードリング75が誘電層40内に含まれるように構成されてもよい。
図1、図4及び図5に示すように、本実施形態において、窒化物半導体層30は、基板10上に配設される。基板10は、一般に絶縁基板を用いて、実に絶縁性及び高抵抗性を有する基板を用いてもよい。望ましくは、基板10は、シリコン(Si)、シリコンカーバイド(SiC)及びサファイヤ(Al2O3)のうちの少なくともいずれか一つを用いて製造されることができ、または公知の他の基板材料を用いて製造されることができる。
窒化物半導体層30は、基板10上に直接形成されてもよい。望ましくは、窒化物半導体層30は、単結晶薄膜をエピタキシャル成長させて形成する。窒化物半導体層30を形成するためのエピタキシャル成長工程では、液相成長法(LPE:Liquid Phase Epitaxy)、化学気相蒸着法(CVD:Chemical Vapor Deposition)、分子ビーム成長法(MBE:Molecular Beam Epitaxy)、有機金属気相蒸着法(MOCVD:Metalorganic CVD)などが挙げられる。
また、図3を参照して、本発明の他の実施形態によれば、基板10と窒化物半導体層30との間にバッファ層20を設け、窒化物半導体層30をバッファ層20上に形成する。バッファ層20は、基板10と窒化物半導体層30との格子不整合(lattice mismatch)による問題点を解決するために提供される。バッファ層20は、一つの層だけではなく、窒化ガリウム(GaN)、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaN)、窒化アルミニウム(AlN)、インジウム窒化ガリウム(InGaN)またはインジウムアルミニウム窒化ガリウム(InAlGaN)などを含む複数の層で形成されてもよい。また、バッファ層20は、窒化ガリウム以外の他の3−5族化合物半導体によって形成してもよい。例えば、基板10がサファイヤ基板10の場合、窒化ガリウムを含む窒化物半導体層30との格子定数及び熱膨脹係数の差によって誤整合(mismatch)されることを防ぐため、バッファ層20の成長は重要である。
図1、図3、図4及び図5に示すように、窒化物半導体層30の内部には、2次元電子ガス(2DEG)チャネル35が形成される。窒化物半導体素子のゲート電極70にバイアス電圧を印加すると、窒化物半導体層30内の2DEGチャネル35を通じて電子が移動し、電流がドレイン電極50とソース電極60との間に流れるようになる。窒化物半導体層30を成す窒化物としては、窒化ガリウム(GaN)、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaN)、インジウム窒化ガリウム(InGaN)、インジウムアルミニウム窒化ガリウム(InAlGaN)などが挙げられる。
本発明の実施形態によれば、窒化物半導体層30は、異種接合された窒化ガリウム系列の半導体層30であって、異種接合された界面でエネルギバンドギャップの差によって2次元電子ガスチャネル35が形成される。異種接合される窒化ガリウム系列の半導体層30で異種接合間の格子定数の差が小さいほど、バンドギャップとの極性の差が減るようになり、これにより2DEGチャネル35の形成が抑制される。異種接合の時、エネルギバンドギャップの不連続性によって広いバンドギャップを有する材料から小さなバンドギャップを有する材料への自由電子が移動するようになる。このような電子は、異種接合界面に蓄積されて2DEGチャネル35を形成し、ドレイン電極50とソース電極60との間で電流が流れるようにする。
より詳しくは、図1、図3、図4及び図5に示すように、窒化物半導体層30は、第1の窒化物層31及び第2の窒化物層33を含む。第1の窒化物層31は、基板10上に配設され、窒化ガリウム系列の材料を含む。第2の窒化物層33は、第1の窒化物層31上に異種接合され、該第1の窒化物層31より広いエネルギバンドギャップを有する異種の窒化ガリウム系列の材料を含む。この時、第2の窒化物層33は、第1の窒化物層31内に形成される2DEGチャネル35へ電子を供給する役割をする。一例として、電子を供与する第2の窒化物層33は、第1の窒化物層31より薄い厚さで形成されることが望ましい。
望ましくは、本発明の他の実施形態によれば、第1の窒化物層31は、窒化ガリウム(GaN)を含み、第2の窒化物層33は、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaN)、インジウム窒化ガリウム(InGaN)及びインジウムアルミニウム窒化ガリウム(InAlGaN)のうちのいずれか一つを含む。望ましくは、一例として、第1の窒化物層31は、窒化ガリウム(GaN)を含み、第2の窒化物層33は、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaN)を含む。
