JP2012190633A - 異方導電性シートおよび異方導電性シートの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】異物の付着による導電性の悪化を抑えることができる異方導電性シートおよび異方導電性シートの製造方法を提供を提供する。
【解決手段】異方導電性シート１０はシート体２０を備え、このシート体２０の非導電部３０は、絶縁性を有すると共に弾性を有する弾性樹脂を材質として形成され、導電部４０は、金属を材料として含む複数の導電性粒子が弾性樹脂４２で覆われる状態で形成され、導電部４０のうち厚み方向における少なくとも一方の端部では、複数の導電性粒子４１が弾性樹脂４２に覆われずに露出し、その露出により隣り合う導電性粒子４１の間には凹部４３が形成され、露出している導電性粒子４１の厚み方向における突出頂部４１ａには、当該厚み方向において最も高い第１位置に位置するものが複数存在し、露出している導電性粒子４１の周囲には隆起部４４が設けられ、この隆起部４４は当該隆起部４４以外の部位よりも厚み方向において突出している。
【選択図】図１

Description

本発明は、異方導電性シートおよび異方導電性シートの製造方法に関する。

プリント回路基板などの検査対象物の電気的性能を検査するために、各種の異方導電性シートが提案されている。このような異方導電性シートの中には、特許文献１および特許文献２に示すものがある。特許文献１には、所定の粒子径の導電性磁性体粒子を磁場の作用によって絶縁性高分子弾性体のシート内において再配列させ、絶縁部と加圧導電部とが明瞭に分離できる異方導電性シートが開示されている。また、特許文献２にも、同様の構成を有する異方導電性シートが開示されている。

特公昭５６−１９８１７号公報 特開昭５８−１５２０３３号公報

ところで、上記の電気的性能の検査のために、異方導電性シートを用いる場合、コンタミネーションによって導電性が悪化する、という問題がある。すなわち、電気的性能の検査を行うにつれて、加圧導電部のうち検査対象物との接触部位には、徐々に異物が付着していき、異方導電性シートの検査能力が悪化していく、という問題がある。そのため、異方導電性シートの加圧導電部においては、異物の付着による導電性の悪化を抑えることができることが求められている。

しかしながら、上述の特許文献１および特許文献２に開示の技術を用いても、そのような異方導電性シートの実現は困難である。

本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、異物の付着による導電性の悪化を抑えることができる異方導電性シートおよび異方導電性シートの製造方法を提供しよう、とするものである。

上記課題を解決するために、本発明の異方導電性シートの第１の側面は、絶縁性を有すると共に弾性を有する弾性樹脂を材質とする非導電部と、金属を材料として含む複数の導電性粒子とこの導電性粒子を覆う弾性樹脂とを材質とする導電部と、を有するシート体を備え、非導電部は、絶縁性を有すると共に弾性を有する弾性樹脂を材質として形成され、導電部は、金属を材料として含む複数の導電性粒子が弾性樹脂で覆われる状態で形成され、導電部は、導電性粒子を互いに接触させることによって導電性を発現し、導電部のうちシート体の厚み方向における少なくとも一方の端部では、複数の導電性粒子が弾性樹脂に覆われずに露出し、その露出により隣り合う導電性粒子の間には凹部が形成され、露出している導電性粒子の前記厚み方向における突出頂部には、当該厚み方向において導電部で最も突出する位置である第１位置に位置するものが複数存在し、導電部のうち露出している導電性粒子の周囲には隆起部が設けられていて、この隆起部は当該隆起部以外の部位よりも厚み方向において突出して設けられている、ものである。

このように構成する場合、導電部において異物の付着による導電性の悪化を抑えることが可能となる。すなわち、導電性粒子が弾性樹脂で覆われて略面一となり、隣り合う導電性粒子の間に凹部が存在しない状態の場合、異物は層状に堆積していき、その堆積によって導電性が徐々に悪化していく。しかしながら、本発明のように、導電性粒子が弾性樹脂によって覆われずに露出し、しかも隣り合う導電性粒子の間に凹部が存在する場合には、検査対象物の電極部と導電部との接触は面状とはならずに、当該電極部と導電性粒子とが局部的に接触する状態となる。それにより、導電性粒子のうち電極部に対する接触部位に作用する荷重は大幅に増大し、それによって異物の除去効果が得られ、異物が堆積し難くなる。そのため、異物の堆積による導電性の悪化を抑えることが可能となる。また、異物は、露出している導電性粒子の突出頂部よりも、凹部側により堆積し易くなるため、導電性粒子のうち電極部と接触する部位における異物の堆積は、相対的に少なくなる。それによっても、異物の堆積による導電性の悪化を抑えることが可能となる。さらに、導電性粒子の露出による導電部が凹凸形状となって導電部の表面積が増加する。そのため、仮に異物が層状に堆積したとしてもその厚みが薄くなり、それによって異物の層状の堆積による導電性の悪化を抑えることが可能となる。

