JP2018024121A - Screen printing apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen printing apparatus, in which viscous materials are sequentially printed on a substrate in two screen printing parts, and the occurrence of a printing failure due to an adhesion of the viscous material to a mask is suppressed.SOLUTION: A screen printing apparatus comprises: a first screen printing part 3A equipped with a small part mask 6 and a first squeegee unit 4A for performing a first printing process upon a substrate 5; a second screen printing part 3B equipped with a large part mask 7 and a second squeegee unit 4B for performing a second printing process upon the substrate subjected to said first printing process; and a mask recognition camera 24 or a substrate recognition camera 15 for imaging the designated point which has been designated in advance as the estimated position of a solder paste. By detecting the presence or absence of the stick of the solder paste on the basis of the image of said designated point of the large part mask 7 or the substrate 5, it is decided whether or not the printing failure has occurred.SELECTED DRAWING: Figure 13

Description

本発明は、2つのスクリーン印刷部において基板に粘性材を順次印刷するスクリーン印刷装置に関する。   The present invention relates to a screen printing apparatus that sequentially prints a viscous material on a substrate in two screen printing units.

プリント基板上に、パターン開口を有するマスクを用いて半田ペーストのような粘性材を塗布するスクリーン印刷装置が知られている。スクリーン印刷装置では、マスクの汚れが問題となる。マスクの基板との対向面に半田ペーストが付着すると、基板の意図しない位置に半田ペーストが印刷され、印刷不良の原因となる。   2. Description of the Related Art Screen printing apparatuses that apply a viscous material such as solder paste on a printed board using a mask having a pattern opening are known. In the screen printing apparatus, contamination of the mask becomes a problem. When the solder paste adheres to the surface of the mask facing the substrate, the solder paste is printed at an unintended position on the substrate, causing a printing failure.

特許文献1には、マスクの裏面(基板対向面)の汚れを検知し、汚れが検知された場合にマスクにクリーニング処理を施すスクリーン印刷装置が開示されている。この装置では、マスクの裏面の画像を撮像し、その画像からマスク裏面に回り込んだ半田ペーストの有無を検出する。半田ペーストが検出された場合、当該マスク裏面がクリーニングされる。特許文献2にも、パターン開口の目詰まりを検出するために、マスクの裏面の画像を撮像するようにしたスクリーン印刷装置が開示されている。   Patent Document 1 discloses a screen printing apparatus that detects a stain on the back surface (substrate facing surface) of a mask and performs a cleaning process on the mask when the stain is detected. In this apparatus, an image of the back surface of the mask is taken, and the presence or absence of solder paste that wraps around the back surface of the mask is detected from the image. When the solder paste is detected, the mask back surface is cleaned. Patent Document 2 also discloses a screen printing apparatus that captures an image of the back surface of a mask in order to detect clogging of a pattern opening.

特開2000−309089号公報JP 2000-309089 A 特開平5−229109号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-229109

ある種のスクリーン印刷装置では、2つのスクリーン印刷部において基板に半田ペーストを順次印刷する場合がある。例えば、先ず薄肉のマスクを用いて小型部品用の半田パターンを基板に印刷する第1印刷処理を施し、次いで、第1印刷処理後の基板に対して厚肉のマスクを用いて大型部品用の半田パターンを印刷する第2印刷処理を行うという、順次印刷タイプのスクリーン印刷装置がある。このタイプのスクリーン印刷装置において、不適切な第1印刷処理が行われると、基板上の本来ならば印刷されてはならない箇所に半田ペーストが印刷され、第2印刷処理においてマスク裏面に半田ペーストが付着することがある。この場合、その後の第2印刷処理に支障を来す、つまり印刷不良の基板を発生させてしまうという問題が生じる。   In some types of screen printing apparatuses, solder paste may be sequentially printed on a substrate in two screen printing units. For example, first, a first printing process for printing a solder pattern for a small component on a substrate using a thin mask is performed, and then a substrate for a large component using a thick mask is performed on the substrate after the first printing process. There is a sequential printing type screen printing apparatus that performs a second printing process for printing a solder pattern. In this type of screen printing apparatus, when an inappropriate first printing process is performed, a solder paste is printed on a portion that should not be printed on the substrate, and in the second printing process, the solder paste is applied to the back surface of the mask. May adhere. In this case, there arises a problem that the subsequent second printing process is hindered, that is, a defective substrate is generated.

本発明の目的は、2つのスクリーン印刷部において基板に粘性材を順次印刷するスクリーン印刷装置において、マスクへの粘性材の付着に起因する印刷不良の発生を抑止することができるスクリーン印刷装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a screen printing apparatus that can suppress the occurrence of printing defects due to adhesion of viscous material to a mask in a screen printing apparatus that sequentially prints viscous material on a substrate in two screen printing units. There is to do.

