JP2012104508A - 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 - Google Patents

電子部品実装装置及び電子部品実装方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2012104508A
JP2012104508A JP2010244318A JP2010244318A JP2012104508A JP 2012104508 A JP2012104508 A JP 2012104508A JP 2010244318 A JP2010244318 A JP 2010244318A JP 2010244318 A JP2010244318 A JP 2010244318A JP 2012104508 A JP2012104508 A JP 2012104508A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
humidity
unit
recognition
quality
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010244318A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5541093B2 (ja
Inventor
Kenichi Fukuda
謙一 福田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2010244318A priority Critical patent/JP5541093B2/ja
Publication of JP2012104508A publication Critical patent/JP2012104508A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5541093B2 publication Critical patent/JP5541093B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

【課題】電子部品の基板に対する実装不良を防止することができる電子部品実装装置及び電子部品実装方法を提供する。
【解決手段】電子部品Eを収納する電子部品収納テープ10の電子部品Eを基板24に実装する電子部品実装装置14であって、収納穴内の湿度を表示する湿度表示部22の湿度表示を認識する認識部28と、認識部28による湿度表示の認識に基づいて収納穴に収納された電子部品Eの品質の良・不良を判定する品質判定部30と、を有し、品質判定部30により品質が良であると判定された電子部品Eを基板24に実装する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、例えば、電子部品を基板に実装するための電子部品実装装置及び電子部品実装方法に関する。
近年、半導体を中心とした電子部品の需要が大幅に伸びている。こうした需要の大幅な伸長に伴い、電子部品の実装時に、電子部品の吸湿を原因とした実装不良が多発している。このため、このような実装不良を防止するため、湿度感知に関するモイスチャー・センシティブ・レベル(MSL)対応が標準化されてきている。
特開2003−95216号公報
上記従来技術では、アルミ袋内に湿度インジケータを封入した場合でも、電子部品収納テープを巻き取ったリールをアルミ袋から取り出すと、電子部品収納テープの収納穴に収納されている電子部品の湿度を検知することができない。また、リールを実装機に装着して使用した場合でも、想定外のトラブルやオペレータのミスなどで長時間、実装機に装着され続けているときの電子部品の吸湿保証は不可能になる。このため、電子部品が吸湿した状態で基板に実装されることになり、実装不良が発生する。
そこで、本発明は、上記問題に鑑み、電子部品の基板に対する実装不良を防止することができる電子部品実装装置及び電子部品実装方法を提供することを目的とする。
本発明は、電子部品を収納する電子部品収納テープの前記電子部品を基板に実装する電子部品実装装置であって、前記収納穴内の湿度を表示する湿度表示部の湿度表示を認識する認識部と、前記認識部による前記湿度表示の認識に基づいて前記収納穴に収納された前記電子部品の品質の良・不良を判定する品質判定部と、を有し、前記品質判定部により品質が良であると判定された前記電子部品を前記基板に実装することを特徴とする。
本発明によれば、認識部による湿度表示の認識に基づいて収納穴に収納された電子部品の品質の良・不良が品質判定部により判定される。そして、品質判定部により品質が良であると判定された電子部品が基板に実装される。これにより、品質不良の電子部品が基板に実装されることを防止できるため、電子部品の実装不良を防止できる。
前記電子部品収納テープを開封した後から経過した待機期間を計測する時間計測部を有し、前記時間計測部による計測結果が前記電子部品の許容待機期間を超過したときに、前記湿度表示の認識に基づいた前記品質判定部の判定結果にかかわらず、前記許容待機期間を超過した前記電子部品を前記基板に実装しないことが好ましい。
