JP2012146884A - 基板重ね合わせ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】重ね合わせ装置であって、複数の基板のうちの一の基板を保持する第1ステージと、第1ステージに対向して配されるとともに第1ステージに対して相対移動可能であって、複数の基板のうちの他の基板を保持する第2ステージと、第1ステージおよび第2ステージが複数の基板を挟んだ状態で一の基板および他の基板を位置合わせする場合に、一の基板および他の基板のアライメントマークを観測するとともに、重ね合わされた複数の基板が第1ステージから離間しており第2ステージに保持された状態におけるアライメントマークを観測する観測部とを備える。
【選択図】図7
Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1]特開2005−251972号公報
Claims (12)
- 複数の基板のうちの一の基板を保持する第1ステージと、
前記第1ステージに対向して配されるとともに前記第1ステージに対して相対移動可能であって、前記複数の基板のうちの他の基板を保持する第2ステージと、
前記第1ステージおよび前記第2ステージが前記複数の基板を挟んだ状態で前記一の基板および前記他の基板を位置合わせする場合に、前記一の基板および前記他の基板のアライメントマークを観測するとともに、重ね合わされた前記複数の基板が前記第1ステージから離間しており前記第2ステージに保持された状態における前記アライメントマークを観測する観測部と
を備える基板重ね合わせ装置。 - 前記観測部は、
前記一の基板および前記他の基板を位置合わせする場合に、前記アライメントマークを焦点深度内に含む位置合わせ顕微鏡と、
前記位置合わせ顕微鏡とは別個に設けられ、重ね合わされた前記複数の基板が前記第1ステージから離間しており前記第2ステージに保持された状態における前記アライメントマークを焦点深度内に含む評価顕微鏡と
を有する請求項1に記載の基板重ね合わせ装置。 - 前記位置合わせ顕微鏡および前記評価顕微鏡はそれぞれ、赤外線顕微鏡である請求項2に記載の基板重ね合わせ装置。
- 前記第2ステージは、前記重ね合わせ面に平行な第1の方向および前記第1の方向に直行しかつ前記第1の方向よりも広い可動範囲の第2の方向に移動自在であり、
前記評価顕微鏡は、前記第1の方向に沿って複数個配されている請求項2または請求項3に記載の基板重ね合わせ装置。 - 前記位置合わせ顕微鏡と前記評価顕微鏡とは、前記第1の方向および前記第2の方向について互いに異なる位置に配される請求項4に記載の基板重ね合わせ装置。
- 前記位置合わせ顕微鏡および前記評価顕微鏡は前記第1ステージに固定される請求項2から5のいずれか1項に記載の基板重ね合わせ装置。
- 前記評価顕微鏡の分解能は、前記位置合わせ顕微鏡の分解能より高い請求項2から6のいずれか1項に記載の基板重ね合わせ装置。
- 前記観測部により前記重ね合わされた複数の基板を観測する場合に、前記第1ステージが前記複数の基板の面方向に退避する請求項1から7のいずれか1項に記載の基板重ねあわせ装置。
- 前記観測部は、前記第1ステージおよび前記第2ステージが前記複数の基板を挟んだ状態における前記アライメントマークを焦点深度内に含み、かつ、重ね合わされた前記複数の基板が前記第1ステージから離間しており前記第2ステージに保持された状態における前記アライメントマークを焦点深度内に含むべく焦点深度位置が可変な評価顕微鏡を有する請求項1に記載の基板重ね合わせ装置。
- 前記一の基板は前記第1ステージに対して着脱可能な第1基板ホルダを介して前記第1ステージに保持されるとともに、前記他の基板は前記第2ステージに対して着脱可能な第2基板ホルダを介して前記第2ステージに保持される請求項1から9のいずれか1項に記載の基板重ね合わせ装置。
- 前記第1基板ホルダは、前記第1ステージ側から前記重ね合わせ面を観察する観察穴を有する請求項10に記載の基板重ね合わせ装置。
- 前記観測部は、前記第1基板ホルダ及び前記第2基板ホルダの側方から、前記第1基板ホルダの側面と前記第2基板ホルダの側面との相対位置を観測する請求項10に記載の基板貼り合わせ装置。
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