本発明の一局面に係るスクリーン印刷装置は、第1マスク及び第1印刷部を備え、基板に対して粘性材をスクリーン印刷する第1印刷処理を行う第1スクリーン印刷部と、第2マスク及び第2印刷部を備え、前記第1印刷処理が行われた基板に対して粘性材をスクリーン印刷する第2印刷処理を行う第2スクリーン印刷部と、前記第1印刷処理又は前記第2印刷処理に起因した前記粘性材の付着予想位置として、予め指定された指定ポイントを撮像する撮像部と、前記撮像部が取得した画像に基づいて、前記指定ポイントに前記粘性材が存在するか否かを判定する判定部と、を備える。   A screen printing apparatus according to an aspect of the present invention includes a first mask and a first printing unit, a first screen printing unit that performs a first printing process for screen printing a viscous material on a substrate, a second mask, A second screen printing section that includes a second printing section and that performs a second printing process for screen printing a viscous material on the substrate on which the first printing process has been performed; and the first printing process or the second printing process. Based on the image acquired by the imaging unit and an image acquired by the imaging unit, whether or not the viscous material exists at the specified point A determination unit for determining.

このスクリーン印刷装置によれば、撮像部が粘性材の付着予想位置としての指定ポイントを撮像する。前記付着予想位置は、例えば、想定される誤った印刷処理が行われた場合に前記粘性材が付着してしまう箇所、或いは、正規の印刷処理が行われた場合に前記粘性材が付着する箇所である。そして、判定部が指定ポイントに前記粘性材が存在するか否かを判定する。前記指定ポイントにおける前記粘性材の有無により、誤った印刷処理又は正規の印刷処理が行われたか否かを把握することができる。従って、判定部の判定結果に基づき、印刷不良の発生を防止する種々の対策を取ることが可能となる。   According to this screen printing apparatus, the imaging unit images the designated point as the predicted adhesion position of the viscous material. The estimated adhesion position is, for example, a location where the viscous material adheres when an assumed erroneous printing process is performed, or a location where the viscous material adheres when a regular printing process is performed. It is. And the determination part determines whether the said viscous material exists in a designated point. Based on the presence or absence of the viscous material at the designated point, it is possible to grasp whether an erroneous printing process or a regular printing process has been performed. Therefore, it is possible to take various measures for preventing the occurrence of printing defects based on the determination result of the determination unit.

上記のスクリーン印刷装置において、前記指定ポイントが前記第2マスクの裏面の特定位置であり、前記撮像部は前記第2印刷処理後に前記第2マスクの前記特定位置を撮像するように構成することが望ましい。   In the screen printing apparatus, the designated point is a specific position on the back surface of the second mask, and the imaging unit is configured to image the specific position of the second mask after the second printing process. desirable.

このスクリーン印刷装置によれば、判定部は第2マスクの裏面に粘性材が付着しているか否かを判定することができる。例えば、第1マスクが正規の位置に取り付けられない状態で第1印刷処理が実行された場合、基板上の第1印刷処理による印刷パターンと第2マスクに備えられている逃がしパターンとの位置が合わなくなり、第2マスクの裏面(基板との対向面)に粘性材が付着する。しかも、第1マスクの取り付けミスは、一般に正規の位置に対して反転して取り付けられることで発生し、当該ミスが生じた場合に第2マスクのどの位置に粘性材が付着するかの予想ができる。従って、第2マスク裏面の特定位置への粘性材の付着を検知することで第1印刷処理の誤りを知見することができ、その後の印刷不良の発生を防止することが可能となる。   According to this screen printing apparatus, the determination unit can determine whether or not the viscous material is attached to the back surface of the second mask. For example, when the first printing process is performed in a state where the first mask is not attached to the regular position, the positions of the print pattern by the first printing process on the substrate and the escape pattern provided in the second mask are The viscous material adheres to the back surface of the second mask (the surface facing the substrate). In addition, the attachment mistake of the first mask generally occurs when the first mask is reversed and attached to the regular position, and when the mistake occurs, it is predicted where the viscous material will adhere to the second mask. it can. Therefore, it is possible to detect an error in the first printing process by detecting the adhesion of the viscous material to a specific position on the back surface of the second mask, and it is possible to prevent the occurrence of subsequent printing defects.

この場合、前記第2マスクの裏面をクリーニングするクリーニング部をさらに備え、前記クリーニング部は、前記判定部が前記第2マスクの裏面に前記粘性材が存在すると判定した場合に、前記第2マスクの裏面をクリーニングすることが望ましい。   In this case, the cleaning unit further includes a cleaning unit that cleans the back surface of the second mask, and the cleaning unit detects the second mask when the determination unit determines that the viscous material is present on the back surface of the second mask. It is desirable to clean the back side.

