JP5471860B2 - Screen printing machine - Google Patents

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Description

本発明は、マスクを介して基板にペーストを転写させるスクリーン印刷機に関するものである。 The present invention relates to a screen printing machine for transferring the paste to the substrate through a mask.

スクリーン印刷機は、基板にマスクを接触させた後、マスクに上方から当接させたスキージを水平面内方向に移動させることにより、マスク上に供給されたペーストをスキージのペースト掻き寄せ面で掻き寄せて基板にペーストを転写させるようになっている。このようなスクリーン印刷機では、基板へのペーストの転写後のスキージをマスクから上昇させたときに、スキージのペースト掻き寄せ面に付着したペーストがマスク側に倒れこんでエアーを巻き込むことがある。このため、従来、スキージの両端部に設けられた一対の壁状部材に対して上下面内で旋回自在に設けた一対の旋回部材にワイヤを水平に掛け渡し、これら一対の旋回部材を壁状部材に対して旋回させることにより、スキージのペースト掻き寄せ面に対してワイヤを相対移動させてペースト掻き寄せ面に付着したペーストをスキージから除去するようにしたクリーニング装置を備えたスクリーン印刷機が知られている(例えば、特許文献1)。   The screen printing machine, after bringing the mask into contact with the substrate, moves the squeegee that is in contact with the mask from above in the horizontal plane direction, so that the paste supplied on the mask is scraped by the paste scraping surface of the squeegee. The paste is transferred to the substrate. In such a screen printing machine, when the squeegee after transferring the paste to the substrate is lifted from the mask, the paste adhering to the squeegee's paste scraping surface may fall to the mask side and entrain air. For this reason, conventionally, a pair of swivel members provided on both ends of the squeegee are pivoted in a vertical manner on a pair of wall-like members, and the wires are horizontally routed. 2. Description of the Related Art A screen printing machine equipped with a cleaning device is known in which a wire is moved relative to a scraping surface of a squeegee to remove the paste adhering to the scraping surface of the squeegee from the squeegee. (For example, Patent Document 1).

特開2006−281786号公報JP 2006-281786 A

しかしながら、上記クリーニング装置を備えたスクリーン印刷機では、ワイヤは一対の旋回部材の旋回軸を中心にした弧状軌道上で移動するため、ワイヤによるペーストの除去範囲をスキージのペースト掻き寄せ面の全体に設定することは困難であり、スキージからのペーストの除去を十分に行うことができないという問題点があった。   However, in the screen printing machine equipped with the cleaning device, the wire moves on an arc-shaped track centering on the pivot axis of the pair of pivot members, so that the range of paste removal by the wire can be applied to the entire scraping surface of the squeegee. It is difficult to set, and there is a problem that the paste cannot be sufficiently removed from the squeegee.

そこで本発明は、スキージからのペーストの除去を十分に行うことができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a screen printing machine that can sufficiently remove the paste from the squeegee.

請求項1に記載のスクリーン印刷機は、基板に接触されるマスクと、基板に接触された前記マスクに上方から当接した状態で水平面内方向に移動することにより、前記マスク上に供給されたペーストをペースト掻き寄せ面で掻き寄せて基板にペーストを転写させるスキージと、前記スキージの前記ペースト掻き寄せ面と対向する位置に水平方向に延びて設けられたスキージ対向部材と、基板へのペーストの転写を終えた後、前記スキージが前記マスクに対して上昇することにより、スキージ対向部材が前記スキージの前記ペースト掻き寄せ面に接触又は近接した状態で前記ペースト掻き寄せ面に対して相対的に下動するように前記スキージ対向部材を案内する案内機構とを備え、前記案内機構は、前記スキージの両端部に設けられた一対の壁状部材と、前記スキージ対向部材の両端部を保持する一対の保持部材と、前記一対の壁状部材に前記スキージの前記ペースト掻き寄せ面に沿って形成されて前記一対の保持部材を移動自在に支持し、基板へのペーストの転写を終えた前記スキージが前記マスクに対して上昇することにより、前記スキージ対向部材が前記スキージの前記ペースト掻き寄せ面に接触又は近接した状態で前記ペースト掻き寄せ面に対して相対的に下動するように前記一対の保持部材を案内する一対の案内溝とを備え、前記各保持部材は、前記スキージが前記マスクに対して上昇することで前記案内溝内を壁状部材に対して相対的に下降して前記スキージ対向部材を前記各案内溝の下端部側へ移動させるようになっており、前記各保持部材は、前記スキージが前記マスクに当接した状態で外周縁を前記マスクに接触させることにより、前記スキージ対向部材を前記各案内溝の下端部よりも上方に位置させる円盤部を備えた。 The screen printing machine according to claim 1, wherein the screen printing machine is supplied onto the mask by moving in a horizontal plane in a state of being in contact with the mask in contact with the substrate and the mask in contact with the substrate from above. A squeegee that scrapes the paste on the paste scraping surface to transfer the paste to the substrate, a squeegee facing member that extends in a horizontal direction at a position facing the paste scraping surface of the squeegee, and a paste for the substrate After the transfer is completed, the squeegee rises with respect to the mask, so that the squeegee-facing member is lowered relative to the paste scraping surface in a state where the squeegee facing member is in contact with or close to the paste scraping surface of the squeegee. and a guide mechanism for guiding the squeegee facing member to motion, the guide mechanism includes a pair of walls provided at both ends of the squeegee A pair of holding members that hold both ends of the member, the squeegee-facing member, and the pair of wall-like members formed along the paste scraping surface of the squeegee to support the pair of holding members movably The squeegee that has finished transferring the paste to the substrate rises with respect to the mask, so that the squeegee-facing member comes into contact with or close to the paste scraping surface of the squeegee. A pair of guide grooves that guide the pair of holding members so as to move downward relative to each other, and the holding members move in the guide grooves as the squeegee rises with respect to the mask. The squeegee-facing member is moved downward relative to the shaped member to move the squeegee-facing member toward the lower end side of each guide groove. By contacting the outer peripheral edge to said mask in contact with the click, with a disc portion to be positioned above the lower end portion of the squeegee opposite member each guide groove.

請求項に記載のスクリーン印刷機は、請求項に記載のスクリーン印刷機であって、前記一対の壁状部材は、前記スキージにより基板にペーストを転写させているとき、前記スキージの前記ペースト掻き寄せ面の両端部からペーストが漏れ出ることを防止するペースト漏れ止め部材から成る。 The screen printing machine according to claim 2 is the screen printing machine according to claim 1 , wherein the pair of wall-shaped members transfer the paste to the substrate by the squeegee, and the paste of the squeegee It consists of a paste leakage prevention member that prevents the paste from leaking out from both ends of the scraping surface.

本発明では、基板へのペーストの転写を終えた後、スキージがマスクに対して上昇することにより、スキージのペースト掻き寄せ面と対向する位置に水平方向に延びて設けられたスキージ対向部材がスキージのペースト掻き寄せ面に接触又は近接した状態でペースト掻き寄せ面に対して相対的に下動するようになっているので、スキージ対向部材によるペーストの除去範囲をスキージのペースト掻き寄せ面の全体に設定することができ、スキージからのペーストの除去を十分に行うことができる。ここで各保持部材は、スキージがマスクに当接した状態で外周縁をマスクに接触させることにより、スキージ対向部材を各案内溝の下端部よりも上方に位置させる円盤部を備えているので、円盤部の半径を調整することによって、ペーストの除去範囲を容易に設定することができる。 In the present invention, after the transfer of the paste to the substrate is completed, the squeegee is lifted with respect to the mask, so that the squeegee facing member provided extending in the horizontal direction at a position facing the paste scraping surface of the squeegee is provided. The paste removal range by the squeegee-facing member is extended to the entire paste scraping surface of the squeegee. The paste can be sufficiently removed from the squeegee. Here, each holding member includes a disk portion that positions the squeegee-facing member above the lower end of each guide groove by bringing the outer peripheral edge into contact with the mask while the squeegee is in contact with the mask. By adjusting the radius of the disk portion, the paste removal range can be easily set.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図The front view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに設置されたマスクの平面図The top view of the mask installed in the mask holder with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is equipped, and the mask holder (a)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの斜視図(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの一部分解斜視図(A) Perspective view of a squeegee included in a screen printer according to an embodiment of the present invention (b) Partially exploded perspective view of a squeegee included in a screen printer according to an embodiment of the present invention (a)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの側面図(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの一部断面正面図(A) Side view of a squeegee included in a screen printer according to an embodiment of the present invention (b) Partial cross-sectional front view of a squeegee included in a screen printer according to an embodiment of the present invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの部分拡大側面図(A) (b) The partial expanded side view of the squeegee with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の実行手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the execution procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) (c) Operation explanatory diagram of the screen printer in one embodiment of the present invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの部分拡大側面図(A) (b) The partial expanded side view of the squeegee with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) (c) Operation explanatory diagram of the screen printer in one embodiment of the present invention

