JP2012081681A - Screen printing machine and screen printing method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen printing machine and screen printing method, which can prevent the occurrence of a printing failure due to unequal supply of paste on a mask.SOLUTION: In each of forward and backward motions of a syringe 16 in a reciprocating region R, when the syringe 16 reaches one end side of a paste supply region Q (air pressure supply start position Q1 at a forward path side and air pressure supply start position Q3 at a backward path side), the screen printing machine starts supplying the air pressure to the syringe 16 and stops supplying the air pressure to the syringe 16 before the syringe 16 reaches the other end side of the paste supply region Q (air pressure supply start position Q2 at a forward path side and air pressure supply start position Q4 at a backward path side).

Description

本発明は、マスクの開口部を介して基板上の電極にペーストを転写するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである   The present invention relates to a screen printing machine and a screen printing method for transferring a paste to an electrode on a substrate through an opening of a mask.

基板に半田ペースト等のペーストの印刷を行うスクリーン印刷機は、基板上の電極の配置に応じた複数の開口部を有するマスク、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させて基板の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベース、スキージベースの移動方向と直交する水平面内方向に延び、スキージベースの下方で昇降されるスキージ及び空気圧の供給を受けてペーストの吐出を行うシリンジを備え、基板保持移動手段によって基板の電極とマスクの開口部とが合致するように基板とマスクを接触させた後、スキージベースに対して下降させたスキージをペーストが供給されたマスク上に当接させてスキージベースを水平面内方向に移動させるようになっている。これによりスキージはマスク上で摺動し、ペーストがスキージによって掻き寄せられるので、ペーストはマスクの開口部に充填されて、電極に転写される。   A screen printing machine that prints a paste such as a solder paste on a substrate has a substrate having a plurality of openings according to the arrangement of electrodes on the substrate, and the substrate is lifted while the substrate is clamped by a pair of clamp members. The substrate holding and moving means for bringing the upper surface of the substrate into contact with the lower surface of the mask, the squeegee base moved in the horizontal plane above the mask, extending in the horizontal plane perpendicular to the moving direction of the squeegee base, and lifted and lowered below the squeegee base A syringe that discharges paste by receiving a supply of squeegee and air pressure is provided. After the substrate and the mask are brought into contact with each other by the substrate holding and moving means so that the electrode of the substrate and the opening of the mask are matched, Move the squeegee base in the horizontal plane by bringing the lowered squeegee into contact with the mask supplied with the paste. You have me. As a result, the squeegee slides on the mask and the paste is scraped by the squeegee, so that the paste is filled in the opening of the mask and transferred to the electrode.

このようなスクリーン印刷機では、シリンジはスキージの延びる方向に移動させながらシリンジへの空気圧の供給を行ってシリンジからペーストを吐出させ、マスク上に設定したペースト供給領域に自動でペーストが供給されるようにしたものが知られている(例えば、特許文献1)。   In such a screen printing machine, the syringe supplies air pressure to the syringe while moving the syringe in the extending direction of the squeegee to discharge the paste from the syringe, and the paste is automatically supplied to the paste supply area set on the mask. What was made is known (for example, patent document 1).

特開平4−107145号公報JP-A-4-107145

しかしながら、上記従来のものでは、シリンジの移動終了時にシリンジへの空気圧の供給を停止したとしても、シリンジからのペーストの吐出がただちに終了するわけではなく、空気圧が供給されて高圧になったシリンジ内の圧力が空気圧の供給停止によって低圧に戻るまでの間はシリンジからペーストが出続けるため、シリンジの移動終了地点付近のペースト量が局部的に多くなってしまう。そうすると、ペースト供給領域内でのペーストの量の分布が全体として不均一になり、その後スキージをマスク上で摺動させた場合に、マスクの開口部内へのペーストの充填状態にマスク全体としてばらつきが生じて印刷不良が発生し易いという問題点があった。   However, in the above conventional device, even if the supply of air pressure to the syringe is stopped when the movement of the syringe is terminated, the discharge of the paste from the syringe does not end immediately, and the inside of the syringe that has become pressurized due to the supply of air pressure. Since the paste continues to come out of the syringe until the pressure of the air pressure returns to the low pressure due to the stop of the air pressure supply, the amount of paste near the end point of the movement of the syringe locally increases. Then, the distribution of the amount of paste in the paste supply area becomes non-uniform as a whole, and when the squeegee is slid on the mask after that, the filling state of the paste into the opening of the mask varies as a whole mask. There has been a problem that printing defects are likely to occur.

そこで本発明は、マスク上にペーストが不均一に供給されることによる印刷不良の発生を抑えることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a screen printing machine and a screen printing method capable of suppressing the occurrence of printing defects due to non-uniform supply of paste on a mask.

請求項1に記載のスクリーン印刷機は、基板上の電極の配置に応じた複数の開口部を有するマスクと、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、スキージベースの移動方向と直交する水平面内方向に延び、スキージベースの下方で昇降されるスキージと、基板保持移動手段によりマスクに接触された基板のスキージの延びる方向の両端を含むように設定された往復移動領域で移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてペーストの吐出を行うシリンジと、シリンジを往復移動領域で往復移動させながらシリンジに空気圧を供給することにより、往復移動領域の往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク上に設定されたペースト供給領域にペーストを供給させるシリンジ作動制御手段と、スキージベースに対してスキージを下降させ、シリンジによりペーストが供給されたマスク上にスキージを当接させるスキージ下降手段と、マスク上にスキージが当接された状態でスキージベースを水平面内方向に移動させてスキージをマスク上で摺動させるスキージベース移動手段とを備え、シリンジ作動制御手段は、シリンジの往復移動領域での移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジがペースト供給領域の一端側に達したときにシリンジへの空気圧の供給を開始し、シリンジがペースト供給領域の他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止する。   The screen printing machine according to claim 1, wherein the substrate is lifted in a state in which the substrate is clamped by a pair of clamp members, and a mask having a plurality of openings according to the arrangement of the electrodes on the substrate, A substrate holding and moving means for bringing the upper surface of the substrate into contact with the lower surface of the mask so that the opening of the mask matches, a squeegee base moved in the horizontal plane above the mask, and a horizontal plane perpendicular to the moving direction of the squeegee base The squeegee extends inward and is moved up and down below the squeegee base, and is movably provided in a reciprocating movement region set to include both ends of the substrate squeegee extending direction in contact with the mask by the substrate holding and moving means. A syringe that receives the supply of air pressure and discharges the paste, and supplies the air pressure to the syringe while reciprocating the syringe in the reciprocating movement region. In each of the forward path and the return path of the reciprocating movement area, the syringe operation control means for supplying the paste to the paste supply area set on the mask, the squeegee is lowered with respect to the squeegee base, and the paste is supplied by the syringe Squeegee lowering means for bringing the squeegee into contact with the mask, and squeegee base moving means for moving the squeegee base in the horizontal plane while the squeegee is in contact with the mask and sliding the squeegee on the mask. The syringe operation control means starts supplying air pressure to the syringe when the syringe reaches one end side of the paste supply area in each of the forward path and the return path of the movement in the reciprocating movement area of the syringe. The air pressure supply to the syringe is stopped before reaching the other end side.

請求項2に記載のスクリーン印刷機は、請求項1に記載のスクリーン印刷機であって、シリンジ作動制御手段は、シリンジへの空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジへの空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定する。   The screen printing machine according to claim 2 is the screen printing machine according to claim 1, wherein the syringe operation control means starts the supply of air pressure to the syringe from the start of supply of air pressure to the syringe. Determine based on the elapsed time.

請求項3に記載のスクリーン印刷方法は、基板上の電極の配置に応じた複数の開口部を有するマスクと、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、スキージベースの移動方向と直交する水平面内方向に延び、スキージベースの下方で昇降されるスキージと、基板保持移動手段によりマスクに接触された基板のスキージの延びる方向の両端を含むように設定された往復移動領域で移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてペーストの吐出を行うシリンジとを備えたスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、シリンジを往復移動領域で往復移動させながらシリンジに空気圧を供給することにより、往復移動領域の往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク上に設定されたペースト供給領域にペーストを供給させる工程と、スキージベースに対してスキージを下降させ、シリンジによりペーストが供給されたマスク上にスキージを当接させる工程と、マスク上にスキージが当接された状態でスキージベースを水平面内方向に移動させてスキージをマスク上で摺動させる工程とを含み、シリンジによりペースト供給領域にペーストを供給させる工程の実行時、シリンジの往復移動領域での移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジがペースト供給領域の一端側に達したときにシリンジへの空気圧の供給を開始し、シリンジがペースト供給領域の他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止する。   The screen printing method according to claim 3, wherein the substrate is lifted in a state where the substrate is clamped by a pair of clamp members, and a mask having a plurality of openings according to the arrangement of the electrodes on the substrate, A substrate holding and moving means for bringing the upper surface of the substrate into contact with the lower surface of the mask so that the opening of the mask matches, a squeegee base moved in the horizontal plane above the mask, and a horizontal plane perpendicular to the moving direction of the squeegee base The squeegee extends inward and is moved up and down below the squeegee base, and is movably provided in a reciprocating movement region set to include both ends of the substrate squeegee extending direction in contact with the mask by the substrate holding and moving means. , A screen printing method using a screen printing machine equipped with a syringe that receives a supply of air pressure and discharges a paste, wherein the syringe is moved back and forth. Supplying air pressure to the syringe while reciprocating in the area, supplying the paste to the paste supply area set on the mask in each of the forward path and the return path of the reciprocating area, and a squeegee to the squeegee base The step of lowering and bringing the squeegee into contact with the mask to which the paste is supplied by the syringe, and moving the squeegee base in the horizontal plane while the squeegee is in contact with the mask and sliding the squeegee on the mask When the syringe reaches the one end side of the paste supply area in each of the forward path and the return path of the movement in the reciprocating movement area of the syringe during the process of supplying the paste to the paste supply area with the syringe Start supplying air pressure to the syringe and before the syringe reaches the other end of the paste supply area To stop the supply of air pressure to the syringe.

請求項4に記載のスクリーン印刷方法は、請求項3に記載のスクリーン印刷方法であって、シリンジによりペースト供給領域にペーストを供給させる工程の実行時、シリンジへの空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジへの空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定する。   The screen printing method according to claim 4 is the screen printing method according to claim 3, wherein the timing of stopping the supply of air pressure to the syringe at the time of executing the step of supplying the paste to the paste supply region by the syringe is set. It is determined based on the elapsed time from the start of supply of air pressure to the syringe.

本発明では、シリンジの往復移動領域での移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジがペースト供給領域の一端側に達したときにシリンジへの空気圧の供給を開始し、シリンジがペースト供給領域の他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止するようになっており、ペースト供給領域のうち、上記一端側から空気圧の供給停止の地点まではシリンジから吐出されるペーストが供給されるが、空気圧の供給停止の地点から上記他端側に至るまでの間の部分には、空気圧が供給されて高圧になったシリンジ内の圧力が空気圧の供給停止によって低圧(大気圧レベル)に戻るまでの間、シリンジから出続ける分のペーストが供給される。このため、シリンジへの空気圧の供給停止後、シリンジから出続ける分のペーストがペースト供給領域の一部に集中的に供給されてしまう不都合がない。そして、このようなペーストの供給はシリンジの往復移動領域の移動の往路及び復路のそれぞれについて行われるので、ペースト供給領域内のペーストはシリンジの往路移動時の供給によるものとシリンジの復路移動時の供給によるものとで全体として均一化し易く、マスク上にペーストが不均一に供給されることによる印刷不良の発生を抑えることができる。   In the present invention, supply of air pressure to the syringe is started when the syringe reaches one end side of the paste supply area in each of the forward path and the return path of the movement of the syringe in the reciprocating movement area. The supply of air pressure to the syringe is stopped before reaching the end side, and the paste discharged from the syringe is supplied from the one end side to the point where the supply of air pressure is stopped in the paste supply region. In the portion between the point where the supply of air pressure is stopped and the other end side, the pressure in the syringe, which has been increased due to the supply of air pressure, returns to the low pressure (atmospheric pressure level) due to the stop of air supply In the meantime, the paste is supplied as long as it continues to come out of the syringe. For this reason, after the supply of air pressure to the syringe is stopped, there is no inconvenience that the paste that continues to be discharged from the syringe is intensively supplied to a part of the paste supply region. Since the paste is supplied for each of the forward and backward movements of the reciprocating movement area of the syringe, the paste in the paste supply area is supplied by the supply during the forward movement of the syringe and during the backward movement of the syringe. Due to the supply, it is easy to make uniform as a whole, and it is possible to suppress the occurrence of printing defects due to the non-uniform supply of paste on the mask.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図The front view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに設置されたマスクの平面図The top view of the mask installed in the mask holder with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is equipped, and the mask holder 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるシリンジの斜視図The perspective view of the syringe with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージ及びシリンジの側面図The side view of the squeegee and syringe with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分正面図The partial front view of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える後方のスキージの(a)斜視図(b)側面図(A) perspective view (b) side view of rear squeegee provided in screen printing machine according to one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のペーストの供給状態の一例を示すマスクホルダ及びマスクの平面図The top view of the mask holder and mask which show an example of the supply state of the paste of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のシリンジからマスク上のペースト供給領域に供給したペーストの分布を示す図(A) (b) (c) The figure which shows distribution of the paste supplied to the paste supply area | region on a mask from the syringe of the screen printing machine in one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の実行手順を示すメインルーチンのフローチャートThe flowchart of the main routine which shows the execution procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の実行手順を示すサブルーチンのフローチャートThe flowchart of the subroutine which shows the execution procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスクリーン印刷作業実行時における動作を説明する図(A) (b) (c) The figure explaining operation | movement at the time of screen printing work execution of the screen printer in one embodiment of this invention. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスクリーン印刷作業実行時における動作を説明する図(A) (b) (c) The figure explaining operation | movement at the time of screen printing work execution of the screen printer in one embodiment of this invention. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスクリーン印刷作業実行時における動作を説明する図(A) (b) The figure explaining operation | movement at the time of screen printing work execution of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスクリーン印刷作業実行時における動作を説明する図(A) (b) The figure explaining operation | movement at the time of screen printing work execution of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機のスクリーン印刷作業実行時における動作を説明する図(A) (b) (c) The figure explaining operation | movement at the time of screen printing work execution of the screen printer in one embodiment of this invention.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1、図2及び図3において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、基板2の流れの上流側に位置する他の装置(図示せず)から投入された基板2を搬入して所定の印刷作業実行位置に位置決めし、基板2の表面の電極3上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストPt(図3参照)を転写するスクリーン印刷を行って下流側に搬出する動作を連続実行する。以下、説明の便宜上、スクリーン印刷機1において基板2を搬送する水平面内方向をX軸方向とし、X軸方向と直交する水平面内方向をY軸方向、上下方向をZ軸とする。更に、Y軸方向をスクリーン印刷機1の前後方向、X軸方向を横(左右)方向とし、前後方向のうち、スクリーン印刷機1に対してオペレータOP(図1)が作業を行う側(図1の紙面下方)をスクリーン印刷機1の前方、その反対側(図1の紙面上方)を後方とする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1, 2, and 3, the screen printing machine 1 according to the present embodiment carries in the substrate 2 loaded from another device (not shown) located on the upstream side of the flow of the substrate 2. Is performed at the printing work execution position, and screen printing for transferring the paste Pt (see FIG. 3) such as solder paste or conductive paste onto the electrode 3 on the surface of the substrate 2 is carried out and carried out downstream. To do. Hereinafter, for convenience of explanation, the horizontal plane direction in which the substrate 2 is transported in the screen printing machine 1 is defined as the X-axis direction, the horizontal plane direction orthogonal to the X-axis direction is defined as the Y-axis direction, and the vertical direction is defined as the Z-axis. Further, the Y-axis direction is the front-rear direction of the screen printing machine 1 and the X-axis direction is the lateral (left-right) direction, and the operator OP (FIG. 1) performs the operation on the screen printing machine 1 in the front-rear direction (FIG. 1 is the front side of the screen printing machine 1, and the opposite side (the upper side of the page in FIG. 1) is the rear side.