これによれば、時間計測部による計測結果が電子部品の許容待機期間を超過したときに、湿度表示の認識に基づいた品質判定部の判定結果にかかわらず、許容待機期間を超過した電子部品が基板に実装されない。これにより、電子部品の経時変化に伴う品質不良の発生を抑制することができる。また、電子部品の経時管理を徹底させることができる。
前記電子部品の待機期間が所定のタイミングとなるときに報知する報知部を有することが好ましい。
これによれば、電子部品の待機期間の経過を現場の技術者に知らせることができる。これにより、経時変化に伴う品質不良の電子部品を基板に実装される前に容易に発見することができる。
前記湿度表示部は、前記収納穴内の湿度を色で表示する湿度インジケータであり、前記品質判定部は、前記認識部で認識された前記湿度インジケータの色表示に基づいて前記電子部品の品質の良・不良を判定する制御部で構成されていることが好ましい。
また、本発明は、電子部品を収納する電子部品収納テープの前記電子部品を基板に実装する電子部品実装方法であって、前記収納穴内の湿度を表示する湿度表示部の湿度表示を認識部により認識する認識工程と、前記認識工程の前記湿度表示の認識に基づいて前記収納穴に収納された前記電子部品の品質の良・不良を品質判定部によって判定する品質判定工程と、前記品質判定工程により品質が良であると判定された前記電子部品を実装部によって前記基板に実装する実装工程と、を有することを特徴とする。
前記電子部品収納テープを開封した後から経過する待機期間を時間計測部によって計測する計測工程を有し、前記実装工程では、前記時間計測部による計測結果が前記電子部品の許容待機期間を超過したときに、前記湿度表示の認識に基づいた前記品質判定工程での判定結果にかかわらず、前記許容待機期間を超過した前記電子部品が前記実装部によって前記基板に実装されないことが好ましい。
前記電子部品の待機期間が所定のタイミングとなるときに報知部が報知する報知工程を有することが好ましい。
前記湿度表示部として、前記収納穴内の湿度を色で表示する湿度インジケータを使用し、前記品質判定工程では、前記認識部で認識された前記湿度インジケータの色表示に基づいて前記電子部品の品質の良・不良を制御部で判定することが好ましい。
本発明によれば、電子部品の基板に対する実装不良を防止することができる。
本発明の第1実施形態に係る電子部品実装装置の説明図である。 電子部品実装装置と供給側のテープ搬送用スプロケットと巻き取り側のテープ搬送用スプロケットと電子部品収納テープとの位置関係を示した説明図である。 本発明の第1実施形態に係る電子部品実装装置のブロック図である。 本発明の第2実施形態に係る電子部品実装装置の説明図である。 本発明の第2実施形態に係る電子部品実装装置のブロック図である。
本発明の第1実施形態の電子部品実装装置及び電子部品実装方法について、図面を参照して説明する。
先ず、実装対象となる電子部品が収納されている電子部品収納テープについて説明する。図1に示すように、電子部品収納テープ10は、電子部品Eを収納するための収納穴16を有するテープ本体12と、収納穴16を密閉する透明のカバーテープ17と、を有している。電子部品Eは、樹脂モールド電子部品であり、例えば、半導体チップが該当する。テープ本体12は、例えば、ポリエチレンテレフタラート、ポリスチレン、ポリカーボネートなどで構成されている。カバーテープ17は、ポリエチレンテレフタラートで構成されている。テープ本体12とカバーテープ17との間には溶着層(例えば、ポリエチレン)が介在しており、この溶着層が熱溶着することによってテープ本体12とカバーテープ17とが相互に接着されている。
収納穴16は凹部状に形成されており、収納穴16に電子部品Eが収納される。また、収納穴16の底部には、収納穴16の湿度を色で表示する湿度インジケータ22が配置されている。湿度インジケータ22は、厚紙に対し印刷や塗布により形成される従来から周知の印刷物であり、例えば、株式会社KNラボラトリーズのものが用いられる。湿度インジケータ22は、所定の湿度以上の場合には、赤色系に変化し、所定の湿度未満の場合には、青色系に変化する。また、湿度インジケータ22は、用途により可逆性または不可逆性のいずれかを選択すればよい。
電子部品Eは、湿度管理された部屋で作製され、元々吸湿していない。テーピング後にカバーテープ17に穴があいたり、カバーテープ17が剥がれたり、後天的に問題が発生したときに、湿度インジケータ22の色が変化する。例えば、当初の収納穴16内の湿度が所定の湿度未満であれば、湿度インジケータ22の色は青色となり、収納穴16内の湿度が所定の湿度以上になると、湿度インジケータ22の色は赤色に変化する。このように、湿度インジケータ22が、収納穴16内の湿度を色で表示する構成であるため、電子部品収納テープ10の外部から収納穴16内の湿度を視覚により瞬時に認識することができる。これにより、収納穴16内の湿度を容易に確認できる。
上記電子部品収納テープ10は、リール(図示省略)に巻き取られた状態になっており、電子部品収納テープ10に収納された電子部品Eを基板24上に実装するときには、供給側のテープ搬送用スプロケット26(図2参照)が回転することにより、電子部品収納テープ10がリールから繰り出される。