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1、図2及び図3に示すスクリーン印刷機1は、実装基板生産用の電子部品実装ラインを構成する電子部品実装用装置の一種であり、基板2を搬入してその基板2の表面に設けられた電極3上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストPst(図3参照)を転写するスクリーン印刷を行った後、その基板2を下流側の電子部品実装機(図示せず)等に搬出する動作を連続実行するものである。以下、説明の便宜上、このスクリーン印刷機1における基板2の搬送方向をX軸方向(図1の紙面左右方向)、X軸方向と直交する水平面内方向をY軸方向(図1の紙面上下方向)とし、上下方向をZ軸方向とする。また、Y軸方向をスクリーン印刷機1の前後方向、X軸方向をスクリーン印刷機1の横(左右)方向とする。更に、前後方向のうち、スクリーン印刷機1のオペレータOP(図1)がスクリーン印刷機1に対して作業を行う側(図1の紙面下方)をスクリーン印刷機1の前方、その反対側(図1の紙面上方)をスクリーン印刷機1の後方とする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A screen printing machine 1 shown in FIGS. 1, 2 and 3 is a kind of electronic component mounting apparatus constituting an electronic component mounting line for mounting substrate production. A substrate 2 is carried in and placed on the surface of the substrate 2. After performing screen printing for transferring a paste Pst (see FIG. 3) such as a solder paste or a conductive paste onto the provided electrode 3, the substrate 2 is transferred to an electronic component mounting machine (not shown) on the downstream side. The operation to carry out is executed continuously. Hereinafter, for convenience of explanation, the transport direction of the substrate 2 in the screen printing machine 1 is the X axis direction (left and right direction in FIG. 1), and the horizontal direction perpendicular to the X axis direction is the Y axis direction (up and down direction in FIG. 1). ) And the vertical direction is the Z-axis direction. The Y-axis direction is the front-rear direction of the screen printing machine 1 and the X-axis direction is the horizontal (left-right) direction of the screen printing machine 1. Further, in the front-rear direction, the operator OP (FIG. 1) of the screen printing machine 1 performs the operation on the screen printing machine 1 (below the paper surface in FIG. 1) is the front side of the screen printing machine 1, and the opposite side (see FIG. 1). 1) is the rear side of the screen printer 1.

図1、図2及び図3において、スクリーン印刷機1は、基台11上に設けられた基板保持移動ユニット12、基板保持移動ユニット12の基板2の搬送方向(X軸方向)の上流側(図1の紙面左側)に設けられた基板搬入コンベア13、基板保持移動ユニット12の基板2の搬送方向の下流側(図1の紙面右側)に設けられた基板搬出コンベア14、基板保持移動ユニット12の上方に設けられた金属製の薄板材料から成るプレート状のマスク15、前後一対のスキージ16及びカメラユニット17を備えている。   1, 2, and 3, the screen printing machine 1 includes a substrate holding / moving unit 12 provided on a base 11, and an upstream side of the substrate holding / moving unit 12 in the conveyance direction (X-axis direction) of the substrate 2 ( The substrate carry-in conveyor 13 provided on the left side of the paper in FIG. 1 and the substrate carry-out conveyor 14 provided on the downstream side (right side of the paper in FIG. 1) of the substrate holding and moving unit 12 in the transport direction of the substrate 2. A plate-shaped mask 15 made of a metal thin plate material, a pair of front and rear squeegees 16 and a camera unit 17 are provided.

図2及び図3において、基板保持移動ユニット12は、水平移動部21、昇降部22、コンベア部23、下受け部24及び基板保持部25から成る。   2 and 3, the substrate holding and moving unit 12 includes a horizontal moving unit 21, an elevating unit 22, a conveyor unit 23, a lower receiving unit 24, and a substrate holding unit 25.

図2及び図3において、水平移動部21は、Yテーブル駆動モータMyの作動によって基台11に対してY軸方向に移動するYテーブル21a、Xテーブル駆動モータMxの作動によってYテーブル21aに対してX軸方向に移動するXテーブル21b、Xテーブル21bに対してZ軸回りに回転するθテーブル21c、θテーブル21cの上面に固定されたベーステーブル21d及びベーステーブル21dの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド21eから成る。   2 and 3, the horizontal moving unit 21 moves to the Y table 21a that moves in the Y-axis direction with respect to the base 11 by the operation of the Y table drive motor My, and to the Y table 21a by the operation of the X table drive motor Mx. The X table 21b that moves in the X axis direction, the θ table 21c that rotates around the Z axis with respect to the X table 21b, the base table 21d that is fixed to the upper surface of the θ table 21c, and the upper surface of the base table 21d that extends upward It consists of a plurality of lift table guides 21e provided.

図2及び図3において、昇降部22は、水平移動部21の複数の昇降テーブルガイド21eにガイドされてベーステーブル21dに対して昇降する昇降テーブル22a、昇降テーブル22aの上面から上方に延びて設けられた複数の下受け部昇降ガイド22b及び昇降テーブル22aの上面に設けられた前後の昇降フレーム22cから成る。   2 and 3, the elevating unit 22 is provided so as to extend upward from the upper surface of the elevating table 22a and the elevating table 22a which are guided by a plurality of elevating table guides 21e of the horizontal moving unit 21 and elevate with respect to the base table 21d. The upper and lower elevating frames 22c are provided on the upper surface of the plurality of lower receiving portion elevating guides 22b and the elevating table 22a.

図3において、コンベア部23は昇降フレーム22cに支持されて昇降テーブル22aとともにベーステーブル21dに対して昇降する前後一対のベルトコンベア支持部材23aと、各ベルトコンベア支持部材23aに支持されてX軸方向に送り動作をする前後一対のベルトコンベア23bから成り、これら前後のベルトコンベア23bが同期して作動することにより、基板2のX軸方向への搬送がなされる。   In FIG. 3, the conveyor unit 23 is supported by a lifting frame 22c and is supported by a pair of front and rear belt conveyor support members 23a that moves up and down with respect to the base table 21d together with the lifting table 22a, and is supported by each belt conveyor support member 23a. A pair of front and rear belt conveyors 23b that perform a feeding operation to each other, and the front and rear belt conveyors 23b operate synchronously, whereby the substrate 2 is transported in the X-axis direction.

図2及び図3において、下受け部24は、コンベア部23の下方において、下受け部昇降ガイド22bにガイドされて昇降する下受けユニット支持テーブル24a及び下受けユニット支持テーブル24aの上面に設けられた下受けユニット24bから成る。下受けユニット24bは上方に延びて設けられた複数のピン部材24c(図2)を有しており、下受けユニット支持テーブル24aと一体となって昇降テーブル22aに対して昇降し、複数のピン部材24cの上端を、前後のベルトコンベア23bによって両端部が支持された基板2の下面に下方から接触させてその基板2を支持する。   2 and 3, the lower receiving portion 24 is provided below the conveyor portion 23 on the upper surfaces of the lower receiving unit support table 24a and the lower receiving unit support table 24a which are guided by the lower receiving portion lifting guide 22b. And a receiving unit 24b. The lower receiving unit 24b has a plurality of pin members 24c (FIG. 2) provided so as to extend upward. The lower receiving unit 24b moves up and down with respect to the lifting table 22a integrally with the lower receiving unit support table 24a. The upper end of the member 24c is brought into contact with the lower surface of the substrate 2 supported at both ends by the front and rear belt conveyors 23b from below to support the substrate 2.

図3において、基板保持部25は、前後のベルトコンベア支持部材23aそれぞれの上部にY軸方向に移動自在に設けられた前後一対のクランプ部材25aから成る(図1も参照)。これら前後のクランプ部材25aは、昇降フレーム22cに取り付けられたクランプ部材作動モータ26(図3)を作動させることにより、図示しないリンク機構を介して互いに反対の方向に(すなわちY軸方向に開閉する方向に)移動させることができ、前後のベルトコンベア23bによって両端部が支持された基板2をその搬送方向を基準とした場合の幅方向(Y軸方向)からクランプして保持し、またその保持の解除をすることができる。   In FIG. 3, the substrate holding part 25 is composed of a pair of front and rear clamp members 25a provided on the upper portions of the front and rear belt conveyor support members 23a so as to be movable in the Y-axis direction (see also FIG. 1). These front and rear clamp members 25a open and close in opposite directions (that is, in the Y-axis direction) via a link mechanism (not shown) by operating a clamp member operating motor 26 (FIG. 3) attached to the lifting frame 22c. The substrate 2 supported at both ends by the front and rear belt conveyors 23b is clamped and held from the width direction (Y-axis direction) with respect to the transport direction, and the holding is also performed. Can be released.

図1及び図2において、基板搬入コンベア13及び基板搬出コンベア14はそれぞれ、基板保持移動ユニット12のコンベア部23と同様に前後一対のベルトコンベア13a,14aを有して成る。基板搬入コンベア13は、スクリーン印刷機1の外部から投入された基板2を搬入して基板保持移動ユニット12のコンベア部23に受け渡し、基板搬出コンベア14は、基板保持移動ユニット12のコンベア部23から受け渡された基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する。   1 and 2, each of the substrate carry-in conveyor 13 and the substrate carry-out conveyor 14 includes a pair of front and rear belt conveyors 13a and 14a, similar to the conveyor portion 23 of the substrate holding and moving unit 12. The substrate carry-in conveyor 13 carries in the substrate 2 input from the outside of the screen printing machine 1 and delivers it to the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12. The substrate carry-out conveyor 14 is transferred from the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12. The delivered substrate 2 is carried out of the screen printer 1.

このように、基板搬入コンベア13、基板保持移動ユニット12のコンベア部23及び基板搬出コンベア14は基板2の搬送を行う基板搬送路27(図1)として機能する。   As described above, the substrate carry-in conveyor 13, the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12, and the substrate carry-out conveyor 14 function as a substrate conveyance path 27 (FIG. 1) that conveys the substrate 2.

