JP2012185064A - プラズマ分光分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】狭小部を設けた流路101に導電性の試料溶液を満たし、流路に電界を印加して生じた気泡にプラズマを発生させ、流路中の狭小部以外の領域を計測の対象領域として発光を計測する。
【選択図】図8
Description
本実施例では、プラズマ発光分析装置の構成例を説明し、併せて試料溶液に対する放電による発光現象を説明し、本発明に至った新しい知見について説明する。
本実施例では、計測位置と計測のタイミングを制御する、プラズマ発光分析装置の例を説明する。
本実施例では、計測した電流値の情報を利用して計測及び解析する時間領域を制御する、プラズマ発光分析装置の例を説明する。
本実施例では、試料溶液に電界を印加して発光を計測する際に同時に電流の時間変化を計測し、この時間変化に整合するように参照溶液の組成を調整し、調整後の参照溶液の発光を計測し、計測された発光強度を用いて、試料溶液中の分析対象物質の量を推定する、プラズマ発光分析装置の例を説明する。
本実施例では、プラズマ発光分析装置の別な構成の例を説明し、本発明に至った新しい知見について説明する。
102 石英ガラス
103 貫通穴
104 O−リング
105,110 コネクタ
106,111 配管接続口
107,112 電極
108,113 配管
109 シリンジポンプ
114 廃液容器
115 電流計
116 電源
117,118,119,120 信号線
121 カメラ
122 コンピュータ
123,124 レンズ
125 光学フィルター
201 光ファイバー端
202 ステージ
203 光ファイバー
204 分光器
205 イメージインテンシファイア付きCCDカメラ
206,207,209,210,211 信号線
208 パルスジェネレータ
301 光学フィルター
302 光学スリット
303 光電子増倍管
304 光電子増倍管用電源
305,306 信号線
401 試料溶液用容器
402,403 参照溶液調整用容器
404 切り替え弁
405 混合器
406,407 信号線
Claims (22)
- 途中に狭小部を有し試料溶液が供給される流路と、
前記狭小部を挟んで配置され前記流路に電圧を印加するための一対の電極と、
前記電圧印加によって前記流路に生じた気泡中に発生するプラズマ発光を分光して計測する計測部とを有し、
前記計測部は、前記流路の前記狭小部以外の領域を計測の対象領域とすることを特徴とするプラズマ分光分析装置。 - 請求項1に記載のプラズマ分光分析装置において、前記計測の対象領域の中心が、前記狭小部の中心から前記狭小部の流路方向寸法の1倍以上離れていることを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項1に記載のプラズマ分光分析装置において、前記計測の対象領域は、前記狭小部と前記一対の電極のプラス電極との間の領域であることを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項1に記載のプラズマ分光分析装置において、前記計測の対象領域は、前記一対の電極のプラス電極側の気液界面付近を含むことを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項1に記載のプラズマ分光分析装置において、前記計測の対象領域は、前記狭小部と前記一対の電極のマイナス電極との間の領域であることを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項1に記載のプラズマ分光分析装置において、前記計測の対象領域は、前記一対の電極のマイナス電極側の気液界面付近を含むことを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 途中に狭小部を有し試料溶液が供給される流路と、
前記狭小部を挟んで配置され前記流路に電圧を印加するための一対の電極と、
前記電圧印加によって前記流路に生じた気泡中に発生するプラズマ発光を分光して計測する計測部とを有し、
前記流路への1回の電圧印加に対して発生する複数回のプラズマ発光のうち、2回目以降の特定の一回の発光もしくは特定の複数回の発光を計測することを特徴とするプラズマ分光分析装置。 - 請求項5に記載のプラズマ分光分析装置において、前記複数回のプラズマ発光のうち2回目の発光を計測することを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項6に記載のプラズマ分光分析装置において、前記2回目の発光のうち発光時間の前半を計測することを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 途中に狭小部を有し試料溶液が供給される流路と、
前記狭小部を挟んで配置され前記流路に電圧を印加するための一対の電極と、
前記一対の電極間に流れる電流を計測する電流計と、
前記電圧印加によって前記流路に生じた気泡中に発生するプラズマ発光を分光して計測する計測部と、
前記電流計及び前記計測部に接続された演算制御部とを有し、
前記演算制御部は、前記電流計による電流の時間変化データを用いて前記プラズマ発光の計測タイミングを制御することを特徴とするプラズマ分光分析装置。 - 請求項10に記載のプラズマ分光分析装置において、前記電流計によって計測された電流の時間変化データ及び前記計測部によって計測されたプラズマ発光の時間変化データを記憶する記憶部を有し、前記演算制御部は前記記憶部に記憶された前記プラズマ発光の時間変化データに対して前記タイミング制御を行うことを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項10に記載のプラズマ分光分析装置において、前記演算制御部は、前記電流計による電流の時間変化データを用いて前記計測部による計測のタイミングを制御することを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項10に記載のプラズマ分光分析装置において、前記演算制御部は、前記電流計による電流の時間変化データを用いて、前記電源による1回の電圧印加に対して生じる1回もしくは複数回の発光のうち、1回目の発光の後半を計測することを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項10に記載のプラズマ分光分析装置において、前記演算制御部は、前記電流計による電流の時間変化データを用いて、前記電源による1回の電圧印加に対して生じる複数回の発光のうち、2回目の発光もしくは2回目の発光の前半を計測することを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項10に記載のプラズマ分光分析装置において、前記演算制御部は、前記電流計による電流を監視し、当該電流が事前に設定した閾値を越えて増加するタイミングで前記計測部による計測を開始し、事前に設定した閾値をまたいで低下するタイミングで前記計測部による計測を終了することを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項11又は12に記載のプラズマ分光分析装