図1、図2及び図3において、スクリーン印刷機1は、基台11上に設けられた基板保持移動手段である基板保持移動ユニット12のほか、基板保持移動ユニット12の上方に設けられた金属製の薄板材料から成り、基板2の電極3の配置に応じた多数(複数)の開口部13a(パターン孔)を有するプレート状のマスク13、X軸方向に延びて設けられた前後一対のスキージ14、カメラユニット15及びスキージ14の延びる方向(X軸方向)に移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてペーストPtを吐出するシリンジ16を備えている。   1, 2, and 3, the screen printing machine 1 includes a substrate holding / moving unit 12 that is a substrate holding / moving unit provided on a base 11 and a metal provided above the substrate holding / moving unit 12. A plate-like mask 13 made of a thin plate material and having a large number (a plurality of) openings 13a (pattern holes) according to the arrangement of the electrodes 3 of the substrate 2, a pair of front and rear squeegees provided extending in the X-axis direction 14, a syringe 16 that is provided so as to be movable in the extending direction of the camera unit 15 and the squeegee 14 (X-axis direction) and that discharges the paste Pt when supplied with air pressure.

図2及び図3において、基板保持移動ユニット12は、水平移動部21、昇降部22、コンベア部23及び基板保持部24から成る。   2 and 3, the substrate holding / moving unit 12 includes a horizontal moving unit 21, a lifting / lowering unit 22, a conveyor unit 23, and a substrate holding unit 24.

図2及び図3において、水平移動部21は、Yテーブル駆動モータMyの作動によって基台11に対してY軸方向に移動するYテーブル21a、Xテーブル駆動モータMxの作動によってYテーブル21aに対してX軸方向に移動するXテーブル21b、Xテーブル21bに対してZ軸回りに回転するθテーブル21c、θテーブル21cの上面に固定されたベーステーブル21d及びベーステーブル21dの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド21eから成る。   2 and 3, the horizontal moving unit 21 moves to the Y table 21a that moves in the Y-axis direction with respect to the base 11 by the operation of the Y table drive motor My, and to the Y table 21a by the operation of the X table drive motor Mx. The X table 21b that moves in the X axis direction, the θ table 21c that rotates around the Z axis with respect to the X table 21b, the base table 21d that is fixed to the upper surface of the θ table 21c, and the upper surface of the base table 21d that extends upward It consists of a plurality of lift table guides 21e provided.

図2及び図3において、昇降部22は、水平移動部21の複数の昇降テーブルガイド21eにガイドされてベーステーブル21dに対して昇降する昇降テーブル22a及び昇降テーブル22aの上面から上方に延びて設けられた複数の下受けユニット昇降ガイド22bから成る。   2 and 3, the elevating unit 22 is provided to extend upward from the upper surface of the elevating table 22a and the elevating table 22a which are guided by a plurality of elevating table guides 21e of the horizontal moving unit 21 and elevate with respect to the base table 21d. And a plurality of support unit lifting guides 22b.

図2及び図3において、コンベア部23は下受けユニット昇降ガイド22bの上端に取り付けられて昇降テーブル22aとともにベーステーブル21dに対して昇降する前後一対のベルトコンベア支持部材23aと、各ベルトコンベア支持部材23aに支持された前後一対のベルトコンベア23bから成っており、これら前後のベルトコンベア23bが同期して作動することにより、基板2のX軸方向への搬送がなされる。   2 and 3, the conveyor unit 23 is attached to the upper end of the lower support unit elevating guide 22b, and a pair of front and rear belt conveyor supporting members 23a that elevate with respect to the base table 21d together with the elevating table 22a, and each belt conveyor supporting member. A pair of front and rear belt conveyors 23b supported by 23a is provided, and the front and rear belt conveyors 23b are operated in synchronization to carry the substrate 2 in the X-axis direction.

図2及び図3において、基板保持部24は、コンベア部23の下方に設けられた下受けユニット25及び前後のベルトコンベア支持部材23aそれぞれの上部にY軸方向に移動自在に設けられた前後一対のクランプ部材26(図1も参照)から成る。   2 and 3, the substrate holding unit 24 is a pair of front and rear provided movably in the Y-axis direction on the upper part of the receiving unit 25 provided below the conveyor unit 23 and the front and rear belt conveyor support members 23 a. The clamp member 26 (see also FIG. 1).

図2及び図3において、下受けユニット25は下受けユニット昇降ガイド22bにガイドされて昇降自在であり、水平移動部21の昇降テーブル22aに対して上昇することによって、上方に延びた複数の下受けピン25aの上端を、前後のベルトコンベア23bによって両端部が支持された基板2の下面に下方から接触させてその基板2を支持する。   2 and 3, the lower receiving unit 25 is guided by the lower receiving unit elevating guide 22b and can be moved up and down, and is lifted with respect to the elevating table 22a of the horizontal moving unit 21, thereby extending a plurality of lower extending units. The upper end of the receiving pin 25a is brought into contact with the lower surface of the substrate 2 supported at both ends by the front and rear belt conveyors 23b from below to support the substrate 2.

図2及び図3において、前後のクランプ部材26は、図示しない開閉機構を介して互いに反対の方向に(すなわちY軸方向に開閉する方向に)移動されることにより、前後のベルトコンベア23bによって両端部が支持された基板2のY軸方向の両側部(両端面)を基板2の外方から挟んでクランプする。   2 and 3, the front and rear clamping members 26 are moved in opposite directions (that is, opened and closed in the Y-axis direction) via an opening / closing mechanism (not shown), so that both ends are moved by the front and rear belt conveyors 23b. The both sides (both end faces) in the Y-axis direction of the substrate 2 on which the portion is supported are clamped by sandwiching them from the outside of the substrate 2.

基板保持移動ユニット12は、後述するように、一対のクランプ部材26により基板2をクランプした状態で基板2を上昇させ、基板2上の電極3とマスク13の開口部13aとが合致するように基板2の上面をマスク13の下面に接触させる基板保持移動手段として機能する。   As will be described later, the substrate holding and moving unit 12 raises the substrate 2 in a state where the substrate 2 is clamped by a pair of clamp members 26 so that the electrode 3 on the substrate 2 and the opening 13a of the mask 13 match. It functions as a substrate holding and moving means for bringing the upper surface of the substrate 2 into contact with the lower surface of the mask 13.

図1及び図2において、基板保持移動ユニット12を構成するコンベア部23の上流側には前後一対のベルトコンベア27aから成る基板搬入コンベア27が設けられており、コンベア部23の下流側には前後一対のベルトコンベア28aから成る基板搬出コンベア28が設けられている。基板搬入コンベア27は、スクリーン印刷機1の外部(上流側)から投入された基板2を搬入して基板保持移動ユニット12のコンベア部23に受け渡し、基板搬出コンベア28は、基板保持移動ユニット12のコンベア部23から受け渡された基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する。このように、基板搬入コンベア27、基板保持移動ユニット12のコンベア部23及び基板搬出コンベア28は基板2の搬送を行う基板搬送路29(図1)として機能する。   In FIG. 1 and FIG. 2, a substrate carry-in conveyor 27 comprising a pair of front and rear belt conveyors 27 a is provided on the upstream side of the conveyor unit 23 constituting the substrate holding and moving unit 12, and on the downstream side of the conveyor unit 23 A substrate carry-out conveyor 28 comprising a pair of belt conveyors 28a is provided. The substrate carry-in conveyor 27 carries in the substrate 2 input from the outside (upstream side) of the screen printing machine 1 and delivers it to the conveyor unit 23 of the substrate holding / moving unit 12. The substrate 2 delivered from the conveyor unit 23 is carried out of the screen printer 1. As described above, the substrate carry-in conveyor 27, the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12, and the substrate carry-out conveyor 28 function as a substrate carrying path 29 (FIG. 1) for carrying the substrate 2.

図1及び図2において、基台11上には基板搬入コンベア27及び基板搬出コンベア28をそれぞれY軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム31が設けられており、これら一対の門型フレーム31によってマスクホルダ32が支持されている。   In FIG. 1 and FIG. 2, a pair of gate-type frames 31 are provided on the base 11 so as to straddle the substrate carry-in conveyor 27 and the substrate carry-out conveyor 28 in the Y-axis direction. The holder 32 is supported.

図2、図3及び図4において、マスクホルダ32は、門型フレーム31に両端が取り付けられて基板保持移動ユニット12の上方をX軸方向に延びて配置された前後一対のガイド部材33と、一対のガイド部材33上をY軸方向に延びて設けられた左右一対のマスク支持レール34とから成る。マスク13はマスクホルダ32が備える左右一対のマスク支持レール34によって左右両端部が支持されて基板保持移動ユニット12の上方に水平姿勢に保持される。   2, 3, and 4, the mask holder 32 includes a pair of front and rear guide members 33 that are attached to the gate-type frame 31 and extend in the X-axis direction above the substrate holding and moving unit 12. It consists of a pair of left and right mask support rails 34 extending in the Y-axis direction on a pair of guide members 33. The left and right ends of the mask 13 are supported by a pair of left and right mask support rails 34 provided in the mask holder 32 and held in a horizontal position above the substrate holding and moving unit 12.

図1及び図4において、マスク13は平面視において矩形の枠状部材から成るマスク枠13wによって四辺が支持されており、マスク枠13wによって囲まれた矩形の領域には、前述の多数の開口部13aが設けられている。   1 and 4, the mask 13 is supported by a mask frame 13w made of a rectangular frame-like member in plan view, and the rectangular region surrounded by the mask frame 13w has a large number of openings described above. 13a is provided.

図1において、基板2の対角位置には2つ一組の基板側位置合わせ用マークmkが設けられている。一方、図4において、マスク13には、基板側位置合わせ用マークmkに対応して配置された2つ一組のマスク側位置合わせ用マークMKが設けられている。これら基板側位置合わせ用マークmkとマスク側位置合わせ用マークMKとが平面視において一致する状態で基板2をマスク13に接触させると、基板2の電極3とマスク13の開口部13aが合致した状態となる。   In FIG. 1, two sets of substrate side alignment marks mk are provided at diagonal positions of the substrate 2. On the other hand, in FIG. 4, the mask 13 is provided with a pair of mask side alignment marks MK arranged in correspondence with the substrate side alignment marks mk. When the substrate 2 is brought into contact with the mask 13 in a state where the substrate side alignment mark mk and the mask side alignment mark MK are coincident in plan view, the electrode 3 of the substrate 2 and the opening 13a of the mask 13 are matched. It becomes a state.

図2及び図3において、一対の門型フレーム31には、X軸方向に延びたX軸ステージ35の両端部がY軸方向にスライド自在に支持されている。X軸ステージ35上にはカメラ支持ステージ36がX軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ36には前述のカメラユニット15が取り付けられている。カメラユニット15は、撮像視野を下方に向けた第1カメラ15aと撮像視野を上方に向けた第2カメラ15bを備えている。   2 and 3, the pair of portal frames 31 support both ends of an X-axis stage 35 extending in the X-axis direction so as to be slidable in the Y-axis direction. A camera support stage 36 is provided on the X-axis stage 35 so as to be movable in the X-axis direction. The camera unit 15 is attached to the camera support stage 36. The camera unit 15 includes a first camera 15a whose imaging field is directed downward and a second camera 15b whose imaging field is directed upward.

図1及び図2において、一対の門型フレーム31にはX軸方向に延びたスキージベース37の両端部が支持されており、スキージベース37は門型フレーム31に沿って、マスク13の上方で水平面内方向(Y軸方向)に往復移動自在となっている。   1 and 2, both ends of a squeegee base 37 extending in the X-axis direction are supported by a pair of portal frames 31, and the squeegee base 37 is located above the mask 13 along the portal frame 31. It can freely reciprocate in the horizontal plane direction (Y-axis direction).

図2及び図3において、スキージベース37の上面中央部のY軸方向に対向する位置には2つのスキージ昇降シリンダ38が設けられている。これら2つのスキージ昇降シリンダ38からはそのピストンロッドから成るスキージ昇降軸38aがスキージベース37を上下方向に貫通して延びている。   2 and 3, two squeegee raising / lowering cylinders 38 are provided at positions facing the Y-axis direction at the center of the upper surface of the squeegee base 37. From these two squeegee raising / lowering cylinders 38, a squeegee raising / lowering shaft 38a comprising a piston rod extends through the squeegee base 37 in the vertical direction.

図2及び図3において、各スキージ昇降シリンダ38が備えるスキージ昇降軸38aの下端にはX軸方向に延びたスキージホルダ39が取り付けられており、各スキージホルダ39には前述のスキージ14が保持されている。各スキージ14は、スキージホルダ39に沿ってX軸方向に延びた「へら」状の部材から成る。   2 and 3, a squeegee holder 39 extending in the X-axis direction is attached to the lower end of the squeegee lifting shaft 38a provided in each squeegee lifting cylinder 38, and the squeegee 14 described above is held in each squeegee holder 39. ing. Each squeegee 14 is formed of a “spar” -like member extending in the X-axis direction along the squeegee holder 39.

各スキージ昇降シリンダ38によりスキージ昇降軸38aが下方に突没されると、スキージ昇降軸38aの下端にスキージホルダ39を介して取り付けられたスキージ14がスキージベース37に対して昇降する。ここで、マスク13とスキージベース37の上下方向の間隔は変化しないので、スキージ14はマスク13に対して昇降することになる。   When the squeegee lifting shaft 38a protrudes and retracts downward by each squeegee lifting cylinder 38, the squeegee 14 attached to the lower end of the squeegee lifting shaft 38a via the squeegee holder 39 moves up and down with respect to the squeegee base 37. Here, since the vertical distance between the mask 13 and the squeegee base 37 does not change, the squeegee 14 moves up and down with respect to the mask 13.

