JP2012190821A - 基板処理装置および群管理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】蓄積されたトレースログファイルを適切に管理することで、ハードディスクの容量制限機能を維持したまま容易にそのファイルの参照や比較が可能となる機能を提供する。
【解決手段】基板を処理する際に生成される種々のデータを記憶手段に蓄積する基板処理装置は、長期保存指定可能なファイルの最大数を指定するレコードを少なくとも含む制御情報ファイルと、長期保存する対象のファイル、前記ファイルの最大保存期間及び前記ファイルを検索する速度を向上させる為に作成されるインデックス部とで少なくとも構成されるファイル管理テーブルとを少なくとも有する記憶手段を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板処理装置および少なくとも一つの基板処理装置と該基板処理装置を管理する郡管理装置において、記憶部に蓄積されるトレースログデータの適切な管理に関するものである。

基板処理装置の一種である半導体製造装置およびこの半導体製造装置と群管理装置で構成される基板処理システムの群管理装置は、種々のファイルが格納される記憶部を有する。従来、半導体製造装置およびこの半導体製造装置を管理する郡管理装置は、稼働状況を確認するために、装置稼動時に発生したデータ値を保持するロギング情報ファイル(以下、トレースログファイル)が自動で生成され、記憶部の一つの例であるハードディスクの特定のエリアに保存される。更に、２４時間連続運転による信頼性確保等のため、半導体製造装置のハードディスク容量は、一般的なコンピュータシステムに比べてかなり制限されている。ここで、とても短い周期でデータを収集し、且つデータ項目数が多いためトレースログファイルは、個々のファイルサイズが大きくまってしまう。このため、トレースログを大量に長期間保存するのはかなり困難である。

このような理由から、図７のように、半導体製造装置では従来からトレースログファイルが占有するディスク容量を監視し、一定量に達したら自動で削除する仕組みを取り入れている。しかしながら、従来方式では、日付の最も古いものから無条件に削除する方式だったため、長期間保存を要するファイルでも削除対象となってしまっていた。これまでにも、上記のようにディスク容量を監視する技術に関連する特許はあった。特許文献１には、レシピファイルを作成日ではなく編集日により管理することが記載されている。また、特許文献２には、ＤＢの容量(ディスク容量)に応じてデータ更新日を管理し、所定のＤＢ容量に達したらバックアップデータを削除することが記載されている。但し、これら特許文献１や特許文献２も、結局、削除するタイミングが異なるだけで、従来と同様に最も古いデータ順に削除する方式であった。

また、トレースログファイルの管理も自動生成/削除しやすいように蓄積開始日と一部の情報（サブストレートＩＤ等）のみで行われていた。その結果、その他の情報(ロットＩＤ、キャリア名、各JOB名、レシピ名称等)は、図２に示すように、個別にファイル内に格納していたため、特定のトレースログファイルを検索することが困難になっていた。

特開２０１０−０４０８３７号公報 特開２０１０−０４０７９６号公報

そこで、本発明の目的は、蓄積されたトレースログファイルを適切に管理することで、ハードディスクの容量制限機能を維持したまま容易にそのファイルの参照や比較が可能となる機能を提供することである。

本発明の特徴は、基板を処理する際に生成される種々のデータを記憶手段に蓄積する基板処理装置または群管理装置であって、前記記憶手段は、長期保存指定可能なファイルの最大数を指定するレコードを少なくとも含む制御情報ファイルと、長期保存する対象のファイル、前記ファイルの最大保存期間及び前記ファイルを検索する速度を向上させる為に作成されるインデックス部とで少なくとも構成されるファイル管理テーブルとを少なくとも有する基板処理装置または群管理装置にある。

本発明によれば、以下のような効果のうち少なくとも1つ以上の効果を奏する。

（１）本発明によれば、所望のトレースログデータをハードディスクの容量を抑えながら不必要な削除を防ぐことができ、長期間保存することが可能となる。
（２）本発明によれば、トレースログデータを簡単に検索することが可能となる。例えば、トレースログデータに所望の名称を設定することにより、検索効率を向上することが可能となる。
（３）本発明によれば、例えば、実行中のレシピデータのリアルタイム比較ができる。それにより、トレースログデータの比較が簡単に実現可能となる。