図1及び図2において、基台11上には基板搬入コンベア13及び基板搬出コンベア14をそれぞれY軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム31が設けられており、これら一対の門型フレーム31によってマスクホルダ32が支持されている。マスクホルダ32は、門型フレーム31に両端が取り付けられて基板保持移動ユニット12が備える基板保持部25の上方をX軸方向に延びて配置された前後一対のガイド部材33と、一対のガイド部材33上をY軸方向に延びて設けられた左右一対のマスク支持レール34とから成る。マスク15はマスクホルダ32が備える左右一対のマスク支持レール34によって左右両端が支持されて基板保持移動ユニット12の上方に水平姿勢に保持される(図4も参照)。   In FIG. 1 and FIG. 2, a pair of portal frames 31 are provided on the base 11 so as to straddle the substrate carry-in conveyor 13 and the substrate carry-out conveyor 14 in the Y-axis direction. The holder 32 is supported. The mask holder 32 includes a pair of front and rear guide members 33 that are attached to the portal frame 31 and extend in the X-axis direction above the substrate holding portion 25 provided in the substrate holding and moving unit 12 and a pair of guide members. 33 comprises a pair of left and right mask support rails 34 extending in the Y-axis direction. The mask 15 is held in a horizontal position above the substrate holding and moving unit 12 by being supported at both left and right sides by a pair of left and right mask support rails 34 provided in the mask holder 32 (see also FIG. 4).

図1及び図4において、マスク15は平面視において矩形の枠状部材から成るマスク枠15wによって四辺が支持されており、マスク枠15wによって囲まれた矩形の領域には、基板2上の複数の電極3に対応した多数のパターン孔15a(図4)が設けられている。すなわちマスク15は、基板2の電極3の配置に応じて形成された多数のパターン孔15aを有したものとなっている。   In FIG. 1 and FIG. 4, the mask 15 is supported by a mask frame 15w made of a rectangular frame member in plan view, and a rectangular region surrounded by the mask frame 15w has a plurality of sides on the substrate 2. A large number of pattern holes 15a (FIG. 4) corresponding to the electrodes 3 are provided. That is, the mask 15 has a large number of pattern holes 15 a formed according to the arrangement of the electrodes 3 on the substrate 2.

図1において、基板2の対角位置には2つ一組の基板側位置決め用マークmkが設けられている。一方、図4において、マスク15には、基板側位置決め用マークmkに対応して配置された2つ一組のマスク側位置決め用マークMKが設けられている。これら基板側位置決め用マークmkとマスク側位置決め用マークMKが上下に合致する状態で基板2をマスク15に接触させると、基板2の電極3とマスク15のパターン孔15aが合致した状態となる。なお、図4中、破線で示す矩形領域Sgは、マスク15に基板2を接触させたときに基板2と接触することとなるマスク15上の領域である。   In FIG. 1, two sets of substrate-side positioning marks mk are provided at diagonal positions of the substrate 2. On the other hand, in FIG. 4, the mask 15 is provided with a pair of mask side positioning marks MK arranged corresponding to the substrate side positioning marks mk. When the substrate 2 is brought into contact with the mask 15 with the substrate-side positioning mark mk and the mask-side positioning mark MK vertically aligned, the electrode 3 of the substrate 2 and the pattern hole 15a of the mask 15 are aligned. In FIG. 4, a rectangular area Sg indicated by a broken line is an area on the mask 15 that comes into contact with the substrate 2 when the substrate 2 is brought into contact with the mask 15.

図1及び図2において、一対の門型フレーム31には、X軸方向に延びたX軸ステージ35の両端部がY軸方向にスライド自在に支持されている。X軸ステージ35上にはカメラ支持ステージ36がX軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ36には前述のカメラユニット17が取り付けられている。カメラユニット17は、撮像視野を下方に向けた第1カメラ17aと撮像視野を上方に向けた第2カメラ17bを備えている(図3)。   1 and 2, both ends of an X-axis stage 35 extending in the X-axis direction are supported by a pair of portal frames 31 so as to be slidable in the Y-axis direction. A camera support stage 36 is provided on the X-axis stage 35 so as to be movable in the X-axis direction, and the camera unit 17 is attached to the camera support stage 36. The camera unit 17 includes a first camera 17a having an imaging field of view directed downward and a second camera 17b having an imaging field of view directed upward (FIG. 3).

図1及び図2において、一対の門型フレーム31にはX軸方向に延びたスキージベース37の両端が支持されており、スキージベース37は門型フレーム31に沿ってY軸方向に往復移動自在となっている。   1 and 2, a pair of portal frames 31 support both ends of a squeegee base 37 extending in the X-axis direction, and the squeegee base 37 can reciprocate in the Y-axis direction along the portal frame 31. It has become.

図2及び図3において、スキージベース37の上面の中央部のY軸方向に対向する位置には2つのスキージ昇降シリンダ38がピストンロッド38aを下方に向けて設けられており、これら2つのスキージ昇降シリンダ38のピストンロッド38aはそれぞれ、スキージベース37を上下方向に貫通して延びている。各スキージ昇降シリンダ38のピストンロッド38aの下端部には前述のスキージ16が取り付けられている。   2 and 3, two squeegee raising / lowering cylinders 38 are provided with piston rods 38a facing downward at positions opposite to the Y-axis direction at the center of the upper surface of the squeegee base 37. Each piston rod 38a of the cylinder 38 extends through the squeegee base 37 in the vertical direction. The above-described squeegee 16 is attached to the lower end of the piston rod 38a of each squeegee lifting cylinder 38.

図3中に示す拡大図及び図5(a),(b)において、各スキージ16はピストンロッド38aの下端に取り付けられてX軸方向に延びたブレード保持部40と、ブレード保持部40に上部が固定されてX軸方向に延びるとともに、斜め下方に「へら」状に延出して延びたブレード部41を有して成る。   In the enlarged view shown in FIG. 3 and FIGS. 5A and 5B, each squeegee 16 is attached to the lower end of the piston rod 38a and extends in the X-axis direction. Is fixed and extends in the X-axis direction, and has a blade portion 41 extending obliquely downward and extending in the shape of a spatula.

図5(a),(b)及び図6(a),(b)において、ブレード保持部40の両端部には一対の壁状部材42が複数のビス43によって取り付けられている。これら一対の壁状部材42は、スキージ16により基板2にペーストPstを転写させているとき、ブレード部41のペースト掻き寄せ面41aの両端部からペーストPstが漏れ出ることを防止するペースト漏れ止め部材として機能するものである。   5A, 5B and 6A, 6B, a pair of wall-like members 42 are attached to both ends of the blade holding portion 40 by a plurality of screws 43. The pair of wall-like members 42 are paste leakage preventing members that prevent the paste Pst from leaking out from both ends of the paste scraping surface 41a of the blade portion 41 when the paste Pst is transferred to the substrate 2 by the squeegee 16. It functions as.

図5(a),(b)及び図6(a),(b)において、一対の壁状部材42には、ブレード部41のペースト掻き寄せ面41aに沿って形成された一対の案内溝42aがブレード部41の延びる方向(X軸方向)と直交する面内(YZ平面内)をブレード部41に沿って斜め方向に延びて形成されており、これら一対の案内溝42a内には、スキージ16の(ブレード部41の)ペースト掻き寄せ面41aと対向する位置に水平方向に延びて設けられたスキージ対向部材としてのワイヤ44の両端部を保持する一対のワイヤ保持部材45がそれぞれ移動自在に設けられている。各ワイヤ保持部材45は、案内溝42a内に位置してワイヤ44の端部と結合された小径のワイヤ結合部45aと、ワイヤ結合部45aを中心に有し、壁状部材42に外側においてワイヤ結合部45aの中心軸回りに回転自在な大径の円盤部45bとを有している。ここで、両端が一対のワイヤ結合部45aと結合されたワイヤ44は、撓みなく水平面内方向に延びた状態が維持されている。   5A, 5B and 6A, 6B, the pair of wall-like members 42 have a pair of guide grooves 42a formed along the paste scraping surface 41a of the blade portion 41. Is formed to extend in an oblique direction along the blade portion 41 in a plane (in the YZ plane) orthogonal to the direction in which the blade portion 41 extends (X-axis direction). In the pair of guide grooves 42a, a squeegee is provided. A pair of wire holding members 45 that hold both ends of the wire 44 as a squeegee-facing member provided in the horizontal direction at a position facing the 16 paste scraping surface 41a (of the blade portion 41) are movable. Is provided. Each wire holding member 45 has a small-diameter wire coupling portion 45a located in the guide groove 42a and coupled to the end of the wire 44, and the wire coupling portion 45a as a center. And a large-diameter disk portion 45b that is rotatable around the central axis of the coupling portion 45a. Here, the wire 44 whose both ends are coupled to the pair of wire coupling portions 45a is maintained in a state of extending in the horizontal plane without bending.

スキージ昇降シリンダ38のピストンロッド38aを上下方向に作動させると、ピストンロッド38aの下端に取り付けられたスキージ16が、スキージベース37に対して(したがってマスク15に対して)昇降する。そして、スキージベース37に対して前方のスキージ16(図3における紙面左側のスキージ16)及び後方のスキージ16(図3における紙面左側のスキージ16)のうちの一方を下降させ、そのスキージ16をマスク15の上面に当接させた状態でスキージベース37を前後方向(Y軸方向)に移動させることにより、スキージ16をマスク15上で水平面内方向に摺動させることができる。   When the piston rod 38a of the squeegee lifting cylinder 38 is operated in the vertical direction, the squeegee 16 attached to the lower end of the piston rod 38a moves up and down with respect to the squeegee base 37 (and therefore with respect to the mask 15). Then, one of the front squeegee 16 (the left squeegee 16 in FIG. 3) and the rear squeegee 16 (the left squeegee 16 in FIG. 3) is lowered with respect to the squeegee base 37, and the squeegee 16 is masked. The squeegee 16 can be slid on the mask 15 in the horizontal plane direction by moving the squeegee base 37 in the front-rear direction (Y-axis direction) in a state where the squeegee 15 is in contact with the upper surface of the mask 15.

