JP2012168487A - ポジ型感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
(a)ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールまたはそれらの前駆体、(b)キノンジアジド化合物および(c)溶剤を含有し、ベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量がいずれも5ppm以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
Description
上記一般式(2)中、R9は水素原子または炭素数1〜6の1価の炭化水素基を示す。tは1または2、vは0または1を示す。ただし、t+vは1または2である。
GC/MS(株式会社島津製作所製 GCMS−QP2010)を用いてワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量を測定した。分析条件は以下のとおりである。
分析条件
Column : CBP−1(25m、内径0.33mm)
Column Temp : 50℃(5min)−250℃ 5℃/min
Inj.Temp : 250℃
Det.Temp : 250℃
Carrier Gas : He 38cm/sec
また、キノンジアジド化合物中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量は、キノンジアジド化合物をγ−ブチロラクトンに溶解させて10wt%γ−ブチロラクトン溶液を作成し、上記GC/MS分析条件で測定した。
東京エレクトロン(株)製塗布・現像装置“CLEAN TRACK ACT−12”を用いて、ポジ型感光性樹脂組成物を12インチSiウエハ上に塗布し、120℃で3分間ホットプレートベークし、膜厚8μmのポリイミド前駆体組成物膜を得た。
(2)の方法により得られた感光性樹脂膜を(株)トプコン製ウエハ表面検査装置“WM−10”にて欠陥検査を実施した。0.5μm以上の欠陥密度が0.1個/cm2以下で有れば○、欠陥密度が0.1〜1.0個/cm2であれば△、1.0個/cm2以上であれば×とした。
2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(セントラル硝子(株)製、BAHF)18.3g(0.05モル)をアセトン100mL、プロピレンオキシド(東京化成(株)製)17.4g(0.3モル)に溶解させ、−15℃に冷却した。ここに3−ニトロベンゾイルクロリド(東京化成(株)製)20.4g(0.11モル)をアセトン100mLに溶解させた溶液を滴下した。滴下終了後、−15℃で4時間撹拌し、その後室温に戻した。析出した白色固体を濾別し、50℃で真空乾燥した。
クロロ硫酸60ml(0.91モル)、塩化チオニル25ml(0.34モル)を仕込み、乾燥窒素気流下で攪拌しつつ、氷冷下で1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸ナトリウムを65.0g(0.24モル)仕込んだ。乾燥窒素気流下で攪拌しつつ、70℃に昇温し8時間反応させた。反応終了後、スルホニルクロライドを含む反応混合物を氷水中に投入し、析出物を塩化メチレンで抽出し、水洗・分液後、塩化メチレンを減圧下で除き、下記式で表されるスルホニルクロライドを単離したものを得た。
合成例2のスルホニルクロライドの単離方法について、反応混合物を、氷水中に投入し、析出物を塩化メチレンで抽出し、水洗・分液後、塩化メチレンを減圧下で除く方法の代わりに、氷水中に投入し、析出物をベンゼンで抽出し、水洗・分液後、ベンゼンを減圧下で除き、得られた粗生成物をアセトンで再結晶を1回実施する方法に変更した他は、合成例2と同様の手順で合成した。キノンジアジド化合物のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、ベンゼン含有量は24ppmであり、トルエン、キシレンはいずれも1ppm以下であった。
合成例2のスルホニルクロライドの単離方法について、反応混合物を、氷水中に投入し、析出物を塩化メチレンで抽出し、水洗・分液後、塩化メチレンを減圧下で除く方法の代わりに、氷水中に投入し、析出物をベンゼンで抽出し、水洗・分液後、ベンゼンを減圧下で除き、得られた粗生成物をアセトンで再結晶を2回実施する方法に変更した他は、合成例2と同様の手順で合成した。キノンジアジド化合物のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、ベンゼン含有量は4ppmであり、トルエン、キシレンはいずれも1ppm以下であった。
合成例2のスルホニルクロライドの単離方法について、反応混合物を、氷水中に投入し、析出物を塩化メチレンで抽出し、水洗・分液後、塩化メチレンを減圧下で除く方法の代わりに、氷水中に投入し、析出物をベンゼンで抽出し、水洗・分液後、ベンゼンを減圧下で除く方法に変更した他は、合成例2と同様の手順で合成した。キノンジアジド化合物のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、ベンゼン含有量は196ppmであり、トルエン、キシレンはいずれも1ppm以下であった。
合成例2のスルホニルクロライドの単離方法について、反応混合物を、氷水中に投入し、析出物を塩化メチレンで抽出し、水洗・分液後、塩化メチレンを減圧下で除く方法の代わりに、氷水中に投入し、析出物をトルエンで抽出し、水洗・分液後、トルエンを減圧下で除く方法に変更した他は、合成例2と同様の手順で合成した。キノンジアジド化合物のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、トルエン含有量は352ppmであり、ベンゼン、キシレンはいずれも1ppm以下であった。
合成例2のスルホニルクロライドの単離方法について、反応混合物を、氷水中に投入し、析出物を塩化メチレンで抽出し、水洗・分液後、塩化メチレンを減圧下で除く方法の代わりに、氷水中に投入し、析出物をキシレンで抽出し、水洗・分液後、キシレンを減圧下で除く方法に変更した他は、合成例2と同様の手順で合成した。キノンジアジド化合物のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、キシレン含有量は515ppmであり、ベンゼン、トルエンはいずれも1ppm以下であった。
乾燥窒素気流下、合成例1で得られたヒドロキシル基含有ジアミン51.3g(0.085モル)、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(SiDA、信越化学(株)製)1.24g(0.005モル)、3−アミノフェノール(東京化成(株)製)2.18g(0.02モル)をN−メチルピロリドン(NMP)200gに溶解した。ここに3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物(ODPA、マナック(株)製)31.0g(0.1モル)を加え、40℃で2時間撹拌した。その後、ジメチルホルムアミドジメチルアセタール(三菱レーヨン(株)製、DFA)7.14g(0.06モル)をNMP5gで希釈した溶液を10分間かけて滴下した。滴下後、40℃で2時間撹拌を続けた。撹拌終了後、溶液を水2Lに投入して、ポリマー固体の沈殿を濾過で集めた。さらに水2Lで3回洗浄を行い、集めたポリマー固体を50℃の真空乾燥機で72時間乾燥し、ポリイミド前駆体を得た。
乾燥窒素気流下、BAHF18.3g(0.05モル)をNMP50g、グリシジルメチルエーテル26.4g(0.3モル)に溶解させ、溶液の温度を−15℃まで冷却した。ここにジフェニルエーテルジカルボン酸ジクロリド(日本農薬(株)製)7.4g(0.025モル)、イソフタル酸クロリド(東京化成(株)製)5.1g(0.025モル)をγ−ブチロラクトン(GBL)25gに溶解させた溶液を内部の温度が0℃を越えないように滴下した。滴下終了後、−15℃で6時間撹拌を続けた。反応終了後、メタノールを10重量%含んだ水3Lに溶液を投入して白色の沈殿を集めた。この沈殿を濾過で集めて、水で3回洗浄した後、50℃の真空乾燥機で72時間乾燥し、ポリベンゾオキサゾール前駆体を得た。
乾燥窒素気流下、BAHF32.9g(0.09モル)をNMP500gに溶解させた。ここにODPA31.0g(0.1モル)をNMP50gとともに加えて、30℃で2時間撹拌した。その後、3−アミノフェノール(東京化成(株)製)2.18g(0.02モル)を加え、40℃で2時間撹拌を続けた。さらにピリジン(東京化成(株)製)5gを溶液に加え、冷却管を付け系外に水を除去しながら溶液の温度を120℃にして2時間、さらに180℃で2時間反応させた。この溶液の温度を室温まで低下させ、水3Lに溶液を投入し、白色の粉体を得た。この粉体を濾過で集め、さらに水で3回洗浄を行った。洗浄後、白色粉体を50℃の真空乾燥機で72時間乾燥させ、ポリイミドを得た。
合成例8で得られたポリイミド前駆体100g、合成例2で得られたキノンジアジド化合物1を40gγ−ブチロラクトン300gに加えて撹拌しポジ型感光性ポリイミド前駆体組成物のワニスを得た。さらに得られたワニスを孔径0.2μmのポリエチレンフィルター用いてろ過した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、いずれも1ppm以下であった。
実施例1のキノンジアジド化合物1を合成例3で得られたキノンジアジド化合物2に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、ベンゼン含有量は3ppmであり、トルエンおよびキシレンはいずれも1ppm以下であった。
実施例1のキノンジアジド化合物1を合成例4で得られたキノンジアジド化合物3に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、いずれも1ppm以下であった。
実施例1のポリイミド前駆体を合成例9で得られたポリベンゾオキサゾール前駆体に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、いずれも1ppm以下であった。
実施例4のキノンジアジド化合物1を合成例3で得られたキノンジアジド化合物2に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、ベンゼン含有量は3ppmであり、トルエンおよびキシレンはいずれも1ppm以下であった。
実施例4のキノンジアジド化合物1を合成例4で得られたキノンジアジド化合物3に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、いずれも1ppm以下であった。
実施例1のポリイミド前駆体を合成例10で得られたポリイミドに変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、いずれも1ppm以下であった。