本発明の一実施の形態に係る基板処理システムの一例を示す構成図である。 トレースログファイル構造。 本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の記憶部(ハードディスク)内の構造を例示する図である。 本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の記憶部(ハードディスク)内に設けられたトレースログファイル管理テーブル構造を例示する図である。 本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の記憶部(ハードディスク)内に設けられた制御情報ファイル構造を例示する図である。 本発明の一実施の形態に係る基板処理装置内に蓄積されたトレースログファイルの管理処理手順を例示する図である。 従来のトレースログファイル管理方式を示す図である。 本発明の一実施例に係る基板処理装置の構成を示す図である。 本発明の一実施例に係る基板処理装置における運用例を示す図である。 本発明の一実施例に係る基板処理装置のコントローラ構成を示す図である。

まず、図１を用いて、本発明の一実施形態に係る基板処理システムの構成及び動作について説明する。

図１に示すとおり、基板処理システム１は、基板に処理を行う少なくとも一台以上の基板処理装置１００と、基板処理装置１００に接続される群管理装置１０とを備える。尚、基板処理装置１００と群管理装置１０との接続は、通信ケーブル等による直接接続であっても良いし、構内回線を介したネットワーク接続でも良いし、インターネットや専用線網などの広域回線を介したネットワーク接続であっても良い。また、基板処理装置１００は、基板を処理するための基板処理系２５０と、基板処理系２５０に接続された基板処理用コントローラ２４０と、基板処理用コントローラ２４０に接続された操作部２４１を備え、群管理装置１０は、ネットワーク等を介して基板処理装置１００に接続される郡管理コントローラ２０と、郡管理コントローラ２０に接続され、ユーザ(作業者)が郡管理装置１０を操作する際に用いる入出力装置を担う操作端末２２とを備える。基板処理システム１は、このような構成において、基板処理装置１００は、群管理装置１０に稼動状態や障害を含む各種情報を送信している。また、送信する情報（データ）は、基板処理装置１００で生成される情報を全て送信しても良いし、予め設定された所定の情報のみを送信するようにしても良い。一方、郡管理装置１０は、送信された情報を格納すると共に、基板処理装置１００の稼動状態や発生した障害を含む情報を操作画面に表示するように構成されている。また、前記情報に基づいて接続される前記基板処理装置１００の稼動率を算出するようにしてもよい。従って、オペレータは、群管理装置１０の操作画面上に表示される情報から、基板処理装置１００の稼動状態を把握できる。又、障害が発生した場合は解析を行うことができる。

次に、図８を参照して本発明に係る基板処理装置を説明する。

基板処理装置は、本実施の形態においては、半導体装置の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。
なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に所定の処理を施すＶＦＭ装置に適用した場合について説明する。

本発明の一実施例の半導体製造装置であるＶＦＭ装置は、基板に所定の処理を施す処理室としてのプロセスモジュールＰＭと、基板が搬送される搬送室としてのフロントエンドモジュールＥＦＥＭと、基板が収納された基板収容器を装置外部の搬送装置と受渡しする基板載置台としてのロードポートＬＰとで少なくとも構成される。プロセスモジュールＰＭは、少なくとも１つ設けられる。本実施の形態において、図１では、３つ設けられているが一例であって図の構成に限定されない。

プロセスモジュールＰＭは、ＣＶＤ、ＡＬＤ等による成膜、アッシング、エッチング及び膜質改善などのような処理をウェハ２００に実施する。また、プロセスモジュールＰＭは、ガス導入機構、ガス排気機構、及び温度制御機構、プラズマ放電機構など処理方式に合わせ、種々の機構が備えられる。フロントエンドモジュールＥＦＥＭは、冷却機構としてのクーリングステージＣＳを備える。ここで、図１では、プロセスモジュールＰＭの数分のクーリングステージＣＳが設けられている。また、フロントエンドモジュールＥＦＥＭは、ウェハ２００を搬送する搬送手段が備えられている。また、搬送手段は、基板保持機構としてのブレードを１つ備え、このブレードには、ウェハ２００を保持する基板保持部としてのアームが上下に２つ設けられている。そして、各プロセスモジュールに対してウェハ２００を搬入出可能に構成されている。尚、フロントエンドモジュールＥＦＥＭ内は、大気圧でウェハ搬送が行われる。容器載置台としてのロードポートＬＰは、基板収容器としてのキャリアが外部装置よりいつ送られてきてもよいように、複数の載置台が設けられている。尚、ロードポートＬＰも同様にプロセスモジュールＰＭと同じ数だけ備えられる。