続いて、図1、図3、図4及び図5に示すように、本発明の実施形態の構成がより詳しく説明する。
図1、図3、図4及び図5に示すように、本実施形態による窒化物半導体素子のドレイン電極50及びソース電極60が窒化物半導体層30に形成される。ドレイン電極50は、窒化物半導体層30にオーミック接合50aされている。
ソース電極60は、ドレイン電極50と離間して配設され、窒化物半導体層30にショットキー接合60aされる。ショットキーソース電極60によって逆方向に駆動される時、ソース電極60のショットキー接合領域60aで生成される空乏領域によって2次元電子ガス(2DEG)による電流の流れを安定して遮断することができる。これによって、逆方向電流の流れを遮断することができ、ノーマリ−オフ状態を具現することができるようになる。より詳しくは、逆方向バイアス電圧が印加された場合、ソース電極60のショットキー接合領域60aで生成される空乏領域が2DEGチャネル35領域まで拡張され、2DEGチャネル35を遮断し、逆方向の降伏電圧を増加させるようになる。特に、逆方向バイアス電圧の印加時、ソース電極60のドレイン側のコーナー寄りのショットキー接合領域60aで空乏領域が大きく拡張される。一方、順方向バイアス電圧をかけると、ソース電極60のショットキー接合領域60aで生成される空乏領域が小さくなり、2DEGチャネル35を通じてドレイン電極50とソース電極60との間に電流が流れるようになる。
続いて、図1、図3、図4及び図5に示すように、フローティングガードリング75が設けられている。一実施形態によれば、図1、図3、図4及び図5に示すように、フローティングガードリング75は、ドレイン電極50とソース電極60との間で窒化物半導体層30にショットキー接合75aされる。示されていないが、実施形態によって、誘電層40内にフローティングガードリング75を含むように構成してもよい。
フローティングガードリング75は、ゲート電極70と異なり、電源が接続されていなく、フローティングガードリング75によってゲート電極70のドレイン方向の境界または縁部での電界集中が防止される。そのため、高耐圧動作が可能になる。
望ましくは、本発明の他の実施形態によれば、フローティングガードリング75は、窒化物半導体層30にショットキー接合される金属、金属シリサイドまたはこれらの合金を用いて形成される。例えば、アルミニウム(Al)、モリブデン(Mo)、金(Au)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、コバルト(Co)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、銅(Cu)及び亜鉛(Zn)のうちの少なくともいずれか一つの金属、金属シリサイド及びこれらの合金を用いて形成してもよい。フローティングガードリング75は、多層構造で形成されてもよく、ドレイン電極50、ソース電極60または/及びゲート電極70の材料と同じまたは他の種類の金属、金属シリサイド及びこれらの合金を用いて形成されてもよい。
続いて、図1、図3、図4及び図5に示すように、本発明の一実施形態による窒化物半導体素子の誘電層40は、ドレイン電極50とソース電極60との間の窒化物半導体層30上及びソース電極60の少なくとも一部上にかけて形成される。誘電層40は、ドレイン電極50とソース電極60との間でフローティングガードリング75を塗布するように形成される。図5に示すように、誘電層40の厚さは、フローティングガードリング75の上部は周辺より薄く形成することができる。
望ましくは、誘電層40は酸化膜からなり、一実施形態によれば、SiN、SiO2及びAl2O3のうちの少なくともいずれか一つを含むことができる。
示されていないが、他の実施形態によれば、誘電層40は、ドレイン電極50とソース電極60との間の内部にフローティングガードリング75を含んで形成される。この時、フローティングガードリング75は、窒化物半導体層30と直接ショットキー接触75aされないが、フローティングガードリング75と窒化物半導体層30との間の誘電層40の間隔を小さくして、実質的にフローティングガードリング75が窒化物半導体層30にショットキー接触して窒化物半導体層30との電流移動を増大させる役割を行うようにしてもよい。