このようにシリンジ16は、スキージベース37の移動方向であるY軸方向と直交する水平面内方向(X軸方向)に延びており、スキージベース37の下方で昇降される構成となっている。   Thus, the syringe 16 extends in a horizontal plane direction (X-axis direction) orthogonal to the Y-axis direction, which is the moving direction of the squeegee base 37, and is configured to be lifted and lowered below the squeegee base 37.

シリンジ16は、図5及び図6に示すように、スキージベース37の前部(図6の紙面左側)にシリンジ取り付けブラケット41を介して取り付けられており、シリンジ取り付けブラケット41はスキージベース37と対向する後面に設けられたスライダ42が、スキージベース37の前面をX軸に延びて設けられたスライドガイド43に噛み合ってスキージ14の延びる方向(X軸方向)に移動自在になっている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the syringe 16 is attached to the front portion of the squeegee base 37 (left side in FIG. 6) via a syringe mounting bracket 41, and the syringe mounting bracket 41 faces the squeegee base 37. The slider 42 provided on the rear surface engages with a slide guide 43 provided with the front surface of the squeegee base 37 extending along the X axis so as to be movable in the direction in which the squeegee 14 extends (X axis direction).

図5及び図7において、スキージベース37の上面前端部のX軸方向の両端部には一対のブラケット(モータ取り付けブラケット44及び従動プーリ取り付けブラケット45)が取り付けられており、モータ取り付けブラケット44にはシリンジ移動モータ46が取り付けられている。シリンジ移動モータ46の駆動軸46a(図6)はモータ取り付けブラケット44を水平に貫通して前方に延びており、その先端部には駆動プーリ47が取り付けられている。一方、従動プーリ取り付けブラケット45から水平前方に延びたプーリ軸(図示せず)には従動プーリ48が取り付けられている。   5 and 7, a pair of brackets (a motor mounting bracket 44 and a driven pulley mounting bracket 45) are attached to both ends in the X-axis direction of the upper end of the upper surface of the squeegee base 37. A syringe moving motor 46 is attached. A drive shaft 46a (FIG. 6) of the syringe movement motor 46 extends horizontally through the motor mounting bracket 44, and a drive pulley 47 is attached to the tip thereof. On the other hand, a driven pulley 48 is attached to a pulley shaft (not shown) that extends horizontally forward from the driven pulley mounting bracket 45.

図5及び図7において、駆動プーリ47と従動プーリ48には歯付ベルト49が掛け渡されており、歯付ベルト49の下面にはシリンジ取り付けブラケット41の上部の上面が固定されている。このためシリンジ移動モータ46の駆動軸46aが駆動されて駆動プーリ47が回転すると、駆動プーリ47及び従動プーリ48と噛合した歯付ベルト49がX軸方向に走行し、これに伴ってシリンジ取り付けブラケット41が(したがってシリンジ16が)、スキージベース37の前方の領域を、スキージベース37に対して、スキージベース37の往復移動する方向(Y軸方向)と直交する水平面内方向(X軸方向)に移動する。   5 and 7, a toothed belt 49 is stretched around the drive pulley 47 and the driven pulley 48, and the upper surface of the upper portion of the syringe mounting bracket 41 is fixed to the lower surface of the toothed belt 49. For this reason, when the drive shaft 46a of the syringe movement motor 46 is driven and the drive pulley 47 rotates, the toothed belt 49 meshed with the drive pulley 47 and the driven pulley 48 travels in the X-axis direction, and accordingly, the syringe mounting bracket 41 (therefore, the syringe 16), the region in front of the squeegee base 37 is in the horizontal plane direction (X-axis direction) orthogonal to the direction in which the squeegee base 37 reciprocates (Y-axis direction) with respect to the squeegee base 37. Moving.

図6において、シリンジ16は、スキージベース37の前方に設けられたシリンジ取り付けブラケット41の前面に、鉛直線VLに対して角度φだけ下方が後方に傾いて延びる軸線Jに沿って延びて設けられている。このシリンジ16は、下端にペースト供給口16pを有したノズル部16aが軸線Jに沿って移動自在になっており、ノズル部16aを(すなわちペースト供給口16pを)下動させて前方のスキージ14の直下に位置させる張り出し位置(図6中、一点鎖線で示すノズル部16a参照)と、ノズル部16aの下端のペースト供給口16pを上動させた格納位置(図6中、実線で示すノズル部16a参照)との間で移動させることができる。ここで、上記角度φは、シリンジ16のノズル部16aが張り出し位置に位置している状態で、前方のスキージ14の直下にペーストPtを供給できるような角度として任意に設定される。   In FIG. 6, the syringe 16 is provided on the front surface of the syringe mounting bracket 41 provided in front of the squeegee base 37 along an axis J extending downward and inclined backward by an angle φ with respect to the vertical line VL. ing. The syringe 16 has a nozzle portion 16a having a paste supply port 16p at its lower end that is movable along the axis J, and moves the nozzle portion 16a downward (that is, the paste supply port 16p) to move the front squeegee 14 forward. The overhanging position (see the nozzle portion 16a indicated by the alternate long and short dash line in FIG. 6) and the storage position where the paste supply port 16p at the lower end of the nozzle portion 16a is moved upward (the nozzle portion indicated by the solid line in FIG. 6) 16a)). Here, the angle φ is arbitrarily set as an angle at which the paste Pt can be supplied directly below the squeegee 14 in front in a state where the nozzle portion 16a of the syringe 16 is located at the overhang position.

シリンジ16はノズル部16aを張り出し位置に張り出させた状態において、内部に空気圧が供給されると、内蔵したペーストPtを吐出する。なお、シリンジ16のX軸方向への移動範囲(移動ストローク)は、少なくとも、スクリーン印刷機1によって取り扱う基板2のX軸方向(スキージ14の延びる方向)の寸法をカバーできる(基板2の両端を含む)範囲を有する。   The syringe 16 discharges the built-in paste Pt when air pressure is supplied to the inside in a state where the nozzle portion 16a is extended to the protruding position. The movement range (movement stroke) of the syringe 16 in the X-axis direction can cover at least the dimension in the X-axis direction (direction in which the squeegee 14 extends) of the substrate 2 handled by the screen printing machine 1 (both ends of the substrate 2 are covered). Range).

基板2の搬送を行う基板搬送路29としての基板搬入コンベア27、基板保持移動ユニット12のコンベア部23及び基板搬出コンベア28の各動作は、基台11内に設けられた制御装置50(図8)が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構51(図8)の作動制御を行うことによってなされる。   The operations of the substrate carry-in conveyor 27 as the substrate carrying path 29 for carrying the substrate 2, the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12, and the substrate carry-out conveyor 28 are controlled by a control device 50 (FIG. 8) provided in the base 11. ) Is performed by controlling the operation of the substrate transport path operating mechanism 51 (FIG. 8) including an actuator (not shown).

基板保持移動ユニット12の基板保持部24が備える下受けユニット25の昇降動作は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成る下受けユニット昇降機構52(図8)の作動制御を行うことによってなされる。また、基板保持移動ユニット12の基板保持部24が備える前後のクランプ部材26の開閉動作(基板2のクランプ及びその解除動作)は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等からクランプ部材開閉機構53(図8)の作動制御を行うことによってなされる。制御装置50は、下受けユニット25を上昇させて下受けピン25aを基板2の下面に当接させ、かつ前後のクランプ部材26により基板2の両側から挟んでクランプすることにより基板2を保持する。   The raising / lowering operation of the lower receiving unit 25 included in the substrate holding unit 24 of the substrate holding / moving unit 12 is performed by the control device 50 controlling the operation of the lower receiving unit raising / lowering mechanism 52 (FIG. 8) including an actuator (not shown). . The opening / closing operation (clamping and releasing operation of the substrate 2) of the front and rear clamp members 26 provided in the substrate holding unit 24 of the substrate holding / moving unit 12 is performed by a clamp device opening / closing mechanism 53 (see FIG. This is done by performing the operation control of 8). The control device 50 raises the lower receiving unit 25 to bring the lower receiving pins 25a into contact with the lower surface of the substrate 2, and holds the substrate 2 by clamping it from both sides of the substrate 2 with the front and rear clamping members 26. .

カメラユニット15の水平面内での移動動作、すなわち一対の門型フレーム31に対するX軸ステージ35のY軸方向への移動動作及びX軸ステージ35に対するカメラ支持ステージ36のX軸方向への移動動作の各制御は、制御装置50が図示しないアクチュエータから成るカメラ移動機構54(図8)の作動制御を行うことによってなされる。また、カメラユニット15を構成する第1カメラ15a及び第2カメラ15bはそれぞれ、制御装置50に制御されて撮像動作を行い、取得した画像データはともに制御装置50に入力される(図8)。   Movement of the camera unit 15 in the horizontal plane, that is, movement of the X-axis stage 35 in the Y-axis direction with respect to the pair of portal frames 31 and movement of the camera support stage 36 in the X-axis direction with respect to the X-axis stage 35 Each control is performed when the control device 50 controls the operation of the camera moving mechanism 54 (FIG. 8) including an actuator (not shown). Further, the first camera 15a and the second camera 15b constituting the camera unit 15 each perform an imaging operation under the control of the control device 50, and the acquired image data is input to the control device 50 (FIG. 8).

制御装置50は、第1カメラ15a、第2カメラ15b及びカメラ移動機構54を作動させることにより、第1カメラ15aによる基板側位置合わせ用マークmkの撮像と第2カメラ15bによるマスク側位置合わせ用マークMKの撮像を行って、基板2及びマスク13それぞれの位置を検出する。   The control device 50 operates the first camera 15a, the second camera 15b, and the camera moving mechanism 54, thereby imaging the substrate-side alignment mark mk by the first camera 15a and mask-side alignment by the second camera 15b. The mark MK is imaged, and the positions of the substrate 2 and the mask 13 are detected.

基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21による基板保持部24の水平面内方向への移動動作は、制御装置50が、Yテーブル21aの基台11に対するY軸方向への移動、Yテーブル21aに対するXテーブル21bのX軸方向への移動及びXテーブル21bに対するθテーブル21cの(すなわちベーステーブル21dの)Z軸回りの回転動作を行わせる、前述のYテーブル駆動モータMy及びXテーブル駆動モータMxを含む複数のアクチュエータ等から成る水平移動機構55(図8)の作動制御を行うことによってなされる。制御装置50は、カメラユニット15の作動を行って検出した基板2及びマスク13それぞれの位置に基づいて水平移動機構55を作動させることにより、基板保持部24により保持した基板2のマスク13に対する水平面内方向の位置合わせを行う。   The horizontal movement unit 21 provided in the substrate holding and moving unit 12 moves the substrate holding unit 24 in the horizontal plane. The control device 50 moves the Y table 21a in the Y-axis direction relative to the base 11, and moves the Y table 21a. The Y table drive motor My and the X table drive motor Mx described above that cause the X table 21b to move in the X axis direction and rotate the θ table 21c around the Z axis with respect to the X table 21b (that is, the base table 21d). This is done by controlling the operation of a horizontal movement mechanism 55 (FIG. 8) comprising a plurality of actuators and the like. The control device 50 operates the horizontal movement mechanism 55 based on the positions of the substrate 2 and the mask 13 detected by operating the camera unit 15, thereby causing the horizontal surface of the substrate 2 held by the substrate holding unit 24 to the mask 13. Align inward.

基板保持移動ユニット12が備える昇降部22による基板保持部24の昇降動作は、制御装置50が、昇降テーブル22aのベーステーブル21dに対する昇降動作を行わせる図示しないアクチュエータ等から成る昇降機構56(図8)の作動制御を行うことによってなされる。制御装置50は、昇降機構56を作動させることにより、基板保持部24により保持し、マスク13に対して水平面内方向の位置合わせを行った基板2の上面(及び前後のクランプ部材26の上面)をマスク13の下面に下方から接触させる。   The raising / lowering operation of the substrate holding part 24 by the raising / lowering part 22 included in the substrate holding / moving unit 12 is performed by the control device 50, which is a lifting mechanism 56 (not shown) or the like that causes the base table 21d of the lifting table 22a to move up and down. ). The control device 50 operates the elevating mechanism 56 to hold the substrate by the substrate holding unit 24, and aligns the mask 13 in the horizontal plane direction (and the upper surfaces of the front and rear clamp members 26). Is brought into contact with the lower surface of the mask 13 from below.

シリンジ16をX軸方向へ移動させるシリンジ16の移動動作は、制御装置50が前述のシリンジ移動モータ46の作動制御を行うことによってなされ、シリンジ16のノズル部16aの突没動作(下動及び上動動作)は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成るノズル部突没機構57(図8)の作動制御を行うことによってなされる。また、シリンジ16への空気圧の供給及びその停止動作は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成る空気圧供給機構58(図8)の作動制御を行うことによってなされる。制御装置50は、シリンジ移動モータ46、ノズル部突没機構57及び空気圧供給機構58を作動させることにより、基板2と接触されたマスク13上へのペーストPtの供給を行う。   The movement operation of the syringe 16 that moves the syringe 16 in the X-axis direction is performed when the control device 50 controls the operation of the syringe movement motor 46 described above, and the protrusion and subtraction operation (downward movement and upper movement) of the nozzle portion 16a of the syringe 16 is performed. The operation is performed by the control device 50 controlling the operation of the nozzle part projecting and retracting mechanism 57 (FIG. 8) including an actuator (not shown). In addition, the supply of air pressure to the syringe 16 and the stop operation thereof are performed by the control device 50 controlling the operation of the air pressure supply mechanism 58 (FIG. 8) including an actuator (not shown). The control device 50 supplies the paste Pt onto the mask 13 in contact with the substrate 2 by operating the syringe moving motor 46, the nozzle part projecting and retracting mechanism 57, and the air pressure supplying mechanism 58.

各スキージ14のスキージベース37に対する昇降動作は、制御装置50がスキージベース37の上部に取り付けられた前述の2つのスキージ昇降シリンダ38(図8も参照)の作動制御を行うことによってなされる。また、前後のスキージ14をY軸方向に往復移動させるスキージベース37の作動制御は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成るスキージベース移動機構59(図8)の制御を行うことによってなされる。   The raising / lowering operation of each squeegee 14 with respect to the squeegee base 37 is performed by controlling the operation of the two squeegee raising / lowering cylinders 38 (see also FIG. 8) attached to the upper portion of the squeegee base 37. The operation control of the squeegee base 37 for reciprocating the front and rear squeegees 14 in the Y-axis direction is performed by the control device 50 controlling a squeegee base moving mechanism 59 (FIG. 8) including an actuator (not shown).

