JP2012129460A - 基板液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板液処理装置は、基板保持台12に保持されて回転する基板Wから飛散した処理液を下方へ案内する第1案内カップ31および第2案内カップ41と、基板保持台12と、第1案内カップ31および第2案内カップ41との間の位置関係を調整する位置調整機構と、第1案内カップ31および第2案内カップ41により案内された処理液を回収する第1処理液回収用タンク61および第2処理液回収用タンク62と、を備えている。第1処理液回収用タンク61と第2処理液回収用タンク62との間には、排気部材71が設けられている。第2案内カップ41の下端部41bに、第1案内カップ31からの処理液を第1処理液回収用タンク61に案内すると共に、第2案内カップ41からの処理液を第2処理液回収用タンク62に案内する案内部材81が設けている。
【選択図】図2
Description
11 液処理室
12 基板保持台
12a 保持部材
12b 外周端部
13 回転駆動軸
14 回転モータ
15 ノズル
21 案内回転カップ
21a 上部開口部
23 ギャップ部
24 保持台下方部材
31 第1案内カップ
31a 開口
32 第1案内カップ本体
32a 内周端部
33 第1下方延長部
33a 下端部
34 内周側延長部
35 気体案内空間
36 昇降溝
41 第2案内カップ
41a 開口
41b 下端部
42 第2案内カップ本体
42a 内周端部
43 嵌入溝
51 第3案内カップ
51a 開口
52 第3案内カップ本体
52a 内周端部
53 第3下方延長部
54 当接部
55 突出部
61 第1処理液回収用タンク
62 第2処理液回収用タンク
63 第3処理液回収用タンク
64 第4処理液回収用タンク
71 第1排気部材
72 第2排気部材
73 吸引駆動部
81 案内部材
82 案内部材本体
83 外周壁部
84 内周壁部
84a 下端部
85 嵌入部
86 連結部材
87 昇降シリンダ
88 区画壁
91 制御部
92 入出力装置
93 記録媒体
W ウエハ
Claims (9)
- 基板を保持する基板保持台と、
前記基板保持台を回転させる回転駆動部と、
前記基板保持台に保持された前記基板に、複数種類の処理液を選択的に供給する処理液供給部と、
前記基板保持台の周辺に設けられ、前記基板保持台に保持されて回転する前記基板から飛散した処理液を下方へそれぞれ案内するために、上から順に設けられた第1案内カップおよび第2案内カップと、
前記基板保持台と、前記第1案内カップおよび前記第2案内カップとの間の位置関係を調整する位置調整機構と、
前記第1案内カップおよび前記第2案内カップの下方領域に設けられ、前記第1案内カップにより案内された処理液を回収する第1処理液回収用タンクと、
前記第1処理液回収用タンクの内周側に設けられ、前記第2案内カップにより案内された処理液を回収する第2処理液回収用タンクと、
前記第1処理液回収用タンクと前記第2処理液回収用タンクとの間に設けられ、前記基板の周囲の雰囲気を、前記第1案内カップおよび前記第2案内カップを介して排出する排気部材と、
前記第2案内カップの下端部に設けられ、前記第1案内カップからの処理液を前記第1処理液回収用タンクに案内すると共に、前記第2案内カップからの処理液を前記第2処理液回収用タンクに案内する案内部材と、を備えたことを特徴とする基板液処理装置。 - 前記案内部材は、案内部材本体と、前記案内部材本体から下方に延びる外周壁部と、前記外周壁部より内周側に設けられ、前記案内部材本体から下方に延びる内周壁部とを有し、
前記外周壁部は、前記第1処理液回収用タンクに対応する位置に配置されていると共に、前記内周壁部は、前記第2処理液回収用タンクに対応する位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の基板液処理装置。 - 前記位置調整機構は、前記第1案内カップに対して前記第2案内カップを昇降させるように構成されており、
前記内周壁部は、前記外周壁部より下方に延び、
前記内周壁部の下端部は、第2案内カップにより処理液を案内する際、前記第2処理液回収用タンク内に挿入されることを特徴とする請求項2に記載の基板液処理装置。 - 前記第1案内カップは、第1案内カップ本体と、前記第1案内カップ本体の内周端部から下方に延びる下方延長部とを有し、
前記第1案内カップの前記下方延長部は、前記第2案内カップにより処理液を案内する際、前記第1案内カップの開口を塞ぐことを特徴とする請求項3に記載の基板液処理装置。 - 前記第2案内カップの下方に設けられ、前記基板保持台に保持されて回転する前記基板から飛散した処理液を下方へ案内する第3案内カップと、
前記第2処理液回収用タンクの内周側に設けられ、前記第3案内カップにより案内された処理液を回収する第3処理液回収用タンクと、
前記第2案内カップから前記第2処理液回収用タンクへの流路と、前記第3案内カップから前記第3処理液回収用タンクへの流路とを区画する区画壁と、を更に備えたことを特徴とする請求項4に記載の基板液処理装置。 - 前記第3案内カップは、前記第2案内カップと共に昇降自在になっており、
前記第3案内カップにより処理液を案内する際、前記第1案内カップと前記第2案内カップとの間が閉塞されると共に、前記第1案内カップの前記下方延長部は、前記第2案内カップの開口を塞ぐことを特徴とする請求項5に記載の基板液処理装置。 - 前記第2案内カップの下方に設けられ、前記基板保持台に保持されて回転する前記基板から飛散した処理液を下方へ案内する第3案内カップと、
前記第2処理液回収用タンクの内周側に設けられ、前記第3案内カップにより案内された処理液を回収する第3処理液回収用タンクと、
前記第2案内カップから前記第2処理液回収用タンクへの流路と、前記第3案内カップから前記第3処理液回収用タンクへの流路とを区画する区画壁と、を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板液処理装置。 - 前記第3処理液回収用タンクの内周側に設けられ、前記基板の周囲の雰囲気を、前記第3案内カップを介して排出する第2の排気部材を更に備えたことを特徴とする請求項5乃至7のいずれかに記載の基板液処理装置。
- 前記第1処理液回収用タンク、前記排気部材、前記第2処理液回収用タンク、および前記第3処理液回収用タンクは、リング状の平面断面を有し、同心状に形成されていることを特徴とする請求項5乃至8のいずれかに記載の基板液処理装置。
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JP2007311446A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Realize Advanced Technology Ltd | 洗浄装置 |
JP2009231710A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2010177372A (ja) * | 2009-01-28 | 2010-08-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
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2010
- 2010-12-17 JP JP2010281772A patent/JP5405446B2/ja active Active
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