続いて、図1、図3、図4及び図5に示すように、本実施形態による窒化物半導体素子のゲート電極70は、ドレイン電極50と離間して誘電層40上に配設される。また、ゲート電極70の一部71、71’が誘電層40を挟んでソース電極60のドレイン方向のエッジ部分上に形成される。望ましくは、ゲート電極70は、誘電層40上にショットキー接合70aされる。ゲート電極70に順方向バイアス電圧が印加されると、ソース電極60のドレイン側のコーナー寄りのショットキー接合領域60aで形成される空乏領域が小さくなり、2DEGチャネル35を通じてドレイン電極50とソース電極60との間に電流が流れるようになる。
また、図1、図3、図4及び図5に示すように、ゲート構造によって実質的にフィールドプレートの役割を行うようになり、ゲート電極70のドレイン方向の境界または縁部での電界の集中を分散するという効果があり、ゲート構造自体が耐圧を高める役割を行うようになる。
また、図1、図3、図4及び図5を参照して、本発明の他の実施形態について説明する。本実施形態において、ゲート電極70は、第1の領域71、71’及び第2の領域73、73’を備える。第1の領域71、71’は、誘電層40を挟んでソース電極60のドレイン方向のエッジ部分上に形成されている。第2の領域73、73’は、ドレイン電極50とソース電極60との間の誘電層40上にドレイン電極50と離間して配設される。
望ましくは、第2の領域73、73’は、誘電層40を挟んでフローティングガードリング75の少なくとも一部を覆うように形成される。これによって、第2の領域73、73’は、ゲート電極70のドレイン方向の境界または縁部での電界の集中を分散させて、耐圧を高めるフィールドプレートの役割を行うようになる。
第1の領域と第2の領域とは、図1、図3及び図5に示すように、一体に形成されてもよく、または図4に示すように分離されてもよい。分離される場合、望ましくは、第2の領域73’は、ドレイン電極50よりソース電極60に近く配設される。
一実施形態において、図4のように第1の領域71’及び第2の領域73’は分離されて形成される。この時、第2の領域73’は、ゲート電極70のドレイン方向の境界または縁部での電界の集中を分散させて耐圧を高める役割を行うフローティングゲートを形成する。また、図4には示されていないが、基板10と窒化物半導体層30との間にバッファ層20を設けてもよい。
なお、第2の領域73、73’は、ドレイン方向へ延設されたフィールドプレート部173を備えてもよい。
望ましくは、図1、図3及び図4に示すように、本発明の他の実施形態によれば、ゲート電極70は、ドレイン方向へ延設されたフィールドプレート部173を備える。フィールドプレート部173は、誘電層40を挟んでフローティングガードリング75の少なくとも一部を覆うように形成される。フィールドプレート部173は、フローティングガードリング75と共にまたはその自体でゲート電極70のドレイン方向に形成された縁部に集中される電界を分散させるという効果が奏する。図5では、符号73がフィールドプレート部の役割を行う。
以下、本発明の他の実施形態について説明する。説明の便宜上、図1、図3、図4及び図5中の構成要素と同じ構成に対して、同じ符号を付して説明する。
示されていないが、本発明の実施形態による窒化物半導体素子は、基板10上に配設された窒化物半導体層30、ドレイン電極50、ソース電極60、誘電層40及びゲート電極70を含む。また、バッファ層20をさらに含む。本実施形態において、窒化物半導体層30、ドレイン電極50、ソース電極60、誘電層40及びゲート電極70について、後述と重複しない範囲で前述のことを参照すると共に、多様な実施形態による構成要素について重複する説明は省略することにする。
本実施形態では、前述のことと異なり、誘電層40は、内部にフローティングガードリング75を含むように形成される。よって、フローティングガードリング75は、窒化物半導体層30と直接ショットキー接触されないが、フローティングガードリング75と窒化物半導体層30との間の誘電層40の間隔を小さくし、実質的にフローティングガードリング75が窒化物半導体層30にショットキー接触して窒化物半導体層30との電流移動を増大させる役割を行うことができる。