制御装置50は、スキージベース移動機構59を作動させてスキージベース37を前後のクランプ部材26の一方の上方に位置させ、そのうえで2つのスキージ昇降シリンダ38のうちの一方を作動させてそのスキージ昇降シリンダ38によって昇降されるスキージ14をクランプ部材26の上面(クランプ部材26が接触しているマスク13の上面)に上方から当接させる。具体的には、前方のスキージ14は前方のクランプ部材26の上面に当接させ、後方のスキージ14は後方のクランプ部材26の上面に当接させる。そして、スキージベース移動機構59を作動させ、スキージベース37を前後方向(Y軸方向)に移動させることによってマスク13上でスキージ14を摺動させ、シリンジ16によって予めマスク13上に供給したおいたペーストPtをスキージ14で掻き寄せて、マスク13の開口部13aを介して基板2の電極3にペーストPtを転写させる。   The control device 50 operates the squeegee base moving mechanism 59 to position the squeegee base 37 above one of the front and rear clamp members 26 and then operates one of the two squeegee lifting cylinders 38 to operate the squeegee lifting cylinder. The squeegee 14 moved up and down by 38 is brought into contact with the upper surface of the clamp member 26 (the upper surface of the mask 13 with which the clamp member 26 is in contact) from above. Specifically, the front squeegee 14 is brought into contact with the upper surface of the front clamp member 26, and the rear squeegee 14 is brought into contact with the upper surface of the rear clamp member 26. Then, by operating the squeegee base moving mechanism 59 and moving the squeegee base 37 in the front-rear direction (Y-axis direction), the squeegee 14 is slid on the mask 13 and previously supplied onto the mask 13 by the syringe 16. The paste Pt is scraped by the squeegee 14 to transfer the paste Pt to the electrode 3 of the substrate 2 through the opening 13 a of the mask 13.

前方のスキージ14は前方のクランプ部材26の上面から後方のクランプ部材26の上面までの間のマスク13上を前方から後方に向かって摺動され、後方のスキージ14は、後方のクランプ部材26の上面から前方のクランプ部材26の上面までの間のマスク13上を後方から前方に向かって摺動される。これら前方スキージ14によるペーストPtの転写動作と、後方のスキージ14によるペーストPtの転写動作とは交互に実行される。   The front squeegee 14 is slid from the front to the rear on the mask 13 between the upper surface of the front clamp member 26 and the upper surface of the rear clamp member 26. It is slid from the rear to the front on the mask 13 between the upper surface and the upper surface of the front clamp member 26. The transfer operation of the paste Pt by the front squeegee 14 and the transfer operation of the paste Pt by the rear squeegee 14 are executed alternately.

図9(a),(b)において、後方のスキージ14(図6における紙面右側のスキージ14)のペースト掻き寄せ面(後方のスキージ14では前方に向く面)には、ペースト高さ検出センサ60が設けられている。このペースト高さ検出センサ60は、後方のスキージ14の幅方向(X軸方向)の一端側に設けられてX軸方向に検査光Lの投光を行う投光器60aと、後方のスキージ14の幅方向の他端側に設けられて投光器60aが投光する検査光Lの受光を行う受光器60bから成る。   9 (a) and 9 (b), a paste height detection sensor 60 is provided on the paste scraping surface (the surface facing forward in the rear squeegee 14) of the rear squeegee 14 (the squeegee 14 on the right side in FIG. 6). Is provided. The paste height detection sensor 60 is provided on one end side in the width direction (X-axis direction) of the rear squeegee 14, and projects a projector 60 a that projects the inspection light L in the X-axis direction, and the width of the rear squeegee 14. The light receiving device 60b is provided on the other end side in the direction and receives the inspection light L projected by the light projecting device 60a.

制御装置50がスキージベース移動機構59を作動させて後方のスキージ14によってマスク13上のペーストPtをマスク13の前方に掻き寄せている間、ペースト高さ検出センサ60の投光器60aが投光する検査光Lを受光器60bが受光しなかった場合には、そのペーストPtの高さh(図9(b))が、マスク13の上面から測った検査光Lの高さに相当する所定高さH(図9(b))を下回っていることになる。   While the control device 50 operates the squeegee base moving mechanism 59 and squeezes the paste Pt on the mask 13 to the front of the mask 13 by the rear squeegee 14, the light projector 60a of the paste height detection sensor 60 projects light. When the light receiver 60b does not receive the light L, the height h (FIG. 9B) of the paste Pt is a predetermined height corresponding to the height of the inspection light L measured from the upper surface of the mask 13. It is below H (FIG. 9 (b)).

制御装置50に繋がるペースト高さ記憶部61(図8)には、ペースト高さ検出センサ60によって検出されたマスク13上のペーストPtの高さhが所定高さHを下回っているかどうかの情報が記憶される。制御装置50は、後方のスキージ14によるペーストPtの転写動作が行われ、ペースト高さ検出センサ60によるペーストPtの高さhの検出が行われるごとにマスク13上のペーストPtの高さhが所定高さHを下回っているかどうかの判定を行い、その判定結果をペースト高さ記憶部61に書き込んで更新する。このためペースト高さ記憶部61には、マスク13上のペーストPtの高さhが所定高さHを下回っているかどうかの最新の情報が記憶される。なお、実装基板生産開始時には、ペースト高さ記憶部61には、ペースト高さhが所定高さHを下回っている旨の情報が記憶されている。   In the paste height storage unit 61 (FIG. 8) connected to the control device 50, information on whether or not the height h of the paste Pt on the mask 13 detected by the paste height detection sensor 60 is below a predetermined height H. Is memorized. The control device 50 performs the transfer operation of the paste Pt by the rear squeegee 14, and the height h of the paste Pt on the mask 13 is changed every time the paste height detection sensor 60 detects the height h of the paste Pt. It is determined whether or not the height is below the predetermined height H, and the determination result is written in the paste height storage unit 61 and updated. For this reason, the paste height storage unit 61 stores the latest information as to whether or not the height h of the paste Pt on the mask 13 is below the predetermined height H. At the start of mounting board production, the paste height storage unit 61 stores information indicating that the paste height h is lower than the predetermined height H.

シリンジ移動モータ46の駆動により、スライドガイド43に沿ってX軸方向にシリンジ16を移動させ得る範囲内には往復移動領域R(図7及び図10)が定められている。この往復移動領域Rは、基板保持移動ユニット12によってマスク13に接触される基板2のうち、X軸方向の寸法が最大の基板2(以下、「最大寸法の基板2」と称する)を印刷作業実行位置に位置決めした場合において、その基板2のX軸方向(スキージ14の延びる方向)の両端を含み、かつ、往復移動領域Rの中心位置が、印刷作業実行位置に位置決めされる基板2の中心位置とX軸方向において一致するように定められている。   A reciprocating region R (FIGS. 7 and 10) is defined within a range in which the syringe 16 can be moved along the slide guide 43 in the X-axis direction by driving the syringe moving motor 46. This reciprocating movement area R is a printing operation for a substrate 2 having a maximum dimension in the X-axis direction (hereinafter referred to as “maximum dimension substrate 2”) among the substrates 2 that are in contact with the mask 13 by the substrate holding / moving unit 12. When positioned at the execution position, the center of the substrate 2 that includes both ends of the substrate 2 in the X-axis direction (the direction in which the squeegee 14 extends) and the center position of the reciprocating movement region R is positioned at the printing operation execution position. It is determined so as to coincide with the position in the X-axis direction.

制御装置50は、マスク13上にペーストPtを供給するときには、往復移動領域Rでシリンジ16をX軸方向に往復移動させつつ、シリンジ16に空気圧を供給してシリンジ16からペーストPtを吐出させる。これによりマスク13上のペーストPtを供給すべき領域として基板2の種類ごとに定められたペースト供給領域Q(図7及び図10)内に、ペーストPtが供給される。   When supplying the paste Pt onto the mask 13, the control device 50 supplies air pressure to the syringe 16 and discharges the paste Pt from the syringe 16 while reciprocating the syringe 16 in the X-axis direction in the reciprocating region R. As a result, the paste Pt is supplied into the paste supply area Q (FIGS. 7 and 10) determined for each type of the substrate 2 as an area where the paste Pt on the mask 13 is to be supplied.

このようにシリンジ16は、基板保持移動ユニット12によりマスク13に接触された基板2のスキージ14の延びる方向(X軸方向)の両端を含むように設定された往復移動領域Rで移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてマスク13上のペースト供給領域Q内にペーストPtの吐出を行う構成となっている。   Thus, the syringe 16 is movably provided in the reciprocating movement region R set to include both ends of the substrate 2 in contact with the mask 13 by the substrate holding and moving unit 12 in the extending direction (X-axis direction) of the squeegee 14. In response to the supply of air pressure, the paste Pt is discharged into the paste supply region Q on the mask 13.

図7において、スキージベース37の前部の上記往復移動領域Rの両端の位置には第1リミットスイッチLS1と第2リミットスイッチLS2が設けられている。これら第1リミットスイッチLS1と第2リミットスイッチLS2は、シリンジ16の一部分によって図示しない操作片が操作されたときにオンとなって制御装置50にシリンジ16の検出信号を出力する(図8)。   In FIG. 7, a first limit switch LS <b> 1 and a second limit switch LS <b> 2 are provided at the positions of both ends of the reciprocating region R at the front of the squeegee base 37. The first limit switch LS1 and the second limit switch LS2 are turned on when an operation piece (not shown) is operated by a part of the syringe 16, and outputs a detection signal of the syringe 16 to the control device 50 (FIG. 8).

ここで、第1リミットスイッチLS1は、往復移動領域Rの一方側(ここでは左方側とする)の端部に相当する位置である「基準位置P1」に設けられており、第2リミットスイッチLS2は、往復移動領域Rの他方側の位置(ここでは右方側とする)の端部に相当する位置である「折り返し位置P2」に設けられている(図7)。このため、シリンジ16が往復移動領域Rの基準位置P1に位置しているときには第1リミットスイッチLS1がオンとなってシリンジ16の検出信号を制御装置50に出力し(第2リミットスイッチLS2はオフ)、シリンジ16が往復移動領域Rの折り返し位置P2に位置しているときには第2リミットスイッチLS2がオンとなってシリンジ16の検出信号を制御装置50に出力する(第1リミットスイッチLS1はオフ)。   Here, the first limit switch LS1 is provided at a “reference position P1” that is a position corresponding to an end portion on one side (here, left side) of the reciprocating movement region R, and the second limit switch LS1. LS2 is provided at a “folding position P2” that is a position corresponding to an end of the position on the other side of the reciprocating region R (here, the right side) (FIG. 7). For this reason, when the syringe 16 is located at the reference position P1 of the reciprocating region R, the first limit switch LS1 is turned on, and the detection signal of the syringe 16 is output to the control device 50 (the second limit switch LS2 is turned off). ), When the syringe 16 is located at the folding position P2 of the reciprocating region R, the second limit switch LS2 is turned on and the detection signal of the syringe 16 is output to the control device 50 (the first limit switch LS1 is off). .

制御装置50は、シリンジ16を往復移動領域Rの基準位置P1から折り返し位置P2に向けて出発させた後、シリンジ16がペースト供給領域QのX軸方向の両端部のうち、基準位置P1側の端部であり、基準位置P1から距離W1だけ離れた位置にある往路側空気圧供給開始位置Q1(図7及び図10)に到達したときにシリンジ16への空気圧の供給を開始し、シリンジ16が往路側空気圧供給開始位置Q1から所定距離W2だけ折り返し位置P2側に離れた位置である往路側空気圧供給停止位置Q2(図10)に到達したときにシリンジ16への空気圧の供給を停止する。   The control device 50 starts the syringe 16 from the reference position P1 of the reciprocating movement region R toward the turn-back position P2, and then the syringe 16 is located on both sides of the paste supply region Q in the X-axis direction on the reference position P1 side. The supply of air pressure to the syringe 16 is started when reaching the forward air pressure supply start position Q1 (FIGS. 7 and 10) that is the end portion and is separated from the reference position P1 by the distance W1. The supply of the air pressure to the syringe 16 is stopped when reaching the forward air pressure supply stop position Q2 (FIG. 10), which is a position away from the forward air pressure supply start position Q1 by the predetermined distance W2 toward the folding position P2.

また、制御装置50は、シリンジ16を往復移動領域Rの折り返し位置P2から基準位置P1に向けて出発させた後、シリンジ16がペースト供給領域QのX軸方向の両端部の位置のうち、折り返し位置P2側の端部であり、折り返し位置P2から距離W1だけ離れた位置にある復路側空気圧供給開始位置Q3(図7及び図10)に到達したときにシリンジ16への空気圧の供給を開始し、シリンジ16が復路側空気圧供給開始位置Q3から所定距離W2だけ基準位置P1側に離れた位置である復路側空気圧供給停止位置Q4(図10)に到達したときにシリンジ16への空気圧の供給を停止する。   Further, the control device 50 starts the syringe 16 from the folding position P2 of the reciprocating movement region R toward the reference position P1, and then the syringe 16 folds out of the positions of both ends of the paste supply region Q in the X-axis direction. Supply of air pressure to the syringe 16 is started when it reaches an inward air pressure supply start position Q3 (FIGS. 7 and 10) that is an end on the position P2 side and is separated from the turn-back position P2 by a distance W1. When the syringe 16 reaches the return side air pressure supply stop position Q4 (FIG. 10), which is a position separated from the return side air pressure supply start position Q3 by the predetermined distance W2 toward the reference position P1, the air pressure is supplied to the syringe 16. Stop.

制御装置50は、シリンジ16の往復移動領域Rの往路移動において、シリンジ16が基準位置P1から折り返し位置P2に向けて出発した後、シリンジ16が往路側空気圧供給開始位置Q1に到達したことを、シリンジ16が基準位置P1を出発したときからの経過時間によって判断する。具体的には、制御装置50は、シリンジ16が基準位置P1を出発することによって第1リミットスイッチLS1がオンからオフに切り替わったときからの経過時間をタイマー62(図8)によって計測し、そのタイマー62によって計測される経過時間が、シリンジ16が基準位置P1と往路側空気圧供給開始位置Q1との間の距離W1(図10)をシリンジ移動モータ46の回転数によって定まる移動速度(v)で進むのに要する時間(所定時間T1)に達したことを検知したときに、シリンジ16が往路側空気圧供給開始位置Q1に到達したと判断する。   In the forward movement of the reciprocating movement region R of the syringe 16, the control device 50 confirms that the syringe 16 has reached the forward air pressure supply start position Q1 after the syringe 16 has started from the reference position P1 toward the folding position P2. Judgment is made based on the elapsed time from when the syringe 16 leaves the reference position P1. Specifically, the control device 50 measures the elapsed time from when the first limit switch LS1 is switched from on to off by the syringe 16 starting from the reference position P1, by the timer 62 (FIG. 8), The elapsed time measured by the timer 62 is a moving speed (v) determined by the number of rotations of the syringe moving motor 46 with respect to the distance W1 (FIG. 10) between the reference position P1 and the forward air pressure supply start position Q1. When it is detected that the time required for traveling (predetermined time T1) has been reached, it is determined that the syringe 16 has reached the forward air pressure supply start position Q1.

