JP2012108290A - ガラス基板の搬送装置、欠陥検出方法および欠陥判定方法 - Google Patents
ガラス基板の搬送装置、欠陥検出方法および欠陥判定方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】液晶表示装置の製造装置に使用されるガラス基板の搬送装置であって、
前記搬送装置は、駆動力を備えた複数の駆動ローラーと駆動力を備えていない複数の搬送ローラーを備えており、
少なくとも前記搬送ローラーは、荷重測定機構を備えていることを特徴とするガラス基板の搬送装置。
【選択図】図1
Description
えていた。
前記搬送装置は、駆動力を備えた複数の駆動ローラーと駆動力を備えていない複数の搬送ローラーを備えており、
少なくとも前記搬送ローラーは、荷重測定機構を備えていることを特徴とするガラス基板の搬送装置である。
前記荷重測定機構によって荷重を測定する時は、前記ガラス基板を停止させた状態で測定を実施することを特徴とするガラス基板の欠陥検査方法である。
複数の搬送ローラーのそれぞれの荷重測定機構によってそれぞれの搬送ローラーにかかる荷重を測定し、搬送ローラーに応じた荷重の差異によって欠陥の有無を判定する事を特徴とするガラス基板の欠陥判定方法である。
図1は、発明の搬送装置の例を示す概念図である。本発明の搬送装置は、ガラス基板と接触して搬送する搬送装置であり、図1の右側に示した図に示すように、ガラス基板を支持しながら傷を付けずに搬送する為の搬送ローラー2と図示していない駆動ローラーが設けられており、前工程の処理装置から出て来たガラス基板5を駆動ローラーが駆動して引き出しながら搬送ローラー2を使って搬送し、次工程の処理装置に搬送する。
には、そのガラス基板には、割れ、欠け、ヒビといった欠陥が無い事が分かる。
2・・・搬送ローラー
3・・・荷重測定機構
4・・・シャフト
5・・・ガラス基板
6・・・割れ、欠け
7・・・ヒビ
Claims (3)
- 液晶表示装置の製造装置に使用されるガラス基板の搬送装置であって、
前記搬送装置は、駆動力を備えた複数の駆動ローラーと駆動力を備えていない複数の搬送ローラーを備えており、
少なくとも前記搬送ローラーは、荷重測定機構を備えていることを特徴とするガラス基板の搬送装置。 - 液晶表示装置の製造装置に使用されるガラス基板の搬送装置の、少なくとも複数の搬送ローラーに備えてある荷重測定機構を使用した前記ガラス基板の欠陥検査方法であって、
前記荷重測定機構によって荷重を測定する時は、前記ガラス基板を停止させた状態で測定を実施することを特徴とするガラス基板の欠陥検査方法。 - 荷重測定機構を備える複数の搬送ローラーでガラス基板を支持して搬送しながら、そのガラス基板の欠陥の有無を判定する方法において、
複数の搬送ローラーのそれぞれの荷重測定機構によってそれぞれの搬送ローラーにかかる荷重を測定し、搬送ローラーに応じた荷重の差異によって欠陥の有無を判定する事を特徴とするガラス基板の欠陥判定方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024004621A1 (ja) * | 2022-06-28 | 2024-01-04 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、基板処理方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004132839A (ja) * | 2002-10-10 | 2004-04-30 | Aioi Systems Co Ltd | 重量計測コンベアおよび、それを使用した検品システムおよび物品仕分システム |
JP2004175607A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Sony Corp | 基板製造装置および基板製造方法 |
JP2010191138A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置 |
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