図９を用いて、本願の実施の形態における運用方式について説明する。ここでは、振分方式について説明する。

ロードポートＬＰ１に載置されたキャリアとしてのＦＯＵＰ(以下、Ｐｏｄと称す)からウェハ２００(Ｗａｆｅｒ＃１)が取り出され、プロセスモジュールＰＭ１に搬送される。そして、プロセスレシピが実行される。ここで、プロセスレシピは、ウェハ２００をマイクロ波で熱処理する処理ステップと、前記処理されたウェハ２００を冷却する冷却ステップとで少なくとも構成される。尚、処理ステップでは、ＲＦ電源を使って周波数を変えながら、ウェハ２００上の膜の組成を変える(膜質改善)処理が行われ、その際に結果としてウェハ２００の温度が上昇する。よって、冷却ステップでは、Ｎ２ガスを流しながらウェハ２００の温度を下げる。そして、搬送ロボットのアームが耐え得る温度まで強制的に冷却される。

図１０は、本発明に於けるコントローラ構成を示す図である。本発明に於ける装置コントローラとしてのコントローラシステム７００は、操作部７０１と、メインコントローラとしての統括制御部７０２と、第二搬送装置としての大気ロボットコントローラ７０４と、第一搬送装置としての外側移載装置（真空ロボット）３０を制御する真空ロボットコントローラ７０５とを制御する搬送制御部としてのメカコントローラ７０６がそれぞれＬＡＮ等の通信回線を介して接続されている。

コントローラシステム７００の構成について詳述する。操作部７０１は、モニタ表示、ロギングデータやアラームなどの解析、及びパラメータ編集などを行うための操作画面を表示する図示しない表示部と、該表示部等を介して入力された指示データや各種レシピや各種パラメータをファイルとして格納する図示しない記憶部と、システム制御コマンドなどのコマンドや各種レシピ作成時における各種パラメータの設定値を入力する図示しない入力部とを少なくとも備えている。統括制御部７０２は、コントローラシステム７００全体の運用制御を行う。また、メカコントローラ７０６は、真空ロボットコントローラ７０５、大気ロボットコントローラ７０４等を制御し、真空排気系制御、搬送系制御をそれぞれ行う。サブコントローラ７０３は、各プロセスチャンバＰＣとしてのプロセス制御（温度、カ゛ス、圧力、ＲＦ等）を行う。また、サブコントローラ７０３は、統括制御部７０２の直下の通信回線であるセンサバスを介してウェハ検知センサからの信号を取り込みウェハ情報を確認しながら各ロボット（真空ロボットや大気ロボット）と連動して、搬送制御を実施する。サブコントローラ７０３は、前記統括制御部７０２の命令（指示）に対して、ＭＦＣやＡＰＣ（オートプレッシャーコントローラ）やＲＦ発信機や温調（温度調節器）などに数値データを出力したり、反対に、数値を受信し、前記統括制御コントローラ７０２に送信する。また、サブコントローラ７０３は、命令（指示）されたバルブパターンに対してバルブインターロックを実行し、また、前記バルブパターンに対してハードインターロックを検出し適切な処理を実施する。尚、上記表示部、記憶部、入力部は、操作部７０１と別体であってもよいし、また、メインコントローラ７０１に対して別体であってもよい。尚、図示しないＧＥＭコントローラと、該ＧＥＭコントローラを介して図示しないユーザ(顧客)側のＨｏｓｔコンピュータと接続され、工場内の自動化システムを実現するよう構成される。

コントローラシステム７００の動作について詳述する。操作部７０１は、図示しない前記入力部または図示しない前記ホストコンピュータからの指示により、基板を処理する旨の指示を受け付けると、操作部７０１は、基板を搬送するための搬送レシピや基板を処理するためのプロセスレシピを統括制御部７０２にダウンロードして、該統括制御部７０２は、これらのレシピに基づいてサブコントローラ７０３やメカコントローラ７０６に対して制御を行う。そして、サブコントローラ７０３は、前記プロセスレシピに基づいて基板に所定の処理を施し、真空ロボットコントローラ７０５、大気ロボットコントローラ７０４は、搬送レシピや上記ウェハ情報に基づいて真空ロボットや大気ロボットを動作させて基板の搬送を行う。

