JP2012081681A - スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 - Google Patents

Abstract

【課題】マスク上にペーストが不均一に供給されることによる印刷不良の発生を抑えることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】シリンジ１６の往復移動領域Ｒでの移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジ１６がペースト供給領域Ｑの一端側（往路側空気圧供給開始位置Ｑ１及び復路側空気圧供給開始位置Ｑ３）に達したときにシリンジ１６への空気圧の供給を開始し、シリンジ１６がペースト供給領域Ｑの他端側（往路側空気圧供給停止位置Ｑ２及び復路側空気圧供給停止位置Ｑ４）に達する前にシリンジ１６への空気圧の供給を停止する。
【選択図】図１１

Description

本発明は、マスクの開口部を介して基板上の電極にペーストを転写するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである

基板に半田ペースト等のペーストの印刷を行うスクリーン印刷機は、基板上の電極の配置に応じた複数の開口部を有するマスク、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させて基板の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベース、スキージベースの移動方向と直交する水平面内方向に延び、スキージベースの下方で昇降されるスキージ及び空気圧の供給を受けてペーストの吐出を行うシリンジを備え、基板保持移動手段によって基板の電極とマスクの開口部とが合致するように基板とマスクを接触させた後、スキージベースに対して下降させたスキージをペーストが供給されたマスク上に当接させてスキージベースを水平面内方向に移動させるようになっている。これによりスキージはマスク上で摺動し、ペーストがスキージによって掻き寄せられるので、ペーストはマスクの開口部に充填されて、電極に転写される。

このようなスクリーン印刷機では、シリンジはスキージの延びる方向に移動させながらシリンジへの空気圧の供給を行ってシリンジからペーストを吐出させ、マスク上に設定したペースト供給領域に自動でペーストが供給されるようにしたものが知られている（例えば、特許文献１）。

特開平４−１０７１４５号公報

しかしながら、上記従来のものでは、シリンジの移動終了時にシリンジへの空気圧の供給を停止したとしても、シリンジからのペーストの吐出がただちに終了するわけではなく、空気圧が供給されて高圧になったシリンジ内の圧力が空気圧の供給停止によって低圧に戻るまでの間はシリンジからペーストが出続けるため、シリンジの移動終了地点付近のペースト量が局部的に多くなってしまう。そうすると、ペースト供給領域内でのペーストの量の分布が全体として不均一になり、その後スキージをマスク上で摺動させた場合に、マスクの開口部内へのペーストの充填状態にマスク全体としてばらつきが生じて印刷不良が発生し易いという問題点があった。

そこで本発明は、マスク上にペーストが不均一に供給されることによる印刷不良の発生を抑えることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板上の電極の配置に応じた複数の開口部を有するマスクと、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、スキージベースの移動方向と直交する水平面内方向に延び、スキージベースの下方で昇降されるスキージと、基板保持移動手段によりマスクに接触された基板のスキージの延びる方向の両端を含むように設定された往復移動領域で移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてペーストの吐出を行うシリンジと、シリンジを往復移動領域で往復移動させながらシリンジに空気圧を供給することにより、往復移動領域の往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク上に設定されたペースト供給領域にペーストを供給させるシリンジ作動制御手段と、スキージベースに対してスキージを下降させ、シリンジによりペーストが供給されたマスク上にスキージを当接させるスキージ下降手段と、マスク上にスキージが当接された状態でスキージベースを水平面内方向に移動させてスキージをマスク上で摺動させるスキージベース移動手段とを備え、シリンジ作動制御手段は、シリンジの往復移動領域での移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジがペースト供給領域の一端側に達したときにシリンジへの空気圧の供給を開始し、シリンジがペースト供給領域の他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止する。

請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、シリンジ作動制御手段は、シリンジへの空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジへの空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定する。

請求項３に記載のスクリーン印刷方法は、基板上の電極の配置に応じた複数の開口部を有するマスクと、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、スキージベースの移動方向と直交する水平面内方向に延び、スキージベースの下方で昇降されるスキージと、基板保持移動手段によりマスクに接触された基板のスキージの延びる方向の両端を含むように設定された往復移動領域で移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてペーストの吐出を行うシリンジとを備えたスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、シリンジを往復移動領域で往復移動させながらシリンジに空気圧を供給することにより、往復移動領域の往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク上に設定されたペースト供給領域にペーストを供給させる工程と、スキージベースに対してスキージを下降させ、シリンジによりペーストが供給されたマスク上にスキージを当接させる工程と、マスク上にスキージが当接された状態でスキージベースを水平面内方向に移動させてスキージをマスク上で摺動させる工程とを含み、シリンジによりペースト供給領域にペーストを供給させる工程の実行時、シリンジの往復移動領域での移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジがペースト供給領域の一端側に達したときにシリンジへの空気圧の供給を開始し、シリンジがペースト供給領域の他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止する。

請求項４に記載のスクリーン印刷方法は、請求項３に記載のスクリーン印刷方法であって、シリンジによりペースト供給領域にペーストを供給させる工程の実行時、シリンジへの空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジへの空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定する。

本発明では、シリンジの往復移動領域での移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジがペースト供給領域の一端側に達したときにシリンジへの空気圧の供給を開始し、シリンジがペースト供給領域の他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止するようになっており、ペースト供給領域のうち、上記一端側から空気圧の供給停止の地点まではシリンジから吐出されるペーストが供給されるが、空気圧の供給停止の地点から上記他端側に至るまでの間の部分には、空気圧が供給されて高圧になったシリンジ内の圧力が空気圧の供給停止によって低圧（大気圧レベル）に戻るまでの間、シリンジから出続ける分のペーストが供給される。このため、シリンジへの空気圧の供給停止後、シリンジから出続ける分のペーストがペースト供給領域の一部に集中的に供給されてしまう不都合がない。そして、このようなペーストの供給はシリンジの往復移動領域の移動の往路及び復路のそれぞれについて行われるので、ペースト供給領域内のペーストはシリンジの往路移動時の供給によるものとシリンジの復路移動時の供給によるものとで全体として均一化し易く、マスク上にペーストが不均一に供給されることによる印刷不良の発生を抑えることができる。

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに設置されたマスクの平面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるシリンジの斜視図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージ及びシリンジの側面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分正面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える後方のスキージの（ａ）斜視図（ｂ）側面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のペーストの供給状態の一例を示すマスクホルダ及びマスクの平面図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のシリンジからマスク上のペースト供給領域に供給したペーストの分布を示す図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の実行手順を示すメインルーチンのフローチャート 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の実行手順を示すサブルーチンのフローチャート （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスクリーン印刷作業実行時における動作を説明する図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスクリーン印刷作業実行時における動作を説明する図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスクリーン印刷作業実行時における動作を説明する図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスクリーン印刷作業実行時における動作を説明する図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスクリーン印刷作業実行時における動作を説明する図

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１、図２及び図３において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板２の流れの上流側に位置する他の装置（図示せず）から投入された基板２を搬入して所定の印刷作業実行位置に位置決めし、基板２の表面の電極３上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストＰｔ（図３参照）を転写するスクリーン印刷を行って下流側に搬出する動作を連続実行する。以下、説明の便宜上、スクリーン印刷機１において基板２を搬送する水平面内方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸とする。更に、Ｙ軸方向をスクリーン印刷機１の前後方向、Ｘ軸方向を横（左右）方向とし、前後方向のうち、スクリーン印刷機１に対してオペレータＯＰ（図１）が作業を行う側（図１の紙面下方）をスクリーン印刷機１の前方、その反対側（図１の紙面上方）を後方とする。

図１、図２及び図３において、スクリーン印刷機１は、基台１１上に設けられた基板保持移動手段である基板保持移動ユニット１２のほか、基板保持移動ユニット１２の上方に設けられた金属製の薄板材料から成り、基板２の電極３の配置に応じた多数（複数）の開口部１３ａ（パターン孔）を有するプレート状のマスク１３、Ｘ軸方向に延びて設けられた前後一対のスキージ１４、カメラユニット１５及びスキージ１４の延びる方向（Ｘ軸方向）に移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてペーストＰｔを吐出するシリンジ１６を備えている。

