JP2012156554A - 基材の処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基材の処理方法であって、
(a)チャンバー中で、反応性のエッチングガスを用いるエッチングステップ、および先行するエッチングステップにより既にエッチングされた構造の部分の側壁上に保護ポリマーを堆積するための堆積ステップを含む周期的なプロセスを用いて、基材に概ね垂直な構造をエッチングすること、および
(b)基材の非存在下において、ステップ(a)における堆積ステップの実行によって物質が堆積したチャンバーを、洗浄することを含み、堆積に由来する物質の洗浄に続いて、チャンバーをO2と少なくともエッチャントガスの活性元素との混合物を含むプラズマに暴露することによって、エッチャントガス由来の物質を取り除いてチャンバーが洗浄されることを特徴とした、基材の処理方法である。
【選択図】図1
Description
2SF6+3Si(固体)→3SiF4(気体)+2S(固体)
4CF2→4(CF2)n(固体)
(CF2)n(固体)+O→CF2O(気体)
(a)チャンバー中で、反応性のエッチングガスを用いるエッチングステップ、および先行するエッチングステップにより既にエッチングされた構造の部分の側壁上に保護ポリマーを堆積するための堆積ステップを含む周期的なプロセスを用いて、基材に概ね垂直な構造をエッチングすること、および
(b)基材の非存在下において、ステップ(a)における堆積ステップの実行によって物質が堆積したチャンバーを、洗浄することを含み、堆積に由来する物質の洗浄に続いて、チャンバーをO2と少なくともエッチャントガスの活性元素との混合物を含む、プラズマの混合物に暴露することによって、エッチャントガス由来の物質を取り除いてチャンバーが洗浄されることを特徴とした、基材の処理方法からなる。
(a)チャンバー中で、反応性のエッチングガスを用いるエッチングステップ、および先行するエッチングステップにより既にエッチングされた構造の部分の側壁上に保護ポリマーを堆積するための堆積ステップを含む周期的なプロセスを用いて、基材に概ね垂直な構造をエッチングすること、および
(b)別個のステップで、エッチングステップおよび堆積ステップの一方によって堆積された第一の物質、並びにエッチングステップおよび堆積ステップの他方によって堆積された異なる化学物質である第二の物質を順次に洗浄すること、を含み、それぞれの洗浄ステップがそれぞれのガス混合物を含むそれぞれのプラズマを用いる洗浄プロセスによって実行され、そのガス混合物は互いに異なっている。
Claims (6)
- 基材の処理方法であって、
(a)チャンバー中で、反応性のエッチングガスを用いるエッチングステップ、および先行するエッチングステップにより既にエッチングされた構造の部分の側壁上に保護ポリマーを堆積するための堆積ステップを含む周期的なプロセスを用いて、基材に概ね垂直な構造をエッチングすること、および
(b)基材の非存在下において、ステップ(a)における堆積ステップの実行によって物質が堆積したチャンバーを、洗浄することを含み、堆積に由来する物質の洗浄に続いて、チャンバーをO2と少なくともエッチャントガスの活性元素との混合物を含むプラズマに暴露することによって、エッチャントガス由来の物質を取り除いてチャンバーが洗浄されることを特徴とした、基材の処理方法。 - ステップ(b)の混合物がO2およびエッチャントガスであることを特徴とする請求項1記載の方法。
- エッチャントガスがSF6であることを特徴とする請求項2記載の方法。
- 活性元素がフッ素であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 洗浄プロセスの少なくとも一部がイオン照射を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の方法。
- 基材の処理方法であって、
(a)チャンバー中で、反応性のエッチングガスを用いるエッチングステップ、および先行するエッチングステップにより既にエッチングされた構造の部分の側壁上に保護ポリマーを堆積するための堆積ステップを含む周期的なプロセスを用いて、基材に概ね垂直な構造をエッチングすること、および
(b)別個のステップで、エッチングステップおよび堆積ステップの一方によって堆積された第一の物質、並びにエッチングステップおよび堆積ステップの他方によって堆積された異なる化学物質である第二の物質を順次に洗浄すること、
を含み、それぞれの洗浄ステップがそれぞれのガス混合物を含むそれぞれのプラズマを用いる洗浄プロセスによって実行され、そのガス混合物は互いに異なっている、基材の処理方法。
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