JP2012114117A - 検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料ステージのロードポジション(XL,YL)及びアンロードポジション(XU,YU)と、プリアライナの回転角(θL)を保存する。プリアライナ上のウエハを基準方位に対して回転角(θL)だけ回転させるプリアライメントを実行し、更に、プリアライナに対するウエハの偏心量(Δx1,Δy1)を測定する。この偏心量(Δx1,Δy1)に基づいて、試料ステージのロードポジション(XL,YL)を補正する。
【選択図】図1
Description
ΔXL=Δx1cosθL+Δy1sinθL 式1
ΔYL=-Δx1sinθL+Δy1cosθL
Claims (18)
- 真空排気される試料室と、前記試料室に設けられた試料ステージと、前記試料ステージ上の試料を検査するための走査電子顕微鏡と、前記試料室に接続可能なロードロック室と、前記ロードロック室内に設けられたプリアライナと、前記プリアライナ上の試料を前記試料ステージ上にロードし前記試料ステージ上の試料を前記プリアライナ上にアンロードする真空ロボットと、外部から試料を前記プリアライナ上にロードし前記プリアライナ上の試料を外部にアンロードする搬送ロボットと、を有する検査装置において、
前記試料ステージのロードポジション(XL,YL)及びアンロードポジション(XU,YU)と前記プリアライナの回転角(θL)を保存するメモリが設けられ、
前記搬送ロボットによって、ウエハを前記ロードロック室内のプリアライナの上に搬送し、前記プリアライナ上の前記ウエハを基準方位に対して前記回転角(θL)だけ回転させるプリアライメントを実行し、前記プリアライナに対する前記ウエハの偏心量(Δx1,Δy1)を測定し、該偏心量(Δx1,Δy1)によって、前記ロードポジション(XL,YL)を補正するように構成された検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、
前記補正後のロードポジションは、(XL+Δx1cosθL+Δy1sinθL, YL-Δx1sinθL+Δy1cosθL)となることを特徴とする検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、
前記試料ステージを前記ロードポジションに移動させ、前記真空ロボットによって、前記ロードロック室内のプリアライナの上のウエハを前記試料ステージ上に搬送し、前記走査電子顕微鏡による試料の検査の前に、設計値に対する前記試料ステージ上のウエハの位置ずれ量及び回転ずれ量(ΔX1,ΔY1,Δθ1)を測定するグローバルアライメントを実行し、前記ウエハの位置ずれ量及び回転ずれ量を用いて、次の検査用のウエハに対する前記試料ステージのロードポジション(XL,YL)と前記回転角(θL)を補正することを特徴とする検査装置。 - 請求項3記載の検査装置において、
前記グローバルアライメントにおける前記試料ステージ上のウエハの位置合わせは、光学顕微鏡を用いて行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、
前記試料ステージのロードポジション(XL,YL)は、前記プリアライナの中心位置に配置されたウエハを前記真空ロボットによって前記試料ステージ上に搬送したときに、該ウエハが前記試料ステージ上の中心位置に配置されたときの前記試料ステージの位置として設定され、
前記試料ステージのアンロードポジション(XU,YU)は、前記試料ステージ上の中心位置に配置されたウエハを、前記真空ロボットによって前記プリアライナに搬送したときに、該ウエハが前記プリアライナのテーブルの中心位置に配置されたときの前記試料ステージの位置として設定され、
前記プリアライナの回転角(θL)は、前記真空ロボットによって前記プリアライナ上のウエハを前記試料ステージ上に搬送したとき該ウエハの配列パターンが前記試料ステージのX方向又はY方向に沿って配置されたときの前記プリアライナ上のウエハの基準方位に対する回転角として設定されることを特徴とする検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、
前記プリアライナ上のウエハの偏心量(Δx1,Δy1)が搬送毎に所定の傾向に沿って直線的に変化する場合には、前記搬送ロボットが配置されている搬送装置と前記ロードロック室の間に位置ずれが発生していると判断し、それを示すアラームを表示することを特徴とする検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、