また、導電部のうちシート体の厚み方向における少なくとも一方の端部では、導電性粒子が弾性樹脂によって覆われずに露出し、しかも隣り合う導電性粒子の間には凹部が存在する。そのため、導電性粒子が弾性樹脂によって覆われている場合と比較して、検査対象物の電極部に対する導電性を向上させることが可能となる。すなわち、導電性粒子の露出によって、導電部のうち従来は弾性樹脂で覆われていた部分も露出するため、導電部のうち露出する部分の表面積が増加する。さらには、弾性樹脂が、導電性粒子の露出の分だけ取り除かれることにより、導電性粒子が動き易くなる（自由度が増す）。そのため、検査対象物の電極部に導電性粒子が押し付けられる場合、従来は、それぞれの導電性粒子に存在する凸部のうち、たとえば１つの凸部で電極部に接触していたものが、それぞれの導電性粒子に存在する複数の凸部で電極部に接触する状態が実現される。それにより、導電性を向上させることが可能となる。加えて、上述のように異物が導電性粒子に堆積し難くなることによっても、導電性を向上させることが可能となる。また、本発明では、複数の導電性粒子の突出頂部が厚み方向における第１位置に位置し、その第１位置は厚み方向において導電部で最も突出している位置となっている。そのため、電極部に対して多点接触を確保でき、それによって導電性を向上させることが可能となる。

また、単純に弾性樹脂を除去して導電性粒子を露出させただけでは、導電性粒子が導電部から脱落し易くなり、長期の使用に耐えられないものとなる。しかしながら、本発明では、導電部のうち露出している導電性粒子の周囲には隆起部が設けられていて、この隆起部は当該隆起部以外の部位よりも厚み方向において突出して設けられている。このような隆起部の存在により、導電性粒子が脱落するのを抑えることが可能となり、それによって異方導電性シートを長期に亘って使用することが可能となる。

また、本発明の異方導電性シートの他の側面は、上述の発明に加えて更に、突出頂部には、厚み方向において第１位置よりも突出していない部位に位置するものが複数存在する、ことが好ましい。

このように構成する場合には、第１位置よりも突出していない（低い）位置に位置する突出頂部が複数存在する状態となる。このような導電性粒子においても、弾性樹脂で覆われずに露出することで、導電性を向上させることが可能となる。すなわち、検査対象物の電極部に導電性粒子が押し付けられ、その導電性粒子が若干シート体側（低い側）に向かうと、第１位置よりも突出していない（低い）位置に位置する導電性粒子の突出頂部にも、電極部が新たに接触する状態が実現できる。このような新たな接触に関する導電性粒子は、従前は弾性樹脂で覆われて接触不能となっていたものの、本発明では、このような導電性粒子も電極部に接触させる状態を実現可能となるため、導電性を向上させることが可能となる。

さらに、本発明の異方導電性シートの他の側面は、上述の発明に加えて更に、隆起部の厚み方向に沿う突出側の頂部と突出頂部との間の厚み方向における寸法は、複数の導電性粒子の粒子径の平均値の半分以下である、ことが好ましい。

このように構成する場合には、隆起部の突出側の頂部と突出頂部の間の厚み方向における寸法が、複数の導電性粒子の粒子径の平均値の半分以下であるため、隆起部は、導電性粒子を保持する機能を十分に有したものとなる。それにより、導電性粒子が導電部から脱落するのを抑えることが可能となる。また、このようにすると、弾性樹脂で覆われずに露出する導電性粒子が多くなるため、導電部における導電性を向上させることが可能となる。

また、本発明の異方導電性シートの他の側面は、上述の発明に加えて更に、隆起部の厚み方向に沿う突出側の頂部と突出頂部との間の厚み方向における寸法は、導電性粒子の粒子径の最小値の半分以下である、ことが好ましい。

このように構成する場合には、隆起部の突出側の頂部と突出頂部の間の厚み方向における寸法が、導電性粒子の粒子径の最小値の半分以下であるため、隆起部は、導電性粒子を保持する機能を十分に有したものとなる。それにより、導電性粒子が導電部から脱落するのを一層良好に抑えることが可能となる。

また、本発明の他の側面は、異方導電性シートの製造方法であって、絶縁性を有すると共に弾性を有する弾性樹脂を材質とする非導電部と、金属を材料として含む複数の導電性粒子とこの導電性粒子を覆う弾性樹脂とを材質とする導電部と、を有するシート体を形成するシート形成工程と、シート体の厚み方向における端面の少なくとも一方の面側にレーザ光を照射するレーザ光照射工程と、を有し、導電部は、導電性粒子を互いに接触させることによって導電性を発現し、レーザ光照射工程により、導電部のうちシート体の厚み方向における少なくとも一方の端部には、弾性樹脂に覆われずに露出する複数の導電性粒子が設けられると共に、その露出により隣り合う導電性粒子の間には凹部が形成され、レーザ光照射工程により、露出している導電性粒子の厚み方向における突出頂部であって当該厚み方向において導電部で最も突出する位置である第１位置に位置するものが複数形成され、さらにレーザ光照射工程により、導電部のうち露出している導電性粒子の周囲には隆起部が形成され、この隆起部は当該隆起部以外の部位よりも厚み方向において突出して設けられている、ことが好ましい。