また制御装置50は、シリンジ16の往復移動領域Rの往路移動において、シリンジ16が往路側空気圧供給開始位置Q1を通過した後、往路側空気圧供給停止位置Q2に到達したことを、シリンジ16が往路側空気圧供給開始位置Q1に到達したときからの経過時間によって判断する。具体的には、制御装置50は、タイマー62によって計測されるシリンジ16が基準位置P1を出発したときからの経過時間から、シリンジ16が基準位置P1を出発してから往路側空気圧供給開始位置Q1に到達するのに要した時間(すなわち所定時間T1)を差し引いて得られる時間が、往路側空気圧供給開始位置Q1と往路側空気圧供給停止位置Q2との間の距離W2を進むのに要する時間(所定時間T2)に達したことを検知したときに、シリンジ16が往路側空気圧供給停止位置Q2に到達したと判断する。   Further, in the forward movement of the reciprocating movement region R of the syringe 16, the control device 50 indicates that the syringe 16 has reached the forward air pressure supply stop position Q <b> 2 after passing the forward air pressure supply start position Q <b> 1. Judgment is made based on the elapsed time from when the air pressure supply start position Q1 is reached. Specifically, the control device 50 determines the forward air pressure supply start position Q1 after the syringe 16 leaves the reference position P1 from the elapsed time from when the syringe 16 leaves the reference position P1 measured by the timer 62. The time obtained by subtracting the time required to reach (i.e., the predetermined time T1) is the time required to advance the distance W2 between the forward air pressure supply start position Q1 and the forward air pressure supply stop position Q2 ( When it is detected that the predetermined time T2) has been reached, it is determined that the syringe 16 has reached the forward air pressure supply stop position Q2.

また、制御装置50は、シリンジ16の往復移動領域Rの復路移動において、シリンジ16が折り返し位置P2から基準位置P1に向けて出発した後、シリンジ16が復路側空気圧供給開始位置Q3に到達したことを、シリンジ16が折り返し位置P2を出発したときからの経過時間によって判断する。具体的には、制御装置50は、シリンジ16が折り返し位置P2を出発することによって第2リミットスイッチLS2がオンからオフに切り替わったときからの経過時間をタイマー62によって計測し、そのタイマー62によって計測される経過時間が、折り返し位置P2と復路側空気圧供給開始位置Q3との間の距離W1(図10)を上記移動速度(v)で進むのに要する時間(所定時間T1)に達したことを検知したときに、シリンジ16が復路側空気圧供給開始位置Q3に到達したと判断する。   Further, the control device 50 determines that the syringe 16 has reached the return air pressure supply start position Q3 after the syringe 16 has departed from the return position P2 toward the reference position P1 in the return movement of the reciprocating movement region R of the syringe 16. Is determined by the elapsed time from when the syringe 16 departs from the folding position P2. Specifically, the control device 50 measures the elapsed time from when the second limit switch LS <b> 2 is switched from on to off by the syringe 16 starting from the folding position P <b> 2, and measures by the timer 62. That the elapsed time has reached the time (predetermined time T1) required to travel the distance W1 (FIG. 10) between the return position P2 and the return air pressure supply start position Q3 at the moving speed (v). When detected, it is determined that the syringe 16 has reached the return air pressure supply start position Q3.

また、制御装置50は、シリンジ16の往復移動領域Rの復路移動において、シリンジ16が復路側空気圧供給開始位置Q3を通過した後、復路側空気圧供給停止位置Q4に到達したことを、シリンジ16が復路側空気圧供給開始位置Q3に到達したときからの経過時間によって判断する。具体的には、制御装置50は、タイマー62によって計測されるシリンジ16が折り返し位置P2を出発したときからの経過時間から、シリンジ16が折り返し位置P2を出発してから復路側空気圧供給開始位置Q3に到達するのに要した時間(すなわち所定時間T1)を差し引いて得られる時間が、復路側空気圧供給開始位置Q3と復路側空気圧供給停止位置Q4との間の距離W2を進むのに要する時間(所定時間T2)に達したことを検知したときに、シリンジ16が復路側空気圧供給停止位置Q4に到達したと判断する。   Further, the control device 50 indicates that the syringe 16 has reached the return side air pressure supply stop position Q4 after the syringe 16 has passed the return side air pressure supply start position Q3 in the return path movement of the reciprocation region R of the syringe 16. Judgment is made based on the elapsed time from when the return air pressure supply start position Q3 is reached. Specifically, the control device 50 starts the return air pressure supply start position Q3 after the syringe 16 leaves the turn-back position P2 from the elapsed time from when the syringe 16 leaves the turn-back position P2 measured by the timer 62. The time obtained by subtracting the time required to reach (that is, the predetermined time T1) is the time required to travel the distance W2 between the return-side air pressure supply start position Q3 and the return-side air pressure supply stop position Q4 ( When it is detected that the predetermined time T2) has been reached, it is determined that the syringe 16 has reached the return air pressure supply stop position Q4.

上記所定時間T1及び所定時間T2から成る時間データは、基板2の種類ごとに定められて制御装置50の時間データ記憶部63(図8)に記憶されている。ここで、上記所定時間T1,T2のデータが基板2の種類ごとに定められているのは、スクリーン印刷の対象とする基板2のX軸方向の寸法によってペースト供給領域Qの大きさが異なり、したがってシリンジ16への空気圧の供給開始と供給停止のタイミングが基板2によって異なるからである。   The time data composed of the predetermined time T1 and the predetermined time T2 is determined for each type of the substrate 2 and stored in the time data storage unit 63 (FIG. 8) of the control device 50. Here, the data of the predetermined times T1 and T2 are determined for each type of the substrate 2 because the size of the paste supply region Q varies depending on the size of the substrate 2 to be screen-printed in the X-axis direction, Therefore, the timing of starting and stopping the supply of air pressure to the syringe 16 differs depending on the substrate 2.

上記時間データは、オペレータOPが制御装置50に繋がるタッチパネル等の入出力装置64(図8)から直接入力することによって制御装置50が得られるようにするほか、基板2を基板搬送路29の基板搬入コンベア27によって搬入した際、図示しないバーコードリーダによって、基板2に設けられたバーコードより基板2の情報を読み取る構成になっている場合には、そのとき読み取った情報から得られるようにしてもよい。   The time data can be obtained by the operator OP by directly inputting the time data from the input / output device 64 (FIG. 8) such as a touch panel connected to the control device 50, and the substrate 2 can be obtained from the substrate transport path 29. When it is configured to read the information on the substrate 2 from a barcode provided on the substrate 2 by a barcode reader (not shown) when it is carried in by the carry-in conveyor 27, it is obtained from the information read at that time. Also good.

制御装置50は、第1リミットスイッチLS1がオンからオフに切り替わった後、タイマー62によって計測される経過時間に基づいてシリンジ16が往路側空気圧供給開始位置Q1に達したと判断したときにはシリンジ16への空気圧の供給を開始し、更にシリンジ16が往路側空気圧供給停止位置Q2に達したと判断したときにはシリンジ16への空気圧の供給を停止する。このためマスク13上のペースト供給領域Q内には、シリンジ16による往復移動領域Rの往路移動時、往路側空気圧供給開始位置Q1から往路側空気圧供給停止位置Q2までの間にシリンジ16から吐出されたペーストPtと、シリンジ16が往路側空気圧供給停止位置Q2を通過した後、シリンジ16内の圧力が空気圧の供給停止によって低圧に戻るまでの間にシリンジ16から出続けるペーストPtとが供給される。   When the control device 50 determines that the syringe 16 has reached the forward air pressure supply start position Q <b> 1 based on the elapsed time measured by the timer 62 after the first limit switch LS <b> 1 is switched from on to off, the control device 50 returns to the syringe 16. The supply of air pressure to the syringe 16 is stopped when it is determined that the syringe 16 has reached the forward air pressure supply stop position Q2. For this reason, in the paste supply region Q on the mask 13, when the reciprocating region R is moved forward by the syringe 16, it is discharged from the syringe 16 from the forward air pressure supply start position Q1 to the forward air pressure supply stop position Q2. The paste Pt and the paste Pt that continues to come out of the syringe 16 until the pressure in the syringe 16 returns to a low pressure due to the supply stop of the air pressure after the syringe 16 has passed the forward air pressure supply stop position Q2 are supplied. .

また、制御装置50は、第2リミットスイッチLS2がオンからオフに切り替わった後、タイマー62によって計測される経過時間に基づいてシリンジ16が復路側空気圧供給開始位置Q3に達したと判断したときにはシリンジ16への空気圧の供給を開始し、更にシリンジ16が復路側空気圧供給停止位置Q4に達したと判断したときにはシリンジ16への空気圧の供給を停止する。このためマスク13上のペースト供給領域Q内には、シリンジ16による往復移動領域Rの復路移動時、復路側空気圧供給開始位置Q3から復路側空気圧供給停止位置Q4までの間にシリンジ16から吐出されたペーストPtと、シリンジ16が復路側空気圧供給停止位置Q4を通過した後、シリンジ16内の圧力が空気圧の供給停止によって低圧に戻るまでの間にシリンジ16から出続けるペーストPtとが供給される。   When the control device 50 determines that the syringe 16 has reached the return air pressure supply start position Q3 based on the elapsed time measured by the timer 62 after the second limit switch LS2 is switched from on to off, the syringe When the supply of air pressure to the syringe 16 is started and it is determined that the syringe 16 has reached the return air pressure supply stop position Q4, the supply of air pressure to the syringe 16 is stopped. For this reason, in the paste supply region Q on the mask 13, when the reciprocating region R is moved back and forth by the syringe 16, it is discharged from the syringe 16 from the return side air pressure supply start position Q3 to the return side air pressure supply stop position Q4. The paste Pt and the paste Pt that continues to come out of the syringe 16 until the pressure in the syringe 16 returns to a low pressure due to the supply stop of the air pressure after the syringe 16 passes the return-side air pressure supply stop position Q4 are supplied. .

このように、シリンジ16は往復移動領域Rの往復移動の往路と復路の2回、マスク13上のペースト供給領域Q内にペーストPtを吐出し、重ね合わせる。   Thus, the syringe 16 discharges the paste Pt into the paste supply region Q on the mask 13 and superimposes it twice in the forward and backward paths of the reciprocating region R.

図11(a)は、シリンジ16の往路移動時にシリンジ16からペースト供給領域Q内に供給されたペーストPtの量のX軸方向(ペースト供給領域Qの延びる方向)に沿った分布を示しており、図11(b)は、シリンジ16の復路移動時にシリンジ16からペースト供給領域Qに供給されたペーストPtのX軸方向に沿った分布を示している。また、図11(c)は、往復移動領域Rを往復移動したシリンジ16からペースト供給領域Qに供給されたペーストPtの量のX軸方向に沿った分布を示している。   FIG. 11A shows the distribution along the X-axis direction (direction in which the paste supply region Q extends) of the amount of paste Pt supplied from the syringe 16 into the paste supply region Q when the syringe 16 moves forward. FIG. 11B shows a distribution along the X-axis direction of the paste Pt supplied from the syringe 16 to the paste supply region Q when the syringe 16 moves backward. FIG. 11C shows a distribution along the X-axis direction of the amount of paste Pt supplied to the paste supply region Q from the syringe 16 reciprocated in the reciprocating region R.

これらの図11(a),(b),(c)から分かるように、シリンジ16の往路移動時及び復路移動時のいずれにおいても、マスク13上のペースト供給領域QにおいてペーストPtの量が局部的に多くなるところはない。また、シリンジ16が往復移動領域Rの移動の往路においてペーストPtを吐出する吐出動作のプロファイルと、往復移動領域Rの復路においてペーストPtをと吐出する吐出動作のプロファイルとは同一であるので、シリンジ16によってペースト供給領域Qに供給されるペーストPtのX軸方向の分布は、ペースト供給領域QのX軸方向の中心位置CTに対して対称なものとなる。よって、ペースト供給領域Q内のペーストPtは全体として均一化し易く、マスク13上のペースト供給領域Qには、供給量がX軸方向に全体として均一化されたペースト供給体PB(図10)が形成される。   As can be seen from FIGS. 11 (a), 11 (b), and 11 (c), the amount of the paste Pt is locally increased in the paste supply region Q on the mask 13 both when the syringe 16 moves forward and when it moves backward. There is no place to increase. Further, since the profile of the discharge operation in which the syringe 16 discharges the paste Pt in the forward path of the reciprocating movement region R and the profile of the discharge operation in which the paste Pt is discharged in the return path of the reciprocating movement region R are the same, the syringe 16 The distribution in the X-axis direction of the paste Pt supplied to the paste supply region Q by 16 is symmetric with respect to the center position CT of the paste supply region Q in the X-axis direction. Therefore, the paste Pt in the paste supply area Q is easily uniformed as a whole, and the paste supply body PB (FIG. 10) in which the supply amount is uniformized in the X-axis direction as a whole in the paste supply area Q on the mask 13. It is formed.

次に、図12と図13のフローチャート及び図14〜図18の説明図を加えてスクリーン印刷機1によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する。ここで、図12はスクリーン印刷機1が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すメインルーチンのフローチャートであり、図13はメインルーチンの中の一工程のサブルーチンのフローチャートである。   Next, the execution procedure of the screen printing operation by the screen printer 1 will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 12 and 13 and the explanatory diagrams of FIGS. Here, FIG. 12 is a flowchart of a main routine showing the flow of the screen printing process executed by the screen printer 1, and FIG. 13 is a flowchart of a subroutine of one process in the main routine.

スクリーン印刷機1の制御装置50は、スクリーン印刷作業を行う場合、先ず、基板搬入コンベア27とコンベア部23を連動作動させ、スクリーン印刷機1の上流側に設置された他の装置から送られてきた基板2をスクリーン印刷機1内に搬入したうえで、基板2をコンベア部23上の印刷作業実行位置に静止させる(図14(a)。図12に示すステップST1の基板搬入工程)。   When the screen printing operation is performed, the control device 50 of the screen printing machine 1 first sends the substrate carry-in conveyor 27 and the conveyor unit 23 in conjunction with each other and is sent from another device installed on the upstream side of the screen printing machine 1. After the substrate 2 is carried into the screen printing machine 1, the substrate 2 is stopped at the printing work execution position on the conveyor unit 23 (FIG. 14 (a). The substrate carrying-in step of step ST1 shown in FIG. 12).

