JP2012204659A - レーザーマークの評価方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザーを用いてウェーハにマーキングしたレーザーマークを評価する方法であって、少なくとも、前記レーザーマークのドット形状を測定する測定工程、及び前記測定されたレーザーマークのドット形状の真円度を算出する真円度算出工程を行い、前記算出された真円度を利用してレーザーマークを評価することを特徴とするレーザーマークの評価方法。
【選択図】なし
Description
前記レーザーマークのドット形状を測定する測定工程、及び
前記測定されたレーザーマークのドット形状の真円度を算出する真円度算出工程を行い、前記算出された真円度を利用してレーザーマークを評価することを特徴とするレーザーマークの評価方法を提供する。
式(1):
レーザーマークのドット形状の真円度=(レーザーマークのドットの内接円面積/レーザーマークのドットの外接円面積)×100
前記レーザーマークのドット形状を測定する測定工程、及び
前記測定されたレーザーマークのドット形状の真円度を算出する真円度算出工程を行い、前記算出された真円度を利用してレーザーマークを評価することを特徴とするレーザーマークの評価方法を提供する。
本発明における測定工程は、レーザーマークのドット形状を測定する工程である。特に、光源に可視光又はレーザー光を用いた共焦点顕微鏡を用いて前記レーザーマークのドット形状を測定することが好ましい。このような共焦点顕微鏡を用いることで、レーザーマークのドット形状を簡単かつ確実に測定することができ、続く真円度算出工程においてドット形状を画像処理することも簡単となる。さらに、読み取り機で読み取り不良を起こすドットの形状をより定量的に正確に判定することができる。
本発明における真円度算出工程は、測定されたレーザーマークのドット形状の真円度を算出する工程である。このように、真円度を算出することによって読み取り機で読み取り不良を起こすドットの形状を定量的に正確に判定することができる。特に、前記レーザーマークのドット形状の真円度は下記式(1)を用いて算出することが好ましい。このように、式(1)を用いることでレーザーマークのドット形状から簡単かつ確実に真円度を算出することができ、読み取り機で読み取り不良を起こすドットの形状をより定量的に正確に判定することができる。
式(1):
レーザーマークのドット形状の真円度=(レーザーマークのドットの内接円面積/レーザーマークのドットの外接円面積)×100
本発明は算出された真円度を利用してレーザーマークを評価することを特徴とする。特に、真円度を利用してレーザーマークを評価するにあたり、前記真円度が所望値以上であるレーザーマークを合格とし、前記真円度が所望値未満のものを不合格と判定する判定工程を含むことが好ましい。このような判定工程により、レーザーマークを評価するにあたり、真円度が所望値以上であるレーザーマークは信頼性が高く、真円度が所望値未満であるレーザーマークは信頼性が低く読み取り不良の可能性が高いと判断することができる。従って、より簡単に、レーザーマークの読み取り不良を防止し、ウェーハの持つ本来の品質以外で起こる不良を未然に防ぐことができ、歩留まりを向上できる。なお、レーザーマークの読み取り装置は特に制限されないがOCR(Optical Character Reader:光学的文字読み取り装置)を用いて行うことができる。
レーザーを用いてレーザーマークをマーキングしたウェーハを100枚用意した。これらのウェーハにSC−1液による10回の洗浄を行った後、レーザーテック社製共焦点レーザー顕微鏡で測定撮影したレーザーマークのドット形状に外接円と内接円を描画し、コンピュータの画像解析により2値化して、上記式(1)によりそれぞれ真円度を求めた。その後、真円度を利用して、これら100枚のウェーハのレーザーマークを評価した。
Claims (4)
- レーザーを用いてウェーハにマーキングしたレーザーマークを評価する方法であって、少なくとも、
前記レーザーマークのドット形状を測定する測定工程、及び
前記測定されたレーザーマークのドット形状の真円度を算出する真円度算出工程を行い、前記算出された真円度を利用してレーザーマークを評価することを特徴とするレーザーマークの評価方法。 - 前記真円度算出工程において、前記レーザーマークのドット形状の真円度を下記式(1)を用いて算出することを特徴とする請求項1に記載のレーザーマークの評価方法。
式(1):
前記レーザーマークのドット形状の真円度=(前記レーザーマークのドットの内接円面積/前記レーザーマークのドットの外接円面積)×100 - 前記測定工程において、光源に可視光又はレーザー光を用いた共焦点顕微鏡を用いて前記レーザーマークのドット形状を測定することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレーザーマークの評価方法。
- 前記真円度を利用してレーザーマークを評価するにあたり、前記真円度が所望値以上であるレーザーマークを合格とし、前記真円度が所望値未満のものを不合格と判定する判定工程を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のレーザーマークの評価方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108465940A (zh) * | 2018-03-26 | 2018-08-31 | 英特尔产品(成都)有限公司 | 激光标记检测系统及其控制方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02205281A (ja) * | 1989-02-03 | 1990-08-15 | Nec Corp | レーザマーキング装置 |
JPH06286289A (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-11 | Kuwabara Yasunaga | パターンコーティング方法 |
JP2004101598A (ja) * | 2002-09-05 | 2004-04-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | レーザーマーキング方法 |
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- 2011-03-25 JP JP2011068574A patent/JP5561221B2/ja active Active
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