電子部品実装装置14は、湿度インジケータ22の色表示を判別するためのセンサ28を備えている。センサ28は、電子部品Eが実装されるよりも前に配置されている。センサ28は透明のカバーテープ17を透過して色表示を認識する。このセンサ28は、湿度インジケータ22の色表示を判別するものであれば、種類を問わない。
図2に示すように、電子部品収納テープ10は、供給側のテープ搬送用スプロケット26が回転することにより供給され、巻き取り側のテープ搬送用スプロケット26’に巻き取られていく。センサ28が収納穴16の真上に配置されており、電子部品収納テープ10が移動するに伴い、収納穴16に配置されている湿度インジケータ22がセンサ28の真下を横切るため、湿度インジケータ22の色表示をセンサ28で検知することができる。なお、湿度インジケータ22の色表示をセンサ28で検知するために、湿度インジケータ22が電子部品Eに干渉しない位置に配置されている。
また、電子部品実装装置14は、センサ28による湿度インジケータ22の色表示の検知結果に基づいて、電子部品Eの良・不良を判定するための制御部30を備えている。図3に示すように、制御部30は、ROM30Aと、CPU30Bと、を有している。ROM30Aには、湿度インジケータ22の色表示と電子部品Eの良・不良とを対応付けたテーブルが格納されており、CPU30BはROM30Aに格納された前記テーブルに基づいて電子部品Eの良・不良を判別する。上記例では、湿度インジケータ22の色表示が青色であれば、電子部品Eの品質は良であると判断され、赤色であれば、電子部品Eの品質は不良であると判断される。このように、センサ28により湿度インジケータ22の色表示を検知して、その都度、湿度インジケータ22の色表示の検知結果が検知信号として制御部30に出力される。そして、制御部30のCPU30Bが、センサ28からの検知信号とROM30Aに格納されたテーブルとに基づいて、電子部品Eの品質を判別する。
電子部品実装装置14は、電子部品収納テープ10からカバーテープ17を剥がす剥離機構(図示しない)を備えている。電子部品Eを大気にさらしている時間を極力短くするため、剥離機構は電子部品Eを基板24に実装する直前の箇所に設けるのが好ましい。
また、電子部品実装装置14は、良となる電子部品Eを収納穴16から取り出して基板24に実装するための吸着ヘッド32を備えている。吸着ヘッド32は、電子部品Eが実装される基板24の近傍に配置されている。吸着ヘッド32は、制御部30により駆動制御されている。吸着ヘッド32は、制御部30によって良と判別された電子部品Eのみを収納穴16から取り出して、基板24に実装する。電子部品Eは基板24に実装された後、基板24の上方から絶縁樹脂を塗布することにより封止され、大気と遮断される。これにより、基板24が湿度管理されていない部屋に移送された場合でも、基板24上の電子部品Eが吸湿することを防止できる。
なお、吸着ヘッド32は、制御部30のCPU30Bによって不良と判別された電子部品Eについては収納穴16から取り出すことがない。不良と判断された電子部品Eは、電子部品収納テープ10と共に下流側に移動していき、回収箱34に移される。このとき、別途用意していた吸着ヘッド32により、不良の電子部品Eを収納穴16から取り出して、回収箱34に移動させることが好ましい。なお、不良の電子部品Eを収納穴16から取り出さず、電子部品収納テープ10と共にテープ搬送用スプロケット26’に巻き取るようにし、そのテープ搬送用スプロケット26’で巻き取る過程において不良の電子部品を収納穴16から取り出し、回収箱34に収納してもよい。
次に、本発明の第1実施形態の電子部品実装装置及び電子部品実装方法の作用・効果について説明する。
第1実施形態によれば、収納穴16に電子部品Eと共に湿度インジケータ22が配置されているため、各収納穴16単位で湿度を測定することができる。これにより、各収納穴16に収納されている電子部品Eの吸湿度を判定することができ、ひいては電子部品Eの良・不良を判別することができる。
ここで、センサ28が湿度インジケータ22の色表示を識別する。センサ28により湿度インジケータ22の色表示を識別し、色表示を示す検知信号が制御部30に出力される。そして、制御部30のCPU30BがROM30Aに格納されたテーブルに基づいて電子部品Eの良・不良を判別する。さらに、制御部30のCPU30Bによって良と判断された電子部品Eのみが吸着ヘッド32によって収納穴16から取り出され、所定の基板24上に実装される。一方、制御部30のCPU30Bによって不良と判断された電子部品Eは、別の吸着ヘッド32によって収納穴16から取り出され、回収箱34に移される。
なお、吸湿度が高く不良と判断された電子部品Eは、図示しない除湿設備によりレーザーや熱風などのエネルギーを付与して電子部品Eの水分(樹脂モールドの水分)を除去して、良である電子部品として、再度使用するようにしてもよい。
以上のように、第1実施形態によれば、基板24に実装する直前の電子部品Eの良・不良を判別し、良と判断された電子部品Eのみが基板24に実装されるため、電子部品Eの実装不良の発生を事前に抑制することができる。
また、電子部品Eの実装不良が発生したときのトラブル解決処理や労務に関するコストを削減できる。また、電子部品Eの実装不良に伴い発生する基板24の廃棄や既に実装していた良の電子部品Eの廃棄によって発生する材料コストを削減することができる。さらに、基板24に対する電子部品Eのマウントトラブルが減少し、生産性及び品質の向上を図ることができる。