図２及び図３において、基板保持移動ユニット１２は、水平移動部２１、昇降部２２、コンベア部２３及び基板保持部２４から成る。

図２及び図３において、水平移動部２１は、Ｙテーブル駆動モータＭｙの作動によって基台１１に対してＹ軸方向に移動するＹテーブル２１ａ、Ｘテーブル駆動モータＭｘの作動によってＹテーブル２１ａに対してＸ軸方向に移動するＸテーブル２１ｂ、Ｘテーブル２１ｂに対してＺ軸回りに回転するθテーブル２１ｃ、θテーブル２１ｃの上面に固定されたベーステーブル２１ｄ及びベーステーブル２１ｄの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド２１ｅから成る。

図２及び図３において、昇降部２２は、水平移動部２１の複数の昇降テーブルガイド２１ｅにガイドされてベーステーブル２１ｄに対して昇降する昇降テーブル２２ａ及び昇降テーブル２２ａの上面から上方に延びて設けられた複数の下受けユニット昇降ガイド２２ｂから成る。

図２及び図３において、コンベア部２３は下受けユニット昇降ガイド２２ｂの上端に取り付けられて昇降テーブル２２ａとともにベーステーブル２１ｄに対して昇降する前後一対のベルトコンベア支持部材２３ａと、各ベルトコンベア支持部材２３ａに支持された前後一対のベルトコンベア２３ｂから成っており、これら前後のベルトコンベア２３ｂが同期して作動することにより、基板２のＸ軸方向への搬送がなされる。

図２及び図３において、基板保持部２４は、コンベア部２３の下方に設けられた下受けユニット２５及び前後のベルトコンベア支持部材２３ａそれぞれの上部にＹ軸方向に移動自在に設けられた前後一対のクランプ部材２６（図１も参照）から成る。

図２及び図３において、下受けユニット２５は下受けユニット昇降ガイド２２ｂにガイドされて昇降自在であり、水平移動部２１の昇降テーブル２２ａに対して上昇することによって、上方に延びた複数の下受けピン２５ａの上端を、前後のベルトコンベア２３ｂによって両端部が支持された基板２の下面に下方から接触させてその基板２を支持する。

図２及び図３において、前後のクランプ部材２６は、図示しない開閉機構を介して互いに反対の方向に（すなわちＹ軸方向に開閉する方向に）移動されることにより、前後のベルトコンベア２３ｂによって両端部が支持された基板２のＹ軸方向の両側部（両端面）を基板２の外方から挟んでクランプする。

基板保持移動ユニット１２は、後述するように、一対のクランプ部材２６により基板２をクランプした状態で基板２を上昇させ、基板２上の電極３とマスク１３の開口部１３ａとが合致するように基板２の上面をマスク１３の下面に接触させる基板保持移動手段として機能する。

図１及び図２において、基板保持移動ユニット１２を構成するコンベア部２３の上流側には前後一対のベルトコンベア２７ａから成る基板搬入コンベア２７が設けられており、コンベア部２３の下流側には前後一対のベルトコンベア２８ａから成る基板搬出コンベア２８が設けられている。基板搬入コンベア２７は、スクリーン印刷機１の外部（上流側）から投入された基板２を搬入して基板保持移動ユニット１２のコンベア部２３に受け渡し、基板搬出コンベア２８は、基板保持移動ユニット１２のコンベア部２３から受け渡された基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する。このように、基板搬入コンベア２７、基板保持移動ユニット１２のコンベア部２３及び基板搬出コンベア２８は基板２の搬送を行う基板搬送路２９（図１）として機能する。

図１及び図２において、基台１１上には基板搬入コンベア２７及び基板搬出コンベア２８をそれぞれＹ軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム３１が設けられており、これら一対の門型フレーム３１によってマスクホルダ３２が支持されている。

図２、図３及び図４において、マスクホルダ３２は、門型フレーム３１に両端が取り付けられて基板保持移動ユニット１２の上方をＸ軸方向に延びて配置された前後一対のガイド部材３３と、一対のガイド部材３３上をＹ軸方向に延びて設けられた左右一対のマスク支持レール３４とから成る。マスク１３はマスクホルダ３２が備える左右一対のマスク支持レール３４によって左右両端部が支持されて基板保持移動ユニット１２の上方に水平姿勢に保持される。

図１及び図４において、マスク１３は平面視において矩形の枠状部材から成るマスク枠１３ｗによって四辺が支持されており、マスク枠１３ｗによって囲まれた矩形の領域には、前述の多数の開口部１３ａが設けられている。

図１において、基板２の対角位置には２つ一組の基板側位置合わせ用マークｍｋが設けられている。一方、図４において、マスク１３には、基板側位置合わせ用マークｍｋに対応して配置された２つ一組のマスク側位置合わせ用マークＭＫが設けられている。これら基板側位置合わせ用マークｍｋとマスク側位置合わせ用マークＭＫとが平面視において一致する状態で基板２をマスク１３に接触させると、基板２の電極３とマスク１３の開口部１３ａが合致した状態となる。

図２及び図３において、一対の門型フレーム３１には、Ｘ軸方向に延びたＸ軸ステージ３５の両端部がＹ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸ステージ３５上にはカメラ支持ステージ３６がＸ軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ３６には前述のカメラユニット１５が取り付けられている。カメラユニット１５は、撮像視野を下方に向けた第１カメラ１５ａと撮像視野を上方に向けた第２カメラ１５ｂを備えている。

図１及び図２において、一対の門型フレーム３１にはＸ軸方向に延びたスキージベース３７の両端部が支持されており、スキージベース３７は門型フレーム３１に沿って、マスク１３の上方で水平面内方向（Ｙ軸方向）に往復移動自在となっている。

図２及び図３において、スキージベース３７の上面中央部のＹ軸方向に対向する位置には２つのスキージ昇降シリンダ３８が設けられている。これら２つのスキージ昇降シリンダ３８からはそのピストンロッドから成るスキージ昇降軸３８ａがスキージベース３７を上下方向に貫通して延びている。

図２及び図３において、各スキージ昇降シリンダ３８が備えるスキージ昇降軸３８ａの下端にはＸ軸方向に延びたスキージホルダ３９が取り付けられており、各スキージホルダ３９には前述のスキージ１４が保持されている。各スキージ１４は、スキージホルダ３９に沿ってＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成る。

各スキージ昇降シリンダ３８によりスキージ昇降軸３８ａが下方に突没されると、スキージ昇降軸３８ａの下端にスキージホルダ３９を介して取り付けられたスキージ１４がスキージベース３７に対して昇降する。ここで、マスク１３とスキージベース３７の上下方向の間隔は変化しないので、スキージ１４はマスク１３に対して昇降することになる。

このようにシリンジ１６は、スキージベース３７の移動方向であるＹ軸方向と直交する水平面内方向（Ｘ軸方向）に延びており、スキージベース３７の下方で昇降される構成となっている。

シリンジ１６は、図５及び図６に示すように、スキージベース３７の前部（図６の紙面左側）にシリンジ取り付けブラケット４１を介して取り付けられており、シリンジ取り付けブラケット４１はスキージベース３７と対向する後面に設けられたスライダ４２が、スキージベース３７の前面をＸ軸に延びて設けられたスライドガイド４３に噛み合ってスキージ１４の延びる方向（Ｘ軸方向）に移動自在になっている。

