JP2012208360A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011074648A JP5742376B2 (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | ポジ型感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011074648A JP5742376B2 (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | ポジ型感光性樹脂組成物 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012208360A JP2012208360A (ja) | 2012-10-25 |
JP2012208360A5 true JP2012208360A5 (sr) | 2014-04-03 |
JP5742376B2 JP5742376B2 (ja) | 2015-07-01 |
Family
ID=47188143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011074648A Active JP5742376B2 (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | ポジ型感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5742376B2 (sr) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104641291B (zh) * | 2012-09-24 | 2017-12-12 | 东丽株式会社 | 正型感光性树脂组合物 |
WO2014050558A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 東レ株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、それを用いた硬化膜を含む半導体装置の製造方法 |
JP6358095B2 (ja) * | 2013-01-09 | 2018-07-18 | Jsr株式会社 | 感光性組成物、重合体、樹脂膜およびその製造方法ならびに電子部品 |
KR101720717B1 (ko) * | 2014-04-10 | 2017-03-28 | 제일모직 주식회사 | 포지티브형 감광성 수지 조성물, 감광성 수지막, 및 이를 이용한 표시 소자 |
CN107407879B (zh) | 2015-03-27 | 2020-10-16 | 东丽株式会社 | 感光性树脂组合物、感光性片材、半导体器件及半导体器件的制造方法 |
JPWO2017043375A1 (ja) * | 2015-09-08 | 2018-06-21 | 東レ株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性シート、半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US10545406B2 (en) | 2015-09-28 | 2020-01-28 | Toray Industries, Inc. | Cured film formed by curing photosensitive resin composition and method for manufacturing same |
WO2017073481A1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-04 | 東レ株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、感光性シート、硬化膜、層間絶縁膜、半導体保護膜、半導体装置の製造方法、半導体電子部品および半導体装置 |
KR102314567B1 (ko) * | 2016-03-28 | 2021-10-19 | 도레이 카부시키가이샤 | 감광성 필름 |
WO2017188153A1 (ja) * | 2016-04-25 | 2017-11-02 | 東レ株式会社 | 樹脂組成物 |
CN114207520A (zh) | 2019-08-01 | 2022-03-18 | 东丽株式会社 | 感光性树脂组合物、感光性片、固化膜、固化膜的制造方法、层间绝缘膜及电子部件 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4957884B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2012-06-20 | 信越化学工業株式会社 | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP4655757B2 (ja) * | 2005-05-19 | 2011-03-23 | 住友電気工業株式会社 | ポジ型感光性接着剤 |
JP5649118B2 (ja) * | 2008-10-20 | 2015-01-07 | 日本化薬株式会社 | ポリイミド樹脂及びその組成物 |
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2011
- 2011-03-30 JP JP2011074648A patent/JP5742376B2/ja active Active