このように構成する場合には、導電部において異物の付着による導電性の悪化を抑える異方導電性シートを作製することが可能となる。すなわち、導電性粒子が弾性樹脂で覆われて略面一となり、隣り合う導電性粒子の間に凹部が存在しない状態の場合、異物は層状に堆積していき、その堆積によって導電性が徐々に悪化していく。しかしながら、本発明のように、レーザ光照射工程によって弾性樹脂に覆われずに露出する複数の導電性粒子が設けられ、しかも隣り合う導電性粒子の間に凹部が形成される場合には、検査対象物の電極部と導電部との接触は面状とはならずに、当該電極部と導電性粒子とが局部的に接触する状態となる。それにより、導電性粒子のうち電極部に対する接触部位に作用する荷重は大幅に増大し、それによって異物の除去効果が得られ、異物が堆積し難くなる。そのため、異物の堆積による導電性の悪化を抑えることが可能となる。また、異物は、露出している導電性粒子の突出頂部よりも、凹部側により堆積し易くなるため、導電性粒子のうち電極部と接触する部位における異物の堆積は、相対的に少なくなる。それによっても、異物の堆積による導電性の悪化を抑えることが可能となる。さらに、導電性粒子の露出による導電部が凹凸形状となって導電部の表面積が増加する。そのため、仮に異物が層状に堆積したとしてもその厚みが薄くなり、それによって異物の層状の堆積による導電性の悪化を抑えることが可能となる。

また、導電部のうちシート体の厚み方向における少なくとも一方の端部では、導電性粒子が弾性樹脂によって覆われずに露出し、しかも隣り合う導電性粒子の間には凹部が存在する。そのため、導電性粒子が弾性樹脂によって覆われている場合と比較して、検査対象物の電極部に対する導電性を向上させることが可能となる。すなわち、導電性粒子の露出によって、導電部のうち従来は弾性樹脂で覆われていた部分も露出するため、導電部のうち露出する部分の表面積が増加する。さらには、弾性樹脂が、導電性粒子の露出の分だけ取り除かれることにより、導電性粒子が動き易くなる（自由度が増す）。そのため、検査対象物の電極部に導電性粒子が押し付けられる場合、従来は、それぞれの導電性粒子に存在する凸部のうち、たとえば１つの凸部で電極部に接触していたものが、それぞれの導電性粒子に存在する複数の凸部で電極部に接触する状態が実現される。それにより、導電性を向上させることが可能となる。加えて、上述のように異物が導電性粒子に堆積し難くなることによっても、導電性を向上させることが可能となる。また、本発明では、複数の導電性粒子の突出頂部が厚み方向における第１位置に位置し、その第１位置は厚み方向において導電部で最も突出している位置となっている。そのため、電極部に対して多点接触を確保でき、それによって導電性を向上させることが可能となる。

また、単純に弾性樹脂を除去して導電性粒子を露出させただけでは、導電性粒子が導電部から脱落し易くなり、長期の使用に耐えられないものとなる。しかしながら、本発明では、レーザ光照射工程によって導電部のうち露出している導電性粒子の周囲には隆起部が形成され、この隆起部は当該隆起部以外の部位よりも厚み方向において突出して設けられている。このような隆起部の存在により、導電性粒子が脱落するのを抑えることが可能となり、それによって異方導電性シートを長期に亘って使用することが可能となる。

本発明によると、異物の付着による導電性の悪化を抑えることが可能となる。

本発明の一実施の形態に係る異方導電性シートのシート体の構成を示す部分的な側断面図である。 本発明の一実施の形態に係る異方導電性シートの構成を示す平面図である。 図１のシート体の導電部付近を拡大して示す部分的な側断面図である。 図３の導電部における導電性粒子を拡大して示す部分的な側断面図である。 本発明の一実施の形態における製造方法で用いられる金型の形状を示す側断面図であり、（Ａ）は下型と上型とが加圧を行う前の状態を示し、（Ｂ）は下型と上型とが加圧を行っている状態を示す。 本発明の一実施の形態においてシート体を作製するための処理フローを示す図である。 図１のシート体の導電部を検査対象物の電極に押し付けた状態を示す部分的な側断面図である。

