JP2012159398A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012159398A5 JP2012159398A5 JP2011019432A JP2011019432A JP2012159398A5 JP 2012159398 A5 JP2012159398 A5 JP 2012159398A5 JP 2011019432 A JP2011019432 A JP 2011019432A JP 2011019432 A JP2011019432 A JP 2011019432A JP 2012159398 A5 JP2012159398 A5 JP 2012159398A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layer
- csi
- interface
- peeled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011019432A JP5629593B2 (ja) | 2011-02-01 | 2011-02-01 | 放射線検出器 |
| EP12742354.9A EP2672292B1 (en) | 2011-02-01 | 2012-01-25 | Radiation detector |
| KR1020137018945A KR20130114211A (ko) | 2011-02-01 | 2012-01-25 | 방사선 검출기 |
| CN201280007198.5A CN103348263B (zh) | 2011-02-01 | 2012-01-25 | 放射线检测器 |
| PCT/JP2012/000452 WO2012105185A1 (ja) | 2011-02-01 | 2012-01-25 | 放射線検出器 |
| TW101103271A TWI456242B (zh) | 2011-02-01 | 2012-02-01 | 放射線檢測器 |
| US13/956,982 US8853808B2 (en) | 2011-02-01 | 2013-08-01 | Radiation detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011019432A JP5629593B2 (ja) | 2011-02-01 | 2011-02-01 | 放射線検出器 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012159398A JP2012159398A (ja) | 2012-08-23 |
| JP2012159398A5 true JP2012159398A5 (https=) | 2014-03-20 |
| JP5629593B2 JP5629593B2 (ja) | 2014-11-19 |
Family
ID=46602412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011019432A Active JP5629593B2 (ja) | 2011-02-01 | 2011-02-01 | 放射線検出器 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8853808B2 (https=) |
| EP (1) | EP2672292B1 (https=) |
| JP (1) | JP5629593B2 (https=) |
| KR (1) | KR20130114211A (https=) |
| CN (1) | CN103348263B (https=) |
| TW (1) | TWI456242B (https=) |
| WO (1) | WO2012105185A1 (https=) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014071077A (ja) * | 2012-10-01 | 2014-04-21 | Canon Inc | 放射線検出装置、及び、放射線検出システム |
| WO2015146855A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 富士フイルム株式会社 | 放射線検出装置及び放射線検出装置の製造方法 |
| JP6523620B2 (ja) * | 2014-06-16 | 2019-06-05 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | 放射線検出器及びその製造方法 |
| US10712454B2 (en) * | 2014-07-25 | 2020-07-14 | General Electric Company | X-ray detectors supported on a substrate having a metal barrier |
| US9513380B2 (en) * | 2014-07-25 | 2016-12-06 | General Electric Company | X-ray detectors supported on a substrate having a surrounding metal barrier |
| JP2016128779A (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 株式会社東芝 | 放射線検出器及びその製造方法 |
| JP6487263B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2019-03-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器及びその製造方法 |
| WO2017120201A1 (en) * | 2016-01-05 | 2017-07-13 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Apparatus and methods for optical emission detection |
| US10481280B2 (en) | 2016-07-07 | 2019-11-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Radiation detecting apparatus, radiation detecting system, and manufacturing method for radiation detecting apparatus |
| JP2018155699A (ja) * | 2017-03-21 | 2018-10-04 | コニカミノルタ株式会社 | 放射線検出器 |
| JP7151702B2 (ja) * | 2018-03-23 | 2022-10-12 | 東レ株式会社 | シンチレータパネル、放射線検出器、およびシンチレータパネルの製造方法 |
| CN110323235A (zh) * | 2018-03-29 | 2019-10-11 | 夏普株式会社 | 摄像面板 |
| JP2019174365A (ja) * | 2018-03-29 | 2019-10-10 | シャープ株式会社 | 撮像パネル |
| JP2019174366A (ja) * | 2018-03-29 | 2019-10-10 | シャープ株式会社 | 撮像パネル |
| WO2019244610A1 (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | 富士フイルム株式会社 | 放射線検出器及び放射線画像撮影装置 |
| JP7240998B2 (ja) * | 2018-11-13 | 2023-03-16 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | 放射線検出モジュール、放射線検出器、及び放射線検出モジュールの製造方法 |
| KR20210128489A (ko) | 2019-04-09 | 2021-10-26 | 야스 메디칼 이메이징 테크놀로지 가부시키가이샤 | 신틸레이터 모듈, 신틸레이터 센서 유닛 및 제조 방법 |
| KR102666048B1 (ko) * | 2019-05-29 | 2024-05-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | 디지털 엑스레이 검출기와 이를 포함하는 디지털 엑스레이 검출 장치 및 이의 제조 방법 |
| JP7325295B2 (ja) * | 2019-10-24 | 2023-08-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | シンチレータパネル、放射線検出器、シンチレータパネルの製造方法、及び、放射線検出器の製造方法 |
| US11804503B2 (en) * | 2020-06-12 | 2023-10-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion device and x-ray imaging device |
| CN114023845B (zh) | 2020-07-17 | 2024-08-20 | 睿生光电股份有限公司 | X射线装置及其制造方法 |