図５及び図７において、スキージベース３７の上面前端部のＸ軸方向の両端部には一対のブラケット（モータ取り付けブラケット４４及び従動プーリ取り付けブラケット４５）が取り付けられており、モータ取り付けブラケット４４にはシリンジ移動モータ４６が取り付けられている。シリンジ移動モータ４６の駆動軸４６ａ（図６）はモータ取り付けブラケット４４を水平に貫通して前方に延びており、その先端部には駆動プーリ４７が取り付けられている。一方、従動プーリ取り付けブラケット４５から水平前方に延びたプーリ軸（図示せず）には従動プーリ４８が取り付けられている。

図５及び図７において、駆動プーリ４７と従動プーリ４８には歯付ベルト４９が掛け渡されており、歯付ベルト４９の下面にはシリンジ取り付けブラケット４１の上部の上面が固定されている。このためシリンジ移動モータ４６の駆動軸４６ａが駆動されて駆動プーリ４７が回転すると、駆動プーリ４７及び従動プーリ４８と噛合した歯付ベルト４９がＸ軸方向に走行し、これに伴ってシリンジ取り付けブラケット４１が（したがってシリンジ１６が）、スキージベース３７の前方の領域を、スキージベース３７に対して、スキージベース３７の往復移動する方向（Ｙ軸方向）と直交する水平面内方向（Ｘ軸方向）に移動する。

図６において、シリンジ１６は、スキージベース３７の前方に設けられたシリンジ取り付けブラケット４１の前面に、鉛直線ＶＬに対して角度φだけ下方が後方に傾いて延びる軸線Ｊに沿って延びて設けられている。このシリンジ１６は、下端にペースト供給口１６ｐを有したノズル部１６ａが軸線Ｊに沿って移動自在になっており、ノズル部１６ａを（すなわちペースト供給口１６ｐを）下動させて前方のスキージ１４の直下に位置させる張り出し位置（図６中、一点鎖線で示すノズル部１６ａ参照）と、ノズル部１６ａの下端のペースト供給口１６ｐを上動させた格納位置（図６中、実線で示すノズル部１６ａ参照）との間で移動させることができる。ここで、上記角度φは、シリンジ１６のノズル部１６ａが張り出し位置に位置している状態で、前方のスキージ１４の直下にペーストＰｔを供給できるような角度として任意に設定される。

シリンジ１６はノズル部１６ａを張り出し位置に張り出させた状態において、内部に空気圧が供給されると、内蔵したペーストＰｔを吐出する。なお、シリンジ１６のＸ軸方向への移動範囲（移動ストローク）は、少なくとも、スクリーン印刷機１によって取り扱う基板２のＸ軸方向（スキージ１４の延びる方向）の寸法をカバーできる（基板２の両端を含む）範囲を有する。

基板２の搬送を行う基板搬送路２９としての基板搬入コンベア２７、基板保持移動ユニット１２のコンベア部２３及び基板搬出コンベア２８の各動作は、基台１１内に設けられた制御装置５０（図８）が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構５１（図８）の作動制御を行うことによってなされる。

基板保持移動ユニット１２の基板保持部２４が備える下受けユニット２５の昇降動作は、制御装置５０が図示しないアクチュエータ等から成る下受けユニット昇降機構５２（図８）の作動制御を行うことによってなされる。また、基板保持移動ユニット１２の基板保持部２４が備える前後のクランプ部材２６の開閉動作（基板２のクランプ及びその解除動作）は、制御装置５０が図示しないアクチュエータ等からクランプ部材開閉機構５３（図８）の作動制御を行うことによってなされる。制御装置５０は、下受けユニット２５を上昇させて下受けピン２５ａを基板２の下面に当接させ、かつ前後のクランプ部材２６により基板２の両側から挟んでクランプすることにより基板２を保持する。

カメラユニット１５の水平面内での移動動作、すなわち一対の門型フレーム３１に対するＸ軸ステージ３５のＹ軸方向への移動動作及びＸ軸ステージ３５に対するカメラ支持ステージ３６のＸ軸方向への移動動作の各制御は、制御装置５０が図示しないアクチュエータから成るカメラ移動機構５４（図８）の作動制御を行うことによってなされる。また、カメラユニット１５を構成する第１カメラ１５ａ及び第２カメラ１５ｂはそれぞれ、制御装置５０に制御されて撮像動作を行い、取得した画像データはともに制御装置５０に入力される（図８）。

制御装置５０は、第１カメラ１５ａ、第２カメラ１５ｂ及びカメラ移動機構５４を作動させることにより、第１カメラ１５ａによる基板側位置合わせ用マークｍｋの撮像と第２カメラ１５ｂによるマスク側位置合わせ用マークＭＫの撮像を行って、基板２及びマスク１３それぞれの位置を検出する。

基板保持移動ユニット１２が備える水平移動部２１による基板保持部２４の水平面内方向への移動動作は、制御装置５０が、Ｙテーブル２１ａの基台１１に対するＹ軸方向への移動、Ｙテーブル２１ａに対するＸテーブル２１ｂのＸ軸方向への移動及びＸテーブル２１ｂに対するθテーブル２１ｃの（すなわちベーステーブル２１ｄの）Ｚ軸回りの回転動作を行わせる、前述のＹテーブル駆動モータＭｙ及びＸテーブル駆動モータＭｘを含む複数のアクチュエータ等から成る水平移動機構５５（図８）の作動制御を行うことによってなされる。制御装置５０は、カメラユニット１５の作動を行って検出した基板２及びマスク１３それぞれの位置に基づいて水平移動機構５５を作動させることにより、基板保持部２４により保持した基板２のマスク１３に対する水平面内方向の位置合わせを行う。

基板保持移動ユニット１２が備える昇降部２２による基板保持部２４の昇降動作は、制御装置５０が、昇降テーブル２２ａのベーステーブル２１ｄに対する昇降動作を行わせる図示しないアクチュエータ等から成る昇降機構５６（図８）の作動制御を行うことによってなされる。制御装置５０は、昇降機構５６を作動させることにより、基板保持部２４により保持し、マスク１３に対して水平面内方向の位置合わせを行った基板２の上面（及び前後のクランプ部材２６の上面）をマスク１３の下面に下方から接触させる。

シリンジ１６をＸ軸方向へ移動させるシリンジ１６の移動動作は、制御装置５０が前述のシリンジ移動モータ４６の作動制御を行うことによってなされ、シリンジ１６のノズル部１６ａの突没動作（下動及び上動動作）は、制御装置５０が図示しないアクチュエータ等から成るノズル部突没機構５７（図８）の作動制御を行うことによってなされる。また、シリンジ１６への空気圧の供給及びその停止動作は、制御装置５０が図示しないアクチュエータ等から成る空気圧供給機構５８（図８）の作動制御を行うことによってなされる。制御装置５０は、シリンジ移動モータ４６、ノズル部突没機構５７及び空気圧供給機構５８を作動させることにより、基板２と接触されたマスク１３上へのペーストＰｔの供給を行う。

各スキージ１４のスキージベース３７に対する昇降動作は、制御装置５０がスキージベース３７の上部に取り付けられた前述の２つのスキージ昇降シリンダ３８（図８も参照）の作動制御を行うことによってなされる。また、前後のスキージ１４をＹ軸方向に往復移動させるスキージベース３７の作動制御は、制御装置５０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージベース移動機構５９（図８）の制御を行うことによってなされる。

制御装置５０は、スキージベース移動機構５９を作動させてスキージベース３７を前後のクランプ部材２６の一方の上方に位置させ、そのうえで２つのスキージ昇降シリンダ３８のうちの一方を作動させてそのスキージ昇降シリンダ３８によって昇降されるスキージ１４をクランプ部材２６の上面（クランプ部材２６が接触しているマスク１３の上面）に上方から当接させる。具体的には、前方のスキージ１４は前方のクランプ部材２６の上面に当接させ、後方のスキージ１４は後方のクランプ部材２６の上面に当接させる。そして、スキージベース移動機構５９を作動させ、スキージベース３７を前後方向（Ｙ軸方向）に移動させることによってマスク１３上でスキージ１４を摺動させ、シリンジ１６によって予めマスク１３上に供給したおいたペーストＰｔをスキージ１４で掻き寄せて、マスク１３の開口部１３ａを介して基板２の電極３にペーストＰｔを転写させる。