制御装置50は、ステップST1の基板搬入工程が終了したら、前後のクランプ部材26を閉作動させて、コンベア部23上の基板2をY軸方向からクランプする(図14(b)。図中に示す矢印A1)。そして、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット25を上昇させる(図14(c)中に示す矢印B1)。   When the substrate carrying-in process in step ST1 is completed, the control device 50 closes the front and rear clamping members 26 and clamps the substrate 2 on the conveyor unit 23 from the Y-axis direction (FIG. 14B). Arrow A1) shown. Then, the lower receiving unit 25 is raised while the lifting table 22a is positioned at the lowered position with respect to the base table 21d (arrow B1 shown in FIG. 14C).

制御装置50は、下受けユニット25を上昇させることによって、下受けユニット25の下受けピン25aを基板2中央部の下面に下方から当接させて基板2を上方に押し上げ、基板2の両端部を前後のベルトコンベア23bから上方に離間させつつ、基板2の両端部(両端面)を前後のクランプ部材26に対して摺動させながら基板2を上方に移動させる。そして、基板2の上面の高さがクランプ部材26の上面と同じ高さになったところで下受けユニット25の上昇を停止させる。これにより基板2は基板保持部24によって保持された状態となる(図14(c)。図12に示すステップST2の基板保持工程)。   The control device 50 raises the lower receiving unit 25 to bring the lower receiving pin 25a of the lower receiving unit 25 into contact with the lower surface of the central portion of the substrate 2 from below to push the substrate 2 upward. Is moved upward from the front and rear belt conveyors 23b, and the substrate 2 is moved upward while sliding both end portions (both end surfaces) of the substrate 2 with respect to the front and rear clamp members 26. And when the height of the upper surface of the board | substrate 2 becomes the same height as the upper surface of the clamp member 26, the raise of the receiving unit 25 is stopped. As a result, the substrate 2 is held by the substrate holder 24 (FIG. 14C). The substrate holding step of step ST2 shown in FIG.

制御装置50は、ステップST2の基板保持工程が終了したら、カメラ移動機構54の作動制御を行い、X軸ステージ35をY軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ36をX軸方向に移動させることによって、第1カメラ15aを基板2に設けられた基板側位置合わせ用マークmkの直上に位置させる。そして、第1カメラ15aに基板側位置合わせ用マークmkの撮像を行わせてその画像データを取得し、基板2の位置を検出する(図15(a)。図12に示すステップST3の基板位置検出工程)。また制御装置50は、第2カメラ15bをマスク13に設けられたマスク側位置合わせ用マークMKの直下に位置させ、第2カメラ15bにマスク側位置合わせ用マークMKの撮像を行わせることによってその画像データを取得し、マスク13の位置を検出する(図15(b)。図12に示すステップST4のマスク位置検出工程)。   When the substrate holding process in step ST2 is completed, the control device 50 controls the operation of the camera moving mechanism 54, moves the X-axis stage 35 in the Y-axis direction, and moves the camera support stage 36 in the X-axis direction. Thus, the first camera 15a is positioned immediately above the substrate-side alignment mark mk provided on the substrate 2. Then, the first camera 15a is caused to image the substrate side alignment mark mk to acquire the image data, and the position of the substrate 2 is detected (FIG. 15 (a). Substrate position of step ST3 shown in FIG. 12). Detection step). Further, the control device 50 positions the second camera 15b immediately below the mask side alignment mark MK provided on the mask 13, and causes the second camera 15b to capture the mask side alignment mark MK. Image data is acquired, and the position of the mask 13 is detected (FIG. 15B) (mask position detection step of step ST4 shown in FIG. 12).

制御装置50は、ステップST4のマスク位置検出工程が終了したら、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21の作動制御を行って基板保持部24により保持した基板2を水平面内方向に移動させ、基板側位置合わせ用マークmkとマスク側位置合わせ用マークMKが上下に対向するようにして、マスク13に対する基板2の水平面内方向の位置合わせを行う(図12に示すステップST5の位置合わせ工程)。   When the mask position detection step of step ST4 is completed, the control device 50 performs the operation control of the horizontal moving unit 21 provided in the substrate holding and moving unit 12 to move the substrate 2 held by the substrate holding unit 24 in the horizontal plane direction, The substrate 2 alignment mark mk and the mask side alignment mark MK are vertically opposed so as to align the substrate 2 with respect to the mask 13 in the horizontal plane (alignment step of step ST5 shown in FIG. 12). .

制御装置50は、ステップST5の位置合わせ工程が終了したら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して上昇させることにより(図15(c)中に示す矢印C1)、基板2の上面(被印刷面)と両クランプ部材26の上面をマスク13の下方に接触させる(図15(c)。図12に示すステップST6の接触工程)。これにより基板2の電極3とマスク13の開口部13aとが合致し、基板2はスキージ14によるペーストPtの転写作業が行われる位置に位置した状態となる。   When the alignment process in step ST5 is completed, the control device 50 raises the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow C1 shown in FIG. 15C), whereby the upper surface of the substrate 2 (printed surface). ) And the upper surfaces of the clamp members 26 are brought into contact with the lower side of the mask 13 (FIG. 15C) (contacting step ST6 shown in FIG. 12). As a result, the electrode 3 of the substrate 2 and the opening 13a of the mask 13 are matched, and the substrate 2 is in a state where the transfer operation of the paste Pt by the squeegee 14 is performed.

制御装置50は、上記の接触工程が終了したら、これから前方のスキージ14により摺動を行うのか否かの判断を行う(図12に示すステップST7の摺動スキージ判断工程)。制御装置50はこの摺動スキージ判断工程で、これから前方のスキージ14による摺動を行うと判断した場合には、現在ペースト高さ記憶部61に記憶されている、マスク13上のペーストPtの高さhが所定高さHを下回っているか否かの情報に基づいて、現在のマスク13上のペーストPtの量(以下、ペースト量と称する)が十分であるか否かの判断を行う(図12に示すステップST8のペースト量判断工程)。   When the above contact process is completed, the control device 50 determines whether or not to slide with the front squeegee 14 (sliding squeegee determination process in step ST7 shown in FIG. 12). In this sliding squeegee judgment step, when it is judged that the control device 50 will slide by the front squeegee 14, the height of the paste Pt on the mask 13 currently stored in the paste height storage unit 61 is determined. Based on the information whether or not the height h is below a predetermined height H, it is determined whether or not the current amount of paste Pt on the mask 13 (hereinafter referred to as paste amount) is sufficient (see FIG. Step ST8 paste amount determination step shown in FIG.

このペースト量判断工程では、現在ペースト高さ記憶部61にペーストPtの高さhが所定高さHを下回っている旨の情報が記憶されているときにはペースト量が十分でない(不足している)と判断し、現在ペースト高さ記憶部61に記憶されているペーストPtの高さhが所定高さH以上である旨の情報が記憶されているときにはペースト量が十分であると判断する。   In this paste amount determination step, when the paste height storage unit 61 stores information indicating that the height h of the paste Pt is lower than the predetermined height H, the paste amount is not sufficient (insufficient). If the information indicating that the height h of the paste Pt currently stored in the paste height storage unit 61 is greater than or equal to the predetermined height H is stored, it is determined that the amount of paste is sufficient.

制御装置50は、上記ペースト量判断工程においてペースト量が十分でない判断したときには、シリンジ16によるマスク13上へのペーストPtの供給を行う(図16(a)。図12に示すステップST9のペースト供給工程)。   When determining that the paste amount is not sufficient in the paste amount determining step, the control device 50 supplies the paste Pt onto the mask 13 by the syringe 16 (FIG. 16A) .Paste supply in step ST9 shown in FIG. Process).

ステップST9のペースト供給工程では、制御装置50は、図13のサブルーチンに示すように、先ず、時間データ記憶部63から、現在スクリーン印刷を行っている基板2の種類に応じた時間データ(所定時間T1及び所定時間T2のデータ)を取得する(図13に示すステップST21の時間データ取得工程)。   In the paste supply process of step ST9, as shown in the subroutine of FIG. 13, the control device 50 firstly stores time data (predetermined time) from the time data storage unit 63 according to the type of the substrate 2 currently performing screen printing. (Data of T1 and predetermined time T2) is acquired (time data acquisition step of step ST21 shown in FIG. 13).

制御装置50は、ステップST21で時間データを取得したら、シリンジ16のノズル部16aを張り出し位置に張り出させる(図13に示すステップST22のノズル部張り出し工程)。そして、現在、第1リミットスイッチLS1がオンになっているかどうかの判定を行う(図13に示すステップST23の第1リミットスイッチ判定工程)。これは、現在、シリンジ16が往復移動領域Rの基準位置P1に位置した状態となっているかどうかを調べるものであり、第1リミットスイッチLS1がオンになっていないことを検知した場合には、制御装置50は入出力装置64を介してオペレータOPにエラー報知を行う(図13に示すステップST24のエラー報知工程)。一方、制御装置50は、ステップST23で、現在、第1リミットスイッチLS1がオンになっていることを検知した場合には、シリンジ移動モータ46の作動制御を行って、シリンジ16の折り返し位置P2へ向けての移動を開始させる(図13に示すステップST25のシリンジ移動開始工程)。   After acquiring the time data in step ST21, the control device 50 causes the nozzle portion 16a of the syringe 16 to protrude to the protruding position (nozzle portion extending step of step ST22 shown in FIG. 13). Then, it is determined whether or not the first limit switch LS1 is currently turned on (first limit switch determination step of step ST23 shown in FIG. 13). This is to check whether the syringe 16 is currently in a state of being positioned at the reference position P1 of the reciprocating movement region R. When it is detected that the first limit switch LS1 is not turned on, The control device 50 notifies the operator OP of an error via the input / output device 64 (error notification step of step ST24 shown in FIG. 13). On the other hand, when it is detected in step ST23 that the first limit switch LS1 is currently turned on, the control device 50 controls the operation of the syringe movement motor 46 and moves the syringe 16 to the folding position P2. Is started (syringe movement start step of step ST25 shown in FIG. 13).

制御装置50は、ステップST25でシリンジ16の移動を開始させたら、微小時間(例えば数マイクロ秒)間隔で、第1リミットスイッチLS1がオンからオフになったかどうかの判定を行う(図13に示すステップST26の第1リミットスイッチ判定工程)。そして、第1リミットスイッチLS1がオンからオフになったと判定したら、制御装置50は、タイマー62により、第1リミットスイッチLS1がオフになったと判定したときからの経過時間の計測を開始する(図13に示すステップST27の経過時間計測開始工程)。   When the movement of the syringe 16 is started in step ST25, the control device 50 determines whether or not the first limit switch LS1 is turned off from on at intervals of a minute time (for example, several microseconds) (shown in FIG. 13). First limit switch determination step in step ST26). When it is determined that the first limit switch LS1 has been turned off from on, the control device 50 uses the timer 62 to start measuring the elapsed time since it was determined that the first limit switch LS1 has been turned off (FIG. (Elapsed time measurement start step of step ST27 shown in FIG. 13).

制御装置50は、ステップST27で経過時間の計測を開始した後、微小時間間隔で、経過時間の計測開始から所定時間T1が経過したか(経過時間が所定時間T1に到達したか)否かの判定を行う(図13に示すステップST28の時間経過判定工程)。   After starting the measurement of the elapsed time in step ST27, the control device 50 determines whether or not the predetermined time T1 has elapsed from the start of the measurement of the elapsed time at a minute time interval (whether the elapsed time has reached the predetermined time T1). Determination is performed (time elapse determination step of step ST28 shown in FIG. 13).

制御装置50は、ステップST28で経過時間の計測開始から所定時間T1が経過したと判定し、シリンジ16が往路側空気圧供給開始位置Q1に達したことを検知したら、シリンジ16への空気圧の供給を開始する(図13に示すステップST29の空気圧供給開始工程)。これによりシリンジ16によるペーストPtの吐出が開始される。   When the controller 50 determines in step ST28 that the predetermined time T1 has elapsed from the start of measurement of the elapsed time, and detects that the syringe 16 has reached the forward air pressure supply start position Q1, the controller 50 supplies the air pressure to the syringe 16. Start (air pressure supply start step of step ST29 shown in FIG. 13). Thereby, discharge of the paste Pt by the syringe 16 is started.

制御装置50は、ステップST29でシリンジ16への空気圧の供給を開始したら、タイマー62により、シリンジ16への空気圧の供給を開始したときからの経過時間の計測を開始する(図13に示すステップST30の経過時間計測開始工程)。   When starting the supply of air pressure to the syringe 16 at step ST29, the control device 50 starts measuring the elapsed time from when the supply of air pressure to the syringe 16 is started by the timer 62 (step ST30 shown in FIG. 13). Elapse time measurement start process).

制御装置50は、ステップST30で経過時間の計測を開始したら、微小時間間隔で、経過時間の計測開始から所定時間T2が経過したか(経過時間が所定時間T2に到達したか)否かの判定を行う(図13に示すステップST31の時間経過判定工程)。   When starting the measurement of the elapsed time in step ST30, the control device 50 determines whether or not the predetermined time T2 has elapsed from the start of the measurement of the elapsed time at a minute time interval (whether the elapsed time has reached the predetermined time T2). (Time elapse determination step of step ST31 shown in FIG. 13).

制御装置50は、ステップST31で経過時間の計測開始から所定時間T2が経過したと判定したら、シリンジ16への空気圧の供給を停止する(図13に示すステップST32の空気圧供給停止工程)。これによりシリンジ16からのペーストPtの吐出は終了するが、シリンジ16からペーストPtは出続ける。   If it is determined in step ST31 that the predetermined time T2 has elapsed from the start of measurement of the elapsed time, the control device 50 stops the supply of air pressure to the syringe 16 (air pressure supply stop process in step ST32 shown in FIG. 13). Thereby, the discharge of the paste Pt from the syringe 16 is completed, but the paste Pt continues to be discharged from the syringe 16.

制御装置50は、ステップST32でシリンジ16への空気圧の供給を停止したら、微小時間間隔で、第2リミットスイッチLS2がオフからオンになったかどうかの判定を行う(図13に示すステップST33の第2リミットスイッチ判定工程)。そして、制御装置50は、第2リミットスイッチLS2がオフからオンになったと判定し、シリンジ16が往復移動領域Rの折り返し位置P2に達したことを検知したら、シリンジ16の移動を停止させる(図13に示すステップST34のシリンジ移動停止工程)。   When the supply of air pressure to the syringe 16 is stopped in step ST32, the control device 50 determines whether or not the second limit switch LS2 is turned on from the OFF state at a minute time interval (the first step ST33 shown in FIG. 13). 2 limit switch determination step). Then, the control device 50 determines that the second limit switch LS2 has been turned on from off, and stops the movement of the syringe 16 when detecting that the syringe 16 has reached the folding position P2 of the reciprocating movement region R (see FIG. Syringe movement stop step of step ST34 shown in FIG. 13).