図1、図3、図4及び図5に示すように、本発明の実施形態によれば、ゲート電極70に0V電圧を印加すると、ドレイン電極50とソース電極60との間に2DEGチャネル35を通じる電流の流れがソース電極60領域のショットキー障壁によって遮られる。そして、ゲート電極70に閾値電圧以上を印加すると、ソース電極60のドレイン方向のエッジ領域にキャリア(電子)の濃度が高くなり、トンネリング現象によって電流が流れるようになる。この時、ゲートの閾値電圧は、誘電層40の厚さなどによって決まる。これによって、既存のノーマリ−オフHEMT構造に比べて製作が容易で、リーク電流が少なく高い耐圧特性を示すようになる。
また、フローティングガードリング75によってゲート電極70のドレイン方向の境界または縁部での電界の集中が防止され、高耐圧動作が可能になる。
なお、誘電層40を挟んでフローティングガードリング75の一部を覆うフィールドプレート部173が設けられ、フローティングガードリング75と共にまたはその自体で電界を分散させるという効果が奏する。
本発明の他の実施形態によれば、前述の実施形態による窒化物半導体素子は、パワートランジスタ素子である。本発明の実施形態によるパワートランジスタは、水平型HEMT構造を備える。
次に、本発明の他の実施形態による窒化物半導体製造方法を図面を参照して説明する。本発明による窒化物半導体の製造方法を説明するにおいて、図2a〜図2dだけでなく、前述の実施形態による窒化物半導体素子及び図1、図3、図4及び図5を参照する。反対の場合も同様である。窒化物半導体素子の製造方法に関する具体的な実施形態について、後述と重複しない範囲で前述のことを参照すると共に、多様な実施形態による構成要素について重複する説明は省略することにする。
図2a〜図2dは、本発明の実施形態による窒化物半導体の製造方法を示す。
望ましくは、本発明の窒化物半導体素子の製造方法によって製造される素子は、パワートランジスタである。
まず、図2aに示すように、基板10上に、内部に2次元電子ガス(2DEG)チャネル35を生成する窒化物半導体層30を形成する。望ましくは、基板10は、シリコン(Si)、シリコンカーバイド(SiC)及びサファイヤ(Al2O3)のうちの少なくともいずれか一つを用いて製造されてもよい。窒化物半導体層30を成す窒化物としては、窒化ガリウム(GaN)、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaN)、インジウム窒化ガリウム(InGaN)、インジウムアルミニウム窒化ガリウム(InAlGaN)などが挙げられる。
望ましくは、窒化物半導体層30は、窒化物単結晶薄膜をエピタキシャル成長させて形成する。望ましくは、エピタキシャル成長の時、選択的に成長させて過成長されないように調節する。仮に、過成長された場合には、エッチバック(etch back)工程やCMP(Chemical Mechanical Polishing)工程を用いて平坦化する過程を追加してもよい。
望ましくは、本発明の他の実施形態によれば、図2aに示された第1の窒化物層31及び第2の窒化物層33は、エピタキシャル成長工程(Epitaxial Growth Precess)によって形成される。まず、第1の窒化物層31は、基板10上に窒化ガリウム系列単結晶薄膜をエピタキシャル成長させて形成する。また、図3に示すように、基板10上にバッファ層20をエピタキシャル成長させた後、バッファ層20上に第1の窒化物層31をエピタキシャル成長させる。望ましくは、本発明の他の実施形態によれば、第1の窒化物層31は、窒化ガリウム(GaN)をエピタキシャル成長させて形成する。続いて、第2の窒化物層33は、第1の窒化物層31をシード層として第1の窒化物層31より広いエネルギバンドギャップを有する異種の窒化ガリウム系列の材料を含む窒化物層をエピタキシャル成長させて形成する。望ましくは、本発明の他の実施形態によれば、第2の窒化物層33は、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaN)、インジウム窒化ガリウム(InGaN)及びインジウムアルミニウム窒化ガリウム(InAlGaN)のうちのいずれか一つを含む窒化ガリウム系列単結晶をエピタキシャル成長させて形成する。望ましくは、第2の窒化物層33は、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaN)をエピタキシャル成長させて形成する。一例として、電子を供与する第2の窒化物層33は、第1の窒化物層31より薄い厚さで形成されることが望ましい。
第1及び第2の窒化物層33を形成するためのエピタキシャル成長工程としては、液相成長法(LPE)、化学気相蒸着法(CVD)、分子ビーム成長法(MBE)、有機金属気相蒸着法(MOCVD)などが挙げられる。