前方のスキージ１４は前方のクランプ部材２６の上面から後方のクランプ部材２６の上面までの間のマスク１３上を前方から後方に向かって摺動され、後方のスキージ１４は、後方のクランプ部材２６の上面から前方のクランプ部材２６の上面までの間のマスク１３上を後方から前方に向かって摺動される。これら前方スキージ１４によるペーストＰｔの転写動作と、後方のスキージ１４によるペーストＰｔの転写動作とは交互に実行される。

図９（ａ），（ｂ）において、後方のスキージ１４（図６における紙面右側のスキージ１４）のペースト掻き寄せ面（後方のスキージ１４では前方に向く面）には、ペースト高さ検出センサ６０が設けられている。このペースト高さ検出センサ６０は、後方のスキージ１４の幅方向（Ｘ軸方向）の一端側に設けられてＸ軸方向に検査光Ｌの投光を行う投光器６０ａと、後方のスキージ１４の幅方向の他端側に設けられて投光器６０ａが投光する検査光Ｌの受光を行う受光器６０ｂから成る。

制御装置５０がスキージベース移動機構５９を作動させて後方のスキージ１４によってマスク１３上のペーストＰｔをマスク１３の前方に掻き寄せている間、ペースト高さ検出センサ６０の投光器６０ａが投光する検査光Ｌを受光器６０ｂが受光しなかった場合には、そのペーストＰｔの高さｈ（図９（ｂ））が、マスク１３の上面から測った検査光Ｌの高さに相当する所定高さＨ（図９（ｂ））を下回っていることになる。

制御装置５０に繋がるペースト高さ記憶部６１（図８）には、ペースト高さ検出センサ６０によって検出されたマスク１３上のペーストＰｔの高さｈが所定高さＨを下回っているかどうかの情報が記憶される。制御装置５０は、後方のスキージ１４によるペーストＰｔの転写動作が行われ、ペースト高さ検出センサ６０によるペーストＰｔの高さｈの検出が行われるごとにマスク１３上のペーストＰｔの高さｈが所定高さＨを下回っているかどうかの判定を行い、その判定結果をペースト高さ記憶部６１に書き込んで更新する。このためペースト高さ記憶部６１には、マスク１３上のペーストＰｔの高さｈが所定高さＨを下回っているかどうかの最新の情報が記憶される。なお、実装基板生産開始時には、ペースト高さ記憶部６１には、ペースト高さｈが所定高さＨを下回っている旨の情報が記憶されている。

シリンジ移動モータ４６の駆動により、スライドガイド４３に沿ってＸ軸方向にシリンジ１６を移動させ得る範囲内には往復移動領域Ｒ（図７及び図１０）が定められている。この往復移動領域Ｒは、基板保持移動ユニット１２によってマスク１３に接触される基板２のうち、Ｘ軸方向の寸法が最大の基板２（以下、「最大寸法の基板２」と称する）を印刷作業実行位置に位置決めした場合において、その基板２のＸ軸方向（スキージ１４の延びる方向）の両端を含み、かつ、往復移動領域Ｒの中心位置が、印刷作業実行位置に位置決めされる基板２の中心位置とＸ軸方向において一致するように定められている。

制御装置５０は、マスク１３上にペーストＰｔを供給するときには、往復移動領域Ｒでシリンジ１６をＸ軸方向に往復移動させつつ、シリンジ１６に空気圧を供給してシリンジ１６からペーストＰｔを吐出させる。これによりマスク１３上のペーストＰｔを供給すべき領域として基板２の種類ごとに定められたペースト供給領域Ｑ（図７及び図１０）内に、ペーストＰｔが供給される。

このようにシリンジ１６は、基板保持移動ユニット１２によりマスク１３に接触された基板２のスキージ１４の延びる方向（Ｘ軸方向）の両端を含むように設定された往復移動領域Ｒで移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてマスク１３上のペースト供給領域Ｑ内にペーストＰｔの吐出を行う構成となっている。

図７において、スキージベース３７の前部の上記往復移動領域Ｒの両端の位置には第１リミットスイッチＬＳ１と第２リミットスイッチＬＳ２が設けられている。これら第１リミットスイッチＬＳ１と第２リミットスイッチＬＳ２は、シリンジ１６の一部分によって図示しない操作片が操作されたときにオンとなって制御装置５０にシリンジ１６の検出信号を出力する（図８）。

ここで、第１リミットスイッチＬＳ１は、往復移動領域Ｒの一方側（ここでは左方側とする）の端部に相当する位置である「基準位置Ｐ１」に設けられており、第２リミットスイッチＬＳ２は、往復移動領域Ｒの他方側の位置（ここでは右方側とする）の端部に相当する位置である「折り返し位置Ｐ２」に設けられている（図７）。このため、シリンジ１６が往復移動領域Ｒの基準位置Ｐ１に位置しているときには第１リミットスイッチＬＳ１がオンとなってシリンジ１６の検出信号を制御装置５０に出力し（第２リミットスイッチＬＳ２はオフ）、シリンジ１６が往復移動領域Ｒの折り返し位置Ｐ２に位置しているときには第２リミットスイッチＬＳ２がオンとなってシリンジ１６の検出信号を制御装置５０に出力する（第１リミットスイッチＬＳ１はオフ）。

制御装置５０は、シリンジ１６を往復移動領域Ｒの基準位置Ｐ１から折り返し位置Ｐ２に向けて出発させた後、シリンジ１６がペースト供給領域ＱのＸ軸方向の両端部のうち、基準位置Ｐ１側の端部であり、基準位置Ｐ１から距離Ｗ１だけ離れた位置にある往路側空気圧供給開始位置Ｑ１（図７及び図１０）に到達したときにシリンジ１６への空気圧の供給を開始し、シリンジ１６が往路側空気圧供給開始位置Ｑ１から所定距離Ｗ２だけ折り返し位置Ｐ２側に離れた位置である往路側空気圧供給停止位置Ｑ２（図１０）に到達したときにシリンジ１６への空気圧の供給を停止する。

また、制御装置５０は、シリンジ１６を往復移動領域Ｒの折り返し位置Ｐ２から基準位置Ｐ１に向けて出発させた後、シリンジ１６がペースト供給領域ＱのＸ軸方向の両端部の位置のうち、折り返し位置Ｐ２側の端部であり、折り返し位置Ｐ２から距離Ｗ１だけ離れた位置にある復路側空気圧供給開始位置Ｑ３（図７及び図１０）に到達したときにシリンジ１６への空気圧の供給を開始し、シリンジ１６が復路側空気圧供給開始位置Ｑ３から所定距離Ｗ２だけ基準位置Ｐ１側に離れた位置である復路側空気圧供給停止位置Ｑ４（図１０）に到達したときにシリンジ１６への空気圧の供給を停止する。

制御装置５０は、シリンジ１６の往復移動領域Ｒの往路移動において、シリンジ１６が基準位置Ｐ１から折り返し位置Ｐ２に向けて出発した後、シリンジ１６が往路側空気圧供給開始位置Ｑ１に到達したことを、シリンジ１６が基準位置Ｐ１を出発したときからの経過時間によって判断する。具体的には、制御装置５０は、シリンジ１６が基準位置Ｐ１を出発することによって第１リミットスイッチＬＳ１がオンからオフに切り替わったときからの経過時間をタイマー６２（図８）によって計測し、そのタイマー６２によって計測される経過時間が、シリンジ１６が基準位置Ｐ１と往路側空気圧供給開始位置Ｑ１との間の距離Ｗ１（図１０）をシリンジ移動モータ４６の回転数によって定まる移動速度（ｖ）で進むのに要する時間（所定時間Ｔ１）に達したことを検知したときに、シリンジ１６が往路側空気圧供給開始位置Ｑ１に到達したと判断する。