以下、本発明の一実施の形態に係る、異方導電性シート１０について、図面に基づいて説明する。なお、以下の説明においては、シート体２０の厚み方向を、高さ方向（Ｚ方向）として説明し、「高い」とは高さ方向においてシート体２０から離間している状態を指し、「低い」とは、「高い」場合と比較してシート体２０に近接している状態を指すものとする。

図２に示すように、異方導電性シート１０は、シート体２０を有している。シート体２０は、異方導電性シート１０の主要な構成要素であり、このシート体２０が図２に示すようなフレーム１１に支持されることによって、異方導電性シート１０が構成される。ただし、異方導電性シート１０は、フレーム１１を具備しないものとしても良い。

シート体２０は、絶縁性を有すると共に可撓性を有すゴム材料（請求項でいう弾性樹脂）を主要な材質として形成されている。詳細を述べると、シート体２０は、非導電部３０と導電部４０とを有している。非導電部３０は、上述のゴム材料（ゴムマトリックス）を材質として形成されている。また、導電部４０は、上述のゴム材料と、このゴム材料の中に偏在して分散する導電性粒子４１とを材質として形成されている。なお、以下の説明においては、導電部４０のうち、導電性粒子４１を除いたゴム材料の部分を、ゴム部４２と称呼する。

なお、ゴムマトリックスであるゴム材料としては、公知のゴム材料が利用でき、たとえば、シリコーンゴム、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、クロロプレンゴム、エピクロルヒドリンゴムなどを挙げることができる。なお、これらの中でもゴム材料としてはシリコーンゴムが好ましい。

また、導電性粒子４１としては、少なくともその表面が導電性材料から構成されると共に、粒子全体としては磁性を有するものであれば特に限定されないが、通常は、芯材粒子と、この芯材粒子を被覆する被覆層とを有するものであることが好ましい。ここで、芯材粒子としては、磁性を示す材料を含む磁性粒子、あるいは、非磁性材料のみからなる非磁性粒子を用いることができる。ここで、磁性粒子としては、たとえば、ニッケル、鉄、コバルト等の金属やこれらの合金からなる粒子が利用でき、非磁性粒子としては、非磁性金属粒子、ガラスビーズ、樹脂粒子などが利用できる。一方、被覆層としては、芯材粒子として磁性粒子を用いる場合には、たとえば、金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性材料が用いられ、芯材粒子として非磁性粒子を用いる場合には、たとえば、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性材料を用いられる。ここで、被覆層は、メッキ法などの公知のコーティング方法により芯材粒子表面に形成することができる。なお、コスト、導電性能および耐腐食性をバランス良く両立させることができる観点からは、芯材粒子としてニッケル粒子を用い、被覆層としては銀を用いることが好ましい。

また、上述の導電性粒子４１の平均粒径としては、特に限定されないが、導電部４０における導電性粒子４１間の電気的接触を確保する等の実用上の観点から、１０μｍ〜１００μｍの範囲内が好ましく、２０μｍ〜８０μｍの範囲内がより好ましい。

また、導電部４０の中に占める導電性粒子４１の体積割合は、導電部４０がその厚み方向（Ｚ方向）に対して加圧された際に抵抗値が減少する導電特性（加圧導電性）が発揮できるのであれば特に限定されないが、３体積％以上３０体積％以下が好ましく、５体積％以上２０体積％以下がより好ましい。体積割合を上記範囲内とすることにより、回路基板等の検査対象物５０（図７参照）の電気的検査に適した加圧力範囲内で加圧導電性が発現できる。

また、導電性粒子４１とゴム部４２とでは、後述する特定波長のレーザー光を照射した場合のエネルギー吸収率に差が存在している。すなわち、特定波長のレーザー光を照射した場合においては、ゴム部４２の方が、導電性粒子４１よりもエネルギー吸収率が高い状態となっている。そのため、ゴム部４２では特定波長のレーザー光の照射により温度が上昇して、ゴム材料が気化（蒸発）する。一方、導電性粒子４１では、特定波長のレーザー光を照射しても、温度がさほど上昇せず、当該導電性粒子４１に気化（蒸発）が生じない状態となっている。なお、特定波長のレーザー光としては、炭酸ガスレーザーがあり、その波長は、９．４μｍから１０．６μｍの範囲内となっている。なお、上記の特定波長には、多少の誤差が許容され、約９．４μｍから約１０．６μｍの範囲内とすることもできる。なお、導電性粒子４１を露出させつつ、後述する隆起部４４を形成可能なものであれば、レーザー光は、どのような波長のものであっても良い。

図３は、シート体２０のうち、導電部４０の表面付近を拡大して示す側断面図である。図３に示すように、導電部４０においては、導電性粒子４１がゴム部４２の表面４２ａよりも突出していて、非導電部３０の表面３０ａよりも突出している。すなわち、導電部４０の表面においては、導電性粒子４１の突出頂部４１ａは、ゴム部４２の表面４２ａよりも高く突出していて、導電性粒子４１にはゴム部４２（弾性樹脂）で覆われずに露出している部分が存在している。また、図３に示すように、導電性粒子４１の表面４２ａからの突出により、隣り合う導電性粒子４１と表面４２ａとで囲まれる部分が窪んだ凹部４３となっている。