次に、本発明の第2実施形態の電子部品実装装置及び電子部品実装方法について、図面を参照して説明する。なお、第1実施形態の電子部品実装装置及び電子部品実装方法の構成と重複する構成及び同様の作用・効果についての説明は、省略する。
図4に示すように、第2実施形態の電子部品実装装置は、電子部品収納テープ10が予めリール40に巻き取られている。リール40は、テープフィーダ42を介して実装機に取り付けられ、テープ搬送用スプロケット26の回転により供給される。電子部品収納テープ10は紙面の左側から右側に向けて搬送される。その後、電子部品収納テープ10の収納穴16に収納された良な電子部品Eのみが取り出されて、基板24(図1参照)に実装される。
テープフィーダ42には、カウントタイマ44が取り付けられている。カウントタイマ44は、平常運転時は適時にリセットされるが、外的要因により実装装置が停止したときはリセットされずカウントを継続する。これにより、カバーテープをテープ本体12から剥がし電子部品収納テープを開封した後、電子部品Eが吸着ヘッド32により取出されるまでの待機期間(待機時間、以下同様)を計測することができる。
なお、「電子部品の待機期間(待機時間)」とは、上記のように厳密に定義されるものではなく、外的要因により実装装置が停止したときは、実装装置が停止した時間と同等と見なすこともできる。
カウントタイマ44は、「秒単位」や「分単位」で表示できるものが好ましい。また、カウントタイマ44の機能として、例えば30分、60分、240分、などをボタンにより容易に設定できるものが好ましい。
さらに、カウントタイマ44のカウント時間を表示できる液晶表示部を備えているものが好ましい。
図5に示すように、カウントタイマ44による計測結果は、計測信号として制御部30に出力される。
図4及び図5に示すように、テープフィーダ42には、電子部品Eの待機期間に関して所定のタイミングで報知する報知部46が取り付けられている。報知部46は、カウントタイマ44と電気的に接続されている。報知部46は、予め電子部品Eの許容待機期間(許容待機時間、以下同様)を記憶しており、許容待機期間の所定の期間前に至ったときに報知する。
なお、「許容待機期間」とは、電子部品収納テープ10を開封した後、不良とならない範囲で電子部品Eを大気に触れさせることのできる期間とする。
具体的には、報知部46として、所定の警告音を出力するスピーカでもよいし、所定の色の発光するランプでもよい。周囲の技術者に報知できるものであれば、報知部46として、種類を問わず使用することができる。念のため、時間管理も行い、リール40がテープフィーダ42に取り付けられてからの時間が48時間を超えるような場合に報知するようにしてもよい。
制御部30のROM30Aには、電子部品Eの許容待機期間が記憶されている。また、制御部30のCPU30Bは、吸着ヘッド32(図1参照)で良の電子部品Eを取り出す直前のタイミングにおいて電子部品Eの待機期間が許容待機期間を超過している場合には、かかる電子部品Eが吸着ヘッド32により取り出されないように吸着ヘッド32の駆動を制御する。
このように、湿度インジケータ22の色表示に基づいて電子部品EがCPU30Bにより良と判断された場合でも、電子部品Eの待機期間が許容待機期間を超過している場合には、かかる電子部品Eは、基板24に実装されない。
次に、本発明の第2実施形態の電子部品実装装置及び電子部品実装方法の作用・効果について説明する。なお、本発明の第1実施形態の電子部品実装装置及び電子部品実装方法の作用・効果と重複する作用・効果についての説明は、適宜省略する。
第2実施形態によれば、電子部品Eの吸湿度にかかわらず、電子部品Eの待機期間が許容待機期間を超過している場合には、吸着ヘッ32により電子部品Eが収納穴16から取り出されず、基板24に実装されない。これにより、湿度インジケータ22による色表示に基づいて電子部品Eの品質が良と判断された場合でも、電子部品Eの待機期間が許容待機期間を超過している場合には、基板24に実装されず、回収箱34(図1参照)に回収される。これにより、電子部品Eの経時変化に伴う品質不良の発生を抑制することができる。また、電子部品Eの経時管理を徹底させることができる。特に、ライン停止によって実装処理が中断した場合でも、電子部品Eの経時管理を徹底させることができ、基板24に実装される電子部品Eの品質の信頼度を高めることができる。
なお、湿度インジケータ22による色表示に基づいて電子部品Eの品質が不良と判断された場合には、電子部品Eの待機期間が許容待機期間を超過していない場合でも、基板24に実装されず、回収箱34に回収される。
また、電子部品Eを不良とならない範囲で大気に触れさせることのできる許容待機期間に至ったときには、報知部46により報知される。これにより、経時変化に伴う品質不良の電子部品Eを基板24に実装される前に容易に発見することができる。
10 電子部品収納テープ
14 電子部品実装装置
22 湿度インジケータ(湿度表示部)
28 センサ(認識部)
30 制御部(品質判定部)
30A ROM
30B CPU
44 カウントタイマ(時間計測部)
46 報知部
E 電子部品