置において、計測されたプラズマ発光の時間変化に対して演算を行い、計測対象物質からの発光強度が高い時間帯を推定し、その後、前記推定された時間帯に対して計測を実施する事を特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項16に記載のプラズマ分光分析装置において、前記計測対象物資からの発光強度の、前記計測対象物資からの発光強度の最大値に対する比が、0.3以上である時間帯に対して計測することを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項11又は12に記載のプラズマ分光分析装置において、計測されたプラズマ発光の時間変化に対して演算を行い、計測対象物質からの正味の発光強度とそれ以外の物質からの背景光強度の比が高い時間帯を推定し、その後、前記推定された時間帯に対して計測を実施する事を特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項18に記載のプラズマ分光分析装置において、前記計測対象物質からの正味の発光強度とそれ以外の物質からの背景光強度の比の、前記計測対象物質からの正味の発光強度とそれ以外の物質からの背景光強度の比の最大値に対する比が、0.3以上である時間帯に対して計測することを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項11又は12に記載のプラズマ分光分析装置において、計測されたプラズマ発光の時間変化に対して演算を行い、計測対象物質からの発光強度のばらつきが小さい時間帯を推定し、その後、前記推定された時間帯に対して計測を実施する事を特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項20に記載のプラズマ分光分析装置において、前記計測対象物資からの発光強度ばらつきが、変動係数10%以下である時間帯に対して計測を実施することを特徴とするプラズマ分光分析装置。
- 請求項10に記載のプラズマ分光分析装置において、
参照溶液を構成する少なくとも2種類の溶液が入った容器と、前記少なくとも2種の溶液を混合する機構とを有し、
電圧印加時の電流の時間変化が、分析対象物質を含む試料溶液に対する電圧印加時の電流の時間変化と整合するように調整された参照溶液に対する発光を計測して、前記試料溶液中の分析対象物質の量を推定することを特徴とするプラズマ発光分析装置。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP2910929A1 (en) | 2014-02-21 | 2015-08-26 | ARKRAY, Inc. | Plasma spectrometry method |
KR20150099462A (ko) | 2014-02-21 | 2015-08-31 | 아크레이 가부시키가이샤 | 플라즈마 분광 분석 방법 |
EP2913664A1 (en) | 2014-02-28 | 2015-09-02 | ARKRAY, Inc. | Chip for plasma generation, plasma generator, and plasma spectrometry method |
EP2921845A2 (en) | 2014-02-28 | 2015-09-23 | ARKRAY, Inc. | Chip for plasma generation, plasma generator, and plasma spectrometry method |
EP3045895A1 (en) | 2015-01-13 | 2016-07-20 | ARKRAY, Inc. | Plasma spectrochemical analysis method and plasma spectrochemical analyzer |
KR20160087359A (ko) | 2015-01-13 | 2016-07-21 | 아크레이 가부시키가이샤 | 플라즈마 분광 분석 방법 및 플라즈마 분광 분석 장치 |
EP3273228A1 (en) | 2016-07-22 | 2018-01-24 | ARKRAY, Inc. | Plasma spectroscopic analysis method and plasma spectroscopic analyzer |
JP2018063242A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-19 | アークレイ株式会社 | プラズマ分光分析方法、及び非ターゲットに由来するプラズマ発光の抑制剤 |
JP2019015561A (ja) * | 2017-07-05 | 2019-01-31 | アークレイ株式会社 | 炭素電極の洗浄方法 |
JP2020180849A (ja) * | 2019-04-24 | 2020-11-05 | 国立大学法人東北大学 | 気泡内圧力測定装置、気泡内圧力測定方法、及び、プログラム、並びに、気泡内圧力評価装置、及び、気泡内圧力評価方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9733158B1 (en) * | 2014-08-19 | 2017-08-15 | Elemental Scientific, Inc. | Dilution into a transfer line between valves for mass spectrometry |
CN105004709B (zh) * | 2015-04-13 | 2018-06-15 | 中国地质大学(武汉) | 一种液体放电微等离子体激发源装置及等离子体激发方法 |
JP2017130334A (ja) * | 2016-01-20 | 2017-07-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム装置の画像形成方法 |
JP7009735B2 (ja) * | 2016-09-08 | 2022-01-26 | 株式会社リコー | 画像表示装置及び物体装置 |
EP3306314B1 (en) * | 2016-10-07 | 2021-01-20 | ARKRAY, Inc. | Plasma spectroscopic analysis method and inhibitor of plasma emission derived from non-target |
KR20220085713A (ko) | 2020-12-15 | 2022-06-22 | 주식회사 히타치하이테크 | 하전 입자선 장치, 계산기 및 하전 입자선 장치의 신호 처리 방법 |
US11598727B1 (en) * | 2021-08-19 | 2023-03-07 | 2S Water Incorporated | Solution glow discharge plasma chamber with lens |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002530683A (ja) * | 1998-11-24 | 2002-09-17 | インペリアル カレッジ オブ サイエンス,テクノロジー アンド メディスン | プラズマ発生器 |