前記プリアライナ上のウエハの偏心量(Δx1,Δy1)がランダムに変化する場合には、前記搬送ロボットによる搬送精度の低下であると判断し、それを示すアラームを表示することを特徴とする検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、
前記プリアライナ上のウエハの偏心量(Δx1,Δy1)が第1の閾値より大きく第2の閾値より小さいときは、位置誤差発生のアラームを発生し、前記ウエハの偏心量(Δx1,Δy1)が前記第2の閾値より大きいときは、搬送エラーの発生のアラームを表示することを特徴とする検査装置。 - 真空排気される試料室と、前記試料室に設けられた試料ステージと、前記試料ステージ上の試料を検査するための走査電子顕微鏡と、前記試料室に接続可能なロードロック室と、前記ロードロック室内に設けられたプリアライナと、前記プリアライナ上の試料を前記試料ステージ上にロードし前記試料ステージ上の試料を前記プリアライナ上にアンロードする真空ロボットと、外部から試料を前記プリアライナ上にロードし前記プリアライナ上の試料を外部にアンロードする搬送ロボットと、を有する検査装置において、
前記試料ステージのロードポジション(XL,YL)及びアンロードポジション(XU,YU)と前記プリアライナの回転角(θL)を保存するメモリが設けられ、
前記試料ステージを前記ロードポジションに移動させ、前記真空ロボットによって、前記ロードロック室内のプリアライナの上のウエハを前記試料ステージ上に搬送し、前記走査電子顕微鏡による試料の検査の前に、設計値に対する前記試料ステージ上のウエハの位置ずれ量及び回転ずれ量(ΔX1,ΔY1,Δθ1)を測定するグローバルアライメントを実行し、前記ウエハの位置ずれ量及び回転ずれ量を用いて、次の検査用のウエハに対する前記試料ステージのロードポジション(XL,YL)と前記回転角(θL)を補正することを特徴とする検査装置。 - 真空排気される試料室と、プリアライナが設けられ前記試料室に接続可能なロードロック室と、前記試料室に設けられた試料ステージと、該試料ステージ上の試料を検査するための走査電子顕微鏡と、を有する検査装置によって試料を検査する検査方法において、
前記試料ステージのロードポジション(XL,YL)及びアンロードポジション(XU,YU)と前記プリアライナの回転角(θL)を保存するステップと、
搬送ロボットによって、ウエハを前記プリアライナ上に搬送する未検査ウエハ搬送ステップと、
前記ロードロック室を真空排気し、前記プリアライナ上の前記ウエハを基準方位に対して前記回転角(θL)だけ回転させるプリアライメント実行ステップと、
前記プリアライナに対する前記ウエハの偏心量(Δx1,Δy1)を測定する未検査ウエハ偏心量測定ステップと、
前記偏心量(Δx1,Δy1)に基づいて前記ロードポジション(XL,YL)を補正する第1のロードポジション補正ステップと、
前記試料ステージを、前記補正後のロードポジションに移動させる試料ステージ移動ステップと、
真空ロボットによって、前記プリアライナ上のウエハを前記試料ステージ上に搬送する未検査ウエハローディングステップと、
前記試料ステージ上のウエハの位置合わせを行うグローバルアライメント実行ステップと、
前記走査電子顕微鏡によって前記ウエハを検査する検査ステップと、
前記試料ステージを前記アンロードポジション(XU,YU)に移動させる試料ステージ移動ステップと、
を有する検査方法。 - 請求項10記載の検査方法において、
前記真空ロボットによる未検査ウエハローディングステップにおいて、前記プリアライナ上のウエハを前記真空ロボットにより前記試料ステージ上に搬送したとき、該試料ステージ上のウエハの配線パターンが前記試料ステージのX方向又はY方向に沿って配置されるように、前記回転角(θL)が設定されることを特徴とする検査方法。 - 請求項10記載の検査方法において、
前記グローバルアライメント実行ステップにおいて、設計値に対する前記試料ステージ上のウエハの位置ずれ量及び回転ずれ量(ΔX1,ΔY1,Δθ1)を測定し、前記ウエハの位置ずれ量及び回転ずれ量を用いて、次の検査用のウエハに対する前記ロードポジション(XL,YL)と前記回転角(θL)を補正(XL+ΔX1,YL+ΔY1,θL+Δθ1)することを特徴とする検査方法。 - 請求項12記載の検査方法において、
搬送ロボットによって、次の検査用のウエハを前記プリアライナ上に搬送する未検査ウエハ搬送ステップと、