実施例7のキノンジアジド化合物1を合成例3で得られたキノンジアジド化合物2に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、ベンゼン含有量は3ppmであり、トルエンおよびキシレンはいずれも1ppm以下であった。
実施例7のキノンジアジド化合物1を合成例4で得られたキノンジアジド化合物3に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、いずれも1ppm以下であった。
実施例1のキノンジアジド化合物1を合成例5で得られたキノンジアジド化合物4に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、ベンゼン含有量は16ppmであり、トルエンおよびキシレンはいずれも1ppm以下であった。
実施例4のキノンジアジド化合物1を合成例5で得られたキノンジアジド化合物4に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、ベンゼン含有量は16ppmであり、トルエンおよびキシレンはいずれも1ppm以下であった。
実施例7のキノンジアジド化合物1を合成例5で得られたキノンジアジド化合物4に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、ベンゼン含有量は17ppmであり、トルエンおよびキシレンはいずれも1ppm以下であった。
実施例1のキノンジアジド化合物1を合成例6で得られたキノンジアジド化合物5に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、トルエン含有量は33ppmであり、ベンゼンおよびキシレンはいずれも1ppm以下であった。
実施例1のキノンジアジド化合物1を合成例7で得られたキノンジアジド化合物6に変更した他は、実施例1と同様の手順で実施した。ワニス中のベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量をGC−MGで測定した結果、キシレン含有量は47ppmであり、ベンゼンおよびトルエンはいずれも1ppm以下であった。
またベンゼン、トルエンおよびキシレンの他、四塩化炭素、methylchloroform(111−TCE)、Halon 1301、CFC−11、CFC−12、CFC−13、CFC−112、CFC−113、CFC−114、CFC−115、Halon 2402、Halon 1211、CFC−111、CFC−217、CFC−216、CFC−215、CFC−214、CFC−213、CFC−212、CFC−211、β−naphthylamineとその塩、4−diphenylとその塩、青石綿、褐石綿、Poly Chlorinated Bipheny(PCTs)、Anthophylite 石綿、Anthophylite 石綿、Tremolite 石綿、DDT、Parathion、Strychnineとその塩類、chlordane、ディメイトエイト、dieldrin、phyenyl mercuric acetate、endrin、chloropicrin、heptachlor、ANTU、pentachlorophenol及びその塩、4−aminobiphenyl及びその塩酸塩、benzidine、1,2−Dibromo−3−chloropropane、1,2−Dibromoethane、bis(2−chloroethyl)ether、Endosulfan、Aldicarb、tris(2,3−dibromopropyl)phosphate、captan、Isobenzan、methyl parathion、Disulfoton、aldrin、Chlorobenzilate、bis(chloroethyl)ether、Thallium acetate、HCH(ISO)、Fluoroacetamide、五酸化硅素、PCBs、Trifluralin、Nitrofen、Captafol、Chlordimeformとその塩、monocrotophos、Thallium sulfate、lead arsenate、Camphechlor、Thallous nitrate、Methamidophos、Dialifos、Phosphamidon、Aluminium phosphide、leptophos、Pentabromodiphenyl oxide、Octabromodiphenyl oxide、Pyriminil、PBBs、Fluazinam、Pyraclofos、Acrinathrin、Fenproxymate、Perfluorooctane sulfonate(PFOS)、CHROMIC ACID AND CHROMATES、CHROMIUM TRIOXIDE, AS “CR”、COAL TAR PITCH VOLATILES, AS BENZENE SOLUBLES、DIHYDROXYBENZENE (HYDROQUINONE)、SODIUM ARSENITE、URANIUM (NATURAL) SOLUBLE & INSOLUBLE COMPOUNDS, AS “U”、ZINC CHROMATES, AS “CR” (CHROMATE (1−), HYDROXYOCTAOXODIZINCATEDI−,、ZINC CHROMATES, AS “CR” (CHROMIC ACID, ZINC SALT − 9:1 ZINC HYDROXIDE、ZINC CHROMATES, AS “CR” (CHROMIC ACID, ZINC SALT)、1,3−BUTADIENE、1,4−DICHLORO−2−BUTENE、ANTIMONY TRIOXIDE, PRODUCTION、BENZENE、BENZO[A]PYRENE、BENZO[B]FLUORANTHENE、CHLOROMETHYL METHYL ETHER (METHYL CHLOROMETHYL ETHER)、FORMALDEHYDE、LEAD CHROMATE、SILICA−CRYSTALLINE QUARTZ、SILICON CARBIDE, FIBROUS FORMS (INCLUDING WHISKERS)、STRONTIUM CHROMATE, AS “CR”、VINYL FLUORIDE、ZINC BERYLLIUM SILICATE, AS “BE”、Acetone、Methyl ethyl ketone、nickel sulphide、triethyl arsenate、asbestos、asbestos、butane、diarsenic trioxide;arsenic trioxide、dinickel trioxide、nickel dioxide、nickel monoxide、nickel subsulphide;trinickel disulphide、Tar, coal;Coal tar、2,3−dinitrotoluene、2,6−dinitrotoluene、3,4−dinitrotoluene、4,4’−thiodianiline and its salts、4−chloroaniline、ammonium dichromate、Benzol forerunnings (coal); Light Oil Redistillate, low boiling、beryllium oxide、bromoethylene、cadmium fluoride、diazomethane、diethyl sulphate、dimethylsulfamoylchloride、formamide、furan、hexachlorobenzene、isobutyl nitrite、nitrosodipropylamine、N−methylacetamide、potassium bromate、potassium chromate、potassium dichromate、R−2,3−epoxy−1−propanol、thioacetamide、(6−(4−hydroxy−3−(2−methoxyphenylazo)−2−sulfonato−7−naphthylamino)−1,3,5−triazin−2,4−diyl)bis[(amino−1−methylethyl)ammonium]formate、1,2−dichloroethane;ethylene dichloride、1,3−dichloro−2−propanol、1,4,5,8−tetraaminoanthraquinone;C.I. Disperse Blue 1、1−methyl−3−nitro−1−nitrosoguanidine、2,2’−bioxirane;1,2:3,4−diepoxybutane、2,2’−dichloro−4,4’−methylenedianiline;4,4’−methylene bis(2−chloroaniline)、2,3−dibromopropan−1−ol;2,3−dibromo−1−propanol、2,4,5−trimethylaniline; [1]2,4,5−trimethylanilinehydrochloride [2]、2,4,5−trimethylaniline; [1]2,4,5−trimethylanilinehydrochloride [3]、2,4−diaminoanisole;4−methoxy−mphenylenediamine;[1]2,4−diaminoanisole sulphate [2]、2,4−diaminoanisole;4−methoxy−mphenylenediamine;[1]2,4−diaminoanisole sulphate [3]、2,4−dinitrotoluene;dinitrotoluene, technical grade;[1]dinitrotoluene [2]、2,4−dinitrotoluene;dinitrotoluene, technical grade;[1]dinitrotoluene [3]、2,5−dinitrotoluene、2−methoxyaniline;o−anisidine、2−methylaziridine;propyleneimine、2−nitronaphthalene、2−nitrotoluene、3,3’−dichlorobenzidine;3,3’−dichlorobiphenyl−4,4’−ylenediamine、3,5−dinitrotoluene、3−propanolide;1,3−propiolactone、4,4’−bis(dimethylamino)benzophenone;Michler’s ketone、4,4’−(4−iminocyclohexa−2,5−dienylidenemethylene)dianilinehydrochloride;C.I. Basic Red 