JP3932368B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2007-06-20 | 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 | プラズマ発生装置 |
JP2010197358A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Tokai Kogaku Kk | 分光分析装置及び元素分析装置 |
JP2011180045A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Japan Advanced Institute Of Science & Technology Hokuriku | プラズマ発生手段、プラズマ発生装置及び元素分析方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0452551A (ja) | 1990-06-20 | 1992-02-20 | Hitachi Ltd | 成分分析方法及び装置 |
-
2011
- 2011-03-07 JP JP2011049041A patent/JP5705591B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-01-13 US US14/000,610 patent/US9222890B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-01-13 WO PCT/JP2012/050552 patent/WO2012120919A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002530683A (ja) * | 1998-11-24 | 2002-09-17 | インペリアル カレッジ オブ サイエンス,テクノロジー アンド メディスン | プラズマ発生器 |
JP3932368B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2007-06-20 | 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 | プラズマ発生装置 |
JP2010197358A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Tokai Kogaku Kk | 分光分析装置及び元素分析装置 |
JP2011180045A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Japan Advanced Institute Of Science & Technology Hokuriku | プラズマ発生手段、プラズマ発生装置及び元素分析方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
熊谷績 他2名: "マイクロ流体中のプラズマを用いた元素分析の安定化", CHEMICAL SENSORS, vol. 23, JPN6012007918, 29 March 2007 (2007-03-29), pages 13 - 15, ISSN: 0002992202 * |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015172571A (ja) * | 2014-02-21 | 2015-10-01 | アークレイ株式会社 | プラズマ分光分析方法 |
KR20150099462A (ko) | 2014-02-21 | 2015-08-31 | 아크레이 가부시키가이샤 | 플라즈마 분광 분석 방법 |
US9816933B2 (en) | 2014-02-21 | 2017-11-14 | Arkray, Inc. | Plasma spectrometry method |
EP2910929A1 (en) | 2014-02-21 | 2015-08-26 | ARKRAY, Inc. | Plasma spectrometry method |
US9623511B2 (en) | 2014-02-28 | 2017-04-18 | Arkray, Inc. | Chip for plasma generation, plasma generator, and plasma spectrometry method |
EP2921845A2 (en) | 2014-02-28 | 2015-09-23 | ARKRAY, Inc. | Chip for plasma generation, plasma generator, and plasma spectrometry method |
US9625319B2 (en) | 2014-02-28 | 2017-04-18 | Arkray, Inc. | Chip for plasma generation, plasma generator, and plasma spectrometry method |
EP2913664A1 (en) | 2014-02-28 | 2015-09-02 | ARKRAY, Inc. | Chip for plasma generation, plasma generator, and plasma spectrometry method |
US10101275B2 (en) | 2015-01-13 | 2018-10-16 | Arkray, Inc. | Plasma spectrochemical analysis method and plasma spectrochemical analyzer |
CN105784675A (zh) * | 2015-01-13 | 2016-07-20 | 爱科来株式会社 | 等离子体分光分析方法和等离子体分光分析装置 |
KR20160087359A (ko) | 2015-01-13 | 2016-07-21 | 아크레이 가부시키가이샤 | 플라즈마 분광 분석 방법 및 플라즈마 분광 분석 장치 |
EP3045895A1 (en) | 2015-01-13 | 2016-07-20 | ARKRAY, Inc. | Plasma spectrochemical analysis method and plasma spectrochemical analyzer |
CN105784675B (zh) * | 2015-01-13 | 2020-01-07 | 爱科来株式会社 | 等离子体分光分析方法和等离子体分光分析装置 |
EP3273228A1 (en) | 2016-07-22 | 2018-01-24 | ARKRAY, Inc. | Plasma spectroscopic analysis method and plasma spectroscopic analyzer |
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