次に、図2bに示すように、窒化物半導体層30にドレイン電極50、ソース電極60及びフローティングガードリング75を形成する。 示されていないが、一実施形態において、フローティングガードリング75が誘電層40内に含まれる場合、ドレイン電極50及びソース電極60を形成してから誘電層40を形成する工程で、誘電層40内にフローティングガードリング75を形成する。図2bに示すように、ドレイン電極50は、窒化物半導体層30にオーミック接合50されるように形成する。該オーミック接合を完成するために熱処理を行ってもよい。窒化膜半導体層30上に金(Au)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、チタン(Ti)、アルミニウム(Al)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、コバルト(Co)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、銅(Cu)及び亜鉛(Zn)のうちの少なくともいずれか一つの金属、金属シリサイド及びこれらの合金を用いてドレイン金属電極を形成する。ドレイン電極50は、多層構造で形成されてもよい。
ソース電極60は、ドレイン電極50と離間して窒化物半導体層30にショットキー接合60aされるように形成する。ショットキー接合60aされるソース電極60は、窒化膜半導体層30とショットキー接合可能な材料、例えば、アルミニウム(Al)、モリブデン(Mo)、金(Au)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、コバルト(Co)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、銅(Cu)及び亜鉛(Zn)のうちの少なくともいずれか一つの金属、金属シリサイド及びこれらの合金によって形成されてもよい。ソース電極60は、多層構造で形成されてもよい。ソース電極60において金属との半導体接合を有するショットキー接合60aを用いて、ドレイン電極50とソース電極60との間に2DEGチャネル35を通じる逆方向の電流を遮断することができる。
一実施形態において、フローティングガードリング75は、窒化物半導体層30にショットキー接合60aされるように形成する。ショットキー接合75aされるフローティングガードリング75は、窒化膜半導体層30とショットキー接合可能な材料、例えば、アルミニウム(Al)、モリブデン(Mo)、金(Au)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、コバルト(Co)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、銅(Cu)及び亜鉛(Zn)のうちの少なくともいずれか一つの金属、金属シリサイド及びこれらの合金を用いて形成されてもよい。フローティングガードリング75は、電極と異なり電源が接続されない。
一例として、ドレイン電極50、ソース電極60またはフローティングガードリング75の形成過程について説明する。基板10上にエピタキシャル成長によって形成された窒化物半導体層30上に電極を形成するための金属層を、電子ビーム蒸着器などによって蒸着形成し、該金属層上にフォトレジストパターンを形成する。続いて、該フォトレジストパターンをエッチングマスクとして金属層をエッチングし、該フォトレジストパターンを取り除いて金属電極50、60またはフローティングガードリング75を形成する。
図2cに示すように、本発明の一実施形態において、ドレイン電極50、ソース電極60及びフローティングガードリング75を形成した後、ドレイン電極50とソース電極60との間の窒化物半導体層30上に誘電層40を形成する。この時、誘電層40は、少なくともソース電極60の一部上に、望ましくは、ドレイン電極50方向のソース電極60の一部上にかけて形成される。また、誘電層40は、ドレイン電極50とソース電極60との間でフローティングガードリング75を塗布するように形成される。
示されていないが、誘電層40内にフローティングガードリング75を形成する実施形態の場合には、誘電層40の形成過程を分けて、中間にフローティングガードリング75が挿入されるようにするか、または誘電層40材料の塗布の際にフローティングガードリング75を挿入して該誘電層40を形成することができる。
望ましくは、誘電層40は、酸化膜からなり、一実施形態によれば、SiN、SiO2及びAl2O3のうちの少なくともいずれか一つを含むことができる。