また制御装置５０は、シリンジ１６の往復移動領域Ｒの往路移動において、シリンジ１６が往路側空気圧供給開始位置Ｑ１を通過した後、往路側空気圧供給停止位置Ｑ２に到達したことを、シリンジ１６が往路側空気圧供給開始位置Ｑ１に到達したときからの経過時間によって判断する。具体的には、制御装置５０は、タイマー６２によって計測されるシリンジ１６が基準位置Ｐ１を出発したときからの経過時間から、シリンジ１６が基準位置Ｐ１を出発してから往路側空気圧供給開始位置Ｑ１に到達するのに要した時間（すなわち所定時間Ｔ１）を差し引いて得られる時間が、往路側空気圧供給開始位置Ｑ１と往路側空気圧供給停止位置Ｑ２との間の距離Ｗ２を進むのに要する時間（所定時間Ｔ２）に達したことを検知したときに、シリンジ１６が往路側空気圧供給停止位置Ｑ２に到達したと判断する。

また、制御装置５０は、シリンジ１６の往復移動領域Ｒの復路移動において、シリンジ１６が折り返し位置Ｐ２から基準位置Ｐ１に向けて出発した後、シリンジ１６が復路側空気圧供給開始位置Ｑ３に到達したことを、シリンジ１６が折り返し位置Ｐ２を出発したときからの経過時間によって判断する。具体的には、制御装置５０は、シリンジ１６が折り返し位置Ｐ２を出発することによって第２リミットスイッチＬＳ２がオンからオフに切り替わったときからの経過時間をタイマー６２によって計測し、そのタイマー６２によって計測される経過時間が、折り返し位置Ｐ２と復路側空気圧供給開始位置Ｑ３との間の距離Ｗ１（図１０）を上記移動速度（ｖ）で進むのに要する時間（所定時間Ｔ１）に達したことを検知したときに、シリンジ１６が復路側空気圧供給開始位置Ｑ３に到達したと判断する。

また、制御装置５０は、シリンジ１６の往復移動領域Ｒの復路移動において、シリンジ１６が復路側空気圧供給開始位置Ｑ３を通過した後、復路側空気圧供給停止位置Ｑ４に到達したことを、シリンジ１６が復路側空気圧供給開始位置Ｑ３に到達したときからの経過時間によって判断する。具体的には、制御装置５０は、タイマー６２によって計測されるシリンジ１６が折り返し位置Ｐ２を出発したときからの経過時間から、シリンジ１６が折り返し位置Ｐ２を出発してから復路側空気圧供給開始位置Ｑ３に到達するのに要した時間（すなわち所定時間Ｔ１）を差し引いて得られる時間が、復路側空気圧供給開始位置Ｑ３と復路側空気圧供給停止位置Ｑ４との間の距離Ｗ２を進むのに要する時間（所定時間Ｔ２）に達したことを検知したときに、シリンジ１６が復路側空気圧供給停止位置Ｑ４に到達したと判断する。

上記所定時間Ｔ１及び所定時間Ｔ２から成る時間データは、基板２の種類ごとに定められて制御装置５０の時間データ記憶部６３（図８）に記憶されている。ここで、上記所定時間Ｔ１，Ｔ２のデータが基板２の種類ごとに定められているのは、スクリーン印刷の対象とする基板２のＸ軸方向の寸法によってペースト供給領域Ｑの大きさが異なり、したがってシリンジ１６への空気圧の供給開始と供給停止のタイミングが基板２によって異なるからである。

上記時間データは、オペレータＯＰが制御装置５０に繋がるタッチパネル等の入出力装置６４（図８）から直接入力することによって制御装置５０が得られるようにするほか、基板２を基板搬送路２９の基板搬入コンベア２７によって搬入した際、図示しないバーコードリーダによって、基板２に設けられたバーコードより基板２の情報を読み取る構成になっている場合には、そのとき読み取った情報から得られるようにしてもよい。

制御装置５０は、第１リミットスイッチＬＳ１がオンからオフに切り替わった後、タイマー６２によって計測される経過時間に基づいてシリンジ１６が往路側空気圧供給開始位置Ｑ１に達したと判断したときにはシリンジ１６への空気圧の供給を開始し、更にシリンジ１６が往路側空気圧供給停止位置Ｑ２に達したと判断したときにはシリンジ１６への空気圧の供給を停止する。このためマスク１３上のペースト供給領域Ｑ内には、シリンジ１６による往復移動領域Ｒの往路移動時、往路側空気圧供給開始位置Ｑ１から往路側空気圧供給停止位置Ｑ２までの間にシリンジ１６から吐出されたペーストＰｔと、シリンジ１６が往路側空気圧供給停止位置Ｑ２を通過した後、シリンジ１６内の圧力が空気圧の供給停止によって低圧に戻るまでの間にシリンジ１６から出続けるペーストＰｔとが供給される。

また、制御装置５０は、第２リミットスイッチＬＳ２がオンからオフに切り替わった後、タイマー６２によって計測される経過時間に基づいてシリンジ１６が復路側空気圧供給開始位置Ｑ３に達したと判断したときにはシリンジ１６への空気圧の供給を開始し、更にシリンジ１６が復路側空気圧供給停止位置Ｑ４に達したと判断したときにはシリンジ１６への空気圧の供給を停止する。このためマスク１３上のペースト供給領域Ｑ内には、シリンジ１６による往復移動領域Ｒの復路移動時、復路側空気圧供給開始位置Ｑ３から復路側空気圧供給停止位置Ｑ４までの間にシリンジ１６から吐出されたペーストＰｔと、シリンジ１６が復路側空気圧供給停止位置Ｑ４を通過した後、シリンジ１６内の圧力が空気圧の供給停止によって低圧に戻るまでの間にシリンジ１６から出続けるペーストＰｔとが供給される。

このように、シリンジ１６は往復移動領域Ｒの往復移動の往路と復路の２回、マスク１３上のペースト供給領域Ｑ内にペーストＰｔを吐出し、重ね合わせる。

図１１（ａ）は、シリンジ１６の往路移動時にシリンジ１６からペースト供給領域Ｑ内に供給されたペーストＰｔの量のＸ軸方向（ペースト供給領域Ｑの延びる方向）に沿った分布を示しており、図１１（ｂ）は、シリンジ１６の復路移動時にシリンジ１６からペースト供給領域Ｑに供給されたペーストＰｔのＸ軸方向に沿った分布を示している。また、図１１（ｃ）は、往復移動領域Ｒを往復移動したシリンジ１６からペースト供給領域Ｑに供給されたペーストＰｔの量のＸ軸方向に沿った分布を示している。

これらの図１１（ａ），（ｂ），（ｃ）から分かるように、シリンジ１６の往路移動時及び復路移動時のいずれにおいても、マスク１３上のペースト供給領域ＱにおいてペーストＰｔの量が局部的に多くなるところはない。また、シリンジ１６が往復移動領域Ｒの移動の往路においてペーストＰｔを吐出する吐出動作のプロファイルと、往復移動領域Ｒの復路においてペーストＰｔをと吐出する吐出動作のプロファイルとは同一であるので、シリンジ１６によってペースト供給領域Ｑに供給されるペーストＰｔのＸ軸方向の分布は、ペースト供給領域ＱのＸ軸方向の中心位置ＣＴに対して対称なものとなる。よって、ペースト供給領域Ｑ内のペーストＰｔは全体として均一化し易く、マスク１３上のペースト供給領域Ｑには、供給量がＸ軸方向に全体として均一化されたペースト供給体ＰＢ（図１０）が形成される。

次に、図１２と図１３のフローチャート及び図１４〜図１８の説明図を加えてスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する。ここで、図１２はスクリーン印刷機１が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すメインルーチンのフローチャートであり、図１３はメインルーチンの中の一工程のサブルーチンのフローチャートである。

