JP2012103111A - 形状測定センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検物100の表面形状を測定するための形状測定センサ1は、自身の軸方向に摺動可能に支持され、軸方法に摺動することにより被検物の表面形状に追従するプローブ11と、プローブを軸方向に摺動可能に支持する静圧軸受12と、プローブを、その摺動範囲内における中間部の所望の位置に位置決めして保持する第一の状態と、プローブの摺動に干渉しない第二の状態とに切り替え可能なストッパ部60とを備えることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
この形状測定センサでは、被検物表面上の各点における接触力が一定となり、かつ極めて微小な接触力で表面形状の測定が行えるという優れた利点がある。
また、前記軸受部と前記プローブとの間に流体が供給され、前記プローブ保持機構は前記流体の供給を制御することにより前記第一の状態と前記第二の状態とを切り替えてもよい。
プローブ11は、被検物100に接触追従する先端部11Aと、先端側に先端部11Aが取り付けられた略円柱状の軸部11Bとを有する公知の構成のものを適宜選択して採用可能である。図1では、プローブの一例として、先端部11Aが尖ったダイヤモンドスタイラスが示されている。プローブ11は、静圧軸受12内を滑らかに摺動可能となるように静圧軸受12に挿通されている。静圧軸受12は、挿通されたプローブ11の先端部11Aが被検物100の配置された前方に向くようにベース平板14上に固定される。軸部11Bの後方側には、プローブ11の変位量を検出するための変位計15が取り付けられている。
なお、本実施形態では、測定される表面が球面状の被検物を示しているが、測定される表面の形状には特に制限はない。
y軸駆動機構30およびx軸z軸駆動機構40により、プローブ11と被検物保持部20に保持された被検物100とは、x軸方向、y軸方向、およびz軸方向に相対移動することができる。
さらに、図示を省略するが、パソコン50はエア供給ライン12Bとも接続されており、静圧軸受12への気体供給はパソコン50によって制御される。
被係止部61は、ベース平板14上に突出しており、図示しないモータ等の移動機構によりレール62上を移動し、所望の位置に停止させることができる。レール62は、ベース平板14上において静圧軸受12の長手方向(貫通孔12Aの軸線方向)と平行に延びており、静圧軸受12に挿通されたプローブ11の軸方向と略平行である。被係止部61は、静圧軸受12の後端よりも後方にあるときは、プローブ11の軸部11Bに取り付けられた係止部16が係止されることにより、プローブ11を、摺動範囲において前端と後端を除く中間部の所望の位置に位置決めすることができる(第一の状態)。一方、被係止部61が静圧軸受12の後端よりも前方にあるときは、被係止部61と係止部16とが干渉せず、被係止部61はプローブ11の摺動に干渉しない(第二の状態)。
まず使用者は、被検物100を、形状測定を行う面が触針子部10に対向するように、被検物保持部20の揺動部22に支持固定する。
入力されたストロークの量を確保するためには、例えば、予めプローブ11を摺動可能範囲の後端に位置させる、すなわち限界まで後退させてから、当該ストローク量だけ前進させればよく、安全を見込んで当該ストローク量に所定量を加算した長さだけ前進させるとより好ましい。
被係止部61の退避後、使用者は、パソコン50によってx軸z軸駆動機構40とy軸駆動機構30とを駆動し、被検物100とプローブ11とを相対移動させることにより、被検物100の表面をプローブ11によって走査させる。プローブ11の走査方向はx軸に平行な方向であり、y軸駆動機構30により先端部11Aの高さを変化させながら被検物100の表面全体が走査される。各変位計15、31及び41の検出値はパソコン50に入力され、被検物100の表面形状が順次測定、記録される。
従来の自重傾斜式形状測定センサでは、摺動するプローブには自重により発生する重力以外にほとんど外力が作用しないため、摺動範囲の中間において停止させることはできなかった。このため、被検物を接近させた状態でプローブを傾斜させると、摺動したプローブの先端により被検物の表面が傷められる恐れがあり、これを確実に防ぐには、上述のようにプローブを摺動範囲の前端まで前進させ、それ以上前進しない状態にしてから被検物を接近させる必要があった。
これに対し、形状測定センサ1では、ストローク量を確保できる最低限の量だけプローブ11を前進させた状態でストッパ部60によりプローブ11を位置決めすれば、それ以上プローブ11は前進しない。したがって、被検物保持部20に保持された被検物100をより高速でプローブ11の近傍まで移動させても、被検物100の表面を傷める恐れがなく、被検物100を超低速で移動させる距離は、プローブ11の近傍からプローブ11と接触するまでのごく短距離とすることができる。その結果、測定の前準備を含めた被検物100の形状測定に要する総時間を著しく短縮させて効率よく測定を行うことができる。
例えば、本発明の形状測定センサにおけるプローブ保持機構は、上記のストッパ部60のような構成のものには限られない。一例として、静圧軸受12へのエア供給経路に電磁弁を設け、エア供給を停止するあるいは摺動が停止する程度にエア供給量を減少させるよう制御することにより、プローブ11が滑らかに摺動する第二の状態から、第一の状態に当該電磁弁を切り替えて、プローブ11の位置決めを行ってもよい。
11 プローブ
12 静圧軸受(軸受部)
16 係止部
60 ストッパ部(プローブ保持機構)