図2dに示すように、本発明の一実施形態によれば、図2cの誘電層40を形成した後、ドレイン電極50と離間して誘電層40上にゲート電極70を形成する。そして、ゲート電極70の一部がソース電極60のドレイン方向のエッジ部分上の誘電層40上に形成されるようにする。ゲート電極70は、アルミニウム(Al)、モリブデン(Mo)、金(Au)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、コバルト(Co)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、銅(Cu)及び亜鉛(Zn)のうちの少なくともいずれか一つの金属、金属シリサイド及びこれらの合金を用いて形成されることができる。ゲート電極70は、ドレイン電極50または/及びソース電極60と異なる金属を用いてもよく、多層構造で形成されてもよい。望ましくは、ゲート電極70は、誘電層40上にショットキー接合70aされる。
なお、ゲート電極70の一部73、73’は、誘電層40によって形成されたリセス領域に配設されるように形成される。これによって、リセス領域に形成されたショットキーゲート電極70を通じて窒化物半導体層30との電流キャリアの移動が容易になり、電流量が増加し、オン抵抗が低くなるようになる。
次に、ゲート電極70の形成過程について説明する。誘電層40上に電極を形成するための金属層を電子ビーム蒸着器などによって蒸着形成し、該金属層上にフォトレジストパターンを形成する。続いて、該フォトレジストパターンをエッチングマスクとして金属層をエッチングする。エッチング後、フォトレジストパターンを取り除いて金属電極を形成する。
望ましくは、前述の窒化物半導体の製造方法において、他の実施形態によれば、図2aに示された基板10上に窒化物半導体層30を形成する前に、基板10上にバッファ層20を形成するステップをさらに含む。バッファ層20は、基板10と窒化物半導体層30との格子不整合による問題点を解決するために提供される。バッファ層20は、一つの層だけではなく、窒化ガリウム(GaN)、アルミニウム窒化ガリウム(AlGaN)、窒化アルミニウム(AlN)、インジウム窒化ガリウム(InGaN)、インジウムアルミニウム窒化ガリウム(InAlGaN)などを含む複数の層で形成されてもよい。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、前記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
10 基板
20 バッファ層
30 窒化物半導体層
31 第1の窒化物層
33 第2の窒化物層
35 2DEGチャネル
40 誘電層
50 ドレイン電極
60 ソース電極
70 ゲート電極
75 フローティングガードリング
20 バッファ層
30 窒化物半導体層
31 第1の窒化物層
33 第2の窒化物層
35 2DEGチャネル
40 誘電層
50 ドレイン電極
60 ソース電極
70 ゲート電極
75 フローティングガードリング
Claims (17)
- 基板上に配設され、内部に2次元電子ガス(2DEG)チャネルを形成する窒化物半導体層と、
前記窒化物半導体層にオーミック接合されたドレイン電極と、
前記ドレイン電極と離間して配設され、前記窒化物半導体層にショットキー接合されたソース電極と、
前記ドレイン電極と前記ソース電極との間で前記窒化物半導体層にショットキー接合されたフローティングガードリングと、
前記ドレイン電極と前記ソース電極との間の前記窒化物半導体層上及び前記ソース電極の少なくとも一部上にかけて形成され、前記ドレイン電極と前記ソース電極との間で前記フローティングガードリングを塗布して形成される誘電層と、
前記ドレイン電極と離間して前記誘電層上に形成され、一部が、前記誘電層を挟んで前記ソース電極のドレイン方向のエッジ部分上に形成されたゲート電極と
を含む窒化物半導体素子。 - 前記ゲート電極は、ドレイン方向へ延在するフィールドプレート部を備え、
前記フィールドプレートは、前記誘電層を挟んで前記フローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成されることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体素子。 - 前記フローティングガードリングは、前記窒化物半導体層にショットキー接合される金属、金属シリサイドまたはこれらの合金からなることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体素子。