ここで、各ワイヤ保持部材45が有する円盤部45bは、スキージ16のブレード部41がマスク15に当接した状態で外周縁をマスク15に接触させることにより、その半径の長さに応じた分だけワイヤ44を各案内溝42aの下端部よりも上方に位置させる機能を有する。これにより、後述するように、基板2へのペーストPstの転写を終えたスキージ16をマスク15に対して上昇させたとき、各ワイヤ保持部材45のワイヤ結合部45aが案内溝42a内を壁状部材42に対して相対的に下降するようにして、ペースト掻き寄せ面41aに付着しているペーストPstをワイヤ44によって除去することができる。   Here, the disk portion 45b of each wire holding member 45 is divided in accordance with the length of the radius by bringing the outer peripheral edge into contact with the mask 15 while the blade portion 41 of the squeegee 16 is in contact with the mask 15. Only the wire 44 has a function of being positioned above the lower end of each guide groove 42a. As a result, as will be described later, when the squeegee 16 that has finished transferring the paste Pst to the substrate 2 is raised with respect to the mask 15, the wire coupling portions 45a of the wire holding members 45 have a wall-like shape in the guide groove 42a. The paste Pst adhering to the paste scraping surface 41 a can be removed by the wire 44 so as to descend relative to the member 42.

また、このようなスキージ16のペースト掻き寄せ面41aに対するワイヤ44の相対移動によってペーストPstを除去するにおいては、スキージ16をマスク15に対して上昇させたときに、ペースト掻き寄せ面41aに対するワイヤ44の移動量が大きい方がペースト掻き寄せ面41aに付着したペーストPstを効率よく除去することができるので、スキージ16のブレード部41及び円盤部45bの外周縁がマスク15に当接した状態で、ワイヤ44の位置がスキージ16のペースト掻き寄せ面41aの上端部付近に位置するようになっていることが好ましい。   Further, in removing the paste Pst by moving the wire 44 relative to the paste scraping surface 41a of the squeegee 16 as described above, when the squeegee 16 is lifted with respect to the mask 15, the wire 44 to the paste scraping surface 41a. Since the paste Pst adhering to the paste scraping surface 41a can be efficiently removed when the amount of movement is larger, the outer peripheral edges of the blade part 41 and the disk part 45b of the squeegee 16 are in contact with the mask 15, It is preferable that the position of the wire 44 is located near the upper end of the paste scraping surface 41a of the squeegee 16.

このため本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、図7(a)に示すように、ワイヤ保持部材45の円盤部45bの半径Rは、マスク15に当接した状態のスキージ16のペースト掻き寄せ面41aの上端部とマスク15との上下方向距離Hとほぼ等しく(H≒R。ただしH>R)なるように設定されている。また、スキージ16のブレード部41がマスク15に当接した状態で、一対のワイヤ保持部材45の各ワイヤ結合部45aが各案内溝42aの上端部に接触しないようにするため、案内溝42aの上端部のブレード部41の下縁からの高さhは、円盤部45bの半径Rよりもやや大きくなっている(h>R)。   For this reason, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, as shown in FIG. 7A, the radius R of the disk portion 45 b of the wire holding member 45 is set to scrape the paste of the squeegee 16 in contact with the mask 15. It is set to be approximately equal to the vertical distance H between the upper end of the surface 41a and the mask 15 (H≈R, where H> R). Further, in order to prevent the wire coupling portions 45a of the pair of wire holding members 45 from coming into contact with the upper end portions of the guide grooves 42a in a state where the blade portion 41 of the squeegee 16 is in contact with the mask 15, the guide grooves 42a The height h from the lower edge of the blade part 41 at the upper end part is slightly larger than the radius R of the disk part 45b (h> R).

これにより、スキージ昇降シリンダ38によりマスク15に対してスキージ16が下降され、ブレード部41の下縁がマスク15の上面に当接し、各ワイヤ保持部材45の円盤部45bの外周縁もマスク15の上面に当接した状態(図7(a)に示す状態)では、円盤部45bの中心に位置するワイヤ結合部45aは案内溝42aの上端部に位置し、一対のワイヤ結合部45aにおいて両端部が保持されたワイヤ44はブレード部41のペースト掻き寄せ面41a側の上端部付近に位置した状態(ワイヤ上昇位置状態と称する)となる(図7(a))。   As a result, the squeegee 16 is lowered with respect to the mask 15 by the squeegee lifting cylinder 38, the lower edge of the blade portion 41 abuts on the upper surface of the mask 15, and the outer peripheral edge of the disk portion 45 b of each wire holding member 45 is also on the mask 15. In the state of contact with the upper surface (the state shown in FIG. 7A), the wire coupling portion 45a located at the center of the disk portion 45b is located at the upper end portion of the guide groove 42a, and both ends of the pair of wire coupling portions 45a. The wire 44 in which is held is positioned near the upper end portion of the blade portion 41 on the paste scraping surface 41a side (referred to as a wire raised position state) (FIG. 7A).

上記ワイヤ上昇位置状態からスキージ昇降シリンダ38によってマスク15に対してスキージ16が上昇されていくと(図7(b)中に示す矢印A1)、一対のワイヤ保持部材45はワイヤ結合部45aが案内溝42aの下端に達するまでは、案内溝42aによって案内されて壁状部材42に対して相対的に下降するので(図7(b)中に示す矢印A2)、これに伴ってワイヤ44はブレード部41のペースト掻き寄せ面41aに沿って、ブレード部41のペースト掻き寄せ面41aに接触又は近接した状態を維持したままペースト掻き寄せ面41aに対して下降する。そして、一対のワイヤ結合部45aが一対の案内溝42aの下端に達したところでワイヤ44はブレード部41のペースト掻き寄せ面41aの下端部付近に位置した状態(ワイヤ下降位置状態)となる(図7(b))。   When the squeegee 16 is lifted with respect to the mask 15 by the squeegee lifting cylinder 38 from the state where the wire is raised (arrow A1 shown in FIG. 7B), the pair of wire holding members 45 are guided by the wire coupling portion 45a. Until reaching the lower end of the groove 42a, it is guided by the guide groove 42a and descends relative to the wall-like member 42 (arrow A2 shown in FIG. 7 (b)). Along the paste scraping surface 41a of the portion 41, the paste scraping surface 41a descends while maintaining or in contact with the paste scraping surface 41a of the blade portion 41. When the pair of wire coupling portions 45a reach the lower ends of the pair of guide grooves 42a, the wire 44 is in a state (wire lowered position state) located near the lower end portion of the paste scraping surface 41a of the blade portion 41 (FIG. 7 (b)).

なお、このワイヤ下降位置状態に達した後、スキージ昇降シリンダ38によってスキージ16が更に上昇されると、一対のワイヤ保持部材45はスキージ16とともに持ち上げられ、一対のワイヤ保持部材45それぞれの円盤部45bの外周縁は、マスク15の上面から上方に離間した状態となる。   When the squeegee 16 is further raised by the squeegee lifting cylinder 38 after reaching the wire lowered position state, the pair of wire holding members 45 are lifted together with the squeegee 16 and the disk portions 45b of the pair of wire holding members 45 respectively. The outer peripheral edge of the mask is spaced upward from the upper surface of the mask 15.

基板2の搬送を行う前述の基板搬送路27の動作(基板搬入コンベア13、基板保持移動ユニット12におけるコンベア部23及び基板搬出コンベア14の各動作)は、制御装置50(図8)が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構51(図8)の作動制御を行うことによってなされる。制御装置50は、この基板搬送路作動機構51を作動させることにより、スクリーン印刷機1の外部から投入された基板2の基板保持移動ユニット12内への搬入と、スクリーン印刷を終えた基板2のスクリーン印刷機1の外部への搬出とを行う。   The control device 50 (FIG. 8) does not illustrate the operations of the above-described substrate transport path 27 for transporting the substrate 2 (the operations of the substrate carry-in conveyor 13, the conveyor unit 23 and the substrate carry-out conveyor 14 in the substrate holding and moving unit 12). This is done by controlling the operation of the substrate transport path operating mechanism 51 (FIG. 8) including an actuator or the like. The control device 50 operates the substrate transport path operating mechanism 51 to carry the substrate 2 loaded from the outside of the screen printing machine 1 into the substrate holding and moving unit 12 and the substrate 2 that has finished screen printing. The screen printer 1 is carried out to the outside.

基板保持移動ユニット12の基板保持部25を構成する前後のクランプ部材25aの開閉動作は、制御装置50が前述のクランプ部材作動モータ26(図8も参照)の作動制御を行うことによってなされる。制御装置50は、このクランプ部材作動モータ26を作動させることにより、基板保持移動ユニット12に搬入された基板2のクランプ(保持)を行う。   The opening / closing operation of the front and rear clamp members 25a constituting the substrate holding unit 25 of the substrate holding / moving unit 12 is performed by the control device 50 controlling the operation of the clamp member operating motor 26 (see also FIG. 8). The controller 50 clamps (holds) the substrate 2 carried into the substrate holding / moving unit 12 by operating the clamp member operating motor 26.