Claims (8)

  1. 電子部品を収納する電子部品収納テープの前記電子部品を基板に実装する電子部品実装装置であって、
    前記収納穴内の湿度を表示する湿度表示部の湿度表示を認識する認識部と、
    前記認識部による前記湿度表示の認識に基づいて前記収納穴に収納された前記電子部品の品質の良・不良を判定する品質判定部と、
    を有し、
    前記品質判定部により品質が良であると判定された前記電子部品を前記基板に実装することを特徴とする電子部品実装装置。
  2. 前記電子部品収納テープを開封した後から経過した待機期間を計測する時間計測部を有し、
    前記時間計測部による計測結果が前記電子部品の許容待機期間を超過したときに、前記湿度表示の認識に基づいた前記品質判定部の判定結果にかかわらず、前記許容待機期間を超過した前記電子部品を前記基板に実装しないことを特徴とする請求項1に記載の電子部品実装装置。
  3. 前記電子部品の待機期間が所定のタイミングとなるときに報知する報知部を有することを特徴とする請求項2に記載の電子部品実装装置。
  4. 前記湿度表示部は、前記収納穴内の湿度を色で表示する湿度インジケータであり、
    前記品質判定部は、前記認識部で認識された前記湿度インジケータの色表示に基づいて前記電子部品の品質の良・不良を判定する制御部で構成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電子部品実装装置。
  5. 電子部品を収納する電子部品収納テープの前記電子部品を基板に実装する電子部品実装方法であって、
    前記収納穴内の湿度を表示する湿度表示部の湿度表示を認識部により認識する認識工程と、
    前記認識工程の前記湿度表示の認識に基づいて前記収納穴に収納された前記電子部品の品質の良・不良を品質判定部によって判定する品質判定工程と、
    前記品質判定工程により品質が良であると判定された前記電子部品を実装部によって前記基板に実装する実装工程と、
    を有することを特徴とする電子部品実装方法。
  6. 前記電子部品収納テープを開封した後から経過する待機期間を時間計測部によって計測する計測工程を有し、
    前記実装工程では、前記時間計測部による計測結果が前記電子部品の許容待機期間を超過したときに、前記湿度表示の認識に基づいた前記品質判定工程での判定結果にかかわらず、前記許容待機期間を超過した前記電子部品が前記実装部によって前記基板に実装されないことを特徴とする請求項5に記載の電子部品実装方法。
  7. 前記電子部品の待機期間が所定のタイミングとなるときに報知部が報知する報知工程を有することを特徴とする請求項6に記載の電子部品実装方法。
  8. 前記湿度表示部として、前記収納穴内の湿度を色で表示する湿度インジケータを使用し、
    前記品質判定工程では、前記認識部によって認識された前記湿度インジケータの色表示に基づいて制御部が前記電子部品の品質の良・不良を判定することを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の電子部品実装方法。
JP2010244318A 2010-10-14 2010-10-29 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 Active JP5541093B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010244318A JP5541093B2 (ja) 2010-10-14 2010-10-29 電子部品実装装置及び電子部品実装方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010231962 2010-10-14
JP2010231962 2010-10-14
JP2010244318A JP5541093B2 (ja) 2010-10-14 2010-10-29 電子部品実装装置及び電子部品実装方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012104508A true JP2012104508A (ja) 2012-05-31
JP5541093B2 JP5541093B2 (ja) 2014-07-09

