JP2012168487A5 - - Google Patents
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Description
本発明のポジ型感光性樹脂組成物に含有するベンゼン、トルエン、キシレンの含有量はいずれも５ｐｐｍ以下であり、１ｐｐｍ以下が好ましい。そのため、（ｂ）キノンジアジド化合物に含有するベンゼン、トルエン、およびキシレンの含有量はいずれも２５ｐｐｍ以下が好ましく、５ｐｐｍ以下がより好ましい。
Claims (4)
- （ａ）ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールまたはそれらの前駆体、（ｂ）キノンジアジド化合物および（ｃ）溶剤を含有し、ベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量がいずれも５ｐｐｍ以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
- （ａ）ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールまたはそれらの前駆体、（ｂ）キノンジアジド化合物および（ｃ）溶剤を混合するポジ型感光性樹脂組成物の製造方法であって、（ｂ）キノンジアジド化合物に含まれるベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量がいずれも２５ｐｐｍ以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物の製造方法。
- 請求項１のポジ型感光性樹脂組成物の製造方法であって、（ｂ）キノンジアジド化合物が、ベンゼン、トルエン、およびキシレン以外の有機溶剤で抽出する方法で単離されたナフトキノンジアジドスルホニルクロライドを用いて製造されることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物の製造方法。
- 請求項１のポジ型感光性樹脂組成物の製造方法であって、（ｂ）キノンジアジド化合物が、ベンゼン、トルエン、およびキシレンで抽出、蒸留された後に再結晶する方法で単離されたナフトキノンジアジドスルホニルクロライドを用いて製造されることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物の製造方法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2011031615A JP5712658B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | ポジ型感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011031615A JP5712658B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | ポジ型感光性樹脂組成物 |
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| JP5712658B2 JP5712658B2 (ja) | 2015-05-07 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2011031615A Active JP5712658B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | ポジ型感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
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