次に、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置１００の記憶部としてのハードディスク内の構造を例示する図３について説明する。図３は、ハードディスクの全体を示すものである。図３では、実行環境用エリアと前記基板処理装置１００が稼動しているときに自動的に生成されるトレースログファイルが格納されるトレースログエリアが設けられている。更に、実行環境用エリアには、基板処理装置１００内で実行される各種ファイルであるプログラム実行ファイル、プログラムを実行する際に利用される制御パラメータが定義されているプログラム実行パラメータファイル、制御情報ファイル、テンポラリファイル等が格納されている。トレースログエリアには、トレースログファイルを管理する為のトレースログファイル管理テーブルと複数のトレースログファイルが格納されている。尚、図において、トレースログファイルは、日毎に複数のトレースログファイルがまとめて格納される。個々のログファイル名は、年月日時分秒とサブストレートＩＤで作成されている。例えば、２０１０年３月１日午前８時５分８秒に作成されたログファイルは、‘20100301080508.ｘｘ.log’となる。ここで、実行環境用エリアとは、基板処理システム実行に必須のファイルを保持するエリアのことであり、制御情報ファイルとは、トレースログファイルの出力方式を制御しているファイルのことであり、テンポラリファイルとは、プログラム実行中にデータの一時的保持を目的として作成するファイルのことである。

図４は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置１００の記憶部としてのハードディスク内のトレースログエリアに格納されるトレースログファイル管理テーブルの構造を例示する図である。トレースログファイル管理テーブルを設けることにより、トレースログファイルを適切に保持および管理することができる。

図４に示すトレースログファイル管理テーブルは、レコード数(レコードの総数)を定義するレコードとトレースログ情報を定義するレコードで構成される。このレコードは、前記基板処理装置１００が稼動中に自動生成されたトレースログファイルの数だけ設けられている。

トレースログ情報を定義するレコードは、トレースログファイルを長期保存するか否か定義するレコードと、トレースログファイルを保存する最大期間を定義するレコードと、トレースログファイルの名称(エイリアス名称)を定義するレコードで少なくとも構成される管理情報部と、トレースログファイルで実行されたレシピについて、少なくとも開始時刻、終了時刻、蓄積件数、ロットＩＤ、キャリアＩＤ、サブストレートＩＤ、JOB名、レシピ名で構成される詳細情報部とを有する。ここで、開始時刻とは、CJOB(Control JOB)が開始した時刻、終了時刻とは、CJOBが終了した時刻である。CJOBとは、PJOB(Process JOB)の実行順序を指定した制御情報であり、PJOBとは、ウェハとレシピを指定した制御情報である。そして、CJOB名とは、CJOBの名称であり、PJOB名とは、PJOBの名称である。また、蓄積件数とは、開始時刻と終了時刻の間で取得したトレースデータの蓄積件数であり、ロットIDとは、ロット(所定の製品単位)の名称であり、キャリアIDとは、キャリア（FOUP等）の名称であり、サブストレートIDとは、基板(ウェハ)の名称であり、レシピ名とは、レシピ（ウェハに対する制御情報）の名称である。

図５は、トレースログファイル全体を管理する制御情報ファイルの構造を例示する図である。本実施の形態において、長期保存指定できる最大数を設定する為のレコードを追加している。また、図５に示す制御情報ファイルは、上記レコードの他に個々のトレースログファイルの最大のサイズを設定するレコードと、トレースログデータをロギング(収集)する周期を設定するレコードと、収集したトレースログデータ数を設定するレコードと、収集されるトレースログデータの項目を設定するレコードとで少なくとも構成される。

本実施の形態において、トレースログファイル管理テーブルを設け、制御情報ファイルにトレースログファイル全体を長期保存指定できる最大数を設定する為のレコードを追加した。

それらにより、所望のトレースログファイルを容易に検索や参照するだけでなく、所望のトレースログファイルの長期保存が可能となりつつ、一方で、フレキシブルなトレースログファイルの削除が可能となったため、長期保存ログ肥大化によるディスク圧迫も防止される。

