JP2012216697A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 基板を処理する基板処理装置から送信される測定データを蓄積する測定データ蓄積手段と、
   予め定められた測定範囲において、前記測定データ蓄積手段に蓄積された測定データのうち判定対象である前記測定データの項目、前記項目に対応する測定データの判定基準となる基準データ、及び該基準データについて上下限値を設定する設定手段と、
   前記設定手段により設定された項目に対応する測定データの値が、前記設定手段により設定された前記基準データについての上下限値から外れた回数を計数する計数手段と、
   前記計数手段により計数された計数値が、予め定められた値を超えた場合に前記判定対象とした測定データについて異常と判定する判定手段と
   を有する管理装置。
2. 前記設定手段で設定された項目に対応する測定データ、該測定データの判定基準である基準データ、及び該基準データについての上下限値と、前記計数手段により計数された計数値とを関連付けて蓄積する関連蓄積手段と、
   前記関連蓄積手段により蓄積された計数値について、前記基板処理装置による処理毎の計数値を表示する表示手段と
   を有する請求項１記載の管理装置。
3. 前記表示手段は、さらに、表示した前記基板処理装置による処理毎の計数値のうち指定された少なくとも１つの計数値について、前記関連蓄積手段により該計数値に関連付けられている少なくとも測定データを表示する
   請求項２記載の管理装置。
4. 基板を処理する基板処理装置から送信される測定データを蓄積し、予め定められた測定範囲における前記測定データの項目、前記測定データの項目に対応する測定データの判定基準である基準データ、及び前記基準データについての上下限値をそれぞれ設定し、蓄積された測定データのうち前記項目の測定データの値が、前記基準データの上下限値から外れた回数を計数し、計数された計数値が、予め定められた値を超えた場合に計数対象とした前記測定データについて異常と判定するデータ解析方法。
5. 基板を処理する基板処理装置から送信される測定データを蓄積する蓄積手段を備えた管理装置で実行されるプログラムを記録した記録媒体であって、
   予め定められた測定範囲における前記測定データの項目、前記測定データの項目に対応する測定データの判定基準である基準データ、及び前記基準データについて上下限値を設定する工程と、
   前記測定データのうち前記項目の測定データの値が、前記基準データの上下限値から外れた回数を計数する工程と、
   計数された計数値が、予め定められた値を超えた場合に、計数対象とした測定データについて異常と判定する工程と、
   を有するプログラムをコンピュータに読み取り可能に記録した記録媒体。