JP2012084801A - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の辺に沿って形成されると共に外縁部が円形に形成され、前記基板を保持する基板保持部と共に回転する液受け部と、前記液受け部を囲むように設けられ、その上縁部が当該液受け部との間に排気空間を形成するように液受け部の上方側に屈曲すると共にその内周縁が円形に形成され、前記基板保持部と共に回転する円筒状の回転カップと、を備えるように液処理装置を構成する。回転カップの内外で周方向に均一性高く気流を形成すると共に気流の淀みを防ぎ、液受け部により基板の周縁部から外側上方へ飛散した処理液をその下面で受け止めて基板の外側方向へ排出することができるので、基板の周囲から効率良く処理液を排出して基板への付着を防ぐことができる。
【選択図】図1
Description
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
前記基板保持部によって保持された基板を、鉛直軸回りに回転させる回転駆動機構と、
前記基板に処理液を供給する処理液供給機構と、
回転する基板の周縁部から外側上方へ飛散した処理液をその下面で受け止めて基板の外側方向へガイドするために、基板の辺に沿って形成されると共に外縁部が円形に形成され、前記基板保持部と共に回転する液受け部と、
前記液受け部を囲むように設けられ、その上縁部が当該液受け部との間に排気空間を形成するように液受け部の上方側に屈曲すると共にその内周縁が円形に形成され、前記基板保持部と共に回転する円筒状の回転カップと、
前記排気空間を介して前記液受け部の上方側の雰囲気を排気するための排気機構と、を備えたことを特徴とする。
(1)前記回転カップを囲むように設けられ、その上縁部が当該回転カップとの間に排気空間を形成するように回転カップの上縁部の上方側に屈曲する外側カップを備え、前記排気機構は、前記回転カップと外側カップとの間の排気空間を排気する。
(2)前記外側カップは円筒状に形成されている。
(3)前記液受け部は周方向に分割された分割片により構成され、各分割片を基板の液受け部の径方向に移動させる駆動機構を備える。
(4)基板を基板保持部に受け渡すときに前記分割片の内縁は基板の外縁より外側に位置し、基板の回転時に前記分割片の内縁は、基板の外縁より内側に位置する。
B 基板
1 洗浄装置
21 回転筒
31 支持プレート
37 外側領域
38 排気口
39 排気手段
41 複合カップ体
43 液受け部
44 角型開口部
51 回転カップ
52 円筒部
53 傾斜部
54 円形開口部
55 排気空間
61 外側カップ
Claims (5)
- 角型の基板を処理液により処理する液処理装置において、
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
前記基板保持部によって保持された基板を、鉛直軸回りに回転させる回転駆動機構と、
前記基板に処理液を供給する処理液供給機構と、
回転する基板の周縁部から外側上方へ飛散した処理液をその下面で受け止めて基板の外側方向へ排出するために、基板の辺に沿って形成されると共に外縁部が円形に形成され、前記基板保持部と共に回転する液受け部と、
前記液受け部を囲むように設けられ、その上縁部が当該液受け部との間に排気空間を形成するように液受け部の上方側に屈曲すると共にその内周縁が円形に形成され、前記基板保持部と共に回転する円筒状の回転カップと、
前記排気空間を介して前記液受け部の上方側の雰囲気を排気するための排気機構と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 前記回転カップを囲むように設けられ、その上縁部が当該回転カップとの間に排気空間を形成するように回転カップの上縁部の上方側に屈曲する外側カップを備え、
前記排気機構は、前記回転カップと外側カップとの間の排気空間を排気することを特徴とする請求項1記載の液処理装置。 - 前記外側カップは円筒状に形成されていることを特徴とする請求項2記載の液処理装置。
- 前記液受け部は周方向に分割された分割片により構成され、各分割片を基板の液受け部の径方向に移動させる駆動機構を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の液処理装置。
- 基板を基板保持部に受け渡すときに前記分割片の内縁は基板の外縁より外側に位置し、基板の回転時に前記分割片の内縁は、基板の外縁より内側に位置することを特徴とする請求項4記載の液処理装置。
Priority Applications (1)
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JP2010231675A JP5375793B2 (ja) | 2010-10-14 | 2010-10-14 | 液処理装置 |
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JP5375793B2 JP5375793B2 (ja) | 2013-12-25 |
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Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013243317A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置、基板処理システムおよび基板処理方法 |
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-
2010
- 2010-10-14 JP JP2010231675A patent/JP5375793B2/ja active Active
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JP5375793B2 (ja) | 2013-12-25 |
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