スクリーン印刷機１の制御装置５０は、スクリーン印刷作業を行う場合、先ず、基板搬入コンベア２７とコンベア部２３を連動作動させ、スクリーン印刷機１の上流側に設置された他の装置から送られてきた基板２をスクリーン印刷機１内に搬入したうえで、基板２をコンベア部２３上の印刷作業実行位置に静止させる（図１４（ａ）。図１２に示すステップＳＴ１の基板搬入工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ１の基板搬入工程が終了したら、前後のクランプ部材２６を閉作動させて、コンベア部２３上の基板２をＹ軸方向からクランプする（図１４（ｂ）。図中に示す矢印Ａ１）。そして、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット２５を上昇させる（図１４（ｃ）中に示す矢印Ｂ１）。

制御装置５０は、下受けユニット２５を上昇させることによって、下受けユニット２５の下受けピン２５ａを基板２中央部の下面に下方から当接させて基板２を上方に押し上げ、基板２の両端部を前後のベルトコンベア２３ｂから上方に離間させつつ、基板２の両端部（両端面）を前後のクランプ部材２６に対して摺動させながら基板２を上方に移動させる。そして、基板２の上面の高さがクランプ部材２６の上面と同じ高さになったところで下受けユニット２５の上昇を停止させる。これにより基板２は基板保持部２４によって保持された状態となる（図１４（ｃ）。図１２に示すステップＳＴ２の基板保持工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ２の基板保持工程が終了したら、カメラ移動機構５４の作動制御を行い、Ｘ軸ステージ３５をＹ軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ３６をＸ軸方向に移動させることによって、第１カメラ１５ａを基板２に設けられた基板側位置合わせ用マークｍｋの直上に位置させる。そして、第１カメラ１５ａに基板側位置合わせ用マークｍｋの撮像を行わせてその画像データを取得し、基板２の位置を検出する（図１５（ａ）。図１２に示すステップＳＴ３の基板位置検出工程）。また制御装置５０は、第２カメラ１５ｂをマスク１３に設けられたマスク側位置合わせ用マークＭＫの直下に位置させ、第２カメラ１５ｂにマスク側位置合わせ用マークＭＫの撮像を行わせることによってその画像データを取得し、マスク１３の位置を検出する（図１５（ｂ）。図１２に示すステップＳＴ４のマスク位置検出工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ４のマスク位置検出工程が終了したら、基板保持移動ユニット１２が備える水平移動部２１の作動制御を行って基板保持部２４により保持した基板２を水平面内方向に移動させ、基板側位置合わせ用マークｍｋとマスク側位置合わせ用マークＭＫが上下に対向するようにして、マスク１３に対する基板２の水平面内方向の位置合わせを行う（図１２に示すステップＳＴ５の位置合わせ工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ５の位置合わせ工程が終了したら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対して上昇させることにより（図１５（ｃ）中に示す矢印Ｃ１）、基板２の上面（被印刷面）と両クランプ部材２６の上面をマスク１３の下方に接触させる（図１５（ｃ）。図１２に示すステップＳＴ６の接触工程）。これにより基板２の電極３とマスク１３の開口部１３ａとが合致し、基板２はスキージ１４によるペーストＰｔの転写作業が行われる位置に位置した状態となる。

制御装置５０は、上記の接触工程が終了したら、これから前方のスキージ１４により摺動を行うのか否かの判断を行う（図１２に示すステップＳＴ７の摺動スキージ判断工程）。制御装置５０はこの摺動スキージ判断工程で、これから前方のスキージ１４による摺動を行うと判断した場合には、現在ペースト高さ記憶部６１に記憶されている、マスク１３上のペーストＰｔの高さｈが所定高さＨを下回っているか否かの情報に基づいて、現在のマスク１３上のペーストＰｔの量（以下、ペースト量と称する）が十分であるか否かの判断を行う（図１２に示すステップＳＴ８のペースト量判断工程）。

このペースト量判断工程では、現在ペースト高さ記憶部６１にペーストＰｔの高さｈが所定高さＨを下回っている旨の情報が記憶されているときにはペースト量が十分でない（不足している）と判断し、現在ペースト高さ記憶部６１に記憶されているペーストＰｔの高さｈが所定高さＨ以上である旨の情報が記憶されているときにはペースト量が十分であると判断する。

制御装置５０は、上記ペースト量判断工程においてペースト量が十分でない判断したときには、シリンジ１６によるマスク１３上へのペーストＰｔの供給を行う（図１６（ａ）。図１２に示すステップＳＴ９のペースト供給工程）。

ステップＳＴ９のペースト供給工程では、制御装置５０は、図１３のサブルーチンに示すように、先ず、時間データ記憶部６３から、現在スクリーン印刷を行っている基板２の種類に応じた時間データ（所定時間Ｔ１及び所定時間Ｔ２のデータ）を取得する（図１３に示すステップＳＴ２１の時間データ取得工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ２１で時間データを取得したら、シリンジ１６のノズル部１６ａを張り出し位置に張り出させる（図１３に示すステップＳＴ２２のノズル部張り出し工程）。そして、現在、第１リミットスイッチＬＳ１がオンになっているかどうかの判定を行う（図１３に示すステップＳＴ２３の第１リミットスイッチ判定工程）。これは、現在、シリンジ１６が往復移動領域Ｒの基準位置Ｐ１に位置した状態となっているかどうかを調べるものであり、第１リミットスイッチＬＳ１がオンになっていないことを検知した場合には、制御装置５０は入出力装置６４を介してオペレータＯＰにエラー報知を行う（図１３に示すステップＳＴ２４のエラー報知工程）。一方、制御装置５０は、ステップＳＴ２３で、現在、第１リミットスイッチＬＳ１がオンになっていることを検知した場合には、シリンジ移動モータ４６の作動制御を行って、シリンジ１６の折り返し位置Ｐ２へ向けての移動を開始させる（図１３に示すステップＳＴ２５のシリンジ移動開始工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ２５でシリンジ１６の移動を開始させたら、微小時間（例えば数マイクロ秒）間隔で、第１リミットスイッチＬＳ１がオンからオフになったかどうかの判定を行う（図１３に示すステップＳＴ２６の第１リミットスイッチ判定工程）。そして、第１リミットスイッチＬＳ１がオンからオフになったと判定したら、制御装置５０は、タイマー６２により、第１リミットスイッチＬＳ１がオフになったと判定したときからの経過時間の計測を開始する（図１３に示すステップＳＴ２７の経過時間計測開始工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ２７で経過時間の計測を開始した後、微小時間間隔で、経過時間の計測開始から所定時間Ｔ１が経過したか（経過時間が所定時間Ｔ１に到達したか）否かの判定を行う（図１３に示すステップＳＴ２８の時間経過判定工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ２８で経過時間の計測開始から所定時間Ｔ１が経過したと判定し、シリンジ１６が往路側空気圧供給開始位置Ｑ１に達したことを検知したら、シリンジ１６への空気圧の供給を開始する（図１３に示すステップＳＴ２９の空気圧供給開始工程）。これによりシリンジ１６によるペーストＰｔの吐出が開始される。

制御装置５０は、ステップＳＴ２９でシリンジ１６への空気圧の供給を開始したら、タイマー６２により、シリンジ１６への空気圧の供給を開始したときからの経過時間の計測を開始する（図１３に示すステップＳＴ３０の経過時間計測開始工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ３０で経過時間の計測を開始したら、微小時間間隔で、経過時間の計測開始から所定時間Ｔ２が経過したか（経過時間が所定時間Ｔ２に到達したか）否かの判定を行う（図１３に示すステップＳＴ３１の時間経過判定工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ３１で経過時間の計測開始から所定時間Ｔ２が経過したと判定したら、シリンジ１６への空気圧の供給を停止する（図１３に示すステップＳＴ３２の空気圧供給停止工程）。これによりシリンジ１６からのペーストＰｔの吐出は終了するが、シリンジ１６からペーストＰｔは出続ける。