このスクリーン印刷装置によれば、第2マスクの裏面に付着した粘性材がクリーニング部によって除去される。従って、その後の第2印刷処理において、第2マスクから基板の意図しない箇所に粘性材が付着することを防止することができる。   According to this screen printing apparatus, the viscous material attached to the back surface of the second mask is removed by the cleaning unit. Therefore, in the subsequent second printing process, it is possible to prevent the viscous material from adhering to the unintended portion of the substrate from the second mask.

上記のスクリーン印刷装置において、前記指定ポイントが、前記第1印刷処理が行われた基板の特定位置であり、前記撮像部は前記第1印刷処理後に前記基板の特定位置を撮像するように構成することが望ましい。   In the above screen printing apparatus, the designated point is a specific position of the substrate on which the first printing process has been performed, and the imaging unit is configured to image the specific position of the substrate after the first printing process. It is desirable.

このスクリーン印刷装置によれば、撮像部が第1印刷処理後に基板の特定位置を撮像する。これにより、第1印刷処理が正規に実行されたか否かを確認することが可能となる。   According to this screen printing apparatus, the imaging unit images a specific position of the substrate after the first printing process. As a result, it is possible to confirm whether or not the first printing process has been properly executed.

上記のスクリーン印刷装置において、前記第1印刷処理及び前記第2印刷処理の動作を制御する印刷制御部をさらに備え、前記基板の特定位置が、正規の前記第1印刷処理では前記粘性材が付着し得ない所定の非正規位置であって、前記印刷制御部は、前記判定部が前記非正規位置に前記粘性材が存在すると判定した場合に、前記第2印刷処理の実行を中止させることが望ましい。   The screen printing apparatus further includes a print control unit that controls operations of the first printing process and the second printing process, and the specific position of the substrate is attached to the viscous material in the regular first printing process. The print control unit may stop the execution of the second printing process when the determination unit determines that the viscous material is present at the non-normal position at a predetermined non-normal position that cannot be obtained. desirable.

このスクリーン印刷装置によれば、基板の非正規位置への粘性材の付着が検知されると、第2印刷処理が中止される。非正規位置へ粘性材が付着する要因は、第1マスクの取り付けミスや、第1スクリーン印刷部から第2スクリーン印刷部への基板移動時における基板の位置決めミスなどがある。このようなミスが生じた場合、印刷制御部によって第2印刷処理の実行が中止されるので、印刷不良の発生を防止することができる。   According to this screen printing apparatus, when the adhesion of the viscous material to the irregular position of the substrate is detected, the second printing process is stopped. Factors that cause the viscous material to adhere to the non-regular position include a mounting error of the first mask and a substrate positioning error when the substrate is moved from the first screen printing unit to the second screen printing unit. When such a mistake occurs, the print control unit stops the execution of the second printing process, so that it is possible to prevent the occurrence of printing defects.

上記のスクリーン印刷装置において、前記第1印刷処理及び前記第2印刷処理の動作を制御する印刷制御部をさらに備え、前記基板の特定位置が、正規の前記第1印刷処理で前記粘性材が付着する所定の正規位置であって、前記印刷制御部は、前記判定部が前記正規位置に前記粘性材が存在しないと判定した場合に、前記第2印刷処理の実行を中止させることが望ましい。   The screen printing apparatus further includes a print control unit that controls operations of the first printing process and the second printing process, and the specific material is attached to the specific position of the substrate in the normal first printing process. Preferably, the print control unit stops the execution of the second printing process when the determination unit determines that the viscous material does not exist at the normal position.

このスクリーン印刷装置によれば、基板の正規位置への粘性材の付着が検知されない場合に、第2印刷処理が中止される。正規位置へ粘性材が付着しない要因は、第1マスクの取り付けミスや、基板移動時における基板の位置決めミスなどがある。このようなミスが生じた場合、印刷制御部によって第2印刷処理の実行が中止されるので、印刷不良の発生を防止することができる。   According to this screen printing apparatus, the second printing process is stopped when the adhesion of the viscous material to the regular position of the substrate is not detected. Factors that prevent the viscous material from adhering to the normal position include a mounting error of the first mask and a positioning error of the substrate when the substrate is moved. When such a mistake occurs, the print control unit stops the execution of the second printing process, so that it is possible to prevent the occurrence of printing defects.

この場合、前記基板を前記第1スクリーン印刷部から前記第2スクリーン印刷部へ搬送する基板搬送部をさらに備え、前記撮像部は、前記第1スクリーン印刷部に配置され、前記印刷制御部は、前記第2印刷処理の実行を中止させるために、前記基板搬送部による前記基板の前記第1スクリーン印刷部から前記第2スクリーン印刷部への搬送を停止させることが望ましい。   In this case, the apparatus further includes a substrate transport unit that transports the substrate from the first screen printing unit to the second screen printing unit, the imaging unit is disposed in the first screen printing unit, and the print control unit includes: In order to stop the execution of the second printing process, it is preferable that the conveyance of the substrate from the first screen printing unit to the second screen printing unit by the substrate conveying unit is stopped.