ここで、突出頂部４１ａは、導電部４０において最も高く突出している。しかしながら、突出頂部４１ａには、高さ方向（Ｚ方向）において最も高い位置（第１位置）に位置する突出頂部４１ａ１と、突出頂部４１ａ１よりも高さ方向（Ｚ方向）において低い位置に位置する突出頂部４１ａ２とが存在している。また、図３に示すように、第１位置に位置する突出頂部４１ａ１は複数存在している。そのため、ある導電部４０においては、検査対象物５０の電極部５１（図７参照）に対して多点接触を実現できるものとなっている。

また、図４に示すように、導電性粒子４１の露出部分と表面４２ａとの境界部分には、隆起部４４が設けられている。隆起部４４は、表面４２ａのうち導電性粒子４１に近接する部分が、上方（高くなる向き）に向かって突出（隆起）する状態に設けられている。この隆起部４４の存在により、導電性粒子４１が表面４２ａから突出していても、当該導電性粒子４１が脱落するのを抑えることが可能となっている。ここで、隆起部４４は、表面４２ａに沿って導電性粒子４１から離間するにつれて、高さが低くなるように設けられている。すなわち、隆起部４４は、いわば裾野状に設けられている。

なお、隆起部４４の高さ方向（Ｚ方向）に沿う突出側の頂部４４ａと突出頂部４１ａとの間の高さ方向（Ｚ方向）における寸法は、複数の導電性粒子４１の粒子径の平均値の半分以下であることが好ましい。しかしながら、隆起部４４の高さ方向（Ｚ方向）に沿う突出側の頂部４４ａと突出頂部４１ａとの間の高さ方向（Ｚ方向）における寸法は、複数の導電性粒子４１の粒子径の最小値の半分以下であっても良い。

また、隆起部４４の頂部４４ａは、その全周に亘って均一な高さに設けられていても良いが、通常は周方向に沿って凹凸する形状に設けられている。なお、頂部４４ａは、隆起部４４ａのうち最も高い部分とすることも可能であり、高さ方向（Ｚ方向）に沿う隆起部４４の任意の断面において最も高い部分とすることも可能であり、高さ方向（Ｚ方向）に沿う隆起部４４の任意の断面において最も高い部分の平均値とすることも可能である。

また、導電部４０における導電性粒子４１の突出は、シート体２０の表面または裏面の少なくとも一方に存在しているが、好ましくは、シート体２０の表裏両面において、導電部４０における導電性粒子４１の突出が存在するものとすることが好ましい。ここで、シート体２０の表面または裏面のいずれか一方は、請求項における少なくとも一方の端部に対応する。

＜異方導電性シート１０の製造方法について＞
次に、上述した異方導電性シート１０の製造方法について説明する。本実施の形態における異方導電性シートの製造は、以下には、異方導電性シート１０のうちシート体２０を作製するフローを、図６に示しつつ説明する。

まず、流動性のある原料混合物にて、金型１００のキャビティ部を充填する（ステップＳ０１）。ここで、原料混合物とは、ゴム原料および導電性粒子４１を含み、流動性を有するものである。なお、充填においては、上型１１０の上側キャビティ部１１１と、下型１２０の下側キャビティ部１２１とのそれぞれに、原料混合物を充填するようにするのが好ましい。

その充填の後に、不図示の掻き取り部材を用いて、余分な原料混合物を掻き取るようにする（ステップＳ０２）。その後に、上型１１０と下型１２０とを押し付けて、加圧する（ステップＳ０３）。その加圧と同時または後に、原料混合物に磁場を印加する（ステップＳ０４）。ここで図５に示すように、上型１１０と下型１２０のそれぞれには、磁性ピン１３０が設けられている。このとき、上型１１０側に位置する磁性ピン１３０Ａと、下型１２０側に位置する磁性ピン１３０Ｂとは、同一の中心線Ｐ上に位置するように設けられている。このとき、磁性ピン１３０Ａ，１３０Ｂの直径は、導電部４０に対応するものとなっている。

なお、対向する一対の磁性ピン１３０Ａ，１３０Ｂの間に磁場を印加すると、それぞれの磁力線は略平行を為す状態となる。しかしながら、磁性ピン１３０Ａ，１３０Ｂの端部での磁力線の向きを勘案すると、磁性ピン１３０Ａ，１３０Ｂの直径は、作製される導電部４０の直径よりも小さいものとすることができる。また、磁性ピン１３０Ａ，１３０Ｂは、原料混合物に磁場を印加可能であれば、永久磁石を用いても良く、電磁石を用いても良い。