制御装置５０は、ステップＳＴ３２でシリンジ１６への空気圧の供給を停止したら、微小時間間隔で、第２リミットスイッチＬＳ２がオフからオンになったかどうかの判定を行う（図１３に示すステップＳＴ３３の第２リミットスイッチ判定工程）。そして、制御装置５０は、第２リミットスイッチＬＳ２がオフからオンになったと判定し、シリンジ１６が往復移動領域Ｒの折り返し位置Ｐ２に達したことを検知したら、シリンジ１６の移動を停止させる（図１３に示すステップＳＴ３４のシリンジ移動停止工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ３４でシリンジ１６の移動を停止させたら、今度はシリンジ１６をそれまでとは逆向き、すなわち、折り返し位置Ｐ２から基準位置Ｐ１の側へ向けての移動を開始させる（図１３に示すステップＳＴ３５のシリンジ移動開始工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ３５でシリンジ１６の移動を開始させたら、微小時間間隔で、第２リミットスイッチＬＳ２がオンからオフになったかどうかの判定を行う（図１３に示すステップＳＴ３６の第２リミットスイッチ判定工程）。そして、制御装置５０は、第２リミットスイッチＬＳ２がオンからオフになったと判定したら、タイマー６２により、第２リミットスイッチＬＳ２がオフになったと判定したときからの経過時間の計測を開始する（図１３に示すステップＳＴ３７の経過時間計測開始工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ３７で経過時間の計測を開始した後、微小時間間隔で、経過時間の計測開始から所定時間Ｔ１が経過したか（経過時間が所定時間Ｔ１に到達したか）否かの判定を行う（図１３に示すステップＳＴ３８の時間経過判定工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ３８で経過時間の計測開始から所定時間Ｔ１が経過したと判定し、シリンジ１６が復路側空気圧供給開始位置Ｑ３に達したことを検知したら、シリンジ１６への空気圧の供給を開始する（図１３に示すステップＳＴ３９の空気圧供給開始工程）。これによりシリンジ１６によるペーストＰｔの吐出が開始される。

制御装置５０は、ステップＳＴ３９でシリンジ１６への空気圧の供給を開始したら、タイマー６２により、シリンジ１６への空気圧の供給を開始したときからの経過時間の計測を開始する（図１３に示すステップＳＴ４０の経過時間計測開始工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ４０で経過時間の計測を開始したら、微小時間間隔で、経過時間の計測開始から所定時間Ｔ２が経過したか（経過時間が所定時間Ｔ２に到達したか）否かの判定を行う（図１３に示すステップＳＴ４１の時間経過判定工程）

制御装置５０は、ステップＳＴ４１で経過時間の計測開始から所定時間Ｔ２が経過したと判定したら、シリンジ１６への空気圧の供給を停止する（図１３に示すステップＳＴ４２の空気圧供給停止工程）。これによりシリンジ１６からのペーストＰｔの吐出は終了するが、シリンジ１６からペーストＰｔは出続ける。

制御装置５０は、ステップＳＴ４２でシリンジ１６への空気圧の供給を停止したら、微小時間間隔で、第１リミットスイッチＬＳ１がオフからオンになったかどうかの判定を行う（図１３に示すステップＳＴ４３の第１リミットスイッチ判定工程）。そして、制御装置５０は、第１リミットスイッチＬＳ１がオフからオンになったと判定し、シリンジ１６が往復移動領域Ｒの基準位置Ｐ１に達したことを検知したら、シリンジ１６の移動を停止させる（図１３に示すステップＳＴ４４のシリンジ移動停止工程）。これにより、マスク１３上のペースト供給領域Ｑには、供給量がＸ軸方向に全体として均一化されたペースト供給体ＰＢが形成される。

制御装置５０は、ステップＳＴ４４でシリンジ１６の移動を停止させたら、シリンジ１６のノズル部１６ａを格納する（図１３に示すステップＳＴ４５のノズル部格納工程）。これによりシリンジ１６によるペースト供給工程は終了し、不十分な状態となっていたペースト量の回復がなされる。制御装置５０は、ステップＳＴ４５でシリンジ１６のノズル部１６ａを格納したら、メインルーチンに戻る。

制御装置５０は、ステップＳＴ９においてペースト供給工程を実行し終わったとき、ステップＳＴ７でこれから後方のスキージ１４による摺動を行うと判断したとき、或いはステップＳＴ８でペースト量が十分であると判断したときには、前後のスキージ１４のうちの一方を下降させて、そのスキージ１４の下端をマスク１３のクランプ部材２６（２つのクランプ部材２６のうちの一方）と接触している部分に上方から当接させる（図１６（ｂ）。図１２に示すステップＳＴ１０のスキージ当接工程）。

このときマスク１３に当接させるスキージ１４は、スキージベース３７が前方のクランプ部材２６の上方に位置しているときには（図１６（ａ））、前方のスキージ１４（図１６（ａ），（ｂ）における紙面左側のスキージ１４）とし、スキージベース３７が後方のクランプ部材２６の上方に位置しているときには、後方のスキージ１４（図１６（ａ），（ｂ）における紙面右側のスキージ１４）とする。

制御装置５０は、スキージ１４をマスク１３の上面に当接させたら、スキージベース３７を移動させる。ここで、マスク１３に当接させたスキージ１４が前方のスキージ１４であればスキージベース３７を後方に移動させ（図１７（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、マスク１３に当接させたスキージ１４が後方のスキージ１４であればスキージベース３７を前方に移動させる（図１７（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）。

これによりスキージ１４はマスク１３に対して相対移動（摺動）し、マスク１３上のペーストＰｔはスキージ１４のペースト掻き寄せ面で掻き寄せられてマスク１３の開口部１３ａ内に押し込まれるので、基板２の電極３上にペーストＰｔが転写された状態となる（図１２に示すステップＳＴ１１のペースト転写工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ１１のペースト転写工程において、後方のスキージ１４によってマスク１３の前方にペーストＰｔを掻き寄せ終わったときには、ペースト高さ検出センサ６０からの検出情報に基づいて、後方のスキージ１４の前方のペーストＰｔの高さｈが所定高さＨを下回っているか否かの判断を行い、その結果をペースト高さ記憶部６１に書き込んで（ペースト高さ記憶部６１に記憶させて）、次にスクリーン印刷を行う基板２について行うステップＳＴ８のときに用いるようにする。

制御装置５０は、ステップＳＴ１１のペースト転写工程が終了したら、スキージ１４を上昇させて、スキージ１４をマスク１３から離間させる（図１２に示すステップＳＴ１２のスキージ離間工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ１２のスキージ離間工程が終了したら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対して下降させ（図１８（ａ）中に示す矢印Ｃ２）、マスク１３から基板２を離間させる（図１８（ａ））。これにより版離れが行われる（図１２に示すステップＳＴ１３の版離れ工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ１３の版離れ工程が終了したら、クランプ部材２６を作動させて基板２のクランプを解除したうえで（図１８（ｂ）中に示す矢印Ａ２）、下受けユニット２５を昇降テーブル２２ａに対して下降させる（図１８（ｃ）中に示す矢印Ｂ２）。これにより基板２はコンベア部２３上に降ろされて基板保持部２４による基板２の保持が解除される（図１８（ｃ）。図１２に示すステップＳＴ１４の基板保持解除工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ１４の基板保持解除工程が終了したら、基板保持移動ユニット１２が備える水平移動部２１を作動させ、基板搬出コンベア２８に対するコンベア部２３の位置調整を行ったうえで、コンベア部２３と基板搬出コンベア２８を連動作動させ、コンベア部２３上の基板２を基板搬出コンベア２８に受け渡してそのまま基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図１２に示すステップＳＴ１５の基板搬出工程）。

制御装置５０は、ステップＳＴ１５の基板搬出工程が終了したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う（図１２に示すステップＳＴ１６の基板有無判断工程）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があった場合にはステップＳＴ１に戻って新たな基板２の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板２がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。

