JP2012146911A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するために、この発明の一の局面における基板処理装置は、基板を搬送する搬送部と、運転を開始する際に、基板の高さ位置および搬送方向に沿った長さの検出結果に基づいて搬送部における基板に関する段取りが誤っているか否かを検出する誤段取り検出手段とを備える。

Claims (14)

1. 基板を搬送する搬送部と、
   運転を開始する際に、前記基板の高さ位置および搬送方向に沿った長さの検出結果に基づいて前記搬送部における前記基板に関する段取りが誤っているか否かを検出する誤段取り検出手段とを備える、基板処理装置。
2. 前記誤段取り検出手段により、前記基板に関する段取りが誤段取り状態であることが検出された場合に、ユーザに対して前記基板に関する段取りが前記誤段取り状態である旨の警告を行う警告手段をさらに備える、請求項１に記載の基板処理装置。
3. 前記誤段取り検出手段は、対象物を検出可能な対象物検出部と、前記対象物検出部の検出結果に基づいて前記基板に関する段取りが誤っているか否かを判別する制御部とを含む、請求項１または２に記載の基板処理装置。
4. 前記対象物検出部は、前記基板を検出可能に構成されており、
   前記基板に関する段取りは、前記基板を前記搬送部に配置する作業を含み、
   前記制御部は、前記対象物検出部による前記基板の検出結果に基づいて、前記搬送部が有する基板搬送経路上の所定の領域内に、所定の長さを有する前記基板が所定の枚数以下の状態で配置されているか否かを判別することにより、前記基板に関する段取りが誤っているか否かを判別するように構成されている、請求項３に記載の基板処理装置。
5. 前記対象物検出部は、前記基板の長さを検出可能に構成されており、
   前記制御部は、前記所定の長さと、前記対象物検出部により検出された前記基板の長さとを比較することにより、前記所定の領域内に配置されている前記基板の枚数を判別するように構成されている、請求項４に記載の基板処理装置。
6. 前記制御部は、前記対象物検出部により検出された前記基板の長さが前記所定の長さよりも大きい場合に、前記基板が前記所定の領域内に複数枚配置されていると判別するように構成されている、請求項５に記載の基板処理装置。
7. 前記搬送部は、前記基板の搬送方向に沿って並ぶ複数の区間からなり、
   前記制御部は、前記対象物検出部により検出された前記基板の長さに基づいて、前記複数の区間のうちの所定の区間内に存在する前記基板の枚数を判別するとともに、前記所定の区間内に前記基板が複数枚存在する状態を判別した場合に、前記基板に関する段取りが誤っていると判別するように構成されている、請求項５または６に記載の基板処理装置。
8. 少なくとも前記基板の搬送方向に沿って移動可能であるとともに、前記基板に対する処理を行うことが可能に構成されたヘッド部をさらに備え、
   前記ヘッド部には、前記対象物検出部が取り付けられており、
   前記対象物検出部は、前記ヘッド部の前記基板の搬送方向への移動に伴って前記搬送部上を走査することにより、前記基板を検出するように構成されている、請求項３〜７のいずれか１項に記載の基板処理装置。
9. 前記対象物検出部は、前記対象物の高さ位置を計測する高さ計測部であり、
   前記制御部は、前記高さ計測部を用いて前記基板の搬送方向における前記対象物の高さ位置の変化を計測した結果に基づいて、前記搬送部が有する基板搬送経路上の所定の領域内に所定の長さを有する前記基板が所定の枚数以下の状態で配置されているか否かを判別して、前記基板に関する段取りが誤っているか否かを判別するように構成されている、請求項８に記載の基板処理装置。
10. 前記制御部は、前記高さ計測部により計測された前記基板の高さ位置が、前記基板の搬送方向に沿って所定の範囲に亘って継続するか否かを計測した結果に基づいて、前記所定の領域内に配置されている前記基板の枚数を判別するように構成されている、請求項９に記載の基板処理装置。
11. 運転を開始する命令の入力を受け付ける運転開始入力部をさらに備え、
    前記誤段取り検出手段は、前記運転開始入力部により入力された前記命令に基づいて、運転を開始する際に、前記基板に関する段取りが誤っているか否かを検出するように構成されている、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の基板処理装置。
12. 少なくとも前記基板の搬送方向と交差する方向に沿って移動可能であるとともに、前記基板に対する処理を行うことが可能に構成されたヘッド部をさらに備え、
    前記ヘッド部には、前記対象物検出部が取り付けられており、
    前記対象物検出部は、前記ヘッド部に取り付けられた状態で前記対象物としての前記基板を支持する支持部材を検出可能に構成されており、
    前記搬送部は、前記基板の搬送方向に沿って並ぶ複数の固定型搬送部と、前記複数の固定型搬送部間に設けられ、前記基板の搬送方向と交差する方向に移動可能な可動型搬送部とを含み、
    前記基板に関する段取りは、前記支持部材を前記可動型搬送部に取り付ける作業を含み、
    前記対象物検出部は、前記ヘッド部の前記基板の搬送方向と交差する方向への移動に伴って走査することにより、前記可動型搬送部と前記固定型搬送部との境界部分の近傍に前記支持部材が配置されているか否かを検出し、
    前記制御部は、前記対象物検出部による検出結果に基づいて、前記基板に関する段取りが誤っているか否かを判別するように構成されている、請求項３〜１１のいずれか１項に記載の基板処理装置。
13. 前記対象物検出部により前記可動型搬送部と前記固定型搬送部との前記境界部分の近傍に前記支持部材が配置されていない検出結果が得られた場合、前記制御部は、前記搬送部が有する基板搬送経路上の所定の領域内に、前記所定の長さを有する前記基板が所定の枚数以下の状態で配置されているか否かを判別することにより、前記基板に関する段取りが誤っているか否かを判別するように構成されている、請求項１２に記載の基板処理装置。
14. 前記支持部材は、棒状のプッシュアップピンを含み、
    前記誤段取り検出手段の制御部および対象物検出部は、前記支持部材が前記プッシュアップピンである場合には、前記可動型搬送部と前記固定型搬送部との前記境界部分の近傍に前記支持部材が配置されているか否かを判別する動作を行わないように構成されている、請求項１２または１３に記載の基板処理装置。