基板保持移動ユニット12が備える下受け部24の昇降動作は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成る下受け部昇降機構52(図8)の作動制御を行うことによってなされる。制御装置50は、この下受け部昇降機構52を作動させることにより、基板保持移動ユニット12に搬入された基板2の下方からの支持を行う。   The raising / lowering operation of the lower receiving portion 24 included in the substrate holding / moving unit 12 is performed by controlling the operation of the lower receiving portion raising / lowering mechanism 52 (FIG. 8) including an actuator (not shown) by the control device 50. The control device 50 supports the substrate 2 loaded into the substrate holding / moving unit 12 from below by operating the lower receiving portion lifting mechanism 52.

カメラユニット17を構成する第1カメラ17a及び第2カメラ17bはそれぞれ、制御装置50に制御されて撮像動作を行い、取得した画像データはともに制御装置50に入力される(図8)。また、カメラユニット17の水平面内での移動動作、すなわち一対の門型フレーム31に対するX軸ステージ35のY軸方向への移動動作及びX軸ステージ35に対するカメラ支持ステージ36のX軸方向への移動動作の各制御は、制御装置50が図示しないアクチュエータから成るカメラユニット移動機構53(図8)の作動制御を行うことによってなされる。制御装置50は、第1カメラ17a、第2カメラ17b及びカメラユニット移動機構53を作動させることにより、第1カメラ17aによる基板側位置決め用マークmkの撮像と第2カメラ17bによるマスク側位置決め用マークMKの撮像を行って、基板2及びマスク15それぞれの位置を検出する。   Each of the first camera 17a and the second camera 17b constituting the camera unit 17 is controlled by the control device 50 to perform an imaging operation, and the acquired image data is input to the control device 50 (FIG. 8). Further, the movement operation of the camera unit 17 in the horizontal plane, that is, the movement operation of the X-axis stage 35 in the Y-axis direction with respect to the pair of portal frames 31 and the movement of the camera support stage 36 with respect to the X-axis stage 35 in the X-axis direction. Each control of the operation is performed when the control device 50 controls the operation of the camera unit moving mechanism 53 (FIG. 8) including an actuator (not shown). The control device 50 operates the first camera 17a, the second camera 17b, and the camera unit moving mechanism 53, thereby imaging the substrate-side positioning mark mk by the first camera 17a and the mask-side positioning mark by the second camera 17b. MK imaging is performed to detect the positions of the substrate 2 and the mask 15.

基板保持移動ユニット12による基板保持部25の水平面内方向への移動動作は、制御装置50が、基台11に対するYテーブル21aのY軸方向への移動、Yテーブル21aに対するXテーブル21bのX軸方向への移動及びXテーブル21bに対するθテーブル21cの(すなわちベーステーブル21dの)Z軸回りの回転動作を行わせる、前述のYテーブル駆動モータMyやXテーブル駆動モータMxを含むアクチュエータ等から成る水平面内方向移動機構54(図8)の作動制御を行うことによってなされる。制御装置50は、カメラユニット17により検出した基板2及びマスク15それぞれの位置に基づいて水平面内方向移動機構54を作動させることにより、基板保持部25により保持した基板2のマスク15に対する水平面内方向の位置決めを行う。   The movement operation of the substrate holding unit 25 in the horizontal plane direction by the substrate holding and moving unit 12 is as follows. The control device 50 moves the Y table 21a in the Y axis direction relative to the base 11, and the X axis of the X table 21b relative to the Y table 21a. The horizontal plane is composed of the actuator including the Y table driving motor My and the X table driving motor Mx described above, which moves in the direction and rotates the θ table 21c around the Z axis with respect to the X table 21b (ie, the base table 21d). This is done by controlling the operation of the inward movement mechanism 54 (FIG. 8). The control device 50 operates the horizontal plane inward movement mechanism 54 based on the respective positions of the substrate 2 and the mask 15 detected by the camera unit 17, so that the horizontal direction in the horizontal plane with respect to the mask 15 of the substrate 2 held by the substrate holding unit 25. Perform positioning.

基板保持移動ユニット12による基板保持部25の上下方向への移動動作は、制御装置50が、ベーステーブル21dに対する昇降テーブル22aの昇降動作を行わせる図示しないアクチュエータ等から成る上下方向移動機構55(図8)の作動制御を行うことによってなされる。制御装置50は、この上下方向移動機構55を作動させることにより、基板保持部25により保持し、マスク15に対して水平面内方向の位置決めを行った基板2をマスク15の下面に下方から接触させる。   The movement operation of the substrate holding unit 25 in the vertical direction by the substrate holding and moving unit 12 is performed by a vertical movement mechanism 55 (see FIG. 5) including an actuator (not shown) or the like that causes the control device 50 to move the lifting table 22a up and down relative to the base table 21d. This is done by performing the operation control of 8). The control device 50 operates the vertical movement mechanism 55 to bring the substrate 2 held by the substrate holding unit 25 and positioned in the horizontal plane with respect to the mask 15 into contact with the lower surface of the mask 15 from below. .

各スキージ16のスキージベース37に対する昇降動作は、制御装置50がスキージベース37の上部に取り付けられた前述の2つのスキージ昇降シリンダ38(図8も参照)の作動制御を行うことによってなされる。また、前後のスキージ16をY軸方向に往復移動させるスキージベース37の作動制御は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成るスキージベース移動機構56(図8)の制御を行うことによってなされる。   The raising / lowering operation of each squeegee 16 with respect to the squeegee base 37 is performed by controlling the operation of the two squeegee raising / lowering cylinders 38 (see also FIG. 8) attached to the upper part of the squeegee base 37. The operation control of the squeegee base 37 for reciprocating the front and rear squeegees 16 in the Y-axis direction is performed by the control device 50 controlling a squeegee base moving mechanism 56 (FIG. 8) including an actuator (not shown).

制御装置50は、スキージ昇降シリンダ38及びスキージベース移動機構56を作動させ、前後のスキージ16のうちの一方をマスク15に接触させた状態でスキージベース37を前後方向(Y軸方向)に移動させることにより、別途マスク15上に供給されたペーストPst(図3参照)をスキージ16の(ブレード部41の)ペースト掻き寄せ面41aで掻き寄せて、マスク15のパターン孔15aを介して基板2の電極3にペーストPstを転写させる。ここで、制御装置50は、前方のスキージ16をマスク15の前方領域から後方領域に摺動させることによって行う基板2の1枚当たりのペーストPstの転写動作と、後方のスキージ16をマスク15の後方領域から前方領域に摺動させることによって行う基板2の1枚当たりのペーストPstの転写動作とを交互に行う。   The control device 50 operates the squeegee lifting cylinder 38 and the squeegee base moving mechanism 56 to move the squeegee base 37 in the front-rear direction (Y-axis direction) with one of the front and rear squeegees 16 in contact with the mask 15. Thus, the paste Pst (see FIG. 3) separately supplied on the mask 15 is scraped by the paste scraping surface 41a of the squeegee 16 (of the blade portion 41), and the substrate 2 is formed via the pattern holes 15a of the mask 15. The paste Pst is transferred to the electrode 3. Here, the control device 50 performs the transfer operation of the paste Pst per sheet of the substrate 2 performed by sliding the front squeegee 16 from the front region to the rear region of the mask 15 and the rear squeegee 16 to the mask 15. The transfer operation of the paste Pst per substrate 2 performed by sliding from the rear region to the front region is performed alternately.

次に、図9のフローチャートを用いて本実施の形態におけるスクリーン印刷機1によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する。スクリーン印刷機1の制御装置50は、図示しない検知手段によって、スクリーン印刷機1の上流側から基板搬入コンベア13に基板2が投入されたことを検知したら、基板搬入コンベア13とコンベア部23を連動作動させてスクリーン印刷機1内に基板2を搬入し(図10(a)中に示す矢印B)、更に、図示しない検知手段により、コンベア部23が搬入する基板2が所定の搬送停止位置に到達したことを検知したところでコンベア部23の作動を停止させて、基板2を静止させる(図10(b)。図9に示すステップST1の基板搬入工程)。   Next, the execution procedure of the screen printing operation by the screen printer 1 in the present embodiment will be described using the flowchart of FIG. When the control device 50 of the screen printing machine 1 detects that the substrate 2 is input from the upstream side of the screen printing machine 1 to the board carry-in conveyor 13 by a detection unit (not shown), the board carry-in conveyor 13 and the conveyor unit 23 are linked. The substrate 2 is carried into the screen printing machine 1 (arrow B shown in FIG. 10A), and the substrate 2 carried by the conveyor unit 23 is brought to a predetermined conveyance stop position by a detection means (not shown). When the arrival is detected, the operation of the conveyor unit 23 is stopped and the substrate 2 is stopped (FIG. 10B). The substrate carrying-in process of step ST1 shown in FIG.