以上のようにして、原料混合物に対して磁場を印加して導電性粒子４１を導電部４０に対応する部位に偏在させつつ、原料混合物を硬化させる（ステップＳ０５）。

次に、硬化したシート体２０を金型１００から取り出し、取り出したシート体２０にマスクを位置させ、加工対象部位以外を覆う状態とする（ステップＳ０６）。その状態で、マスクに覆われていない部位（加工対象部位）に、特定波長のレーザー光を照射する（ステップＳ０７）。このレーザー光の照射は、以下の性質に着目してなされている。すなわち、種々の波長のレーザー光を照射して実験したところ、特定波長のレーザー光を照射した場合には、導電性粒子４１は、ゴム材料よりもエネルギー吸収率が低いことが確認された。そして、この性質に着目して、シート体２０の表面に特定波長のレーザー光を照射したところ、その照射部位のうち、導電性粒子４１以外のゴム部４２および非導電部３０においては、ゴム材料が気化（蒸発）して、表面４２ａおよび表面３０ａの高さが低くなることが確認された。一方、導電性粒子４１は、ゴム材料よりもエネルギー吸収率が低い。そのため、導電性粒子４１にレーザー光が照射されても、導電性粒子４１は気化（蒸発）しないことが確認された。そのため、相対的に表面４２ａおよび表面３０ａから、導電性粒子４１が突出する状態となり、図４に示す状態が実現される。

ここで、特定波長のレーザー光の照射においては、隆起部４４が形成される、ということも確認された。この隆起部４４は、以下の原理によって形成されると考えられる。すなわち、特定波長のレーザー光が照射されると、エネルギーの吸収によって、ゴム部４２のゴム材料または非導電部３０のゴム材料の温度が上昇する。しかしながら、導電性粒子４１は、ゴム材料よりもエネルギー吸収率が低いため、当該導電性粒子４１においては、温度がさほど上昇しない。そのため、ゴム材料のうち導電性粒子４１の近傍に位置するものは、相対的に温度の低い導電性粒子４１の存在によって、温度の上昇が抑えられる。それにより、導電性粒子４１の周囲には、図４に示すような隆起部４４が形成される状態となる、と考えられる。

なお、シート体２０に平行な平面をＸＹ平面とすると、レーザー光を加工対象部位に照射する場合、たとえばＸ方向に沿って所定の速度で移動しながら特定波長のレーザー光を照射し（第１走査ステップ）、次にＹ方向に移動させ（Ｙ移動ステップ）、その後に再びＸ方向に沿って所定の速度で移動しながら特定波長のレーザー光を照射する（第２走査ステップ）。このとき、第１走査ステップの照射部位と第２走査ステップの照射部位との間に段差等の明確な境界を形成させないために、第１走査ステップの照射部位と第２走査ステップの照射部位とが若干重なるようにする。以後、同じようにして、特定波長のレーザー光を、加工対象部位の全面に照射させる。

以上のようなレーザー光の照射を行うことにより、図４および図５に示すような、ゴム部４２（弾性樹脂）で覆われずに露出している部分が存在する導電性粒子４１を有するシート体２０が作製される。そして、このシート体２０をフレーム１１で支持させることによって、異方導電性シート１０が作製される。

＜効果＞
以上のような構成の異方導電性シート１０および異方導電性シート１０の製造方法によれば、導電部４０において異物の付着による導電性の悪化を抑えることが可能となる。

すなわち、導電性粒子４１がゴム部４２（弾性樹脂）で覆われて略面一となり、隣り合う導電性粒子４１の間に凹部４３が存在しない状態の場合、異物は層状に堆積していき、その堆積によって導電性が徐々に悪化していく。しかしながら、導電性粒子４１がゴム部４２（弾性樹脂）によって覆われずに露出し、しかも隣り合う導電性粒子４１の間に凹部４３が存在する場合には、図７に示す検査対象物５０の電極部５１と導電部４０との接触は面状とはならずに、電極部５１と導電性粒子４１とが局部的に接触する状態となる。それにより、導電性粒子４１のうち電極部５１に対する接触部位に作用する荷重は大幅に増大し、それによって異物の除去効果が得られ、異物が堆積し難くなる。そのため、異物の堆積による導電性の悪化を抑えることが可能となる。

また、本実施の形態では、異物は、露出している導電性粒子４１の突出頂部４１ａよりも、凹部４３側により堆積し易くなる。そのため、導電性粒子４１のうち電極部５１と接触する部位における異物の堆積は、相対的に少なくなる。それによっても、異物の堆積による導電性の悪化を抑えることが可能となる。さらに、導電性粒子４１の露出によって導電部４０が凹凸形状となり、導電部４０の表面積が増加する。そのため、仮に異物が層状に堆積したとしてもその厚みが薄くなり、それによって異物の層状の堆積による導電性の悪化を抑えることが可能となる。