9、4,4’−diaminodiphenylmethane;4,4’−methylenedianiline、4,4’−methylenedi−o−toluidine、4−amino−3−fluorophenol、4−aminoazobenzene;4−phenylazoaniline、4−chloro−o−toluidine; [1]4−chloro−o−toluidinehydrochloride [2]、4−methyl−m−phenylenediamine;2,4−toluenediamine、4−o−tolylazo−o−toluidine;4−amino−2’,3−dimethylazobenzene;fast garnet GBC base;AAT;o−aminoazotoluene、5−nitroacenaphthene、612−023−00−9 phenylhydrazine; [1]phenylhydrazinium chloride; [2]phenylhydrazine hydrochloride;[3]phenylhydrazinium sulphate(2:1) [4]、612−023−00−9 phenylhydrazine; [1]phenylhydrazinium chloride; [2]phenylhydrazine hydrochloride;[3]phenylhydrazinium sulphate(2:1) [5]、612−023−00−9 phenylhydrazine; [1]phenylhydrazinium chloride; [2]phenylhydrazine hydrochloride;[3]phenylhydrazinium sulphate(2:1) [6]、612−023−00−9 phenylhydrazine; [1]phenylhydrazinium chloride; [2]phenylhydrazine hydrochloride;[3]phenylhydrazinium sulphate(2:1) [7]、6−hydroxy−1−(3−isopropoxypropyl)−4−methyl−2−oxo−5−[4−(phenylazo)phenylazo]−1,2−dihydro−3−pyridinecarbonitrile、6−methoxy−m−toluidine;p−cresidine、acrylamide;prop−2−enamide、azobenzene、benz[a]anthracene、benzo[e]pyrene、benzo
[j]fluoranthene、beryllium、bis(2−methoxyethyl) phthalate、cadmium (non−pyrophoric); [1]cadmium oxide (nonpyrophoric)[2]、cadmium (non−pyrophoric); [1]cadmium oxide (nonpyrophoric)[3]、cadmium (pyrophoric)、cadmium chloride、cadmium sulphide、calcium chromate、carbadox (INN);methyl 3−(quinoxalin−2−ylmethylene)carbazate 1,4−dioxide;2−(methoxycarbonylhydrazonomethyl)quinoxaline 1,4−dioxide、chromyl dichloride;chromic oxychloride、chrysene、cobalt dichloride、Creosote oil、diaminotoluene, technicalproduct − mixture of [2] and [3];methyl−phenylenediamine; [1]4−methyl−m−phenylene diamine;[2]2−methyl−m−phenylene diamine[3]、diaminotoluene, technicalproduct − mixture of [2] and [3];methyl−phenylenediamine; [1]4−methyl−m−phenylene diamine;[2]2−methyl−m−phenylene diamine[5]、dibenz[a,h]anthracene、dichromium tris(chromate);chromium III chromate;chromic chromate、dimethyl sulphate、dimethylcarbamoyl chloride、dimethylnitrosoamine;N−nitrosodimethylamine、disodium {5−[(4’−((2,6−hydroxy−3−((2−hydroxy−5−sulphophenyl)azo)phenyl)azo)(1,1’−biphenyl)−4−yl)azo]salicylato(4−)}cuprate(2−);CI Direct Brown 95、disodium 3,3’−[[1,1’−biphenyl]−4,4’−diylbis(azo)]bis(4−aminonaphthalene−1−sulphonate);C.I. Direct Red 28、ethylene oxide;oxirane、ethyleneimine;aziridine、hydrazobenzene;1,2−diphenylhydrazine、isoprene (stabilized);2−methyl−1,3−butadiene、methyl acrylamidoglycolate、methylacrylamidomethoxyacetate、methyl−ONN−azoxymethylacetate;methyl azoxy methyl acetate、N,N−dimethylhydrazine、o−toluidine;2−aminotoluene、oxiranemethanol, 4−methylbenzene−sulfonate, (S)−、Phenols, ammonia liquor ext.;Alkaline Extract、phenyl glycidyl ether;2,3−epoxypropyl phenyl ether;1,2−epoxy−3−phenoxypropane、safrole;5−allyl−1,3−benzodioxole、salts of 4,4’−bi−o−toluidine;salts of 3,3’−dimethylbenzidine;salts of o−tolidine [1]、salts of 4,4’−bi−o−toluidine;salts of 3,3’−dimethylbenzidine;salts of o−tolidine [2]、salts of 4,4’−bi−o−toluidine;salts of 3,3’−dimethylbenzidine;salts of o−tolidine [3]、sodium chromate、sodium dichromate anhydrate、sodium dichromate, dihydrate、Solvent naphtha (petroleum), light arom., hydrotreated;Low boiling point hydrogen treated naphtha、Solvent naphtha (petroleum), light arom.;Low boiling point naphtha − unspecified、Stoddard solvent;Low boiling point naphtha − unspecified、strontium chromate、styrene oxide;(epoxyethyl)benzene;phenyloxirane、toluene−2,4−diammoniumsulphate;4−methyl−m−phenylenediaminesulfate、urethane (INN);ethyl carbamate、Waste solids, coal−tar pitchcoking;Coal Tar Solids Residue、α,α,α,4−tetrachlorotoluene;p−chlorobenzotrichloride、α,α,α−trichlorotoluene;benzotrichloride、α−chlorotoluene;benzyl chloride、bisphenol A;4,4’−isopropylidenediphenol、phenol;carbolic acid;monohydroxybenzene;phenylalcohol、1−(2−Chloroethyl)−3−(4−methylcyclohexyl)−1−nitrosourea (Methyl−CCNU; Semustine)、1,4−Butanediol Dimethanesulfonate (Myleran(R))、8−Methoxypsoralen (Methoxsalen) plus ultra−violet A radiation、Aflatoxins (naturally occurring mixtures of)、Asbestos、Azathioprine、Ciclosporin、CYCLOPHOSPHAMIDE、Ethyl alcohol、Gallium arsenide、Melphalan、Mustard gas (Sulfur mustard)、N,N−Bis(2−chloroethyl)−2−naphthylamine (Chlornaphazine)、N’−Nitrosonornicotine (NNN) and 4−(N−Nitroso−methylamino)−1−(3−pyridyl)−1−butanone (NNK)、Radon−222 and its decay products、Shale−oils、Thiotepa、Titanium dioxide、Treosulfan、benzal chloride、benzoyl chloride、1,2,3−Trichloropropane、1,2−Dimethylhydrazine (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、4−Chloro−ortho−toluidine、5−Methoxypsoralen (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、Azacitidine (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、Bischloroethyl nitrosourea (BCNU)、Chlorozotocin (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、Cisplatin (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、Creosotes、Cyclopenta[cd]pyrene (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、Dibenzo[a,l]pyrene (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、Epichlorohydrin (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、Etoposide (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、Indium phosphide (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A)、IQ (2−Amino−3−methylimidazo[4,5−f]quinoline) (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、Methyl methanesulfonate (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、Teniposide (NB: Overall evaluation upgraded from 2B to 2A with supporting evidence from other relevant data)、Tetrachloroethylene、Trichloroethylene、2,3,7,8−Tetrachlorodibenzo−p−dioxin (TCDD); “Dioxin”、Asbestos、Chlorambucil、Cyclosporin A、DIETHYLSTILBESTROL、ERIONITE、
ERIONITE、Mineral Oils (Untreated and Mildly Treated)、Tamoxifen、Thorium Dioxide (See Ionizing Radiation)、1−(2−Chloroethyl)−3−cyclohexyl−1−nitrosourea、1,3−Propane Sultone 225、1,4−Dioxane 110、1−Amino−2,4−dibromoanthraquinone、1−Amino−2−methylanthraquinone、2−Acetylaminofluorene、2−Aminoanthraquinone、2−Methylaziridine (Propylenimine) 166、3,3´−Dimethoxybenzidine (See 3,3´−Dimethoxybenzidine and Dyes Metabolized to 3,3´−Dimethoxybenzidine)、3,3´−Dimethylbenzidine (See 3,3´−Dimethylbenzidine and Dyes Metabolized to 3,3´−Dimethylbenzidine)、3−Chloro−2−methylpropene、4−(N−Nitrosomethylamino)−1−(3−pyridyl)−1−butanone 202、4,4´−Oxydianiline 210、4−4´−Methylenebis(N,N−dimethyl)benzenamine 168、4−Chloro−o−phenylenediamine、4−Dimethylaminoazobenzene、4−Vinyl−1−cyclohexene Diepoxide 274、6−Nitrochrysene (See Nitroarenes (selected)) 188、ACETALDEHYDE、ACRYLONITRILE (VINYL CYANIDE)、ADRIAMYCIN、AMITROLE(3−AMINO−1,2,4−TRIAZOLE)、BENZO [K] FLOURANTHENE、Bromodichloromethane、Butylated Hydroxyanisole (BHA)、CHLORAMPHENICOL、CHLORENDIC ACID、CHLORINATED PARAFFINS (C12, 60% CHLORINE)、CHLOROFORM (TRICHLOROMETHANE)、Chloroprene、Cobalt Sulfate、CUPFERRON、DACARBAZINE、Danthron (1,8−Dihydroxyanthraquinone)、Dichloromethane (Methylene Chloride)、Dimethylvinyl Chloride、Disperse Blue 1 112、Glass Wool (Respirable Size) 129、Glycidol 130、Hexachlorobenzene 138、Hexachlorocyclohexane Isomers (See Lindane and Other Hexachlorocyclohexane Isomers) 162、Hexachloroethane 140、Hydrazine and Hydrazine Sulfate 145、Hydrazobenzene 146、Indeno[1,2,3−cd]pyrene (See Polycyclic Aromatic Hydrocarbons) 220、Iron Dextran Complex 155、Isoprene 156、Kepone(R) (Chlordecone) 158、Lead and Lead Compounds 158、Lindane and Other Hexachlorocyclohexane Isomers 162、Metronidazole 173、Metronidazole 174、Michler´s Ketone [4,4´−(Dimethylamino)benzophenone] 173、Mirex 175、Naphthalene 177、Nickel (Metallic) (See Nickel Compounds and Metallic Nickel) 181、Nitrilotriacetic Acid 184、Nitrogen Mustard Hydrochloride 192、N−Methyl−N´−nitro−N−nitrosoguanidine 172、N−Nitrosodiethanolamine 197、N−Nitrosodimethylamine 199、N−Nitrosodi−n−butylamine 196、N−Nitrosomethylvinylamine 204、N−Nitrosonornicotine 206、N−Nitrosopiperidine 206、N−Nitrosopyrrolidine 207、o−Anisidine Hydrochloride、Ochratoxin A、o−Nitroanisole 185、o−Toluidine and o−Toluidine Hydrochloride 258、Phenacetin (See Phenacetin and Analgesic Mixtures Containing Phenacetin) 212、Phenazopyridine Hydrochloride 213、Phenoxybenzamine Hydrochloride 216、Polybrominated Biphenyls (PBBs) 217、Polychlorinated Biphenyls (PCBs) 218、Polycyclic Aromatic Hydrocarbons (PAHs) 220、Procarbazine Hydrochloride 222、Progesterone 223、Propylene Oxide 226、Propylthiouracil 227、Reserpine 228、Safrole 229、Selenium Sulfide 230、Streptozotocin 234、Sulfallate 238、Tetrachloroethylene (Perchloroethylene) 243、Tetrafluoroethylene 245、Tetranitromethane 246、Toluene Diisocyanate 256、Toxaphene 259、Trichloroethylene 261、Ultraviolet A Radiation (See Ultraviolet Radiation Related Exposure) 266、Ultraviolet B Radiation (See Ultraviolet Radiation Related Exposure) 267、Ultraviolet C Radiation (See Ultraviolet Radiation Related Exposure) 267、Vinyl Bromide 271、Vinyl Fluoride、β−Propiolactone 225、α−naphthylamineとその塩、Metallic arsenic、Calcium arsenate、Arsenic acid、Arsenic trichloride、Ammoniacal copper arsenate、vinyl chloride、Chrome鋼、Chromated copper arsenate、Arsenic trifluoride、Arsenic pentafluoride、2−Nonylphenol、3−Nonylphenol、4−nonylphenol 、4−nonylphenol, branched、Ammonium chromate、Ammonium dichromate、Barium chromate、Bis(tributyltin) meso−2,3−dibromosuccinate、Bis(tributyltin) phthalate、Calcium dichromate、Copper chromate、Dichromic acid、Ethylene trichloride ; Trichloroethylene,Trichloroethene、LEAD, INORG. DUSTS & FUMES, AS “PB”、Lithium chromate、Magnesium chromate、Malachite green、malachite green hydrochloride;、Malachite green oxalate、Methyl bromide; class, monohalomethanes、N−[4−[[4−(Dimethylamino)phenyl]phenylmethylene]−2,5−cyclohexadien−1−ylidene]−N−methylmethanaminiumethanedioate、N−[4−[[4−(Dimethylamino)phenyl]phenylmethylene]−2,5−cyclohexadien−1−ylidene]−N−methylmethanaminium molybdatetungstatephosphate、nonylphenol、Nonylphenol