JP2012099635A - チップの積層装置及び積層方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体チップ3が貯えられた供給部4と、供給部から半導体チップを取り出す反転ピックアップユニット29と、反転ピックアップユニットによって供給部から取り出された半導体チップを受けてステージ12,13の上面に順次積層しながら仮圧着する仮圧着ツール23と、仮圧着ツールによって複数のチップが仮圧着されたならば、ステージ上で仮圧着された複数の半導体チップを本圧着する本圧着ツール24を具備する。
【選択図】 図1
Description
上記チップが貯えられた供給部と、
この供給部からチップを取り出すチップ取り出し手段と、
このチップ取り出し手段によって上記供給部から取り出されたチップを受けてステージの上面に順次積層しながら仮圧着する仮圧着ツールと、
この仮圧着ツールによって複数のチップが仮圧着されたならば、上記ステージ上で仮圧着された複数のチップを本圧着する本圧着ツールと
を具備したことを特徴とするチップの積層装置にある。
どちらか一方のステージが上記仮圧着ツールによって上記チップが積層されて仮圧着されるよう位置決めされているときに、他方のステージが上記仮圧着ツールによって積層されて仮圧着された複数のチップが上記本圧着ツールによって本圧着されるよう位置決めされることが好ましい。
一対の平行な走行路にそれぞれ走行可能に設けられた第1のステージ及び第2のステージと、
上記チップが貯えられるとともに上記各ステージの走行方向の一端側に対向して配置された供給部と、
この供給部のチップを取り出して反転させる反転ピックアップユニットと、
上記走行路を挟んで上記供給部と対向して配置され上記反転ピックアップユニットによって反転させられたチップを受け、そのチップを上記走行路の一端側で上記第1のステージ或いは第2のステージのどちらか一方のステージに順次積層しながら仮圧着する仮圧着ツールを有する仮圧着ユニットと、
上記走行路の他端側に上記仮圧着ユニットと並んで配置され上記走行路の一端側で一方のステージにチップを積層して仮圧着しているときに上記他端側で他方のステージの上記仮圧着ユニットで積層されて仮圧着されたチップを本圧着することが可能な本圧着ツールを有する本圧着ユニットと
を具備したことを特徴とするチップの積層装置にある。
上記チップが貯えられた供給部からチップを取り出す工程と、
上記供給部から取り出されたチップを仮圧着ツールによってステージの上面に順次積層して仮圧着する工程と、
仮圧着された複数のチップを本圧着ツールによって上記ステージ上で本圧着する工程と
を具備したことを特徴とするチップの積層方法にある。
図1乃至図8はこの発明の第1の実施の形態を示し、図1はチップの積層装置の概略的構成を示す平面図である。この積層装置は矩形状のベース盤1を備えている。このベース盤1の幅方向、つまり矢印で示すX方向の一端側で、前後方向、つまり矢印で示すY方向の後端側(+Y方向側)には仮圧着ユニット2が配置されている。この仮圧着ユニット2と対向する上記ベース盤1の幅方向一端側で、前後方向の前端側(−Y方向側)にはチップとしての半導体チップ3の供給部4が設けられている。
そして、上記テーブル27上には上記実トレイストッカ25bの下端から半導体チップ3が収容された最下段のトレイ26が図示せぬ受け渡し機構によって供給される。
なお、各ユニット4a〜4dのトレイ26には、同じ種類の半導体チップ3を収容される場合もあり、その種類はそのときの作業条件に応じて設定される。
それによって、ピックアップツール36によってピックアップされた半導体チップ3は上下の向きが逆向きになるよう反転させられる。
Claims (6)
- 複数のチップを積層しながら仮圧着してから本圧着するチップの積層装置であって、
上記チップが貯えられた供給部と、
この供給部からチップを取り出すチップ取り出し手段と、
このチップ取り出し手段によって上記供給部から取り出されたチップを受けてステージの上面に順次積層しながら仮圧着する仮圧着ツールと、
この仮圧着ツールによって複数のチップが仮圧着されたならば、上記ステージ上で仮圧着された複数のチップを本圧着する本圧着ツールと
を具備したことを特徴とするチップの積層装置。 - 上記ステージは、上記仮圧着ツールと上記本圧着ツールとの間を駆動可能に設けられた第1のステージと第2のステージを備え、
どちらか一方のステージが上記仮圧着ツールによって上記チップが積層されて仮圧着されるよう位置決めされているときに、他方のステージが上記仮圧着ツールによって積層されて仮圧着された複数のチップが上記本圧着ツールによって本圧着されるよう位置決めされることを特徴とする請求項1記載のチップの積層装置。 - 複数のチップを積層しながら仮圧着してから本圧着するチップの積層装置であって、
一対の平行な走行路にそれぞれ走行可能に設けられた第1のステージ及び第2のステージと、
上記チップが貯えられるとともに上記各ステージの走行方向の一端側に対向して配置された供給部と、
この供給部のチップを取り出して反転させる反転ピックアップユニットと、
上記走行路を挟んで上記供給部と対向して配置され上記反転ピックアップユニットによって反転させられたチップを受け、そのチップを上記走行路の一端側で上記第1のステージ或いは第2のステージのどちらか一方のステージに順次積層しながら仮圧着する仮圧着ツールを有する仮圧着ユニットと、
上記走行路の他端側に上記仮圧着ユニットと並んで配置され上記走行路の一端側で一方のステージにチップを積層して仮圧着しているときに上記他端側で他方のステージの上記仮圧着ユニットで積層されて仮圧着されたチップを本圧着することが可能な本圧着ツールを有する本圧着ユニットと
を具備したことを特徴とするチップの積層装置。 - 上記走行路の他端側で上記本圧着ユニットによって本圧着されたチップを上記第1或いは第2のステージから取り出して排出トレイに格納する排出ユニットをさらに備えていることを特徴とする請求項3記載のチップの積層装置。
- 複数のチップを積層しながら仮圧着してから本圧着するチップの積層方法であって、
上記チップが貯えられた供給部からチップを取り出す工程と、
上記供給部から取り出されたチップを仮圧着ツールによってステージの上面に順次積層して仮圧着する工程と、
仮圧着された複数のチップを本圧着ツールによって上記ステージ上で本圧着する工程と
を具備したことを特徴とするチップの積層方法。 - 駆動可能な第1のステージと第2のステージを有し、どちらか一方のステージ上の仮圧着されたチップを上記本圧着ツールによって本圧着しているときに、上記仮圧着ツールによって他方のステージ上にチップを積層して仮圧着することを特徴とする請求項5記載のチップの積層方法。
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