また、本実施の形態では、導電部４０のうちシート体２０の厚み方向（Ｚ方向）における表面および裏面のうち少なくとも一方側では、導電性粒子４１がゴム部４２（弾性樹脂）によって覆われずに露出し、しかも隣り合う導電性粒子４１の間には凹部４３が存在する。そのため、導電性粒子４１がゴム部４２（弾性樹脂）によって覆われている場合と比較して、電極部５１に対する導電性を向上させることが可能となる。

すなわち、本実施の形態では、導電性粒子４１の露出によって、導電部４０のうち従来はゴム部４２（弾性樹脂）で覆われていた部分も露出するため、導電部４０のうち露出する部分の表面積が増加する。さらには、ゴム部４２（弾性樹脂）が、導電性粒子４１の露出の分だけ取り除かれることにより、導電性粒子４１が動き易くなる（自由度が増す）。そのため、検査対象物５０の電極部５１に導電性粒子４１が押し付けられる場合、従来は、それぞれの導電性粒子４１に存在する凸部のうち、たとえば１つの凸部で電極部５１に接触していたものが、それぞれの導電性粒子４１に存在する複数の凸部で電極部５１に接触する状態が実現される（図７参照）。それにより、本実施の形態では、導電性を向上させることが可能となる。加えて、上述のように異物が導電性粒子４１に堆積し難くなることによっても、導電性を向上させることが可能となる。

また、本実施の形態では、突出頂部４１ａには、高さ方向（Ｚ方向）において最も高い位置（第１位置）に位置する突出頂部４１ａ１が存在している。そのため、検査対象物５０の電極部５１に対して多点接触を確保でき、それによって導電性を向上させることが可能となる。

ところで、導電性粒子４１を露出させるに当たり、単純にゴム部４２（弾性樹脂）を除去して導電性粒子４１を露出させただけでは、導電性粒子４１が導電部４０から脱落し易くなり、長期の使用に耐えられないものとなる。しかしながら、本実施の形態では、導電部４０のうち露出している導電性粒子４１の周囲には隆起部４４が設けられていて、この隆起部４４は当該隆起部４４以外の部位よりも厚み方向（Ｚ方向）において突出して設けられている。このような隆起部４４の存在により、導電性粒子４１が脱落するのを抑えることが可能となり、それによって異方導電性シート１０を長期に亘って使用することが可能となる。

また、本実施の形態では、突出頂部４１ａには、高さ方向（Ｚ方向）において最も高い位置（第１位置）に位置する突出頂部４１ａ１以外にも、突出頂部４１ａ１よりも高さ方向（Ｚ方向）において低い位置に位置する突出頂部４１ａ２が存在している。そのため、突出頂部４１ａ２を有する導電性粒子４１の存在によっても、導電性を向上させることが可能となる。

すなわち、図７に示すように、検査対象物５０の電極部５１に導電性粒子４１が押し付けられ、その導電性粒子４１が若干シート体２０側（低い側）に向かうと、突出頂部４１ａ１よりも突出していない（低い）位置に位置する突出頂部４１ａ２にも、電極部５１が新たに接触する状態が実現できる。すなわち、検査対象物５０の電極部５１が突出頂部５１ａ１に押し付けられる場合には、この突出頂部５１ａ１を有する導電性粒子４１が凹部４３の存在によって移動したり当該導電性粒子４１が沈み込むことにより、新たに突出頂部４１ａ２が電極部５１に接触する、と考えられる。ここで、このような新たな接触に関する突出頂部４１ａ２を有する導電性粒子４１は、従前はゴム部４２（弾性樹脂）で覆われて接触不能となっているが、本実施の形態では、このような導電性粒子４１も電極部５１に接触させる状態を実現可能となるため、導電性を向上させることが可能となる。

また、本実施の形態において、隆起部４４の高さ方向（Ｚ方向）に沿う突出側の頂部４４ａと突出頂部４１ａとの間の高さ方向（Ｚ方向）における寸法は、導電性粒子４１の粒子径の最小値の半分以下とする場合には、隆起部４４は、導電性粒子４１を保持する機能を十分に有したものとなる。それにより、導電性粒子４１が導電部４０から脱落するのを一層良好に抑えることが可能となる。

さらに、本実施の形態において、隆起部４４の高さ方向（Ｚ方向）に沿う突出側の頂部４４ａと突出頂部４１ａとの間の高さ方向（Ｚ方向）における寸法は、複数の導電性粒子４１の粒子径の平均値の半分以下とする場合には、隆起部４４は、導電性粒子４１を保持する機能を十分に有したものとなる。それにより、導電性粒子４１が導電部４０から脱落するのを抑えることが可能となる。また、このようにすると、ゴム部４２（弾性樹脂）で覆われずに露出する導電性粒子４１が多くなるため、導電部４０における導電性を向上させることが可能となる。