図６を用いて、処理手順を説明する。

トレースログデータの追加時、トレースログファイルの追加およびトレースログ管理テーブル（トレースログ管理レコード総数＆レコード）の更新（追加）を行う。そして、所望のトレースログファイルを抽出時、トレースログ管理レコードより該当するものを検索し、対応するトレースログファイルを抽出する。トレースログファイル削除時（自動的な定周期）、トレースログ管理レコードより削除可能なものを検索し、対応するトレースログファイルの削除およびトレースログ管理テーブル（トレースログ管理レコード総数＆レコード）の更新（削除）を行う。

なお、本発明の実施の形態では、半導体製造装置として枚葉式の基板処理装置を説明したが縦型の基板処理装置や横型の基板処理装置にも適用できる。また、基板（ウェハ）を処理する半導体製造装置だけでなく、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する処理装置にも適用することができる。
このように、本発明は種々の改変が可能であり、本発明はこのように改変された発明に及ぶことは当然である。

次に、本発明の好ましい他の態様を付記するが、以下の記載に限定されないのは言うまでもない。

［実施の態様１］
基板を処理する際に生成されるデータを記憶手段にファイルとして蓄積する基板処理装置であって、
前記記憶手段は、長期保存指定可能なファイルの最大数を指定するレコードを少なくとも含む制御情報ファイルと、長期保存対象ファイル、前記ファイルの最大保存期間及びファイル検索速度を向上させる為に作成されるインデックス部とで少なくとも構成されるファイル管理テーブルとを少なくとも有する。
［実施の態様２］
前記記憶手段は、前記ファイルに応じて各エリアに保存されるように構成される。
［実施の態様３］
前記ファイルは、トレースログデータファイルである。
［実施の態様４］
前記ファイルは、周期的に前記記憶手段内を検索される。
［実施の態様５］
前記ファイルが、長期保存対象ファイルで無い場合、蓄積日時が最も古いファイルを削除され、長期保存対象ファイル且つ指定された長期保存期間内であれば、蓄積日時が最も古いファイルであっても、削除されない。
［実施の態様６］
基板を処理する際に生成されるデータを記憶手段にファイルとして蓄積する群管理装置であって、
前記記憶手段は、長期保存指定可能なファイルの最大数を指定するレコードを少なくとも含む制御情報ファイルと、長期保存対象ファイル、前記ファイルの最大保存期間及びファイル検索速度を向上させる為に作成されるインデックス部とで少なくとも構成されるファイル管理テーブルとを少なくとも有する。
［実施の態様７］
基板を処理する際に生成されるデータを記憶手段にファイルとして蓄積する基板処理装置と、前記基板処理装置を管理する群管理装置で構成される基板処理システムであって、
前記記憶手段は、長期保存指定可能なファイルの最大数を指定するレコードを少なくとも含む制御情報ファイルと、長期保存対象ファイル、前記ファイルの最大保存期間及びファイル検索速度を向上させる為に作成されるインデックス部とで少なくとも構成されるファイル管理テーブルとを少なくとも有する。

１ 基板処理システム
１０ 基板処理装置
２０ 群管理装置
２００ ウェハ(基板)

Claims (2)

1. 基板を処理する際に生成されるデータをファイルで記憶手段に蓄積する基板処理装置であって、
   前記記憶手段は、長期保存指定可能なファイルの最大数を指定するレコードを少なくとも含む制御情報ファイルと、長期保存する対象のファイル、前記ファイルの最大保存期間及び前記ファイルを検索する速度を向上させる為に作成されるインデックス部とで少なくとも構成されるファイル管理テーブルとを少なくとも有することを特徴とする基板処理装置。
   
2. 基板を処理する際に生成される種々のデータを記憶手段に蓄積する群管理装置であって、
   前記記憶手段は、長期保存指定可能なファイルの最大数を指定するレコードを少なくとも含む制御情報ファイルと、長期保存する対象のファイル、前記ファイルの最大保存期間及び前記ファイルを検索速度を向上させる為に作成されるインデックス部とで少なくとも構成されるファイル管理テーブルとを少なくとも有することを特徴とする群管理装置。