61 被係止部
100 被検物
Claims (3)
- 被検物の表面形状を測定するための形状測定センサであって、
自身の軸方向に摺動可能に支持され、前記軸方法に摺動することにより前記被検物の表面形状に追従するプローブと、
前記プローブを前記軸方向に摺動可能に支持する軸受部と、
前記プローブを、その摺動範囲内における中間部の所望の位置に位置決めして保持する第一の状態と、前記プローブの摺動に干渉しない第二の状態とに切り替え可能なプローブ保持機構と、
を備えることを特徴とする形状測定センサ。 - 前記プローブ保持機構は、前記プローブに設けられた係止部が係止される被係止部を有し、前記軸方向と平行に移動することにより前記第一の状態と前記第二の状態とを切り替えることを特徴とする請求項1に記載の形状測定センサ。
- 前記軸受部と前記プローブとの間には流体が供給されており、
前記プローブ保持機構は、前記流体の供給を制御することにより前記第一の状態と前記第二の状態とを切り替えることを特徴とする請求項1に記載の形状測定センサ。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
JP2020071117A (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定方法および表面性状測定装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109931840B (zh) * | 2019-03-27 | 2021-01-19 | 合肥联宝信息技术有限公司 | 一种检测模具 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07164372A (ja) * | 1993-12-15 | 1995-06-27 | Nikon Corp | 測定機 |
JP2003042742A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Canon Inc | 接触式プローブ |
JP2003148522A (ja) * | 2001-11-14 | 2003-05-21 | Mitsutoyo Corp | 滑動部材の制動装置およびこれを用いた測定機 |
JP2005147746A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-09 | Olympus Corp | 形状測定機 |
JP2005315781A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Olympus Corp | 形状測定機 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05180651A (ja) * | 1992-01-09 | 1993-07-23 | Toshiba Corp | 形状測定装置 |
TW550375B (en) * | 2001-09-07 | 2003-09-01 | Olympus Optical Co | Apparatus for measuring a surface profile |
JP2006090946A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Olympus Corp | 形状測定機 |
JP4291849B2 (ja) * | 2006-12-20 | 2009-07-08 | パナソニック株式会社 | 三次元測定プローブ |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07164372A (ja) * | 1993-12-15 | 1995-06-27 | Nikon Corp | 測定機 |
JP2003042742A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Canon Inc | 接触式プローブ |
JP2003148522A (ja) * | 2001-11-14 | 2003-05-21 | Mitsutoyo Corp | 滑動部材の制動装置およびこれを用いた測定機 |
JP2005147746A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-09 | Olympus Corp | 形状測定機 |
JP2005315781A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Olympus Corp | 形状測定機 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020071117A (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定方法および表面性状測定装置 |
CN111121597A (zh) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 株式会社三丰 | 表面性状测定方法和表面性状测定装置 |
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CN111121597B (zh) * | 2018-10-31 | 2023-10-20 | 株式会社三丰 | 表面性状测定方法和表面性状测定装置 |
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