スクリーン印刷機１から搬出された基板２は、スクリーン印刷機１の下流側に位置する部品装着機等の他の部品実装用装置（図示せず）に受け渡される。

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、シリンジ１６を往復移動領域Ｒで往復移動させながらシリンジ１６に空気圧を供給することにより、往復移動領域Ｒの往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク１３上に設定されたペースト供給領域ＱにペーストＰｔを供給させるシリンジ作動制御手段としての制御装置５０と、スキージベース３７に対してスキージ１４を下降させ、シリンジ１６によりペーストＰｔが供給されたマスク１３上にスキージ１４を当接させるスキージ下降手段としてのスキージ昇降シリンダ３８と、マスク１３上にスキージ１４が当接された状態でスキージベース３７を水平面内方向（Ｙ軸方向）に移動させてスキージ１４をマスク１３上で摺動させるスキージベース移動手段としてのスキージベース移動機構５９を備え、制御装置５０は、シリンジ１６の往復移動領域Ｒでの移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジ１６がペースト供給領域Ｑの一端側（往路側空気圧供給開始位置Ｑ１及び復路側空気圧供給開始位置Ｑ３）に達したときにシリンジ１６への空気圧の供給を開始し、シリンジ１６がペースト供給領域Ｑの他端側（往路側空気圧供給停止位置Ｑ２及び復路側空気圧供給停止位置Ｑ４）に達する前にシリンジ１６への空気圧の供給を停止するようになっている。

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、上記本実施の形態におけるスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷方法であり、シリンジ１６を往復移動領域Ｒで往復移動させながらシリンジ１６に空気圧を供給することにより、往復移動領域Ｒの往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク１３上に設定されたペースト供給領域ＱにペーストＰｔを供給させる工程（ステップＳＴ９のペースト供給工程）と、スキージベース３７に対してスキージ１４を下降させ、シリンジ１６によりペーストＰｔが供給されたマスク１３上にスキージ１４を当接させる工程（ステップＳＴ１０のスキージ当接工程）と、マスク１３上にスキージ１４が当接された状態でスキージベース３７を水平面内方向（Ｙ軸方向）に移動させてスキージ１４をマスク１３上で摺動させる工程（ステップＳＴ１１のペースト転写工程）を含み、シリンジ１６によりペースト供給領域ＱにペーストＰｔを供給させる工程（ステップＳＴ９のペースト供給工程）の実行時、シリンジ１６の往復移動領域Ｒでの移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジ１６がペースト供給領域Ｑの一端側（往路側空気圧供給開始位置Ｑ１及び復路側空気圧供給開始位置Ｑ３）に達したときにシリンジ１６への空気圧の供給を開始し、シリンジ１６がペースト供給領域Ｑの他端側（往路側空気圧供給停止位置Ｑ２及び復路側空気圧供給停止位置Ｑ４）に達する前にシリンジ１６への空気圧の供給を停止するようになっている。

本実施の形態におけるスクリーン印刷機１及びスクリーン印刷方法では、シリンジ１６の往復移動領域Ｒでの移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジ１６がペースト供給領域Ｑの一端側に達したときにシリンジ１６への空気圧の供給を開始し、シリンジ１６がペースト供給領域Ｑの他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止するようになっており、ペースト供給領域Ｑのうち、上記一端側から空気圧の供給停止の地点まではシリンジ１６から吐出されるペーストＰｔが供給されるが、空気圧の供給停止の地点から上記他端側に至るまでの間の部分には、空気圧が供給されて高圧になったシリンジ１６内の圧力が空気圧の供給停止によって低圧（大気圧レベル）に戻るまでの間、シリンジから出続ける分のペーストＰｔが供給される。このため、シリンジ１６への空気圧の供給停止後、シリンジ１６から出続ける分のペーストＰｔがペースト供給領域Ｑの一部に集中的に供給されてしまう不都合がない。そして、このようなペーストの供給はシリンジの往復移動領域Ｒの移動の往路及び復路のそれぞれについて行われるので、ペースト供給領域Ｑ内のペーストＰｔはシリンジ１６の往路移動時の供給によるものとシリンジ１６の復路移動時の供給によるものとで全体として均一化し易く、マスク１３上にペーストＰｔが不均一に供給されることによる印刷不良の発生を抑えることができる。

また、本実施の形態では、シリンジ作動制御手段である制御装置５０は、シリンジ１６への空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジ１６への空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定するようになっており、マスク１３に対するシリンジ１６の位置を検出する必要がないので、ペーストＰｔの供給システムを安価に構成することができる。もっとも、このようにシリンジ１６への空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジ１６への空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定する方法は一例であり、マスク１３に対するシリンジ１６の位置を検出して上記タイミングを決定するようにしても構わない。

マスク上にペーストが不均一に供給されることによる印刷不良の発生を抑えることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。

１ スクリーン印刷機
２ 基板
３ 電極
１２ 基板保持移動ユニット（基板保持移動手段）
１３ マスク
１３ａ 開口部
１４ スキージ
１６ シリンジ
２６ クランプ部材
３７ スキージベース
３８ スキージ昇降シリンダ（スキージ下降手段）
５０ 制御装置（シリンジ作動制御手段）
５９ スキージベース移動機構（スキージベース移動手段）
Ｒ 往復移動領域
Ｑ ペースト供給領域
Ｐｔ ペースト

Claims (4)

1. 基板上の電極の配置に応じた複数の開口部を有するマスクと、
   一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、
   マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、
   スキージベースの移動方向と直交する水平面内方向に延び、スキージベースの下方で昇降されるスキージと、
   基板保持移動手段によりマスクに接触された基板のスキージの延びる方向の両端を含むように設定された往復移動領域で移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてペーストの吐出を行うシリンジと、
   シリンジを往復移動領域で往復移動させながらシリンジに空気圧を供給することにより、往復移動領域の往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク上に設定されたペースト供給領域にペーストを供給させるシリンジ作動制御手段と、
   スキージベースに対してスキージを下降させ、シリンジによりペーストが供給されたマスク上にスキージを当接させるスキージ下降手段と、
   マスク上にスキージが当接された状態でスキージベースを水平面内方向に移動させてスキージをマスク上で摺動させるスキージベース移動手段とを備え、
   シリンジ作動制御手段は、シリンジの往復移動領域での移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジがペースト供給領域の一端側に達したときにシリンジへの空気圧の供給を開始し、シリンジがペースト供給領域の他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止することを特徴とするスクリーン印刷機。
2. シリンジ作動制御手段は、シリンジへの空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジへの空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
3. 基板上の電極の配置に応じた複数の開口部を有するマスクと、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、スキージベースの移動方向と直交する水平面内方向に延び、スキージベースの下方で昇降されるスキージと、基板保持移動手段によりマスクに接触された基板のスキージの延びる方向の両端を含むように設定された往復移動領域で移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてペーストの吐出を行うシリンジとを備えたスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、
   シリンジを往復移動領域で往復移動させながらシリンジに空気圧を供給することにより、往復移動領域の往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク上に設定されたペースト供給領域にペーストを供給させる工程と、
   スキージベースに対してスキージを下降させ、シリンジによりペーストが供給されたマスク上にスキージを当接させる工程と、
   マスク上にスキージが当接された状態でスキージベースを水平面内方向に移動させてスキージをマスク上で摺動させる工程とを含み、
   シリンジによりペースト供給領域にペーストを供給させる工程の実行時、シリンジの往復移動領域での移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジがペースト供給領域の一端側に達したときにシリンジへの空気圧の供給を開始し、シリンジがペースト供給領域の他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止することを特徴とするスクリーン印刷方法。
4. シリンジによりペースト供給領域にペーストを供給させる工程の実行時、シリンジへの空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジへの空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定することを特徴とする請求項３に記載のスクリーン印刷方法。

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