polyethylene glycol ether ; nonylphenol ethoxylate、Octyl acrylate−Methyl methacrylate−Tributyltin methacrylate copolymer、Potassium chlorotrioxochromate、Sodium chromate、Strontium chromate、Tributyltin chloride ; TBTCL、Tributyltin fluoride ; TBTF、Tributyltin hydride、Tributyltin hydroxide、Tributyltin laurate、Tributyltin maleate、Tributyltin methacrylate、tributyltin oxide、Tributyltin phosphate、Tributyltin salicylate、Zinc dichromate、isobutane、METHYL HYDRAZINE、BROMOFORM、1,1,2,2−TETRACHLORETHANE、HEXACHLOROBUTADIENE、ALLYL CHLORIDE、VINYL ACETATE、2−BUTOXYETHANOL (ETHYLENE GLYCOL MONOBUTYL ETHER)、2−BUTOXYETHYL ACETATE (ETHYLENE GLYCOL MONOBUTYL ETHER ACETATE)、TETRANITROMETHANE、PENTACHLOROPHENOL、XYLIDINE (MIXED ISOMERS)、METHYL−TERT−BUTYL ETHER、CROTONALDEHYDE、CHLORODIPHENYL (54% CHLORINE)、o−ANISIDINE、DIESEL FUEL、Arsenate, sodium、Chromium (VI)、Piperonyl butoxide、Carbaryl、Isophorone、Quintozene、Diethyl phthalate、Butyl benzyl phthalate、Azinphos−Methyl、o−Phenylphenol、2,4−D、Toluene、4,7−Methano−1H−isoindole−1,3(2H)−dione,2−(2−ethylhexy
l)−3a,4,7,7a−tetrahydro、Dicofol、Malathion、Dimethyl phthalate、Linuron、Diazinon、Allethrin、Phosmet、Carbamothioic acid, dipropyl−, S−ethyl ester、Methidathion、Glyphosate、Dichlobenil、Carbofuran、DCPA (or chlorthal−dimethyl)、Benfluralin、Chlorothalonil、Propachlor、Methiocarb、Propargite、Chlorpyrifos、Resmethrin、Ethoprop、Fenbutatin oxide、Methomyl、Gardona (cis−isomer)、Oxamyl、Propyzamide、Norflurazon、Acephate、Triadimefon、Metolachlor、Cypermethrin、Metalaxyl、Propiconazole、Flutolanil、Cyfluthrin、Abamectin、Bifenthrin、Myclobutanil、Pyridine, 2−(1−methyl−2−(4−phenoxyphenoxy)ethoxy)−、Tebuconazole、Imidacloprid、acetamide、aniline、thiourea;thiocarbamide、chloromethane;methyl chloride、methyl iodide;iodomethane、bromoethane;ethyl bromide、 chloroethane、fentin hydroxide (ISO);triphenyltin hydroxide、1,1,2−trichloroethane、musk xylene;5−tert−butyl−2,4,6−trinitro−mxylene、2,6−xylidine;2,6−dimethylaniline、diethylcarbamoyl chloride、1−vinyl−2−pyrrolidone、biphenyl−2−ylamine、2−methyl−m−phenylenediisocyanate;toluene−2,4−di−isocyanate、 o−phenylenediamine、2−butanone oxime;ethyl methyl ketoxime;ethyl methyl ketone oxime、2−furaldehyde、 nitrobenzene、5−nitro−o−toluidine、1−chloro−4−nitrobenzene、1,4−dichlorobenzene;p−dichlorobenzene、p−toluidine;4−aminotoluene、1,2−epoxy−4−epoxyethylcyclohexane;vinylcyclohexane diepoxide、chloroacetaldehyde、 tris(2−chloroethyl) phosphate、 N,N−dimethylaniline、tributyl phosphate、sodium pentachlorophenolate、folpet (ISO);N−(trichloromethylthio)phthalimide、N−2−naphthylaniline;N−phenyl−2−naphthylamine、propazine;2−chloro−4,6−bis(isopropylamino)−1,3,5−triazine、3−(4−chlorophenyl)−1,1−dimethyluronium trichloroacetate; monuron−TCA、2−ethylhexanoic acid、monuron (ISO); 3−(4−chlorophenyl)−1,1−dimethylurea、diuron (ISO);3−(3,4−dichlorophenyl)−1,1−dimethylurea、toluidinium chloride、toluidine sulphate (1:1)、cadmium cyanide、4−methyl−m−phenylene diisocyanate; toluene−2,6−di−isocyanate;、o−phenylenediaminedihydrochloride、C.I. Solvent Yellow 14;1−phenylazo−2−naphthol、fentin acetate (ISO);triphenyltin acetate、lead acetate, basic;lead acetate、1,5−naphthylenediamine、di−allate (ISO);S−(2,3−dichloroallyl)−N,Ndiisopropylthiocarbamate、 2,3,4−trichlorobut−1−ene、5−ethoxy−3−trichloromethyl−1,2,4−thiadiazole;etridiazole、Dimethyl fuchsin、N−[4−[(2−hydroxy−5−methylphenyl)azo]phenyl]aceta mide、Trimethyl fuchsin、nickel carbonate、cadmium diformate;cadmiumformate、nickel、dichloroacetylene、potassium pentachlorophenolate、cadmium iodide、morpholine−4−carbonyl chloride、chlorotoluron; 3−(3−chloro−p−tolyl)−1,1−dimethylurea、cadmiumhexafluorosilicate(2−); cadmium fluorosilica、chlordimeform hydrochloride;N’−(4−chloro−o−tolyl)−N,Ndimethylformamidine monohydrochloride;N2−(4−chloro−o−tolyl)−N1,N1−dimethylformamidine hydorchloride、4,4’−methylenebis(2−ethylaniline);4,4’−methylenebis(2−ethylbenzeneamine)、m−tolylidene diisocyanate;toluene−diisocyanate、isoproturon;3−(4−isopropylphenyl)−1,1−dimethylurea、vinclozolin (ISO);N−3,5−dichlorophenyl−5−methyl−5−vinyl−1,3−oxazolidine−2,4−dione、5−nitro−o−toluidinehydrochloride、N−cyclohexyl−N−methoxy−2,5−dimethyl−3−furamide; furmecyclox、1−(1−naphthylmethyl)quinolinium chloride、chlozolinate (ISO);ethyl (RS)−3−(3,5−dichlorophenyl)−5−methyl−2,4−dioxo−oxazolidine−5−carboxylate、flusilazole (ISO);bis(4−fluorophenyl)(methyl)(1H−1,2,4−triazol−1−ylmethyl)silane、alkanes, C10−13, chloro、Fuels, jet aircraft, coal solvent extn., hydrocracked hydrogenated、Fuels, diesel, coal solvent extn.,hydrocracked hydrogenated、Hydrocarbons, C16−20, solventdewaxed hydrocrackedparaffinic distn. residue; Cracked gasoil、(±) 2−(2,4−dichlorophenyl)−3−(1H−1,2,4−triazol−1−yl)propyl−1,1,2,2−tetrafluoroethylether、4−[4−(1,3−dihydroxyprop−2−yl)phenylamino]−1,8−dihydroxy−5−nitroanthraquinone、N,N−dimethylaniliniumtetrakis(pentafluorophenyl)borate、pymetrozine (ISO);(E)−4,5−dihydro−6−methyl−4−(3−pyridylmethyleneamino)−1,2,4−triazin−3(2H)−one、kresoxim−methyl (ISO);methyl (E)−2−methoxyimino−[2−(o−tolyloxymethyl)phenyl]acetate、 4−nitrosophenol、allyl glycidyl ether;allyl 2,3−epoxypropyl ether ; prop−2−en−1−yl 2,3−epoxypropyl ether、602−019−00−5 1−bromopropane;n−propyl bromide、3−chloropropene;allyl chloride、1−(4−chlorophenyl)−4,4−dimethyl−3−(1,2,4−triazol−1−ylmethyl)pentan−3−ol、phenol;carbolic acid;monohydroxybenzene;phenylalcohol、1,3,5−trioxan; trioxymethylene、1,2−bis(2−methoxyethoxy)ethane;TEGDME;triethylene glycol dimethyl ether; triglyme、4−aminophenol、divanadium pentaoxide;vanadium pentoxide、phosphamidon;2−chloro−2−diethylcarbamoyl−1−methylvinyl dimethyl phosphate、butyl glycidyl ether;butyl 2,3−epoxypropyl ether、diphenylether; octabromo derivate、5−(2,4−dioxo−1,2,3,4−tetrahydropyrimidine)−3−fluoro−2−hydroxymethyltetrahydrofuran、2−(4−tert−butylphenyl)ethanol、fenarimol (ISO);2,4’−dichloro−α−(pyrimidin−5−yl)benzhydryl alcohol、methyl isocyanate、N,N−dimethylformamide;dimethyl formamide、monocrotophos (ISO);dimethyl−1−methyl−2−(methylcarbamoyl)vinyl phosphate、 trilead bis(orthophosphate)、 carbon disulphide、2−bromopropane、(4−hydrazinophenyl)−Nmethylmethanesulfonamidehydrochloride、pyrogallol;1,2,3−trihydroxybenzene、2−(2−hydroxy−3,5−dinitroanilino)ethanol、quinomethionate;chinomethionat (ISO);6−methyl
−1,3−dithiolo(4,5−b)quinoxalin−2−one、1,3−diphenylguanidine、flumioxazin (ISO);N−(7−fluoro−3,4−dihydro−3−oxo−4−prop−2−ynyl−2H−1,4−benzoxazin−6−yl)cyclohex−1−ene−1,2−dicarboxamide、m−phenylenediamine、2−methoxyethanol;ethylene glycol monomethyl ether、2−methoxyethyl acetate;methylglycol acetate、n−hexane、1,2−dimethoxyethane;ethylene glycol dimethyl ether;EGDME、2−ethoxyethanol;ethylene glycol monoethyl ether、2−ethoxyethyl acetate; ethylglycol acetate、2−(2−methoxyethoxy)ethanol;diethylene glycol monomethyl ether、 bis(2−methoxyethyl) ether、bis(2−ethylhexyl) phthalate;di−(2−ethylhexyl) phthalate;DEHP、(±) tetrahydrofurfuryl (R)−2−[4−(6−chloroquinoxalin−2−yloxy)phenyloxy]propionate、4’−ethoxy−2−benzimidazoleanilide、N−methylformamide、(E)−2−butenal;(E)−crotonaldehyde、bis(η5−cyclopentadienyl)−bis(2,6−difluoro−3−[pyrrol−1−yl]−phenyl)titanium、N,N−dimethylacetamide、N,N,N’,N’−tetraglycidyl−4,4’−diamino−3,3’−diethyldiphenylmethane、di−n−pentyl phthalate;、Epoxiconazole;(2RS,3SR)−3−(2−chlorophenyl)−2−(4−fluorophenyl)−[(1H−1,2,4−triazol−1−yl)methyl]oxirane、lead diazide;lead azide、tetracarbonylnickel;nickel tetracarbonyl、5−(3−butyryl−2,4,6−trimethylphenyl)−2−[1−(ethoxyimino)propyl]−3−hydroxycyclohex−2−en−1−one、isoxaflutole (ISO);5−cyclopropyl−1,2−oxazol−4−ylα,α,α−trifluoro−2−mesyl−p−tolylketone、dinoterb (ISO);2−tert−butyl−4,6−dinitrophenol、(R)−5−bromo−3−(1−methyl−2−pyrrolidinyl methyl)−1H−indole、3−ethyl−2−methyl−2−(3−methylbutyl)−1,3−oxazolidine、9−vinylcarbazole、N,N’−dihexadecyl−N,N’−bis(2−hydroxyethyl)propanediamide、lead 2,4,6−trinitro−m−phenylene dioxide;lead 2,4,6−trinitroresorcinoxide;lead styphnate、4−ethoxyaniline;p−phenetidine、2−methoxypropanol、ioxynil (ISO) and its salts;4−hydroxy−3,5−diiodobenzonitrile、bromoxynil (ISO) and its salts;3,5−dibromo−4−hydroxybenzonitrile;bromoxynil phenol、bromoxynil octanoate (ISO);2,6−dibromo−4−cyanophenyl octanoate、lead(II) methanesulphonate、5−chloro−1,3−dihydro−2H−indol−2−one、nitrofen (ISO);2,4−dichlorophenyl 4−nitrophenyl ether、disodium 4−amino−3−[[4’−[(2,4−diaminophenyl)azo][1,1’−biphenyl]−4−yl]azo]−5−hydroxy−6−(phenylazo)naphtalene−2,7−disulphonate;C.I. Direct Black 38、valinamide、propylenethiourea、[(p−tolyloxy)methyl]oxirane、[(m−tolyloxy)methyl]oxirane;、2,3−epoxypropyl o−tolyl ether;、cresyl glycidyl ether、benzyl 2,4−dibromobutanoate、thiophanate−methyl (ISO);1,2−di−(3−methoxycarbonyl−2−thioureido)benzene、602−077−00−1 dodecachloropentacyclo[5.2.1.02,6.03,9.05,8]decane;mirex、tridemorph (ISO);2,6−dimethyl−4−tridecylmorpholine、lead hexafluorosilicate、tetrasodium 3,3’−[[1,1’−biphenyl]−4,4’−diylbis(azo)]bis[5−amino−4−hydroxynaphthalene−2,7−disulphonate];C.I. Direct Blue 6、[(tolyloxy)methyl]oxirane;、 1,2,4−triazole、lead di(acetate)、trifluoroiodomethane;trifluoromethyl iodide、6−(2−chloroethyl)−6−(2−methoxyethoxy)−2,5,7,10−tetraoxa−6−silaundecane;etacelasil、ioxynil octanoate (ISO);4−cyano−2,6−diiodophenyloctanoate、dinocap (ISO)、oxadiargyl (ISO);3−[2,4−dichloro−5−(2−propynyloxy)phenyl]−5−(1,1−dimethylethyl)−1,3,4−oxadiazol−2(3H)−one5−tert−butyl−3−[2,4−dichloro−5−(prop−2−ynyloxy)phenyl]−1,3,4−oxadiazol−2(3H)−one、binapacryl (ISO);2−sec−butyl−4,6−dinitrophenyl−3−methylcrotonate、DNOC;4,6−dinitro−o−cresol、m−phenylenediaminedihydrochloride、(S)−4−hydroxy−3−(3−oxo−1−phenylbutyl)−2−benzopyrone、(R)−4−hydroxy−3−(3−oxo−1−phenylbutyl)−2−benzopyrone、 octamethylcyclotetrasiloxane、bromoxynil heptanoate (ISO);2,6−dibromo−4−cyanophenylheptanoate、hexan−2−one;methyl butyl ketone;butyl methyl ketone;methyl−n−butyl ketone、diisopentylphthalate、tetrahydrothiopyran−3−carboxaldehyde、methoxyacetic acid、carbon monoxide、1−ethyl−1−methylmorpholinium