このスクリーン印刷装置によれば、第1印刷処理において不具合が生じた場合に、当該基板の第2スクリーン印刷部への搬送を行わせない。従って、速やかに印刷不良に対する対策を取ることが可能となる。   According to this screen printing apparatus, when a problem occurs in the first printing process, the substrate is not transported to the second screen printing unit. Therefore, it is possible to take measures against printing defects promptly.

上記のスクリーン印刷装置において、前記第1マスクは、所定の第1厚さを有し、所定の第1パターン開口を備え、前記第2マスクは、前記第1厚さよりも厚い第2厚さを有し、所定の第2パターン開口と前記第1パターン開口に対応する位置に設けられた逃がし凹部とを備える構成とすることができる。   In the screen printing apparatus, the first mask has a predetermined first thickness and includes a predetermined first pattern opening, and the second mask has a second thickness that is thicker than the first thickness. And having a predetermined second pattern opening and an escape recess provided at a position corresponding to the first pattern opening.

このスクリーン印刷装置によれば、小型部品用の第1印刷処理、これに続く大型部品用の第2印刷処理が行われる順次印刷型のスクリーン印刷装置に本発明を適用することができる。すなわち、第1印刷処理による印刷パターンが第2マスクの逃がし凹部で回避されず、第2マスクに粘性材が付着することに伴う印刷不良の発生を防止することができる。   According to this screen printing apparatus, the present invention can be applied to a sequential printing type screen printing apparatus in which the first printing process for small parts and the second printing process for large parts are performed. That is, the printing pattern by the first printing process is not avoided by the escape recess of the second mask, and it is possible to prevent the occurrence of printing failure due to the viscous material adhering to the second mask.

上記のスクリーン印刷装置において、前記第1、第2スクリーン印刷部が各々独立した装置構成を備え、前記第1スクリーン印刷部と前記第2スクリーン印刷部との間に配置され、オペレータがアクセス可能な状態で前記基板を搬送する連結コンベアをさらに備える構成とすることができる。   In the above screen printing apparatus, the first and second screen printing units each have an independent device configuration, and are arranged between the first screen printing unit and the second screen printing unit, and are accessible by an operator. It can be set as the structure further equipped with the connection conveyor which conveys the said board | substrate in a state.

このスクリーン印刷装置によれば、第1印刷処理を終え、連結コンベアを搬送されている基板をオペレータが取り出すことが可能となる。その基板を連結コンベアへ戻す際、基板の搭載方向を誤るミスを犯し得るが、本発明によれば、このようなミスを検出し、第2印刷処理において印刷不良が発生することを防止できる。   According to this screen printing apparatus, the first printing process is completed, and the operator can take out the substrate being transported on the connection conveyor. When returning the substrate to the connection conveyor, a mistake may be made in which the mounting direction of the substrate is mistaken. However, according to the present invention, such a mistake can be detected and a printing failure can be prevented from occurring in the second printing process.

本発明によれば、2つのスクリーン印刷部において基板に粘性材を順次印刷するスクリーン印刷装置において、マスクへの粘性材の付着に起因する印刷不良の発生を抑止することができる。   According to the present invention, in the screen printing apparatus that sequentially prints the viscous material on the substrate in the two screen printing units, it is possible to suppress the occurrence of printing defects due to the adhesion of the viscous material to the mask.

