JP2012216697A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8495312B2 (en) * 2010-01-25 2013-07-23 Sepaton, Inc. System and method for identifying locations within data
US20150253762A1 (en) * 2012-09-26 2015-09-10 Hitachi Kokusai Electric Inc. Integrated management system, management device, method of displaying information for substrate processing apparatus, and recording medium
DE102015211941A1 (de) * 2015-06-26 2016-12-29 Zf Friedrichshafen Ag Verfahren und Vorrichtung zur Reduzierung eines Energiebedarfs einer Werkzeugmaschine und Werkzeugmaschinensystem
JP6645993B2 (ja) * 2016-03-29 2020-02-14 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 処理装置、装置管理コントローラ、及びプログラム並びに半導体装置の製造方法
CN107240564B (zh) 2016-03-29 2021-01-05 株式会社国际电气 处理装置、装置管理控制器、以及装置管理方法
KR102192094B1 (ko) 2016-03-31 2020-12-16 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 기판 처리 장치, 장치 관리 컨트롤러 및 기록 매체
JP6476370B2 (ja) 2016-09-26 2019-03-06 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 記録媒体、プログラム、半導体装置の製造方法および基板処理装置。
WO2018061842A1 (ja) * 2016-09-27 2018-04-05 東京エレクトロン株式会社 異常検知プログラム、異常検知方法および異常検知装置
JP6594931B2 (ja) * 2016-10-31 2019-10-23 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置、監視プログラム及び半導体装置の製造方法
US10860005B2 (en) 2016-10-31 2020-12-08 Kokusai Electric Corporation Substrate processing apparatus and non-transitory computer-readable recording medium
CN106548035B (zh) * 2016-11-24 2019-08-06 腾讯科技（深圳）有限公司 一种数据异常的诊断方法及装置
JP2018206847A (ja) * 2017-05-31 2018-12-27 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 半導体装置の製造方法、プログラムおよび基板処理装置
JP6625098B2 (ja) 2017-07-20 2019-12-25 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理システム、半導体装置の製造方法およびプログラム
WO2019043934A1 (ja) * 2017-09-04 2019-03-07 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置、基板処理装置の異常監視方法、及びプログラム
JP6613276B2 (ja) * 2017-09-22 2019-11-27 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 半導体装置の製造方法、プログラム、記録媒体および基板処理装置
JP7074490B2 (ja) * 2018-02-08 2022-05-24 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス データ処理方法、データ処理装置、データ処理システム、およびデータ処理プログラム
JP7080065B2 (ja) 2018-02-08 2022-06-03 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス データ処理方法、データ処理装置、データ処理システム、およびデータ処理プログラム
JP7075771B2 (ja) * 2018-02-08 2022-05-26 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス データ処理方法、データ処理装置、データ処理システム、およびデータ処理プログラム
US11488848B2 (en) 2018-07-31 2022-11-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Integrated semiconductor die vessel processing workstations
JP6961834B2 (ja) * 2018-09-20 2021-11-05 株式会社Kokusai Electric 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム
JP7188950B2 (ja) * 2018-09-20 2022-12-13 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス データ処理方法およびデータ処理プログラム
WO2020186476A1 (zh) * 2019-03-20 2020-09-24 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 一种医疗设备及其数据管理方法
JP7229116B2 (ja) 2019-07-09 2023-02-27 東京エレクトロン株式会社 基板処理システム及びプロセスデータ監視方法
JP2021019137A (ja) * 2019-07-22 2021-02-15 株式会社ディスコ 保持装置及び加工装置
JP6766235B2 (ja) * 2019-08-06 2020-10-07 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム
CN114222830B (zh) * 2019-08-12 2025-05-02 朗姆研究公司 在半导体制造中的动态工艺控制
JP6917495B1 (ja) * 2020-03-04 2021-08-11 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3578886B2 (ja) 1997-05-02 2004-10-20 東京エレクトロン株式会社 プロセス制御システムとそのプロセスデータ転送制御方法
JP2000243678A (ja) * 1998-12-24 2000-09-08 Toshiba Corp モニタリング装置とその方法
JP2002100547A (ja) 2000-09-21 2002-04-05 Toshiba Corp 半導体製造装置の信号データ解析装置及び解析方法
US7080294B1 (en) * 2002-05-10 2006-07-18 Sprint Spectrum L.P. Threshold crossing alarm system
JP2005535130A (ja) 2002-08-01 2005-11-17 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 最新のプロセス制御システム内で誤って表された計測データを取り扱う方法、システム、および媒体
US7349746B2 (en) * 2004-09-10 2008-03-25 Exxonmobil Research And Engineering Company System and method for abnormal event detection in the operation of continuous industrial processes
JP2006277298A (ja) 2005-03-29 2006-10-12 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置、履歴情報記録方法、履歴情報記録プログラム及び履歴情報記録システム
JP4693464B2 (ja) 2005-04-05 2011-06-01 株式会社東芝 品質管理システム、品質管理方法及びロット単位のウェハ処理方法
WO2007037161A1 (ja) * 2005-09-27 2007-04-05 Hitachi Kokusai Electric Inc. データ記録方法
JP2007250748A (ja) 2006-03-15 2007-09-27 Omron Corp プロセス異常分析装置および方法並びにプログラム

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