Family

ID=46394617

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010244318A Active JP5541093B2 (ja) 2010-10-14 2010-10-29 電子部品実装装置及び電子部品実装方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5541093B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013122991A (ja) * 2011-12-12 2013-06-20 Hitachi Ltd フロアーライフ管理装置及びフロアーライフ管理方法
JP2016176900A (ja) * 2015-03-23 2016-10-06 セイコーエプソン株式会社 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
JP2021177486A (ja) * 2020-01-08 2021-11-11 株式会社Fuji プラズマ照射システム、およびプラズマ照射方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0648463A (ja) * 1992-03-31 1994-02-22 Motorola Inc 集積回路出荷媒体
JP2000013092A (ja) * 1998-06-24 2000-01-14 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電気部品供給装置およびプリント回路板組立方法
JP2004165273A (ja) * 2002-11-11 2004-06-10 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電子回路部品供給方法,テープ化部品コード付設方法,電子回路部品供給システムおよび電子回路部品装着システム
JP2006273403A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Ooe Kagaku Kogyo Kk 包装材料およびこれを用いた包装体
JP2006306403A (ja) * 2005-04-26 2006-11-09 Renesas Technology Corp 半導体装置の製造方法
JP2011518081A (ja) * 2008-04-16 2011-06-23 ミラン イノベーション エルティーディー 包装ロック及び表示システム