制御装置50は、上記の基板搬入工程が終了したら、前後のクランプ部材25aを閉作動させて、コンベア部23上の基板2の両側部をY軸方向からクランプ(保持)する(図11(a)。図中に示す矢印C1)。そして、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置に位置させたまま、下受け部24を昇降テーブル22aに対する下降位置から上昇させる(図11(b)中に示す矢印D1)。そうすると、下受け部24の上端(複数のピン部材24cの上端)は前後のベルトコンベア23bによって両端部が支持された基板2の下面に下方から当接する(図11(b))。そして、下受け部24の上端が基板2の下面に当接した後も下受け部24を上昇させて(図11(c)中に示す矢印D2)、基板2の上面が前後のクランプ部材25aの上面と同じ高さになるまで基板2を押し上げる。これにより基板2はその両端部を前後のクランプ部材25aに対して摺動させながら上昇し、両端部が前後のベルトコンベア23bから上方に離間して、基板2は下受け部24によって持ち上げ支持された状態となる(図11(c)。図9に示すステップST2の基板支持工程)。   When the substrate carrying-in process is completed, the control device 50 closes the front and rear clamping members 25a and clamps (holds) both sides of the substrate 2 on the conveyor unit 23 from the Y-axis direction (FIG. 11A). Arrow C1) shown in the figure. Then, the lower receiving portion 24 is raised from the lowered position with respect to the lift table 22a while the lift table 22a is positioned at the lowered position with respect to the base table 21d (arrow D1 shown in FIG. 11B). Then, the upper end of the lower receiving portion 24 (the upper ends of the plurality of pin members 24c) comes into contact with the lower surface of the substrate 2 whose both ends are supported by the front and rear belt conveyors 23b (FIG. 11B). Then, even after the upper end of the lower receiving portion 24 comes into contact with the lower surface of the substrate 2, the lower receiving portion 24 is raised (arrow D <b> 2 shown in FIG. 11C), and the upper surface of the substrate 2 has the front and rear clamping members 25 a. The substrate 2 is pushed up to the same height as the upper surface of the substrate. As a result, the substrate 2 is lifted while sliding its both ends with respect to the front and rear clamp members 25a, both ends are separated upward from the front and rear belt conveyors 23b, and the substrate 2 is lifted and supported by the lower receiving portion 24. (FIG. 11C) The substrate support process in step ST2 shown in FIG.

制御装置50は、上記の基板支持工程が終了したら、カメラユニット移動機構53の作動制御を行い(X軸ステージ35をY軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ36をX軸方向に移動させ)、第1カメラ17aを基板2に設けられた基板側位置決め用マークmkの直上に位置させて、第1カメラ17aに基板側位置決め用マークmkの撮像を行わせて基板2の位置を検出し(図12(a)。図9に示すステップST3の基板位置検出工程)、次いで、第2カメラ17bをマスク15に設けられたマスク側位置決め用マークMKの直下に位置させ、第2カメラ17bにマスク側位置決め用マークMKの撮像を行わせてマスク15の位置の検出を行う(図12(b)。図9に示すステップST4のマスク位置検出工程)。   When the above substrate support process is completed, the control device 50 controls the operation of the camera unit moving mechanism 53 (moves the X axis stage 35 in the Y axis direction and moves the camera support stage 36 in the X axis direction). The first camera 17a is positioned immediately above the substrate-side positioning mark mk provided on the substrate 2, and the first camera 17a is imaged of the substrate-side positioning mark mk to detect the position of the substrate 2 ( 12 (a), the substrate position detecting step in step ST3 shown in FIG.9, and then the second camera 17b is positioned directly below the mask side positioning mark MK provided on the mask 15, and the second camera 17b is masked. The position of the mask 15 is detected by imaging the side positioning mark MK (FIG. 12B) (mask position detection step of step ST4 shown in FIG. 9).

制御装置50は、上記マスク位置検出工程が終了したら、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21の作動制御を行って基板保持部25を(したがって基板2を)水平面内方向に移動させ、マスク15に対する基板2の水平面内方向の位置決めを行う(図9に示すステップST5の位置決め工程)。   When the mask position detection step is completed, the control device 50 controls the operation of the horizontal moving unit 21 included in the substrate holding and moving unit 12 to move the substrate holding unit 25 (and thus the substrate 2) in the horizontal plane direction, and 15 is positioned in the horizontal plane direction of the substrate 2 (positioning step of step ST5 shown in FIG. 9).

この位置決め工程では、制御装置50は、ステップST3の基板位置検出工程で検出した基板側位置決め用マークmkと、ステップST4のマスク位置検出工程で検出したマスク側位置決め用マークMKが上下に合致した状態となるように、基板2をマスク15に対して位置決めする。   In this positioning process, the control device 50 is in a state where the substrate-side positioning mark mk detected in the substrate position detecting process in step ST3 and the mask-side positioning mark MK detected in the mask position detecting process in step ST4 are aligned vertically. The substrate 2 is positioned with respect to the mask 15 so that

制御装置50は、上記の位置決め工程が終了したら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して上昇させ(図13(a)中に示す矢印E1)、コンベア部23及び基板2を下方から支持した状態の下受け部24を一体に上昇させることにより、基板2の被印刷面である上面をマスク15の下面に接触させる(図13(a)。図9に示すステップST6の接触工程)。これにより基板2の電極3とマスク15のパターン孔15aは合致した状態となる。   When the positioning process is completed, the control device 50 raises the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow E1 shown in FIG. 13A), and supports the conveyor unit 23 and the substrate 2 from below. The upper surface of the substrate 2 is brought into contact with the lower surface of the mask 15 by integrally raising the lower receiving portion 24 (FIG. 13 (a), contacting step of step ST6 shown in FIG. 9). As a result, the electrode 3 of the substrate 2 and the pattern hole 15a of the mask 15 are matched.

制御装置50は、基板2をマスク15に接触させたら、スクリーン印刷機1の動作を一時中断したうえで、図示しないディスプレイ装置による画像表示等を介して、オペレータOPにペーストPstの供給を促す。オペレータOPは、現在マスク15上に残っているペーストPstの量に基づいて、ペーストPstの供給(補充)を行うべきかどうかの判断を行い、ペーストPstの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ60により、マスク15上にペーストPstの供給を行う(図13(b))。そして、ペーストPstの供給が終わったら、動作再開ボタン61(図8)の操作を行う。オペレータOPは、ペーストPstの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタン61の操作を行う。   When the control device 50 brings the substrate 2 into contact with the mask 15, the operation of the screen printing machine 1 is temporarily interrupted, and the operator OP is prompted to supply the paste Pst via an image display by a display device (not shown). The operator OP determines whether or not to supply (supplement) the paste Pst based on the amount of the paste Pst currently remaining on the mask 15, and determines that the supply of the paste Pst should be performed separately. The paste Pst is supplied onto the mask 15 by the prepared paste supply syringe 60 (FIG. 13B). When the supply of the paste Pst is finished, the operation restart button 61 (FIG. 8) is operated. The operator OP operates the operation restart button 61 even when it is determined that the supply of the paste Pst is unnecessary.

制御装置50はステップST6の後、動作再開ボタンの操作が行われたかどうかの判断を行い(図9に示すステップST7の第1の判断工程)、動作再開ボタン61の操作が行われたと判断した場合には、スクリーン印刷機1の動作中断を解除し、2つのスキージ16のうちの一方を下降させてマスク15の上面に当接させた後(図14(a)中に示す矢印F1。図9に示すステップST8のスキージ下降工程)、スキージベース37を前後方向(Y軸方向)に移動させることによってスキージ16をマスク15上で摺動させ(図14(b)及び図15(a)中に示す矢印G)、スキージ16のブレード部41のペースト掻き寄せ面41aでペーストPstを掻き寄せることによって(図15(a))、マスク15のパターン孔15aを介して基板2の電極3にペーストPstを転写させる(図9に示すステップST9の転写工程)。   After step ST6, the control device 50 determines whether or not the operation restart button has been operated (first determination step of step ST7 shown in FIG. 9), and determines that the operation restart button 61 has been operated. In this case, after the operation interruption of the screen printing machine 1 is canceled and one of the two squeegees 16 is lowered and brought into contact with the upper surface of the mask 15 (an arrow F1 shown in FIG. 14A). Squeegee lowering step of step ST8 shown in FIG. 9), the squeegee 16 is slid on the mask 15 by moving the squeegee base 37 in the front-rear direction (Y-axis direction) (in FIGS. 14B and 15A). Arrow G) and scraping the paste Pst with the paste scraping surface 41a of the blade portion 41 of the squeegee 16 (FIG. 15A), through the pattern hole 15a of the mask 15. The electrodes 3 of the substrate 2 to transfer the paste Pst (transfer step of the step ST9 shown in FIG. 9).

ここで、前方のスキージ16については、前方のクランプ部材25aの上面領域から後方のクランプ部材25aの上面領域までマスク15上を後方(図14における紙面右側。矢印Gの方向)に移動させるようにし、後方のスキージ16については、後方のクランプ部材25aの上面領域から前方のクランプ部材25aの上面領域までマスク15上を前方(図14における紙面左側。矢印Gとは反対の方向)に移動させるようにする。   Here, the front squeegee 16 is moved backward on the mask 15 from the upper surface area of the front clamp member 25a to the upper surface area of the rear clamp member 25a (on the right side in FIG. 14 in the direction of arrow G). The rear squeegee 16 is moved forward on the mask 15 from the upper surface region of the rear clamp member 25a to the upper surface region of the front clamp member 25a (on the left side in FIG. 14 in the direction opposite to the arrow G). To.