bromide、cycloheximide、(3−chlorophenyl)−(4−methoxy−3−nitrophenyl)methanone、fenpropimorph;cis−4−[3−(p−tert−butylphenyl)−2−methylpropyl]−2,6−dimethylmorpholine、azafenidin、4,4−isobutylethylidenediphenol、1,2−benzenedicarboxylic acid;di−C7−11−branched and linear alkylesters、1−ethyl−1−methylpyrrolidinium bromide、fluazifop−butyl (ISO);butyl (RS)−2−[4−(5−trifluoromethyl−2−pyridyloxy)phenoxy]propionate、2−methoxypropyl acetate、lead hydrogen arsenate、2,3−dichloropropene;2,3−dichloropropylene、2−chloracetamide、fluazifop−P−butyl (ISO);butyl (R)−2−[4−(5−trifluoromethyl−2−pyridyloxy)phenoxy]propionate、(S)−2,3−dihydro−1H−indole−2−carboxylic acid、2−ethylhexyl[[[3,5−bis(1,1−dimethylethyl)−4−hydroxyphenyl]methyl]thio]acetate、warfarin、2−methyl−m−phenylenediamine;2,6−toluenediamine、2−(isocyanatosulfonylmethyl)benzoic acid methyl ester;(alt.):methyl 2−(isocyanatosulfonylmethyl)benzoate、dibutyl phthalate;DBP、1,2−benzenedicarboxylic acid,dipentylester, branched and linear、BBP;benzyl butyl phtalate、2,2’−((3,3’,5,5’−tetramethyl−(1,1’−biphenyl)−4,4’−diyl)−bis(oxymethylene))−bis−oxirane、2−methoxyaniline;o−anisidine、trans−4−cyclohexyl−L−proline monohydrochloride、1−cyclopropyl−6,7−difluoro−1,4−dihydro−4−oxoquinoline−3−carboxylic acid、1,3−Bis(vinylsulfonylacetamido)propane、cyproconazole (ISO);(2RS,3RS;2RS,3SR)−2−(4−chlorophenyl)−3−cyclopropyl−1−(1H−1,2,4−triazol−1−yl)butan−2−ol、hydrochloride、trans−4−phenyl−L−proline、Phen
obarbital、Mitomycin C、Methylthiouracil、Niridazole、Uracil mustard、Medroxyprogesterone acetate、Trypan blue、Nitromethane、Phenolphthalein、Dichloroacetic acid、Naphthalene、Dihydrosafrole、4−Vinylcyclohexene、Styrene、1,2−Epoxybutane (NB: Overall evaluation upgraded from 3 to 2B with supporting evidence from other relevant data)、Azaserine、Tetrafluoroethylene、Griseofulvin、Nitrogen mustard N−oxide、2−Methyl−1−nitroanthraquinone (uncertain purity)、1−Hydroxyanthraquinone、Sodium ortho−phenylphenate、Aramit、Thiouracil、Dibenzo[a,i]pyrene、Dibenzo[a,h]pyrene、7H−Dibenzo[c,g]carbazole、Benz[j]aceanthrylene(NB: Overall evaluation upgraded from 3 to 2B with supporting mechanistic and other relevant data)、Dibenz[a,j]acridine、Dibenz[a,h]acridine、Benzofuran、Lasiocarpine、Monocrotaline、Caffeic acid、Auramine (technical−grade)、Merphalan、N−[4−(5−Nitro−2−furyl)−2−thiazolyl]acetamide、1−[(5−Nitrofurfurylidene)amino]−2−imidazolidinone、Oxazepam、2−Nitrofluorene、N,N’−Diacetylbenzidine、N−Methyl−N−nitrosourethane、2−Amino−5−(5−nitro−2−furyl)−1,3,4−thiadiazole、Glycidaldehyde、Panfuran S (containing dihydroxymethylfuratrizine)、Trichlormethine (Trimustine hydrochloride)、Vanadium pentoxide、1,2−Diethylhydrazine、Benzyl violet 4B、Benzo[c]phenanthrene (NB: Overall evaluation upgraded from 3 to 2B with supporting evidence from other relevant data)、CI Direct Blue 15、Oil Orange SS、HC Blue No. 1、Diisopropyl sulfate、β−Butyrolactone、2,2−Bis(bromomethyl)propane−1,3−diol、Ponceau 3R、2−(2−Formylhydrazino)−4−(5−nitro−2−furyl)thiazole、AF−2 [2−(2−Furyl)−3−(5−nitro−2−furyl)acrylamide]、Ponceau MX、Nafenopin、5−(Morpholinomethyl)−3−[(5−nitrofurfurylidene)−amino]−2−oxazolidinone、1−Nitropyrene、Citrus Red No. 2、CI Acid Red 114、Aflatoxin M1、Cobalt and cobalt compounds (NB: Evaluated as a group)、Zalcitabine、6−Nitrochrysene、Potassium bromate、Bitumens, extracts of steam−refined and air−refined、Carrageenan, degraded、Sterigmatocystin、N−Nitrosomethylethylamine、Bleomycins (NB: Overall evaluation upgraded from 3 to 2B with supporting evidence from other relevant data)、Palygorskite (attapulgite) (long fibres, > 5 micro−metres)、Cycasin、Daunomycin、3,9−Dinitrofluoranthene、Riddelliine、trans−2−[(Dimethylamino)methylimino]−5− [2−(5−nitro−2−furyl)−vinyl]−1,3,4−oxadiazole、A−α−C (2−Amino−9H−pyrido[2,3−b]indole)、3,3’−Dichloro−4,4’−diaminodiphenyl ether、Zidovudine (AZT)、1,6−Dinitropyrene、1,8−Dinitropyrene、Amsacrine、4−Nitropyrene、3−(N−Nitrosomethylamino)propionitrile、Trp−P−1 (3−Amino−1,4−dimethyl−5H−pyrido− [4,3−b]indole)、Trp−P−2 (3−Amino−1−methyl−5H−pyrido−[4,3−b]−indole)、Mitoxantrone、Glu−P−2 (2−Aminodipyrido[1,2−a:3’,2’−d]imidazole)、Glu−P−1 (2−Amino−6−methyldipyrido[1,2−a:3’,2’−d]−imidazole)、MeA−α−C (2−Amino−3−methyl−9H−pyrido[2,3−b]−indole)、MeIQ (2−Amino−3,4−dimethylimidazo[4,5−f]−quinoline)、3−Chloro−4−(dichloromethyl)−5−hydroxy−2(5H)−furanone、MeIQx (2−Amino−3,8−dimethylimidazo[4,5−f]−quinoxaline)、Microcystin−LR、PhIP (2−Amino−1−methyl−6−phenylimidazo[4,5−b]−pyridine)、3,7−Dinitrofluoranthene、Fumonisin B1、Polybrominated biphenyls、NICKEL ACETATE、LEAD ARSENATE, AS “PB(AS04)2”、NICKEL CHLORIDE、NICKEL SULFATE、NICKEL HYDROXIDE、SILICA−CRYSTALLINE CRISTOBALITE、TRIDYMITE (SILICA−CHRYSTALLINE)、Vinylidene chloride (1,1−dichloroethylene); class, vinyl halides)、Pentachloroethane; class, chloroethanes、Propylene dichloride、Chlorinated camphene、p−Anisidine、o−Tolidine、Malonaldehyde、1,1,2,2−Tetrachloroethane、tert−Butyl chromate; class, chromium hexavalent、Diglycidyl ether (DGE); class, glycidyl ethers、Chlordane、Nickel carbonyl、Chlorodiphenyl、methoxychlor、ziram、mancozeb、metiram、zineb、maneb、dichlorovos、hexestrol、Dicyclohexyl phthalate (DCHP)、2−t−butylphenol、dinoseb、4−sec−butylphenol、chlorpropham、4−dodecylphenol、chlorobenzenes、benzophenone、2,4−dichlorophenol、simazine、Di−propyl phthalate (DprP)、ethylenebisdithiocarbamate(mancozeb, maneb, metiram, zineb)、oxydemeton−methyl、genistein、coumestrol、formononetin、daidzein、equol、dibromoacetic acid、4−propylphenol、heptachlor epoxide、4−n−butylphenol、ioxynil、p−octylphenol, octylphenol、molinate 、carbendazim、azadirachtin、alachlor(Lasso)、oryzalin 、metribuzin 、cyanazine、octachlorostyrene、procymidone、TCDD, PCDD, dioxin、iprodione 、pendimethalin 、TCDF, PCDF, furan、fenvalerate、permethrin 、esfenvalerate 、fenoxycarb、clofentezine、enterolactone、raloxifene 、4−Nitrotoluene、Atrazine、Benomyl、Trichlorfon (Trichlorphon)、DDD、DDE、Cacodylic acid、Tribufos (Tribuphos/DEF)、Trichlorophenol, 2,4,6−、Acrolein、Methylphenol, 3−、Metaldehyde、Propoxur、2−Benzyl−4−chlorophenol、Ferdam、MGK Repellent 326、Metam sodium、Dicrotophos、Thiabendazole、Mercaptobenzothiazole, 2−、Bromacil、Hydrogen cyanamide、Propanil、Tolylfluanid、Dimethoxane、Terbutryn、Tetrachlorvinphos、Daminozide、Bromoxynil、Nitrapyrin、Fluometuron、Triallate、Oxythioquinox、Captafol、Asulam、Methyl isothiocyanate、Tetramethrin、Pyrethrins、Mecroprop−p、Oxadiazon、TCMTB (Busan 72)、Pirimicarb、Thiophanate−methyl、Triforine、Esbiothrin、Prodiamine、Poly(hexamethylenebiguanide) (PHMB)、Amitraz、Acetochlor、Imazalil、Oxyfluorfen、Diclofop−methyl、Pyrimethanil、Triadimenol、Ethalfluralin、Dimethipin、Tridiphane、Thiodicarb、Acifluorfen, sodium、HydramethylNon (Amd
ro)、Prochloraz、Cocamide Diethanolamine、Buprofezin、MON 4660、Lactofen (Cobra)、Oxadixyl、Hexythiazox (Savey)、Hexaconazole (Anvil)、Isoxaben、Clofencet (MON 21200)、Uniconazole、S−Metolachlor、Dimethenamid、Tralkoxydim、Cyproconazole、Tribenuron methyl、Clodinafop−propargyl、Epoxiconazole、Mepanipyrim、Thiacloprid、Fenbuconazole (Fenethanil)、Fluthiacet−methyl、Thiazopyr (MON 13200)、Tebufenpyrad、Difenoconazole、Fipronil、Furilazole ( MON 13900)、Chlorfenapyr、Pyrithiobac−sodium、Triflusulfuron−methyl、Pyraflufen−Ethyl、Epoxiconazole、Iprovalicarb、Sulfosulfuron、Spirodiclofen、Flonicamid、Benthiavalicarb−isopropyl、BAS 510 F、Penoxulam、Haloxyfop−methyl (Verdict)、XYLIDINE、DIPHENYLMETHANE−4,4−DIISOCYANATE (MDI)、ALLYL GLYCIDYL ETHER (AGE)、CHLOROFLUOROMETHANE、NITROSODIISOPROPYLAMINE、NITROSOETHYLPHENYLAMINE、NITROSOMETHYLPHENYLAMINE、BUTANE SULTONE、ANTIMONY OXIDE、ALUMINA (ALUMINUM OXIDE)、AURAMINE HYDROCHLORIDE、GLYCIDYL TRIMETHYL AMMONIUM CHLORIDE、SULFURIC ACID、BITUMEN、DAWSONITE (FIBROUS DUST)、SULFURIC ACID、Arsine、ETHYL BENZENE、tetrahydrofuran、xylene、Carbon black、CATECHOL (PYROCATECHOL)、n−hexane、mercury、lead(II) methanesulphonate、carbon monoxide、cobalt sulfate、 octamethylcyclotetrasiloxane、 2−methoxypropyl acetate、 2−methoxypropanol、 1,2,4−triazole、ozone、ethylene glycol、diethylene glycol ethyl ether、Ethylene Glycol Monoethyl Ether acetate、Ethylene Glycol methyl ether、Ethylene Glycol methyl ether acetateおよびdiethylene glycol demethyl etherも保存安定性を低下させるため、本発明のポジ型感光性樹脂組成物における含有量は5ppm以下であることが好ましく、1ppm以下であることがより好ましい。そのため、(b)キノンジアジド化合物に含有する上記化合物の含有量はいずれも25ppm以下が好ましく、5ppm以下がより好ましい。また上記以外の不純物となる化合物も保存安定性を低下させるため、本発明のポジ型感光性樹脂組成物における含有量は5ppm以下であることが好ましく、1ppm以下であることがより好ましい。そのため、(b)キノンジアジド化合物に含有する上記以外の不純物となる化合物も25ppm以下が好ましく、5ppm以下がより好ましい。
Claims (2)
- (a)ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールまたはそれらの前駆体、(b)キノンジアジド化合物および(c)溶剤を含有し、ベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量がいずれも5ppm以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
- (a)ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールまたはそれらの前駆体、(b)キノンジアジド化合物および(c)溶剤を混合するポジ型感光性樹脂組成物の製造方法であって、(b)キノンジアジド化合物に含まれるベンゼン、トルエンおよびキシレンの含有量がいずれも25ppm以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011031615A JP5712658B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | ポジ型感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011031615A JP5712658B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | ポジ型感光性樹脂組成物 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012168487A true JP2012168487A (ja) | 2012-09-06 |
JP2012168487A5 JP2012168487A5 (ja) | 2014-04-03 |
JP5712658B2 JP5712658B2 (ja) | 2015-05-07 |
Family
ID=46972675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011031615A Active JP5712658B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | ポジ型感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5712658B2 (ja) |
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JP5712658B2 (ja) | 2015-05-07 |
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A521 | Written amendment |
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|
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A521 | Written amendment |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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