図1は、本発明の実施形態に係るスクリーン印刷装置の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. 図2は、前記スクリーン印刷装置のY方向の模式的な側面図である。FIG. 2 is a schematic side view of the screen printing apparatus in the Y direction. 図3は、前記スクリーン印刷装置のX方向の模式的な側面図である。FIG. 3 is a schematic side view of the screen printing apparatus in the X direction. 図4はマスクの例を示す縦断面図であり、図4(A)は、小型部品用のマスクを、図4(B)は、大型部品用のマスクをそれぞれ示している。FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing an example of a mask. FIG. 4A shows a mask for small parts, and FIG. 4B shows a mask for large parts. 図5は、順次印刷の動作を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a sequential printing operation. 図6は、順次印刷の動作を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a sequential printing operation. 図7は、順次印刷の動作を示す模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a sequential printing operation. 図8は、順次印刷の動作を示す模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing a sequential printing operation. 図9は、順次印刷の動作を示す模式図である。FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a sequential printing operation. 図10は、順次印刷の動作を示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a sequential printing operation. 図11は、順次印刷の失敗例を示す模式図である。FIG. 11 is a schematic diagram illustrating an example of sequential printing failure. 図12は、前記スクリーン印刷装置の電気的構成を示すブロック図である。FIG. 12 is a block diagram showing an electrical configuration of the screen printing apparatus. 図13は、前記スクリーン印刷装置の動作の第1実施形態を示すフローチャートである。FIG. 13 is a flowchart showing a first embodiment of the operation of the screen printing apparatus. 図14は、前記スクリーン印刷装置の動作の第2実施形態を示すフローチャートである。FIG. 14 is a flowchart showing a second embodiment of the operation of the screen printing apparatus. 図15は、前記スクリーン印刷装置の動作の第3実施形態を示すフローチャートである。FIG. 15 is a flowchart showing a third embodiment of the operation of the screen printing apparatus. 図16は、前記スクリーン印刷装置の動作の第4実施形態を説明するための模式図である。FIG. 16 is a schematic diagram for explaining a fourth embodiment of the operation of the screen printing apparatus. 図17は、前記スクリーン印刷装置の動作の第5実施形態を説明するための模式図である。FIG. 17 is a schematic diagram for explaining a fifth embodiment of the operation of the screen printing apparatus. 図18は、前記第5実施形態における印刷ずれの説明図である。FIG. 18 is an explanatory diagram of printing misalignment in the fifth embodiment.

[スクリーン印刷装置の全体構造]
以下、図面に基づいて、本発明の実施形態を詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態に係るスクリーン印刷装置100の平面図、図2は、スクリーン印刷装置100のY方向の模式的な側面図、図3は、X方向の模式的な側面図である。本実施形態では、プリント基板(以下、基板5)の上面に半田ペーストをマスク印刷するスクリーン印刷装置100を例示する。すなわち、本実施形態において粘性材は半田ペーストである。
[Overall structure of screen printing device]
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 is a plan view of a screen printing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic side view of the screen printing apparatus 100 in the Y direction, and FIG. 3 is a schematic side view of the X direction. is there. In the present embodiment, a screen printing apparatus 100 that performs mask printing of a solder paste on the upper surface of a printed board (hereinafter referred to as a board 5) is illustrated. That is, in this embodiment, the viscous material is a solder paste.

図1に示すように、スクリーン印刷装置100は、搬送方向上流側(X方向右側)の搬入位置EnのローダLDから基板5が搬入され、当該基板5に対してスクリーン印刷処理を施し、搬送方向下流側(X方向左側)の搬出位置Exから下流側装置Mへと基板5を搬出する。なお、基板5の搬送方向がX方向であり、水平面内でX方向と直交する方向がY方向である。また、XおよびY方向と直交する上下方向がZ方向である。下流側装置Mは、例えば、半田ペーストが印刷された基板5上に各種の電子部品を実装する部品実装装置である。   As shown in FIG. 1, the screen printing apparatus 100 receives a substrate 5 from a loader LD at a carry-in position En on the upstream side in the transport direction (right side in the X direction), performs a screen printing process on the substrate 5, and performs the transport direction. The substrate 5 is unloaded from the unloading position Ex on the downstream side (left side in the X direction) to the downstream apparatus M. In addition, the conveyance direction of the board | substrate 5 is a X direction, and the direction orthogonal to a X direction in a horizontal surface is a Y direction. Further, the vertical direction perpendicular to the X and Y directions is the Z direction. The downstream device M is a component mounting device that mounts various electronic components on the substrate 5 on which a solder paste is printed, for example.

スクリーン印刷装置100は、基台1と、基板5の保持および搬送を行う基板作業テーブル2と、基板5に半田ペーストのスクリーン印刷を行う第1スクリーン印刷部3A及び第2スクリーン印刷部3Bとを備えている。第1スクリーン印刷部3Aは、小型部品用マスク6(第1マスク)を具備する第1印刷テーブル30Aと、小型部品用マスク6を介して基板5に半田ペーストをスクリーン印刷する第1印刷処理を行うための第1スキージユニット4A(第1印刷部)とを備える。第2スクリーン印刷部3Bは、大型部品用マスク7(第2マスク)を具備する第2印刷テーブル30Bと、大型部品用マスク7を介して、前記第1印刷処理が行われた基板5に半田ペーストをスクリーン印刷する第2印刷処理を行うための第2スキージユニット4B(第2印刷部)とを備える。また、スクリーン印刷装置100には、以下に説明する各部の動作制御を行うための後述する制御部90(図12参照)が内蔵されている。   The screen printing apparatus 100 includes a base 1, a substrate work table 2 that holds and conveys the substrate 5, and a first screen printing unit 3A and a second screen printing unit 3B that perform screen printing of solder paste on the substrate 5. I have. The first screen printing unit 3A performs a first printing process of screen printing a solder paste on the substrate 5 through the first printing table 30A including the small component mask 6 (first mask) and the small component mask 6. A first squeegee unit 4 </ b> A (first printing unit). The second screen printing unit 3B is soldered to the substrate 5 on which the first printing process has been performed via the second printing table 30B having the large component mask 7 (second mask) and the large component mask 7. A second squeegee unit 4B (second printing unit) for performing a second printing process for screen-printing the paste. Further, the screen printing apparatus 100 incorporates a control unit 90 (see FIG. 12) to be described later for performing operation control of each unit described below.

