JP2012108131A - 検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を検査する検査装備において検査領域を設定するために、基板上に複数の測定領域を設定し、測定領域のうち測定対象物を検査するためのターゲット測定領域と隣接する少なくとも一つ以上の隣接測定領域の基準データ及び測定データを獲得した後、隣接測定領域内で少なくとも一つ以上の特徴客体を抽出する。特徴客体に対応する基準データと測定データとを比較して、歪曲量を獲得し、歪曲量を補償してターゲット測定領域内の検査領域を設定する。これにより、基準データと測定データとの間の変換関係をより正確に獲得することができ、歪曲を補償した正確な検査領域を設定することができる。
【選択図】図1
Description
<数式1>
20 部品
22 ターミナル
30 回路パターン
40 ホールパターン
42 ホール
100 基板
FT 特徴客体
PI 測定データ
RI 基準データ
TG ターゲット測定領域
AD 隣接測定領域
Claims (15)
- 基板上に複数の測定領域を設定することと、
前記測定領域のうち測定対象物を検査するためのターゲット測定領域と隣接する少なくとも一つ以上の隣接測定領域の基準データ及び測定データを獲得することと、
前記隣接測定領域内において少なくとも一つ以上の特徴客体を抽出することと、
前記特徴客体に対応する基準データと測定データとを比較して、歪曲量を獲得することと、
前記歪曲量を補償して前記ターゲット測定領域内の検査領域を設定することと、
を含むことを特徴とする検査方法。 - 前記隣接測定領域内において少なくとも一つ以上の特徴客体を抽出することは、
前記特徴客体基準類型及び基準個数を設定することと、
前記ターゲット測定領域から抽出された特徴客体の個数が前記基準個数より少ない場合、前記隣接測定領域内で前記基準類型に該当する前記特徴客体を抽出することと、を含むことを特徴とする請求項1記載の検査方法。 - 前記隣接測定領域は複数であり、前記隣接測定領域内で少なくとも一つ以上の特徴客体を抽出することは、
前記隣接測定領域内で前記基準類型に該当する前記特徴客体を抽出することより前に、
前記隣接測定領域内において少なくとも一つ以上の特徴客体を抽出することは、更に、前記複数の隣接測定領域のうち前記特徴客体を抽出する隣接測定領域を選定すること、を含むことを特徴とする請求項2記載の検査方法。 - 前記隣接測定領域内で少なくとも一つ以上の特徴客体を抽出することより前に、
前記複数の測定領域それぞれに対する特徴客体を設定することと、
前記複数の測定領域それぞれに対して、前記設定された特徴客体の個数が基準個数に未達か否かを確認することと、
前記設定された特徴客体の個数が前記基準個数に未達である測定領域に対して、前記特徴客体を抽出するための前記隣接測定領域を選定すること、をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の検査方法。 - 前記特徴客体は、
前記ターゲット測定領域の前記測定データが獲得される以前に前記測定データが獲得される特定の隣接測定領域のうちから抽出されることを特徴とする請求項1記載の検査方法。 - 前記隣接測定領域内で少なくとも一つ以上の特徴客体を抽出することは、
前記特徴客体の基準類型及び基準個数を設定することと、
前記ターゲット測定領域を所定領域分だけ拡張させることと、
前記拡張された領域から前記基準類型に該当する前記特徴客体を抽出することと、
前記抽出された特徴客体の個数が前記基準個数より少ない場合、前記ターゲット測定領域を所定間隔分だけ拡張させることと、前記拡張された領域から前記基準類型に該当する前記特徴客体を抽出することを繰り返すことと、を含むことを特徴とする請求項1記載の検査方法。 - 前記ターゲット測定領域を所定領域分だけ拡張させることは、
前記拡張された領域と少なくとも一つの選択された隣接測定領域との共通領域内から前記基準類型に該当する前記特徴客体を抽出して遂行されることを特徴とする請求項6記載の検査方法。 - 前記ターゲット測定領域を所定領域分だけ拡張する前に、
前記ターゲット測定領域内から前記基準類型に該当する前記特徴客体を抽出することをさらに含み、
前記ターゲット測定領域内から抽出された前記特徴客体の個数が前記基準個数より少ない場合、前記ターゲット測定領域を所定領域分だけ拡張させることを遂行することを特徴とする請求項6記載の検査方法。 - 前記特徴客体は複数で抽出され、
前記複数の特徴客体のうち、前記ターゲット測定領域からの距離が近い特徴客体に高い加重値が付与され、前記歪曲量は前記加重値に基づいて選択される特徴客体に対応する基準データと測定データとを比較して獲得されることを特徴とする請求項1記載の検査方法。 - 前記距離は、
前記ターゲット測定領域の境界線、前記ターゲット測定領域の中心点及び前記測定対象物の中心点のうち、少なくとも一つから測定されることを特徴とする請求項9記載の検査方法。 - 前記特徴客体は複数で抽出され、
前記複数の特徴客体のうち、前記特徴客体に対応する前記基準データと前記測定データとを比較して形状の違いが小さい程、前記特徴客体に高いスコアが付与され、
前記歪曲量は、前記スコアに基づいて選択される特徴客体に対応する基準データと測定データとを比較して獲得されることを特徴とする請求項1記載の検査方法。 - 前記特徴客体は複数で抽出され、
前記複数の特徴客体のうち、前記ターゲット測定領域からの距離が近い特徴客体に高い加重値が付与され、
前記複数の特徴客体のうち、前記特徴客体に対応する前記基準データと前記測定データとを比較して形状の違いが小さい程、前記特徴客体に高いスコアが付与され、
前記歪曲量は、前記加重値及び前記スコアのうち少なくとも一つ以上に基づいて選択される特徴客体に対応する基準データと測定データとを比較して獲得されることを特徴とする請求項1記載の検査方法。 - 前記隣接測定領域は複数で設定され、前記特徴客体は複数で抽出され、前記特徴客体は前記複数の隣接測定領域に対して均等に抽出されることを特徴とする請求項1記載の検査方法。
- 基板上に複数の測定領域を設定することと、
前記測定領域のうち測定対象物を検査するためのターゲット測定領域と隣接する少なくとも一つ以上の隣接測定領域の基準データ及び測定データを獲得することと、
前記隣接測定領域内から少なくとも一つ以上のブロック単位の特徴ブロックを抽出することと、
前記特徴ブロックに対応する基準データと測定データとを比較して歪曲量を獲得することと、
前記歪曲量を補償して前記ターゲット測定領域内の検査領域を設定することと、
を含むことを特徴とする検査方法。 - 前記特徴ブロックは複数で抽出され、
前記歪曲量は前記基準データと前記測定データとの間の定量化された変換公式で獲得され、
前記定量化された変換公式は、前記複数の特徴客体に対する前記基準データと前記測定データとを比較して獲得された位置変化、傾き変化、大きさ変化及び変形度のうち少なくとも一つ以上を用いて定義されることを特徴とする請求項14記載の検査方法。
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