制御装置50は、ステップST34でシリンジ16の移動を停止させたら、今度はシリンジ16をそれまでとは逆向き、すなわち、折り返し位置P2から基準位置P1の側へ向けての移動を開始させる(図13に示すステップST35のシリンジ移動開始工程)。   After stopping the movement of the syringe 16 in step ST34, the control device 50 starts the movement of the syringe 16 in the opposite direction, that is, from the folding position P2 toward the reference position P1 (see FIG. Syringe movement start process of step ST35 shown in FIG. 13).

制御装置50は、ステップST35でシリンジ16の移動を開始させたら、微小時間間隔で、第2リミットスイッチLS2がオンからオフになったかどうかの判定を行う(図13に示すステップST36の第2リミットスイッチ判定工程)。そして、制御装置50は、第2リミットスイッチLS2がオンからオフになったと判定したら、タイマー62により、第2リミットスイッチLS2がオフになったと判定したときからの経過時間の計測を開始する(図13に示すステップST37の経過時間計測開始工程)。   When the movement of the syringe 16 is started in step ST35, the control device 50 determines whether or not the second limit switch LS2 has been turned off from the on state at a minute time interval (the second limit of step ST36 shown in FIG. 13). Switch determination step). When the control device 50 determines that the second limit switch LS2 is turned off from on, the control device 50 starts measuring the elapsed time from the time when the timer 62 determines that the second limit switch LS2 is turned off (FIG. Step ST37 elapsed time measurement start step shown in FIG.

制御装置50は、ステップST37で経過時間の計測を開始した後、微小時間間隔で、経過時間の計測開始から所定時間T1が経過したか(経過時間が所定時間T1に到達したか)否かの判定を行う(図13に示すステップST38の時間経過判定工程)。   After starting the elapsed time measurement in step ST37, the control device 50 determines whether or not the predetermined time T1 has elapsed from the start of the elapsed time measurement at a minute time interval (whether the elapsed time has reached the predetermined time T1). Determination is performed (time elapse determination step of step ST38 shown in FIG. 13).

制御装置50は、ステップST38で経過時間の計測開始から所定時間T1が経過したと判定し、シリンジ16が復路側空気圧供給開始位置Q3に達したことを検知したら、シリンジ16への空気圧の供給を開始する(図13に示すステップST39の空気圧供給開始工程)。これによりシリンジ16によるペーストPtの吐出が開始される。   When the control device 50 determines in step ST38 that the predetermined time T1 has elapsed from the start of measurement of the elapsed time and detects that the syringe 16 has reached the return-side air pressure supply start position Q3, the controller 50 supplies air pressure to the syringe 16. Start (air pressure supply start step of step ST39 shown in FIG. 13). Thereby, discharge of the paste Pt by the syringe 16 is started.

制御装置50は、ステップST39でシリンジ16への空気圧の供給を開始したら、タイマー62により、シリンジ16への空気圧の供給を開始したときからの経過時間の計測を開始する(図13に示すステップST40の経過時間計測開始工程)。   When starting the supply of air pressure to the syringe 16 in step ST39, the control device 50 starts measuring the elapsed time from when the supply of air pressure to the syringe 16 is started by the timer 62 (step ST40 shown in FIG. 13). Elapse time measurement start process).

制御装置50は、ステップST40で経過時間の計測を開始したら、微小時間間隔で、経過時間の計測開始から所定時間T2が経過したか(経過時間が所定時間T2に到達したか)否かの判定を行う(図13に示すステップST41の時間経過判定工程)   When starting the measurement of the elapsed time in step ST40, the control device 50 determines whether or not the predetermined time T2 has elapsed from the start of the measurement of the elapsed time at a minute time interval (whether the elapsed time has reached the predetermined time T2). (Time elapse determination step of step ST41 shown in FIG. 13)

制御装置50は、ステップST41で経過時間の計測開始から所定時間T2が経過したと判定したら、シリンジ16への空気圧の供給を停止する(図13に示すステップST42の空気圧供給停止工程)。これによりシリンジ16からのペーストPtの吐出は終了するが、シリンジ16からペーストPtは出続ける。   If it determines with predetermined time T2 having passed since the measurement start of elapsed time by step ST41, the control apparatus 50 will stop supply of the air pressure to the syringe 16 (air pressure supply stop process of step ST42 shown in FIG. 13). Thereby, the discharge of the paste Pt from the syringe 16 is completed, but the paste Pt continues to be discharged from the syringe 16.

制御装置50は、ステップST42でシリンジ16への空気圧の供給を停止したら、微小時間間隔で、第1リミットスイッチLS1がオフからオンになったかどうかの判定を行う(図13に示すステップST43の第1リミットスイッチ判定工程)。そして、制御装置50は、第1リミットスイッチLS1がオフからオンになったと判定し、シリンジ16が往復移動領域Rの基準位置P1に達したことを検知したら、シリンジ16の移動を停止させる(図13に示すステップST44のシリンジ移動停止工程)。これにより、マスク13上のペースト供給領域Qには、供給量がX軸方向に全体として均一化されたペースト供給体PBが形成される。   When the supply of air pressure to the syringe 16 is stopped in step ST42, the control device 50 determines whether or not the first limit switch LS1 has been turned on from off (step ST43 in FIG. 13 shown in FIG. 13). 1 limit switch determination step). Then, the control device 50 determines that the first limit switch LS1 has been turned on from off, and stops the movement of the syringe 16 when detecting that the syringe 16 has reached the reference position P1 of the reciprocating movement region R (FIG. Syringe movement stop step of step ST44 shown in FIG. 13). Thereby, in the paste supply region Q on the mask 13, the paste supply body PB in which the supply amount is uniformed as a whole in the X-axis direction is formed.

制御装置50は、ステップST44でシリンジ16の移動を停止させたら、シリンジ16のノズル部16aを格納する(図13に示すステップST45のノズル部格納工程)。これによりシリンジ16によるペースト供給工程は終了し、不十分な状態となっていたペースト量の回復がなされる。制御装置50は、ステップST45でシリンジ16のノズル部16aを格納したら、メインルーチンに戻る。   When the movement of the syringe 16 is stopped in step ST44, the control device 50 stores the nozzle portion 16a of the syringe 16 (nozzle portion storing step in step ST45 shown in FIG. 13). Thereby, the paste supply process by the syringe 16 is completed, and the amount of paste that has been insufficient is recovered. After storing the nozzle portion 16a of the syringe 16 in step ST45, the control device 50 returns to the main routine.

制御装置50は、ステップST9においてペースト供給工程を実行し終わったとき、ステップST7でこれから後方のスキージ14による摺動を行うと判断したとき、或いはステップST8でペースト量が十分であると判断したときには、前後のスキージ14のうちの一方を下降させて、そのスキージ14の下端をマスク13のクランプ部材26(2つのクランプ部材26のうちの一方)と接触している部分に上方から当接させる(図16(b)。図12に示すステップST10のスキージ当接工程)。   When the control device 50 finishes executing the paste supply process in step ST9, when it is determined in step ST7 that sliding is to be performed by the rear squeegee 14 or when it is determined in step ST8 that the paste amount is sufficient. Then, one of the front and rear squeegees 14 is lowered, and the lower end of the squeegee 14 is brought into contact with the portion of the mask 13 in contact with the clamp member 26 (one of the two clamp members 26) from above (from above). Fig. 16 (b) is a squeegee contact step of step ST10 shown in Fig. 12).

このときマスク13に当接させるスキージ14は、スキージベース37が前方のクランプ部材26の上方に位置しているときには(図16(a))、前方のスキージ14(図16(a),(b)における紙面左側のスキージ14)とし、スキージベース37が後方のクランプ部材26の上方に位置しているときには、後方のスキージ14(図16(a),(b)における紙面右側のスキージ14)とする。   When the squeegee 14 is in contact with the mask 13 at this time, when the squeegee base 37 is positioned above the front clamp member 26 (FIG. 16A), the front squeegee 14 (FIGS. 16A and 16B). When the squeegee base 37 is positioned above the rear clamp member 26, the rear squeegee 14 (the right squeegee 14 in FIGS. 16A and 16B) To do.

制御装置50は、スキージ14をマスク13の上面に当接させたら、スキージベース37を移動させる。ここで、マスク13に当接させたスキージ14が前方のスキージ14であればスキージベース37を後方に移動させ(図17(a)中に示す矢印D1)、マスク13に当接させたスキージ14が後方のスキージ14であればスキージベース37を前方に移動させる(図17(b)中に示す矢印D2)。   The control device 50 moves the squeegee base 37 when the squeegee 14 is brought into contact with the upper surface of the mask 13. Here, if the squeegee 14 in contact with the mask 13 is the front squeegee 14, the squeegee base 37 is moved rearward (arrow D1 shown in FIG. 17A), and the squeegee 14 is in contact with the mask 13. If is the rear squeegee 14, the squeegee base 37 is moved forward (arrow D2 shown in FIG. 17B).

これによりスキージ14はマスク13に対して相対移動(摺動)し、マスク13上のペーストPtはスキージ14のペースト掻き寄せ面で掻き寄せられてマスク13の開口部13a内に押し込まれるので、基板2の電極3上にペーストPtが転写された状態となる(図12に示すステップST11のペースト転写工程)。   As a result, the squeegee 14 moves (slids) relative to the mask 13, and the paste Pt on the mask 13 is scraped by the paste scraping surface of the squeegee 14 and pushed into the opening 13 a of the mask 13. The paste Pt is transferred onto the second electrode 3 (paste transfer step of step ST11 shown in FIG. 12).

制御装置50は、ステップST11のペースト転写工程において、後方のスキージ14によってマスク13の前方にペーストPtを掻き寄せ終わったときには、ペースト高さ検出センサ60からの検出情報に基づいて、後方のスキージ14の前方のペーストPtの高さhが所定高さHを下回っているか否かの判断を行い、その結果をペースト高さ記憶部61に書き込んで(ペースト高さ記憶部61に記憶させて)、次にスクリーン印刷を行う基板2について行うステップST8のときに用いるようにする。   When the paste Pt has been scraped in front of the mask 13 by the rear squeegee 14 in the paste transfer step of step ST11, the control device 50 performs the rear squeegee 14 based on the detection information from the paste height detection sensor 60. It is determined whether the height h of the paste Pt in front of is lower than the predetermined height H, and the result is written in the paste height storage unit 61 (stored in the paste height storage unit 61), Next, it is used at the time of step ST8 performed on the substrate 2 on which screen printing is performed.

制御装置50は、ステップST11のペースト転写工程が終了したら、スキージ14を上昇させて、スキージ14をマスク13から離間させる(図12に示すステップST12のスキージ離間工程)。   When the paste transfer process in step ST11 is completed, the control device 50 raises the squeegee 14 to separate the squeegee 14 from the mask 13 (squeegee separation process in step ST12 shown in FIG. 12).

制御装置50は、ステップST12のスキージ離間工程が終了したら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して下降させ(図18(a)中に示す矢印C2)、マスク13から基板2を離間させる(図18(a))。これにより版離れが行われる(図12に示すステップST13の版離れ工程)。   When the squeegee separation step of step ST12 is completed, the control device 50 lowers the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow C2 shown in FIG. 18A) to separate the substrate 2 from the mask 13 (FIG. 18 (a)). Thus, the plate separation is performed (the plate separation step of step ST13 shown in FIG. 12).

制御装置50は、ステップST13の版離れ工程が終了したら、クランプ部材26を作動させて基板2のクランプを解除したうえで(図18(b)中に示す矢印A2)、下受けユニット25を昇降テーブル22aに対して下降させる(図18(c)中に示す矢印B2)。これにより基板2はコンベア部23上に降ろされて基板保持部24による基板2の保持が解除される(図18(c)。図12に示すステップST14の基板保持解除工程)。   When the plate separating process of step ST13 is completed, the control device 50 operates the clamp member 26 to release the clamp of the substrate 2 (arrow A2 shown in FIG. 18B), and then raises and lowers the lower receiving unit 25. The table 22a is lowered (arrow B2 shown in FIG. 18C). Thereby, the board | substrate 2 is dropped on the conveyor part 23, and holding | maintenance of the board | substrate 2 by the board | substrate holding | maintenance part 24 is cancelled | released (FIG.18 (c). Substrate holding | maintenance cancellation | release process of step ST14 shown in FIG. 12).

制御装置50は、ステップST14の基板保持解除工程が終了したら、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21を作動させ、基板搬出コンベア28に対するコンベア部23の位置調整を行ったうえで、コンベア部23と基板搬出コンベア28を連動作動させ、コンベア部23上の基板2を基板搬出コンベア28に受け渡してそのまま基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(図12に示すステップST15の基板搬出工程)。   When the substrate holding release process of step ST14 is completed, the control device 50 operates the horizontal moving unit 21 included in the substrate holding and moving unit 12 to adjust the position of the conveyor unit 23 with respect to the substrate carry-out conveyor 28, and then the conveyor unit 23 and the substrate carry-out conveyor 28 are operated in an interlocked manner, the substrate 2 on the conveyor unit 23 is transferred to the substrate carry-out conveyor 28, and the substrate 2 is directly carried out of the screen printing machine 1 (the substrate carry-out process of step ST15 shown in FIG. 12). ).

制御装置50は、ステップST15の基板搬出工程が終了したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(図12に示すステップST16の基板有無判断工程)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   When the substrate carry-out process in step ST15 is completed, the control device 50 determines whether there is another substrate 2 to be screen-printed (substrate presence determination process in step ST16 shown in FIG. 12). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing operations. Exit.

スクリーン印刷機1から搬出された基板2は、スクリーン印刷機1の下流側に位置する部品装着機等の他の部品実装用装置(図示せず)に受け渡される。   The substrate 2 carried out from the screen printing machine 1 is delivered to another component mounting apparatus (not shown) such as a component mounting machine located on the downstream side of the screen printing machine 1.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、シリンジ16を往復移動領域Rで往復移動させながらシリンジ16に空気圧を供給することにより、往復移動領域Rの往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク13上に設定されたペースト供給領域QにペーストPtを供給させるシリンジ作動制御手段としての制御装置50と、スキージベース37に対してスキージ14を下降させ、シリンジ16によりペーストPtが供給されたマスク13上にスキージ14を当接させるスキージ下降手段としてのスキージ昇降シリンダ38と、マスク13上にスキージ14が当接された状態でスキージベース37を水平面内方向(Y軸方向)に移動させてスキージ14をマスク13上で摺動させるスキージベース移動手段としてのスキージベース移動機構59を備え、制御装置50は、シリンジ16の往復移動領域Rでの移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジ16がペースト供給領域Qの一端側(往路側空気圧供給開始位置Q1及び復路側空気圧供給開始位置Q3)に達したときにシリンジ16への空気圧の供給を開始し、シリンジ16がペースト供給領域Qの他端側(往路側空気圧供給停止位置Q2及び復路側空気圧供給停止位置Q4)に達する前にシリンジ16への空気圧の供給を停止するようになっている。   As described above, the screen printing machine 1 according to the present embodiment supplies air pressure to the syringe 16 while reciprocating the syringe 16 in the reciprocating movement region R, so that each of the forward path and the returning path of the reciprocating movement region R is provided. The squeegee 14 is lowered with respect to the squeegee base 37 and the control device 50 as the syringe operation control means for supplying the paste Pt to the paste supply area Q set on the mask 13, and the paste Pt is supplied by the syringe 16. The squeegee lifting cylinder 38 as squeegee lowering means for abutting the squeegee 14 on the mask 13 and the squeegee base 37 moved in the horizontal plane direction (Y-axis direction) with the squeegee 14 abutting on the mask 13. A ski as a squeegee base moving means for sliding the squeegee 14 on the mask 13. The control device 50 includes a dibase moving mechanism 59, and the control device 50 is configured so that the syringe 16 is connected to one end side of the paste supply region Q (the outward air pressure supply start position Q1 and the return route) in each of the forward path and the return path of the syringe 16 in the reciprocating movement area R When reaching the side air pressure supply start position Q3), the supply of air pressure to the syringe 16 is started, and the syringe 16 is connected to the other end side of the paste supply area Q (the forward side air pressure supply stop position Q2 and the return side air pressure supply stop position Q4). The supply of air pressure to the syringe 16 is stopped before reaching ().