| JP7840728B2 (ja) * | 2022-02-25 | 2026-04-06 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置、放射線撮像システム、および放射線検出装置の製造方法 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5132539A (en) * | 1991-08-29 | 1992-07-21 | General Electric Company | Planar X-ray imager having a moisture-resistant sealing structure |
| JP3405706B2 (ja) * | 1997-02-14 | 2003-05-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出素子 |
| JP3077941B2 (ja) | 1997-02-14 | 2000-08-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出素子及びその製造方法 |
| EP1258738B1 (en) | 2000-01-13 | 2011-08-03 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image sensor and scintillator panel |
| JP2004264239A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Canon Inc | 放射線撮像装置 |
| US7355184B2 (en) * | 2003-04-07 | 2008-04-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Radiation detecting apparatus and method for manufacturing the same |
| EP1779140B1 (en) * | 2004-08-10 | 2018-06-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Radiation detecting apparatus, scintillator panel, their manufacturing method and radiation detecting system |
| JP4266898B2 (ja) * | 2004-08-10 | 2009-05-20 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置とその製造方法および放射線撮像システム |
| US7651877B2 (en) * | 2004-10-28 | 2010-01-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Two-dimensional image detecting apparatus and method for manufacturing the same |
| JP2006337184A (ja) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Canon Inc | 放射線検出装置 |
| JP2006343277A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Canon Inc | 放射線検出装置及び放射線撮像システム |
| JP4921180B2 (ja) * | 2006-01-25 | 2012-04-25 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線撮像システム |
| JP2008215951A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Toshiba Corp | 放射線検出器 |
| JP2008261651A (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Toshiba Corp | シンチレータパネル、シンチレータパネルの製造方法および放射線検出器 |
| JP5022805B2 (ja) * | 2007-07-26 | 2012-09-12 | 東芝電子管デバイス株式会社 | 放射線検出器 |
| JP4764407B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2011-09-07 | 東芝電子管デバイス株式会社 | 放射線検出器及びその製造方法 |
| JP2010101640A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Toshiba Corp | 放射線検出器 |
| JP5368772B2 (ja) | 2008-11-11 | 2013-12-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出装置、放射線画像取得システム及び放射線の検出方法 |
| JP5305996B2 (ja) * | 2009-03-12 | 2013-10-02 | 株式会社東芝 | 放射線検出器およびその製造方法 |
| DE102009015563B4 (de) * | 2009-03-30 | 2018-02-22 | Siemens Healthcare Gmbh | Röntgenstrahlungsdetektor zur Detektion von ionisierender Strahlung, insbesondere zur Verwendung in einem CT-System |
| JP2010286447A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Toshiba Electron Tubes & Devices Co Ltd | 放射線検出器及びその製造方法 |
-
2011
- 2011-02-01 JP JP2011019432A patent/JP5629593B2/ja active Active
-
2012
- 2012-01-25 KR KR1020137018945A patent/KR20130114211A/ko not_active Ceased
- 2012-01-25 EP EP12742354.9A patent/EP2672292B1/en active Active
- 2012-01-25 CN CN201280007198.5A patent/CN103348263B/zh active Active
- 2012-01-25 WO PCT/JP2012/000452 patent/WO2012105185A1/ja not_active Ceased
- 2012-02-01 TW TW101103271A patent/TWI456242B/zh active
-
2013
- 2013-08-01 US US13/956,982 patent/US8853808B2/en active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2012159398A5 (https=) | ||
| JP2014032960A5 (ja) | 表示装置の作製方法 | |
| JP2011506457A5 (https=) | ||
| FR2963982B1 (fr) | Procede de collage a basse temperature | |
| CN103617944B (zh) | 基于光刻胶的临时键合及去键合的方法 | |
| JP2012039090A5 (https=) | ||
| DE602008002747D1 (de) | Verfahren zur reinigung einer solarzellenoberflächenöffnung mit einer solarätzungspaste | |
| JP2010540299A5 (https=) | ||
| CN108793145B (zh) | 一种原子级厚度石墨烯/氮化硼复合异质薄膜及制备 | |
| JP2009094496A5 (https=) | ||
| JP2008124480A5 (https=) | ||
| CN107516666B (zh) | 一种柔性oled显示器件剥离方法及柔性oled显示器件 | |
| JP2011009595A5 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2014146793A5 (https=) | ||
| JP6080738B2 (ja) | カーボンナノチューブシートの製造方法 | |
| JP2009158943A5 (https=) | ||
| JP2009124113A5 (https=) | ||
| FR2926671B1 (fr) | Procede de traitement de defauts lors de collage de plaques | |
| WO2011137133A3 (en) | Semiconducting devices and methods of preparing | |
| JP2009004756A5 (https=) | ||
| MY184180A (en) | Wafer-processing tape | |
| WO2007142865A3 (en) | Thin film photovoltaic structure and fabrication | |
| CN110234602A (zh) | 自牺牲支撑层辅助的石墨烯转移方法及石墨烯 | |
| WO2020093921A1 (zh) | 一种微振动传感器及其制备方法 | |
| JP2009044136A5 (https=) |