JP2012199514A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 基板上の樹脂と型のパターン面とを接触させて、前記基板上の樹脂にパターンを形成する複数のインプリント装置を備えるインプリントシステムであって、
   前記インプリント装置は、前記基板を保持して移動する移動体を備え、
   前記インプリントシステムは、
   １つの前記インプリント装置が、離型工程を実行する時間帯に、該インプリント装置とは異なる２つ以上の前記インプリント装置の移動体が同時に加速または減速を行わないように、前記２つ以上のインプリント装置のうち少なくとも１つの前記インプリント装置の移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する制御部を備えることを特徴とするインプリントシステム。
2. 前記制御部は、前記複数のインプリント装置の移動体の加速または減速に関する情報を取得し、該情報に基づいて前記タイミングを設定することを特徴とする請求項１に記載のインプリントシステム。
3. 前記１つのインプリント装置が樹脂硬化工程および離型工程を実行する時間帯に、該インプリント装置とは異なる２つ以上の前記インプリント装置の移動体が同時に加速または減速を行わないように、前記２つ以上のインプリント装置のうち少なくとも１つの前記インプリント装置の移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する制御部を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリントシステム。
4. 前記１つのインプリント装置が押型工程、樹脂硬化工程および離型工程を実行する時間帯に、該インプリント装置とは異なる２つ以上の前記インプリント装置の移動体が同時に加速または減速を行わないように、前記２つ以上のインプリント装置のうち少なくとも１つの前記インプリント装置の移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する制御部を備えることを特徴とする請求項３に記載のインプリントシステム。
5. 前記インプリント装置は、少なくとも３つ以上が同一の梁上に位置するように、複数の梁で構成された床面に設置され、
   前記制御部は、前記梁の長手方向に対して平行方向の加速または減速に関する情報を取得し、該情報に基づいて、前記同一の梁上のインプリント装置の前記移動体のうち少なくとも１つの移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインプリントシステム。
6. 基板上の樹脂と型のパターン面とを接触させて、前記基板上の樹脂にパターンを形成する複数のインプリント装置を用いるインプリント方法であって、
   前記インプリント方法は、
   前記複数のインプリント装置が備える移動体の加速または減速に関する情報を取得する工程と、
   前記情報に基づいて、１つの前記インプリント装置が離型工程を実行する時間帯に、該インプリント装置とは異なる２つ以上の前記インプリント装置の移動体が同時に加速または減速を行わないように、前記２つ以上のインプリント装置のうち少なくとも１つの前記インプリント装置の移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する工程と、を有することを特徴とするインプリント方法。
7. 請求項１ないし５のいずれか１項に記載のインプリントシステムまたは請求項６に記載のインプリント方法を用いてパターン形成を基板上に行う工程と、
   前記工程で前記パターン形成を行われた前記基板を加工する工程と、
   を含むことを特徴とする物品の製造方法。