なお、上述した導電性の悪化を抑えること、および導電性粒子４１が脱落するのを防止することは、長期に亘って、安定的に検査対象物５０の電気的特性の検査を行えることにつながる。それにより、導電性が悪化する場合および導電性粒子４１が脱落する場合と比較して、電気的特性の検査におけるコストを低減することが可能となる。

＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態に係る、異方導電性シート１０および異方導電性シート１０の製造方法について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。

上述の実施の形態においては、異方導電性シート１０として、一体的なシート体２０を用いた場合について説明している。しかしながら、たとえばフレーム１１に対して着脱自在な導電性ピン部材を採用する場合に、当該導電性ピン部材の少なくとも一方の端面において、導電性粒子を露出させる構成を採用しても良い。このようにした場合でも、上述の実施の形態の場合と同様の効果を得ることが可能となる。

また、上述の実施の形態において、導電部４０の形状は特に問わない。たとえば、四角形状、六角形状のような多角形状、楕円形状、長円形状、星型等、種々の形状とすることが可能である。

１０…異方導電性シート
１１…フレーム
２０…シート体
３０…非導電部
３０ａ…表面
４０…導電部
４１…導電性粒子
４１ａ，４１ａ１，４１ａ２…突出頂部
４２…ゴム部
４２ａ…表面
４３…凹部
４４…隆起部
４４ａ…頂部
１００…金型
１１０…上型
１１１…上側キャビティ部
１２０…下型
１２１…下側キャビティ部
１３０Ａ，１３０Ｂ…磁性ピン

Claims (5)

1. 絶縁性を有すると共に弾性を有する弾性樹脂を材質とする非導電部と、金属を材料として含む複数の導電性粒子とこの導電性粒子を覆う前記弾性樹脂とを材質とする導電部と、を有するシート体を備え、
   前記非導電部は、絶縁性を有すると共に弾性を有する弾性樹脂を材質として形成され、
   前記導電部は、金属を材料として含む複数の導電性粒子が前記弾性樹脂で覆われる状態で形成され、
   前記導電部は、前記導電性粒子を互いに接触させることによって導電性を発現し、
   前記導電部のうち前記シート体の厚み方向における少なくとも一方の端部では、複数の前記導電性粒子が前記弾性樹脂に覆われずに露出し、
   その露出により隣り合う前記導電性粒子の間には凹部が形成され、
   露出している前記導電性粒子の前記厚み方向における突出頂部には、当該厚み方向において前記導電部で最も突出する位置である第１位置に位置するものが複数存在し、
   前記導電部のうち露出している前記導電性粒子の周囲には隆起部が設けられていて、この隆起部は当該隆起部以外の部位よりも前記厚み方向において突出して設けられている、
   ことを特徴とする異方導電性シート。
2. 請求項１記載の異方導電性シートであって、
   前記突出頂部には、前記厚み方向において前記第１位置よりも突出していない部位に位置するものが複数存在する、
   ことを特徴とする異方導電性シート。
3. 請求項１または２記載の異方導電性シートであって、
   前記隆起部の前記厚み方向に沿う突出側の頂部と前記突出頂部との間の前記厚み方向における寸法は、複数の前記導電性粒子の粒子径の平均値の半分以下である、
   ことを特徴とする異方導電性シート。
4. 請求項１または２記載の異方導電性シートであって、
   前記隆起部の前記厚み方向に沿う突出側の頂部と前記突出頂部との間の前記厚み方向における寸法は、前記導電性粒子の粒子径の最小値の半分以下である、
   ことを特徴とする異方導電性シート。
5. 絶縁性を有すると共に弾性を有する弾性樹脂を材質とする非導電部と、金属を材料として含む複数の導電性粒子とこの導電性粒子を覆う前記弾性樹脂とを材質とする導電部と、を有するシート体を形成するシート形成工程と、
   前記シート体の前記厚み方向における端面の少なくとも一方の面側にレーザ光を照射するレーザ光照射工程と、
   を有し、
   前記導電部は、前記導電性粒子を互いに接触させることによって導電性を発現し、
   前記レーザ光照射工程により、前記導電部のうち前記シート体の厚み方向における少なくとも一方の端部には、前記弾性樹脂に覆われずに露出する複数の前記導電性粒子が設けられると共に、その露出により隣り合う前記導電性粒子の間には凹部が形成され、
   前記レーザ光照射工程により、露出している前記導電性粒子の前記厚み方向における突出頂部であって当該厚み方向において前記導電部で最も突出する位置である第１位置に位置するものが複数形成され、
   さらに前記レーザ光照射工程により、前記導電部のうち露出している前記導電性粒子の周囲には隆起部が形成され、この隆起部は当該隆起部以外の部位よりも前記厚み方向において突出して設けられている、
   ことを特徴とする異方導電性シートの製造方法。

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