制御装置50は、上記転写工程が終了したら、マスク15に当接させた側のスキージ16を上昇させる(図14(b)及び図15(b)中に示す矢印F2)。これにより、そのスキージ16がマスク15の上面から離間するとともに、ワイヤ44の両端部を保持する一対のワイヤ保持部材45が、スキージ16の両端部に設けられた一対の壁状部材42に形成された一対の案内溝42aによって案内されて壁状部材42に対して相対的に下降するので、水平方向に延びるワイヤ44がブレード部41のペースト掻き寄せ面41aに接触又は近接した状態でペースト掻き寄せ面41aに対して相対的に下動し(図15(b)中に示す矢印F3)、ペーストPstを転写した後のブレード部41のペースト掻き寄せ面41aに付着したペーストPstがワイヤ44によって除去される(図15(a)→図15(b)。図9に示すステップST10のスキージ上昇・ペースト除去工程)。   When the transfer process is completed, the controller 50 raises the squeegee 16 on the side in contact with the mask 15 (arrow F2 shown in FIGS. 14B and 15B). As a result, the squeegee 16 is separated from the upper surface of the mask 15, and a pair of wire holding members 45 that hold both ends of the wire 44 are formed on the pair of wall-like members 42 provided at both ends of the squeegee 16. Since the wire 44 is guided by the pair of guide grooves 42a and descends relative to the wall-like member 42, the paste 44 is scraped in a state where the horizontally extending wire 44 is in contact with or close to the paste scraping surface 41a of the blade portion 41. The wire P moves downward relative to the surface 41a (arrow F3 shown in FIG. 15B), and the wire 44 removes the paste Pst adhering to the paste scraping surface 41a of the blade portion 41 after the paste Pst is transferred. (FIG. 15 (a) → FIG. 15 (b). Squeegee rise / paste removal step of step ST10 shown in FIG. 9).

制御装置50は、上記のペースト転写工程が終了したら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して下降させ(図16(a)中に示す矢印E2)、マスク15から基板2を離間させて版離れを行う(図16(a)。図9に示すステップST11の版離れ工程)。これによりペーストPstが基板2の電極3上に印刷された状態となる。   When the paste transfer process is completed, the controller 50 lowers the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow E2 shown in FIG. 16A), and separates the substrate 2 from the mask 15 to release the plate. (FIG. 16A) The plate separation process in step ST11 shown in FIG. As a result, the paste Pst is printed on the electrode 3 of the substrate 2.

制御装置50は、上記の版離れ工程が終了したらクランプ部材25aを開作動させ(図16(b)中に示す矢印C2)、基板2のクランプを解除し、基板2が下受け部24によって支持されるようにしたうえで、下受け部24を昇降テーブル22aに対して下降させる(図16(c)中に示す矢印D3)。これにより、先ず基板2の両端部が前後のベルトコンベア23b上に載置され、次いで下受け部24の上端が基板2の下面から下方に離間した状態となる(図16(c))。これにより基板保持部25による基板2の支持が解除される(図9に示すステップST12の基板支持解除工程)。   The control device 50 opens the clamp member 25a (the arrow C2 shown in FIG. 16 (b)) after the plate separation process is finished, releases the clamp of the substrate 2, and the substrate 2 is supported by the lower receiving portion 24. Then, the lower receiving portion 24 is lowered with respect to the lifting table 22a (arrow D3 shown in FIG. 16C). As a result, first, both end portions of the substrate 2 are placed on the front and rear belt conveyors 23b, and then the upper end of the lower receiving portion 24 is spaced downward from the lower surface of the substrate 2 (FIG. 16C). Thereby, the support of the substrate 2 by the substrate holding unit 25 is released (substrate support releasing step of step ST12 shown in FIG. 9).

制御装置50は、基板支持解除工程が終了したら、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21を作動させ、基板搬出コンベア13に対するコンベア部23の位置調整を行ったうえで、コンベア部23と基板搬出コンベア14を連動作動させ、コンベア部23上の基板2を基板搬出コンベア14に受け渡してそのまま基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(図9に示すステップST13の基板搬出工程)。   When the substrate support releasing step is completed, the control device 50 operates the horizontal moving unit 21 included in the substrate holding and moving unit 12 to adjust the position of the conveyor unit 23 with respect to the substrate carry-out conveyor 13, and then the conveyor unit 23 and the substrate The carry-out conveyor 14 is operated in an interlocked manner, the substrate 2 on the conveyor unit 23 is transferred to the substrate carry-out conveyor 14, and the substrate 2 is carried out as it is to the outside of the screen printing machine 1 (substrate carry-out process of step ST13 shown in FIG. 9).

制御装置50は、基板搬出工程が終了したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(図9に示すステップST14の基板有無判断工程)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   When the substrate carry-out step is completed, the control device 50 determines whether there is another substrate 2 on which screen printing is to be performed (substrate presence determination step in step ST14 shown in FIG. 9). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing operations. Exit.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、基板2に接触されるマスク15と、基板2に接触されたマスク15に上方から当接した状態で水平面内方向に移動することにより、マスク15上に供給されたペーストPstをブレード部41のペースト掻き寄せ面41aで掻き寄せて基板2にペーストPstを転写させるスキージ16と、スキージ16のペースト掻き寄せ面41aと対向する位置に水平方向に延びて設けられたスキージ対向部材としてのワイヤ44と、基板2へのペーストPstの転写を終えたスキージ16がマスク15に対して上昇するとき、ワイヤ44がスキージ16のペースト掻き寄せ面41aに接触又は近接した状態でペースト掻き寄せ面41aに対して相対的に下動するようにワイヤ44を案内する案内機構を備えたものとなっている。   As described above, the screen printing machine 1 according to the present embodiment moves in the horizontal plane in a state in which the mask 15 that is in contact with the substrate 2 and the mask 15 that is in contact with the substrate 2 are in contact with each other from above. Thus, the paste Pst supplied on the mask 15 is scraped by the paste scraping surface 41a of the blade portion 41 to transfer the paste Pst to the substrate 2, and at a position facing the paste scraping surface 41a of the squeegee 16. When the wire 44 as a squeegee-facing member provided extending in the horizontal direction and the squeegee 16 that has finished transferring the paste Pst to the substrate 2 are raised relative to the mask 15, the wire 44 scrapes the paste of the squeegee 16. The wire 44 is designed to move downward relative to the paste scraping surface 41a while being in contact with or close to 41a. It has become a thing with a guide mechanism to be.

そして、案内機構は、スキージ16の両端部に設けられた一対の壁状部材42と、ワイヤ44の両端部を保持する一対の保持部材としてのワイヤ保持部材45と、一対の壁状部材42にスキージ16のペースト掻き寄せ面41aに沿って形成されて一対のワイヤ保持部材45を移動自在に支持し、基板2へのペーストPstの転写を終えたスキージ16がマスク15に対して上昇するとき、ワイヤ44がスキージ16のペースト掻き寄せ面41aに接触又は近接した状態でペースト掻き寄せ面41aに対して相対的に下動するように一対のワイヤ保持部材45を案内する一対の案内溝42aから成っている。   The guide mechanism includes a pair of wall-like members 42 provided at both ends of the squeegee 16, a wire holding member 45 as a pair of holding members that hold both ends of the wire 44, and a pair of wall-like members 42. When the squeegee 16 formed along the paste scraping surface 41a of the squeegee 16 movably supports the pair of wire holding members 45 and finishes transferring the paste Pst to the substrate 2, the squeegee 16 rises with respect to the mask 15. The wire 44 includes a pair of guide grooves 42a for guiding the pair of wire holding members 45 so as to move downward relative to the paste scraping surface 41a in a state where the wire 44 is in contact with or close to the paste scraping surface 41a of the squeegee 16. ing.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、基板2にマスク15を接触させる工程(ステップST6の接触工程)と、基板2に接触したマスク15に上方から当接させた状態のスキージ16を水平面内方向に移動させることにより、マスク15上に供給されたペーストPstをスキージ16のブレード部41のペースト掻き寄せ面41aで掻き寄せて基板2にペーストPstを転写させる工程(ステップST9の転写工程)と、基板2へのペーストPstの転写を終えたスキージ16をマスク15に対して上昇させ、スキージ16のペースト掻き寄せ面41aと対向する位置に水平方向に延びて設けられたワイヤ44をスキージ16のペースト掻き寄せ面41aに接触又は近接させた状態でペースト掻き寄せ面41aに対して相対的に下動するようにワイヤ44を案内することにより、スキージ16のペースト掻き寄せ面41aに付着したペーストPstをワイヤ44により除去する工程(ステップST10のスキージ上昇・ペースト除去工程)を含むものとなっている。   Further, in the screen printing method according to the present embodiment, the process of bringing the mask 15 into contact with the substrate 2 (contact process in step ST6) and the squeegee 16 in a state of being in contact with the mask 15 in contact with the substrate 2 from above are horizontal. Step of transferring the paste Pst onto the substrate 2 by moving the paste Pst supplied on the mask 15 by the paste scraping surface 41a of the blade portion 41 of the squeegee 16 by moving inward (step ST9 transfer step) Then, the squeegee 16 that has finished transferring the paste Pst to the substrate 2 is raised with respect to the mask 15, and a wire 44 that extends in a horizontal direction at a position facing the paste scraping surface 41 a of the squeegee 16 is provided. Relative to the paste scraping surface 41a in a state where the paste scraping surface 41a is in contact with or close to the paste scraping surface 41a. By guiding the wire 44 to move downward, the process includes a step of removing the paste Pst adhering to the paste scraping surface 41a of the squeegee 16 by the wire 44 (step ST10 squeegee raising / paste removing step). Yes.