- 前記ゲート電極は、前記誘電層を挟んで前記ソース電極のドレイン方向のエッジ部分上に形成された第1の領域、及び前記ドレイン電極と前記ソース電極との間の前記誘電層上で前記ドレイン電極と離間して形成され、前記誘電層を挟んで前記フローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成された第2の領域を含み、
前記第1の領域と前記第2の領域は分離されて形成され、
前記第2の領域は、フローティングゲートを形成することを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体素子。 - 前記窒化物半導体層は、
前記基板上に配設され、窒化ガリウム系列の材料を含む第1の窒化物層と、
前記第1の窒化物層上に異種接合され、前記第1の窒化物層より広いエネルギバンドギャップを有する異種の窒化ガリウム系列の材料を含む第2の窒化物層と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体素子。 - 基板上に配設され、内部に2次元電子ガス(2DEG)チャネルを形成する窒化物半導体層と、
前記窒化物半導体層にオーミック接合されたドレイン電極と、
前記ドレイン電極と離間して配設され、前記窒化物半導体層にショットキー接合されたソース電極と、
前記ドレイン電極と前記ソース電極との間の前記窒化物半導体層上及び前記ソース電極の少なくとも一部上にかけて形成され、前記ドレイン電極と前記ソース電極との間で内部にフローティングガードリングを含んで形成される誘電層と、
前記ドレイン電極と離間して前記誘電層上に形成され、一部は、前記誘電層を挟んで前記ソース電極のドレイン方向のエッジ部分上に形成されたゲート電極と
を含む窒化物半導体素子。 - 前記ゲート電極は、ドレイン方向へ延在するフィールドプレート部を備え、
前記フィールドプレートは、前記誘電層を挟んで前記フローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成されることを特徴とする請求項6に記載の窒化物半導体素子。 - 前記ゲート電極は、前記誘電層を挟んで前記ソース電極のドレイン方向のエッジ部分上に形成された第1の領域、及び前記ドレイン電極と前記ソース電極との間の前記誘電層上で前記ドレイン電極と離間して形成され、前記誘電層を挟んで前記フローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成された第2の領域を含み、
前記第1の領域と前記第2の領域は、分離されて形成され、
前記第2の領域は、フローティングゲートを形成することを特徴とする請求項6に記載の窒化物半導体素子。 - 前記窒化物半導体層は、
前記基板上に配設され、窒化ガリウム系列の材料を含む第1の窒化物層と、
前記第1の窒化物層上に異種接合され、前記第1の窒化物層より広いエネルギバンドギャップを有する異種の窒化ガリウム系列の材料を含む第2の窒化物層と、を含むことを特徴とする請求項6に記載の窒化物半導体素子。 - 前記窒化物半導体素子は、前記基板と前記窒化物半導体層との間にバッファ層をさらに含むことを特徴とする請求項1〜9のうちの少なくともいずれか一つに記載の窒化物半導体素子。
- 前記窒化物半導体素子は、パワートランジスタ素子であることを特徴とする請求項1〜9のうちの少なくともいずれか一つに記載の窒化物半導体素子。
- 基板上に、内部に2次元電子ガス(2DEG)チャネルを生成する窒化物半導体層を形成するステップと、
前記窒化物半導体層にオーミック接合されるドレイン電極を形成し、前記窒化物半導体層に前記ドレイン電極と離間してショットキー接合されるソース電極を形成し、前記ドレイン電極と前記ソース電極との間で前記窒化物半導体層にショットキー接合されるフローティングガードリングを形成するステップと、
前記ドレイン電極と前記ソース電極との間の前記窒化物半導体層上及び前記ソース電極の少なくとも一部上にかけて誘電層を形成し、前記ドレイン電極と前記ソース電極との間で前記フローティングガードリングを塗布して前記誘電層を形成するステップと、
前記ドレイン電極と離間して前記誘電層上にゲート電極を形成し、前記ゲート電極の一部を前記ソース電極のドレイン方向のエッジ部分上の前記誘電層上に形成するステップと
を含む窒化物半導体素子の製造方法。 - 前記ゲート電極を形成するステップにおいて、前記ゲート電極からドレイン方向へ延在するフィールドプレート部が前記誘電層を挟んで前記フローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成されることを特徴とする請求項12に記載の窒化物半導体素子の製造方法。