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0648463A (ja) * 1992-03-31 1994-02-22 Motorola Inc 集積回路出荷媒体
JP2000013092A (ja) * 1998-06-24 2000-01-14 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電気部品供給装置およびプリント回路板組立方法
JP2004165273A (ja) * 2002-11-11 2004-06-10 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電子回路部品供給方法,テープ化部品コード付設方法,電子回路部品供給システムおよび電子回路部品装着システム
JP2006273403A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Ooe Kagaku Kogyo Kk 包装材料およびこれを用いた包装体
JP2006306403A (ja) * 2005-04-26 2006-11-09 Renesas Technology Corp 半導体装置の製造方法
JP2011518081A (ja) * 2008-04-16 2011-06-23 ミラン イノベーション エルティーディー 包装ロック及び表示システム

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013122991A (ja) * 2011-12-12 2013-06-20 Hitachi Ltd フロアーライフ管理装置及びフロアーライフ管理方法
JP2016176900A (ja) * 2015-03-23 2016-10-06 セイコーエプソン株式会社 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
JP2021177486A (ja) * 2020-01-08 2021-11-11 株式会社Fuji プラズマ照射システム、およびプラズマ照射方法
JP7083949B2 (ja) 2020-01-08 2022-06-13 株式会社Fuji プラズマ照射システム、およびプラズマ照射方法
JP7349062B2 (ja) 2020-01-08 2023-09-22 株式会社Fuji プラズマ照射システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP5541093B2 (ja) 2014-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4737569B2 (ja) 光学表示ユニットの製造方法および光学表示ユニットの製造システム
JP5541093B2 (ja) 電子部品実装装置及び電子部品実装方法
TW201922599A (zh) 感測系統、用於監測前開式晶圓傳送盒的系統及用於監測前開式晶圓傳送盒內的環境的方法
ITUD20090131A1 (it) Apparato e procedimento per la manipolazione di substrati danneggiati in sistemi di lavorazione substrati
JP2011007779A (ja) フィルム用欠陥マーキング装置及び欠陥マーキング方法
JP7086642B2 (ja) 欠陥検査システム、フィルム製造装置、フィルム製造方法、印字装置及び印字方法
JP6204563B2 (ja) 部品実装機の生産管理システム
CN201392179Y (zh) 晶片位置检测装置
JP6255186B2 (ja) 光学部材の検査方法、光学製品の製造方法、及び、光学部材の検査装置
JP2012194475A (ja) 偏光板、偏光板の製造方法および液晶表示装置
JP2011257343A (ja) フィルム用欠陥マーキング装置及び欠陥マーキング方法
JPH0812053B2 (ja) 外観検査方法およびその装置
JP2007017811A (ja) ペリクルライナー又はペリクルの剥離装置、剥離方法及びパターン基板の製造方法
JP2016038447A (ja) 貼合装置、光学表示デバイスの生産システム、貼合方法、および光学表示デバイスの生産方法
JP3717116B2 (ja) 電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査編集装置および検査編集方法
US10634625B2 (en) Transfer system and transfer method
CN206871421U (zh) Gdx2包装机框架纸输送过程新型检测器
JP2009128090A (ja) テーピングic対応自動x線検査装置
US20180281203A1 (en) Robot arm and transfer system
JP2005271951A (ja) ラベル発行装置、およびラベル発行方法
JP3006705B2 (ja) 電子部品収納用キャリアテープ
JP2012084751A (ja) 電子部品収納テープ
JPH11348918A (ja) Tabテープ用検査機能付きパンチングマシン
KR102438892B1 (ko) 결함 검사 시스템, 필름 제조 장치, 필름 제조 방법, 인자 장치 및 인자 방법
JP2018010020A (ja) 光学部材の検査方法、光学製品の製造方法、及び、光学部材の検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130718

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140207

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140217

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140318

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140408

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140421

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5541093

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150