本実施の形態におけるスクリーン印刷装置1及びスクリーン印刷方法では、基板2へのペーストPstの転写を終えたスキージ16がマスク15に対して上昇するとき、スキージ16のペースト掻き寄せ面41aと対向する位置に水平方向に延びて設けられたワイヤ44がスキージ16のペースト掻き寄せ面41aに接触又は近接した状態でペースト掻き寄せ面41aに対して相対的に下動するようになっているので、ワイヤ44によるペーストPstの除去範囲をスキージ16のペースト掻き寄せ面41aの全体に設定することができ、スキージ16からのペーストPstの除去を十分に行うことができる。特に、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1のように、各ワイヤ保持部材45が、スキージ16がマスク15に当接した状態で外周縁をマスク15に接触させることにより、ワイヤ44を各案内溝42aの下端部よりも上方に位置させる円盤部45bを備えているのであれば、円盤部45bの半径を調整することによって、ペーストPstの除去範囲を容易に設定することができる。   In the screen printing apparatus 1 and the screen printing method in the present embodiment, when the squeegee 16 that has finished transferring the paste Pst to the substrate 2 rises with respect to the mask 15, the position facing the paste scraping surface 41a of the squeegee 16 Since the wire 44 extending in the horizontal direction is moved downward relative to the paste scraping surface 41a in a state of being in contact with or close to the paste scraping surface 41a of the squeegee 16, the wire 44 Thus, the removal range of the paste Pst can be set over the entire paste scraping surface 41a of the squeegee 16, and the removal of the paste Pst from the squeegee 16 can be sufficiently performed. In particular, as in the screen printing machine 1 in the present embodiment, each wire holding member 45 brings the wire 44 into each guide groove by bringing the outer peripheral edge into contact with the mask 15 with the squeegee 16 in contact with the mask 15. If the disk part 45b located above the lower end part of 42a is provided, the removal range of the paste Pst can be easily set by adjusting the radius of the disk part 45b.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、一対の壁状部材42は、スキージ16により基板2にペーストPstを転写させているとき、スキージ16のペースト掻き寄せ面41aの両端部からペーストPstが漏れ出ることを防止するペースト漏れ止め部材から成っており、このようなスキージ16にもともと存在する部材を利用してワイヤ44の昇降を行うようにしているので、ペースト除去手段を安価な構成で実現することができる。   Further, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the pair of wall-like members 42 are disposed from both ends of the paste scraping surface 41a of the squeegee 16 when the paste Pst is transferred to the substrate 2 by the squeegee 16. Since the wire 44 is moved up and down by using a member originally present in the squeegee 16, the paste removing means can be constructed with an inexpensive structure. Can be realized.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、本実施の形態では、スキージ16のペースト掻き寄せ面41aと対向する位置に水平方向に延びて設けられたスキージ対向部材が一対のワイヤ保持部材45によって撓みなく水平方向に延びた状態が維持されるワイヤ44から成っていたが、これは必ずしもワイヤ44でなくてもよく、棒状の部材や針金状の部材等であってもよい。   Although the embodiment of the present invention has been described so far, the present invention is not limited to the above. For example, in the present embodiment, the state in which the squeegee-facing member extending in the horizontal direction at a position facing the paste scraping surface 41a of the squeegee 16 is extended in the horizontal direction without bending by the pair of wire holding members 45 is maintained. The wire 44 is not necessarily the wire 44 but may be a rod-shaped member, a wire-shaped member, or the like.

また、基板2へのペーストPstの転写を終えたスキージ16がマスク15に対して上昇するとき、スキージ対向部材(ワイヤ44)がスキージ16のペースト掻き寄せ面41aに接触又は近接した状態でペースト掻き寄せ面41aに対して相対的に下動するようにスキージ対向部材を案内する案内機構は、上述の実施の形態では、スキージ16の両端部に設けられた一対の壁状部材42と、スキージ対向部材の両端部を保持する一対の保持部材(ワイヤ保持部材45)と、一対の壁状部材42にスキージ16のペースト掻き寄せ面41aに沿って形成されて一対の保持部材を移動自在に支持し、基板2へのペーストPstの転写を終えたスキージ16がマスク15に対して上昇するとき、スキージ対向部材がスキージ16のペースト掻き寄せ面41aに接触又は近接した状態でペースト掻き寄せ面41aに対して相対的に下動するように一対の保持部材を案内する一対の案内溝42aとから成るものであったが、案内機構の構成は上記機能を果たすものであれば、上述の実施の形態に示したものに限定されない。   Further, when the squeegee 16 that has finished transferring the paste Pst to the substrate 2 rises with respect to the mask 15, the squeegee facing member (wire 44) scrapes the paste in a state where the squeegee counter member (wire 44) is in contact with or close to the paste scraping surface 41a of the squeegee 16. In the above-described embodiment, the guide mechanism for guiding the squeegee-facing member so as to move downward relative to the approach surface 41a is a pair of wall-like members 42 provided at both ends of the squeegee 16, and the squeegee-facing member. A pair of holding members (wire holding members 45) that hold both ends of the member and a pair of wall-like members 42 formed along the paste scraping surface 41a of the squeegee 16 to support the pair of holding members movably. When the squeegee 16 that has finished transferring the paste Pst to the substrate 2 rises with respect to the mask 15, the squeegee-facing member scrapes the paste on the squeegee 16. The guide mechanism is composed of a pair of guide grooves 42a that guide the pair of holding members so as to move downward relative to the paste scraping surface 41a in contact with or close to the surface 41a. Is not limited to the one described in the above embodiment as long as it fulfills the above function.

スキージからのペーストの除去を十分に行うことができるスクリーン印刷機を提供する。 To provide a screen printing machine capable of removing paste from the squeegee sufficiently.

1 スクリーン印刷機
2 基板
15 マスク
16 スキージ
41a ペースト掻き寄せ面
42 壁状部材(案内機構)
42a 案内溝(案内機構)
44 ワイヤ(スキージ対向部材)
45 ワイヤ保持部材(案内機構、保持部材)
45b 円盤部
Pst ペースト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printer 2 Board | substrate 15 Mask 16 Squeegee 41a Paste scraping surface 42 Wall-shaped member (guide mechanism)
42a Guide groove (guide mechanism)
44 Wire (squeegee facing member)
45 Wire holding member (guide mechanism, holding member)
45b Disk part Pst paste

Claims (2)

基板に接触されるマスクと、
基板に接触された前記マスクに上方から当接した状態で水平面内方向に移動することにより、前記マスク上に供給されたペーストをペースト掻き寄せ面で掻き寄せて基板にペーストを転写させるスキージと、
前記スキージの前記ペースト掻き寄せ面と対向する位置に水平方向に延びて設けられたスキージ対向部材と、
基板へのペーストの転写を終えた後、前記スキージが前記マスクに対して上昇することにより、スキージ対向部材が前記スキージの前記ペースト掻き寄せ面に接触又は近接した状態で前記ペースト掻き寄せ面に対して相対的に下動するように前記スキージ対向部材を案内する案内機構とを備え
前記案内機構は、前記スキージの両端部に設けられた一対の壁状部材と、前記スキージ対向部材の両端部を保持する一対の保持部材と、前記一対の壁状部材に前記スキージの前記ペースト掻き寄せ面に沿って形成されて前記一対の保持部材を移動自在に支持し、基板へのペーストの転写を終えた前記スキージが前記マスクに対して上昇することにより、前記スキージ対向部材が前記スキージの前記ペースト掻き寄せ面に接触又は近接した状態で前記ペースト掻き寄せ面に対して相対的に下動するように前記一対の保持部材を案内する一対の案内溝とを備え、
前記各保持部材は、前記スキージが前記マスクに対して上昇することで前記案内溝内を壁状部材に対して相対的に下降して前記スキージ対向部材を前記各案内溝の下端部側へ移動させるようになっており、
前記各保持部材は、前記スキージが前記マスクに当接した状態で外周縁を前記マスクに接触させることにより、前記スキージ対向部材を前記各案内溝の下端部よりも上方に位置させる円盤部を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
A mask in contact with the substrate;
A squeegee that moves the paste supplied on the mask by a paste scraping surface to transfer the paste to the substrate by moving in a horizontal plane direction while being in contact with the mask in contact with the substrate from above.
A squeegee-facing member provided extending horizontally in a position facing the paste scraping surface of the squeegee;
After finishing the transfer of the paste to the substrate, the squeegee rises with respect to the mask so that the squeegee-facing member is in contact with or close to the paste scraping surface of the squeegee. A guide mechanism for guiding the squeegee-facing member so as to relatively move downward ,
The guide mechanism includes a pair of wall-shaped members provided at both ends of the squeegee, a pair of holding members that hold both ends of the squeegee-facing member, and the paste scraping of the squeegee on the pair of wall-shaped members. The squeegee-facing member is formed along the abutment surface and movably supports the pair of holding members, and the squeegee-facing member is lifted with respect to the mask after finishing the transfer of the paste to the substrate. A pair of guide grooves that guide the pair of holding members so as to move downward relative to the paste scraping surface in contact with or close to the paste scraping surface;
Each holding member moves down in the guide groove relative to the wall-like member as the squeegee rises with respect to the mask and moves the squeegee-facing member to the lower end side of each guide groove. Is supposed to let
Each holding member includes a disk portion that positions the squeegee-facing member above the lower end of each guide groove by bringing an outer peripheral edge into contact with the mask while the squeegee is in contact with the mask. A screen printing machine characterized by that.
前記一対の壁状部材は、前記スキージにより基板にペーストを転写させているとき、前記スキージの前記ペースト掻き寄せ面の両端部からペーストが漏れ出ることを防止するペースト漏れ止め部材から成ることを特徴とする請求項に記載のスクリーン印刷機。 The pair of wall-shaped members are composed of a paste leakage preventing member that prevents the paste from leaking out from both ends of the paste scraping surface of the squeegee when the paste is transferred to the substrate by the squeegee. The screen printing machine according to claim 1 .
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