基台1は、スクリーン印刷装置100の下部に配置され、当該スクリーン印刷装置100が備える各装置を支持する。基板作業テーブル2は、基台1上に配置され、搬入位置Enで基板5を受け取り、印刷作業時には順次第1、第2印刷テーブル30A、30Bに対向して基板5を支持して固定し、印刷済みの基板5を搬出位置Exから搬出する機能を有する。なお、第2のローダLDをY方向に並置すると共に、基台1にY方向に並ぶように第2の基板作業テーブル2を配置する構成としても良い。   The base 1 is disposed in the lower part of the screen printing apparatus 100 and supports each apparatus included in the screen printing apparatus 100. The substrate work table 2 is arranged on the base 1, receives the substrate 5 at the carry-in position En, and supports and fixes the substrate 5 sequentially facing the first and second print tables 30A and 30B during the printing work, It has a function of carrying out the printed substrate 5 from the carry-out position Ex. The second loader LD may be juxtaposed in the Y direction, and the second substrate work table 2 may be arranged on the base 1 in the Y direction.

基板作業テーブル2は、Y方向に移動可能な可動台21と、この可動台21上に配置された搬送コンベア22、クランプユニット23、マスク認識カメラ24(撮像部)及びクリーニングユニット25(クリーニング部)とを含む。搬送コンベア22は、搬送方向(X方向)に延びる一対のコンベアレールからなる。クランプユニット23は、搬送コンベア22上の基板5を、当該搬送コンベア22から上方に離間した状態で印刷作業が可能なように保持しつつ、X方向に移動させるための機構である。マスク認識カメラ24は、クランプユニット23に付設されている。クリーニングユニット25は、可動台21上に配置されている。   The substrate work table 2 includes a movable table 21 movable in the Y direction, a transport conveyor 22, a clamp unit 23, a mask recognition camera 24 (imaging unit), and a cleaning unit 25 (cleaning unit) disposed on the movable table 21. Including. The conveyor 22 includes a pair of conveyor rails that extend in the conveying direction (X direction). The clamp unit 23 is a mechanism for moving the substrate 5 on the conveyor 22 in the X direction while holding the substrate 5 so as to be able to perform a printing operation in a state of being spaced upward from the conveyor 22. The mask recognition camera 24 is attached to the clamp unit 23. The cleaning unit 25 is disposed on the movable table 21.

可動台21は、基台1上にY方向に延びるように配設されているガイドレール11により、Y方向に移動可能に支持されている。可動台21は、テーブル駆動機構によってガイドレール11上をY方向に移動される。具体的には可動台21は、Y方向に延びるねじ軸12と、ねじ軸12を回転駆動するサーボモータ13とによってY方向に移動される。可動台21のY方向の移動範囲は、第1及び第2印刷テーブル30A、30Bの直下の位置へそれぞれ移動できるように設定されている。   The movable table 21 is supported by the guide rail 11 disposed on the base 1 so as to extend in the Y direction so as to be movable in the Y direction. The movable table 21 is moved in the Y direction on the guide rail 11 by a table driving mechanism. Specifically, the movable base 21 is moved in the Y direction by a screw shaft 12 extending in the Y direction and a servo motor 13 that rotationally drives the screw shaft 12. The range of movement of the movable base 21 in the Y direction is set so that it can be moved to a position directly below the first and second printing tables 30A and 30B.

搬送コンベア22は、スクリーン印刷装置100のX方向の略全長にわたって延びる一対のコンベアレールを含む。搬送コンベア22の位置を搬入位置En及び搬出位置ExのY軸座標に一致させることで、基板5の搬入及び搬出が可能である。搬送コンベア22の前記一対のコンベアレールの一方を、可動台21上でY方向に移動させることが可能である。このため、搬送される基板5のサイズに合わせて、コンベア幅(コンベアレール間の間隔)を変更することができる。   The conveyor 22 includes a pair of conveyor rails that extend over substantially the entire length of the screen printing apparatus 100 in the X direction. By making the position of the conveyor 22 coincide with the Y-axis coordinates of the carry-in position En and the carry-out position Ex, the board 5 can be carried in and out. One of the pair of conveyor rails of the conveyor 22 can be moved in the Y direction on the movable table 21. For this reason, according to the size of the board | substrate 5 conveyed, the conveyor width (interval between conveyor rails) can be changed.