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、上記本実施の形態におけるスクリーン印刷機1によるスクリーン印刷方法であり、シリンジ16を往復移動領域Rで往復移動させながらシリンジ16に空気圧を供給することにより、往復移動領域Rの往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク13上に設定されたペースト供給領域QにペーストPtを供給させる工程(ステップST9のペースト供給工程)と、スキージベース37に対してスキージ14を下降させ、シリンジ16によりペーストPtが供給されたマスク13上にスキージ14を当接させる工程(ステップST10のスキージ当接工程)と、マスク13上にスキージ14が当接された状態でスキージベース37を水平面内方向(Y軸方向)に移動させてスキージ14をマスク13上で摺動させる工程(ステップST11のペースト転写工程)を含み、シリンジ16によりペースト供給領域QにペーストPtを供給させる工程(ステップST9のペースト供給工程)の実行時、シリンジ16の往復移動領域Rでの移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジ16がペースト供給領域Qの一端側(往路側空気圧供給開始位置Q1及び復路側空気圧供給開始位置Q3)に達したときにシリンジ16への空気圧の供給を開始し、シリンジ16がペースト供給領域Qの他端側(往路側空気圧供給停止位置Q2及び復路側空気圧供給停止位置Q4)に達する前にシリンジ16への空気圧の供給を停止するようになっている。   The screen printing method in the present embodiment is a screen printing method by the screen printer 1 in the present embodiment, and by supplying air pressure to the syringe 16 while reciprocating the syringe 16 in the reciprocating movement region R. In each of the forward path and the backward path of the reciprocating movement area R, the process of supplying the paste Pt to the paste supply area Q set on the mask 13 (paste supply process of step ST9), and the squeegee 14 to the squeegee base 37 A step of lowering and bringing the squeegee 14 into contact with the mask 13 to which the paste Pt has been supplied by the syringe 16 (step S10), and a squeegee base 37 with the squeegee 14 in contact with the mask 13 Is moved in the horizontal plane direction (Y-axis direction), and the squeegee 14 is 13, including the step of sliding on step 13 (paste transfer step of step ST11), and the step of supplying the paste Pt to the paste supply region Q by the syringe 16 (paste supply step of step ST9), the reciprocating region of the syringe 16 In each of the forward path and the backward path of movement in R, when the syringe 16 reaches one end side of the paste supply area Q (the forward path air pressure supply start position Q1 and the return path air pressure supply start position Q3), the air pressure to the syringe 16 is reduced. The supply is started, and the supply of air pressure to the syringe 16 is stopped before the syringe 16 reaches the other end side of the paste supply region Q (the outward side air pressure supply stop position Q2 and the return side air pressure supply stop position Q4). ing.

本実施の形態におけるスクリーン印刷機1及びスクリーン印刷方法では、シリンジ16の往復移動領域Rでの移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジ16がペースト供給領域Qの一端側に達したときにシリンジ16への空気圧の供給を開始し、シリンジ16がペースト供給領域Qの他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止するようになっており、ペースト供給領域Qのうち、上記一端側から空気圧の供給停止の地点まではシリンジ16から吐出されるペーストPtが供給されるが、空気圧の供給停止の地点から上記他端側に至るまでの間の部分には、空気圧が供給されて高圧になったシリンジ16内の圧力が空気圧の供給停止によって低圧(大気圧レベル)に戻るまでの間、シリンジから出続ける分のペーストPtが供給される。このため、シリンジ16への空気圧の供給停止後、シリンジ16から出続ける分のペーストPtがペースト供給領域Qの一部に集中的に供給されてしまう不都合がない。そして、このようなペーストの供給はシリンジの往復移動領域Rの移動の往路及び復路のそれぞれについて行われるので、ペースト供給領域Q内のペーストPtはシリンジ16の往路移動時の供給によるものとシリンジ16の復路移動時の供給によるものとで全体として均一化し易く、マスク13上にペーストPtが不均一に供給されることによる印刷不良の発生を抑えることができる。   In the screen printing machine 1 and the screen printing method in the present embodiment, the syringe 16 reaches the one end side of the paste supply area Q in each of the forward path and the return path of the movement of the syringe 16 in the reciprocating movement area R. The supply of air pressure to the syringe is started and the supply of air pressure to the syringe is stopped before the syringe 16 reaches the other end side of the paste supply region Q. From the one end side of the paste supply region Q, The paste Pt discharged from the syringe 16 is supplied up to the point where the supply of air pressure is stopped, but the portion between the point where the supply of air pressure is stopped and the other end side is supplied with air pressure to increase the pressure. Until the pressure inside the syringe 16 is returned to a low pressure (atmospheric pressure level) by stopping the supply of air pressure, the amount of paste Pt that continues to come out of the syringe is It is fed. For this reason, after the supply of air pressure to the syringe 16 is stopped, there is no inconvenience that the paste Pt that continues to be discharged from the syringe 16 is intensively supplied to a part of the paste supply region Q. Then, since the paste is supplied in each of the forward path and the backward path of the reciprocating movement region R of the syringe, the paste Pt in the paste supply area Q is based on the supply during the forward movement of the syringe 16 and the syringe 16. It is easy to make uniform as a whole by the supply during the return path movement, and it is possible to suppress the occurrence of printing defects due to the non-uniform supply of the paste Pt on the mask 13.

また、本実施の形態では、シリンジ作動制御手段である制御装置50は、シリンジ16への空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジ16への空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定するようになっており、マスク13に対するシリンジ16の位置を検出する必要がないので、ペーストPtの供給システムを安価に構成することができる。もっとも、このようにシリンジ16への空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジ16への空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定する方法は一例であり、マスク13に対するシリンジ16の位置を検出して上記タイミングを決定するようにしても構わない。   Further, in the present embodiment, the control device 50 that is the syringe operation control means determines the timing for stopping the supply of air pressure to the syringe 16 based on the elapsed time from the start of supply of air pressure to the syringe 16. Since there is no need to detect the position of the syringe 16 with respect to the mask 13, the paste Pt supply system can be configured at low cost. However, the method of determining the timing for stopping the supply of air pressure to the syringe 16 based on the elapsed time from the start of supplying air pressure to the syringe 16 is an example, and the position of the syringe 16 with respect to the mask 13 is detected. Then, the timing may be determined.

マスク上にペーストが不均一に供給されることによる印刷不良の発生を抑えることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。   Provided are a screen printing machine and a screen printing method capable of suppressing the occurrence of printing defects due to non-uniform supply of paste on a mask.

1 スクリーン印刷機
2 基板
3 電極
12 基板保持移動ユニット(基板保持移動手段)
13 マスク
13a 開口部
14 スキージ
16 シリンジ
26 クランプ部材
37 スキージベース
38 スキージ昇降シリンダ(スキージ下降手段)
50 制御装置(シリンジ作動制御手段)
59 スキージベース移動機構(スキージベース移動手段)
R 往復移動領域
Q ペースト供給領域
Pt ペースト
1 Screen Printer 2 Substrate 3 Electrode 12 Substrate Holding / Moving Unit (Substrate Holding / Moving Unit)
13 Mask 13a Opening 14 Squeegee 16 Syringe 26 Clamp Member 37 Squeegee Base 38 Squeegee Lifting Cylinder (Squeegee Lowering Unit)
50 Control device (syringe operation control means)
59 Squeegee base moving mechanism (squeegee base moving means)
R reciprocating movement area Q paste supply area Pt paste

Claims (4)

基板上の電極の配置に応じた複数の開口部を有するマスクと、
一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、
マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、
スキージベースの移動方向と直交する水平面内方向に延び、スキージベースの下方で昇降されるスキージと、
基板保持移動手段によりマスクに接触された基板のスキージの延びる方向の両端を含むように設定された往復移動領域で移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてペーストの吐出を行うシリンジと、
シリンジを往復移動領域で往復移動させながらシリンジに空気圧を供給することにより、往復移動領域の往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク上に設定されたペースト供給領域にペーストを供給させるシリンジ作動制御手段と、
スキージベースに対してスキージを下降させ、シリンジによりペーストが供給されたマスク上にスキージを当接させるスキージ下降手段と、
マスク上にスキージが当接された状態でスキージベースを水平面内方向に移動させてスキージをマスク上で摺動させるスキージベース移動手段とを備え、
シリンジ作動制御手段は、シリンジの往復移動領域での移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジがペースト供給領域の一端側に達したときにシリンジへの空気圧の供給を開始し、シリンジがペースト供給領域の他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止することを特徴とするスクリーン印刷機。
A mask having a plurality of openings according to the arrangement of the electrodes on the substrate;
A substrate holding and moving means for raising the substrate in a state where the substrate is clamped by a pair of clamp members, and bringing the upper surface of the substrate into contact with the lower surface of the mask so that the electrode on the substrate matches the opening of the mask;
A squeegee base that is moved in the horizontal plane above the mask;
A squeegee that extends in a horizontal plane direction orthogonal to the moving direction of the squeegee base and is raised and lowered below the squeegee base;
A syringe that is movably provided in a reciprocating region set to include both ends of the substrate squeegee extending direction that is in contact with the mask by the substrate holding and moving means, and that discharges paste by receiving air pressure;
Syringe operation control means for supplying the paste to the paste supply area set on the mask in each of the forward path and the return path of the reciprocation area by supplying air pressure to the syringe while reciprocating the syringe in the reciprocation area;
Squeegee lowering means for lowering the squeegee with respect to the squeegee base and bringing the squeegee into contact with the mask supplied with the paste by a syringe;
Squeegee base moving means for sliding the squeegee on the mask by moving the squeegee base in a horizontal plane while the squeegee is in contact with the mask,
The syringe operation control means starts supplying air pressure to the syringe when the syringe reaches one end side of the paste supply area in each of the forward path and the return path of the movement in the reciprocating movement area of the syringe. A screen printing machine characterized in that the supply of air pressure to the syringe is stopped before reaching the other end of the screen.
シリンジ作動制御手段は、シリンジへの空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジへの空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定することを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷機。   The screen printing machine according to claim 1, wherein the syringe operation control means determines the timing of stopping the supply of air pressure to the syringe based on the elapsed time from the start of supplying air pressure to the syringe. 基板上の電極の配置に応じた複数の開口部を有するマスクと、一対のクランプ部材により基板をクランプした状態で基板を上昇させ、基板上の電極とマスクの開口部とが合致するように基板の上面をマスクの下面に接触させる基板保持移動手段と、マスクの上方で水平面内方向に移動されるスキージベースと、スキージベースの移動方向と直交する水平面内方向に延び、スキージベースの下方で昇降されるスキージと、基板保持移動手段によりマスクに接触された基板のスキージの延びる方向の両端を含むように設定された往復移動領域で移動自在に設けられ、空気圧の供給を受けてペーストの吐出を行うシリンジとを備えたスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、
シリンジを往復移動領域で往復移動させながらシリンジに空気圧を供給することにより、往復移動領域の往路及び復路のそれぞれにおいて、マスク上に設定されたペースト供給領域にペーストを供給させる工程と、
スキージベースに対してスキージを下降させ、シリンジによりペーストが供給されたマスク上にスキージを当接させる工程と、
マスク上にスキージが当接された状態でスキージベースを水平面内方向に移動させてスキージをマスク上で摺動させる工程とを含み、
シリンジによりペースト供給領域にペーストを供給させる工程の実行時、シリンジの往復移動領域での移動の往路及び復路のそれぞれにおいて、シリンジがペースト供給領域の一端側に達したときにシリンジへの空気圧の供給を開始し、シリンジがペースト供給領域の他端側に達する前にシリンジへの空気圧の供給を停止することを特徴とするスクリーン印刷方法。
A substrate having a plurality of openings according to the arrangement of electrodes on the substrate and a substrate clamped by a pair of clamp members, the substrate is raised, and the substrate on the substrate and the mask openings are aligned. The substrate holding and moving means for bringing the upper surface of the substrate into contact with the lower surface of the mask, the squeegee base moved in the horizontal plane above the mask, and extending in the horizontal plane perpendicular to the moving direction of the squeegee base, and moved up and down below the squeegee base And a reciprocating movement region set to include both ends of the squeegee extending in the direction in which the squeegee extends in contact with the mask by the substrate holding and moving means. A screen printing method by a screen printing machine equipped with a syringe to perform,
Supplying air pressure to the syringe while reciprocating the syringe in the reciprocating movement region, thereby supplying the paste to the paste supply region set on the mask in each of the forward path and the return path of the reciprocating movement area;
Lowering the squeegee with respect to the squeegee base and bringing the squeegee into contact with the mask supplied with the paste by a syringe;
Moving the squeegee base in a horizontal plane direction while the squeegee is in contact with the mask, and sliding the squeegee on the mask.
Supplying air pressure to the syringe when the syringe reaches one end side of the paste supply area in each of the forward path and the return path of the movement in the reciprocating movement area of the syringe during the process of supplying the paste to the paste supply area by the syringe The screen printing method is characterized in that supply of air pressure to the syringe is stopped before the syringe reaches the other end side of the paste supply region.
シリンジによりペースト供給領域にペーストを供給させる工程の実行時、シリンジへの空気圧の供給を停止するタイミングを、シリンジへの空気圧の供給開始からの経過時間に基づいて決定することを特徴とする請求項3に記載のスクリーン印刷方法。   The timing for stopping the supply of air pressure to the syringe during execution of the step of supplying the paste to the paste supply region by the syringe is determined based on the elapsed time from the start of supplying the air pressure to the syringe. 4. The screen printing method according to 3.
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