前記プリアライナに対する前記次の検査用のウエハの偏心量(Δx2,Δy2)を測定する未検査ウエハ偏心量測定ステップと、
前記補正されたロードポジション(XL+ΔX1,YL+ΔY1)を更に、前記次の検査用のウエハの偏心量(Δx2,Δy2)に基づいて補正する第2のロードポジション補正ステップと、
前記第2のロードポジション補正ステップにて補正された後のロードポジションに前記試料ステージを移動させるステップと、
前記真空ロボットにより、前記プリアライナ上の次の検査用のウエハを前記試料ステージ上に搬送するステップと、
を含む検査方法。 - 請求項10記載の検査方法において、
前記真空ロボットによって、前記試料ステージ上の前記検査済みのウエハを前記プリアライナ上に搬送する検査済みウエハアンローディングステップと、
前記プリアライナに対する前記検査済みのウエハの偏心量を測定する検査済みウエハ偏心量測定ステップと、
前記搬送ロボットによって、前記プリアライナ上の検査済みウエハを前記ロードロック室外に搬送する検査済みウエハ搬送ステップと、
を有することを特徴とする検査方法。 - 請求項14記載の検査方法において、
前記真空ロボットによる検査済みウエハアンローディングステップは、前記真空ロボットによって、前記試料ステージ上の前記検査済みのウエハを前記プリアライナ上に搬送すると同時に、前記プリアライナ上の次の検査用のウエハを前記試料ステージ上に搬送することを特徴とする検査方法。 - 請求項10記載の検査方法において、
前記第1のロードポジション補正ステップにおいて、前記補正後のロードポジションは、(XL+Δx1cosθL+Δy1sinθL, YL-Δx1sinθL+Δy1cosθL)となることを特徴とする検査方法。 - 真空排気される試料室と、プリアライナが設けられ前記試料室に接続可能なロードロック室と、前記試料室に設けられた試料ステージと、該試料ステージ上の試料を検査するための走査電子顕微鏡と、を有する検査装置によって試料を検査する検査方法において、
前記試料ステージのロードポジション(XL,YL)及びアンロードポジション(XU,YU)と前記プリアライナの回転角(θL)を保存するステップと、
前記試料ステージを前記ロードポジションに移動させるステップと、
真空ロボットによって、前記ロードロック室内のプリアライナ上のウエハを前記試料ステージ上に搬送する未検査ウエハローディングステップと、
前記試料ステージ上のウエハの位置合わせを行うために、設計値に対する前記試料ステージ上のウエハの位置ずれ量及び回転ずれ量(ΔX1,ΔY1,Δθ1)を測定するグローバルアライメント実行ステップと、
前記ウエハの位置ずれ量及び回転ずれ量を用いて、次の検査用のウエハに対する前記ロードポジション(XL,YL)と前記回転角(θL)を補正する補正ステップと、
前記走査電子顕微鏡によって前記ウエハを検査する検査ステップと、
前記試料ステージを前記アンロードポジション(XU,YU)に移動させる試料ステージ移動ステップと、
搬送ロボットによって、次の検査用のウエハを前記ロードロック室内のプリアライナの上に搬送する未検査ウエハ搬送ステップと、
前記ロードロック室を真空排気し、前記プリアライナ上の前記次の検査用のウエハを基準方位に対して前記補正後の回転角(θL+Δθ1)だけ回転させるプリアライメント実行ステップと、
前記プリアライナに対する前記次の検査用のウエハの偏心量(Δx2,Δy2)を測定する未検査ウエハ偏心量測定ステップと、
を含み、
前記未検査ウエハ搬送ステップと前記プリアライメント実行ステップと前記未検査ウエハ偏心量測定ステップは、前記未検査ウエハローディングステップと前記グローバルアライメント実行ステップと前記検査ステップが実行される間に、実行することを特徴とする検査方法。 - 請求項17記載の検査方法において、
更に、前記真空ロボットにより、前記試料ステージ上の前記検査済みウエハと、前記プリアライナ上の前記次の検査用のウエハを同時に持ち上げるステップと、
前記補正後のロードポジションを、更に、前記次の検査用のウエハの偏心量(Δx2,Δy2)に基づいて補正するロードポジション補正ステップと、
前記試料ステージを、前記補正後のロードポジションに移動させるステップと、
前記真空ロボットによって、前記検査済みのウエハを前記プリアライナに搬送し、前記次の検査用のウエハを前記試料ステージ上に搬送するステップと、
前記プリアライナ上の検査済みのウエハの偏心量を測定するステップと、を含む検査方法。
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