クランプユニット23は、搬送コンベア22の前記一対のコンベアレールをY方向両外側から抱え込むように配置された可動ユニットである。クランプユニット23は、可動台21上に設けられたX軸移動機構51(図2参照)により、ガイドレール51a上をX方向に移動可能である。すなわち、クランプユニット23は、搬送コンベア22に沿ってX方向に移動可能である。なお、クランプユニット23のY方向の幅は、搬送コンベア22の前記コンベア幅に対応して変更可能である。   The clamp unit 23 is a movable unit arranged so as to hold the pair of conveyor rails of the transport conveyor 22 from both outer sides in the Y direction. The clamp unit 23 is movable in the X direction on the guide rail 51a by an X-axis moving mechanism 51 (see FIG. 2) provided on the movable base 21. That is, the clamp unit 23 is movable in the X direction along the transport conveyor 22. The width of the clamp unit 23 in the Y direction can be changed according to the conveyor width of the transport conveyor 22.

クランプユニット23は、基板5の側辺を把持して固定するためのクランプ機構52と、搬送コンベア22上の基板5を持ち上げて支持するための支持機構53とを含む。図3に示されているように、クランプ機構52は、基板5のY2方向の側辺に沿って配置された固定クランプ部52aと、基板5のY2方向の側辺に沿って配置された移動クランプ部52bとを備える。移動クランプ部52bは、図示しないエアシリンダの駆動によって、固定クランプ部52aに近付く方向に移動可能であり、これによりクランプ機構52は、搬送コンベア22上の基板5をY方向の両側から挟み込むようにクランプすることができる。なお、前記エアシリンダを逆方向に作動させることで、前記クランプが解除される。   The clamp unit 23 includes a clamp mechanism 52 for holding and fixing the side of the substrate 5 and a support mechanism 53 for lifting and supporting the substrate 5 on the transport conveyor 22. As shown in FIG. 3, the clamp mechanism 52 includes a fixed clamp portion 52 a disposed along the Y2 direction side of the substrate 5 and a movement disposed along the Y2 direction side of the substrate 5. And a clamp portion 52b. The moving clamp part 52b can be moved in a direction approaching the fixed clamp part 52a by driving an air cylinder (not shown), so that the clamp mechanism 52 sandwiches the substrate 5 on the conveyor 22 from both sides in the Y direction. Can be clamped. The clamp is released by operating the air cylinder in the reverse direction.

支持機構53は、複数のバックアップピン53aと、このバックアップピン53aを上下に移動させる昇降機構53bとを含む。バックアップピン53aは、基板5の下側に立設され、基板5の下面に当接するピン先端部を有する。昇降機構53bは、バックアップピン53aを上昇させて前記ピン先端部を基板5の下面に接触させ、さらに搬送コンベア22上の基板5を持ち上げて支持させる。支持機構53によって持ち上げられた基板5がクランプ機構52によって把持されることにより、基板5が搬送コンベア22から上方に離間した状態で固定的に保持される。これにより、基板作業テーブル2上で基板5にスクリーン印刷作業を行うことが可能となる。   The support mechanism 53 includes a plurality of backup pins 53a and an elevating mechanism 53b that moves the backup pins 53a up and down. The backup pin 53 a is erected on the lower side of the substrate 5 and has a pin tip portion that contacts the lower surface of the substrate 5. The elevating mechanism 53b raises the backup pin 53a to bring the tip of the pin into contact with the lower surface of the substrate 5, and further lifts and supports the substrate 5 on the conveyor 22. When the substrate 5 lifted by the support mechanism 53 is gripped by the clamp mechanism 52, the substrate 5 is fixedly held in a state of being separated upward from the transport conveyor 22. Thereby, it is possible to perform screen printing work on the substrate 5 on the substrate work table 2.

マスク認識カメラ24は、CCDエリアセンサなどからなり、クランプユニット23のY1方向の外側に、撮像方向を上方に向けて取り付けられている。このため、マスク認識カメラ24は、基板作業テーブル2の移動に伴ってY方向に移動可能で、クランプユニット23の移動に伴ってX方向に移動可能である。マスク認識カメラ24は、第1、第2スクリーン印刷部3A、3Bに各々保持されたスクリーンマスク(後述する小型部品用マスク6、大型部品用マスク7)の下面側に付されたマスク認識マークを下方から撮像する。この撮像により得られた画像データから、前記スクリーンマスクの位置及び姿勢が認識される。   The mask recognition camera 24 is composed of a CCD area sensor or the like, and is attached to the outside of the clamp unit 23 in the Y1 direction with the imaging direction facing upward. For this reason, the mask recognition camera 24 can move in the Y direction as the substrate work table 2 moves, and can move in the X direction as the clamp unit 23 moves. The mask recognition camera 24 has a mask recognition mark attached to the lower surface side of the screen mask (small component mask 6 and large component mask 7 described later) held in the first and second screen printing units 3A and 3B. Take an image from below. From the image data obtained by this imaging, the position and orientation of the screen mask are recognized.