- 前記ゲート電極を形成するステップにおいて、前記誘電層を挟んで前記ソース電極のドレイン方向へのエッジ部分上に形成された第1の領域、及び前記ドレイン電極と前記ソース電極との間の前記誘電層上で前記ドレイン電極と離間して形成され、前記誘電層を挟んで前記フローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成された第2の領域を含む前記ゲート電極を形成し、
前記第1の領域と前記第2の領域とを分離して形成し、
前記第2の領域は、フローティングゲートを形成するようにすることを特徴とする請求項12に記載の窒化物半導体素子の製造方法。 - 基板上に、内部に2次元電子ガス(2DEG)チャネルを生成する窒化物半導体層を形成するステップと、
前記窒化物半導体層にオーミック接合されるドレイン電極を形成し、前記窒化物半導体層に前記ドレイン電極と離間してショットキー接合されるソース電極を形成するステップと、
前記ドレイン電極と前記ソース電極との間の前記窒化物半導体層上及び前記ソース電極の少なくとも一部上にかけて誘電層を形成し、前記ドレイン電極と前記ソース電極との間で内部にフローティングガードリングを含むように前記誘電層を形成するステップと、
前記ドレイン電極と離間して前記誘電層上にゲート電極を形成し、前記ゲート電極の一部を前記ソース電極のドレイン方向のエッジ部分上の前記誘電層上に形成するステップと
を含む窒化物半導体素子の製造方法。 - 前記ゲート電極を形成するステップにおいて、前記ゲート電極からドレイン方向へ延在するフィールドプレート部が前記誘電層を挟んで前記フローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成されることを特徴とする請求項15に記載の窒化物半導体素子の製造方法。
- 前記ゲート電極を形成するステップにおいて、前記誘電層を挟んで前記ソース電極のドレイン方向のエッジ部分上に形成された第1の領域、及び前記ドレイン電極と前記ソース電極との間の前記誘電層上で前記ドレイン電極と離間して形成され、前記誘電層を挟んで前記フローティングガードリングの少なくとも一部を覆うように形成された第2の領域を含む前記ゲート電極を形成し、
前記第1の領域と前記第2の領域とを分離して形成し、
前記第2の領域は、フローティングゲートを形成するようにすることを特徴とする請求項15に記載の窒化物半導体素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2011-0038615 | 2011-04-25 | ||
KR1020110038615A KR20120120829A (ko) | 2011-04-25 | 2011-04-25 | 질화물 반도체 소자 및 그 제조방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012231107A true JP2012231107A (ja) | 2012-11-22 |
Family
ID=47020597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011190747A Pending JP2012231107A (ja) | 2011-04-25 | 2011-09-01 | 窒化物半導体素子及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120267637A1 (ja) |
JP (1) | JP2012231107A (ja) |
KR (1) | KR20120120829A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11189718B2 (en) | 2019-05-22 | 2021-11-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device with suppressed self-turn-on |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150618 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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