クリーニングユニット25は、前記スクリーンマスクのクリーナーである。クリーニングユニット25は、前記スクリーンマスクの基板接触面(下面)に接触されるパッドと、前記パッドを介して負圧吸引を行う吸引ノズルと、を含むクリーニングヘッドを備えている。前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの基板接触面に接触させた状態で、基板作業テーブル2とスクリーンマスクとをY方向に相対移動(摺動)させることにより、前記基板接触面やパターン開口内に付着した半田ペーストが除去される。前記クリーニングヘッドは、基板作業テーブル2に対して上下に昇降可能であり、マスク清掃時以外には、前記スクリーンマスクと非接触となる下降位置に退避する。   The cleaning unit 25 is a cleaner for the screen mask. The cleaning unit 25 includes a cleaning head including a pad that is in contact with the substrate contact surface (lower surface) of the screen mask and a suction nozzle that performs negative pressure suction through the pad. With the cleaning head in contact with the substrate contact surface of the screen mask, the substrate work table 2 and the screen mask are relatively moved (slid) in the Y direction to adhere to the substrate contact surface and the pattern opening. The solder paste is removed. The cleaning head can be moved up and down with respect to the substrate work table 2 and is retracted to a lowered position that is not in contact with the screen mask except during mask cleaning.

上述の本来の役目に加えて、本発明の一つの実施形態ではマスク認識カメラ24は、半田ペーストの付着予想位置として予め指定された前記スクリーンマスク(本実施形態では大型部品用マスク7)の指定ポイントを撮像する役目も果たす。また、クリーニングユニット25は、前記指定ポイントに半田ペーストが存在していると判定された場合に、前記スクリーンマスクをクリーニングする。これらの点については、後記で詳述する。   In addition to the above-described original role, in one embodiment of the present invention, the mask recognition camera 24 designates the screen mask (in this embodiment, the large component mask 7) designated in advance as a solder paste expected position. Also plays the role of imaging points. The cleaning unit 25 cleans the screen mask when it is determined that the solder paste is present at the designated point. These points will be described in detail later.

基台1上には、一対のフレーム構造体14が立設されている。一対のフレーム構造体14は、基板作業テーブル2の上方を跨いでそれぞれY方向に延び、X方向に所定の間隔を隔てて配置されている。各々のフレーム構造体14は、門型構造を有しており、基台1のY方向の両端部近傍から上方に延びる一対の脚部14aと、脚部14aの上端同士を水平方向に繋ぐ梁部14bとを含む。   A pair of frame structures 14 are erected on the base 1. The pair of frame structures 14 extend over the substrate work table 2 in the Y direction and are arranged at predetermined intervals in the X direction. Each frame structure 14 has a gate structure, and a pair of legs 14a extending upward from the vicinity of both ends in the Y direction of the base 1 and beams connecting the upper ends of the legs 14a in the horizontal direction. Part 14b.

基板作業テーブル2の上方を跨ぐ搬送方向上流側(図1の右側)のフレーム構造体14(梁部14b)の下面側には、2つの基板認識カメラ15(図3参照)が固定的に設置されている。基板認識カメラ15は、基板作業テーブル2上の基板5を撮像するためのカメラである。基板認識カメラ15は、CCDエリアセンサなどからなり、撮像方向を下方に向けて設置されている。基板認識カメラ15は、基板5の上面に付された図示しない基板認識マークを撮像する。この撮像により得られた画像データから、クランプユニット23に把持された基板5の位置および姿勢が認識される。   Two substrate recognition cameras 15 (see FIG. 3) are fixedly installed on the lower surface side of the frame structure 14 (beam portion 14b) on the upstream side (right side in FIG. 1) across the substrate work table 2. Has been. The board recognition camera 15 is a camera for imaging the board 5 on the board work table 2. The substrate recognition camera 15 is composed of a CCD area sensor or the like, and is installed with the imaging direction facing downward. The substrate recognition camera 15 images a substrate recognition mark (not shown) attached to the upper surface of the substrate 5. From the image data obtained by this imaging, the position and orientation of the substrate 5 held by the clamp unit 23 are recognized.

この機能に加えて基板認識カメラ15は、本発明の他の実施形態では半田ペーストの付着予想位置として予め指定された基板5の指定ポイントを撮像する役目も果たす。指定ポイントは、正規の印刷処理で半田ペーストが付着する位置、或いは正規の印刷処理では半田ペーストが付着し得ない位置などである。これらの点については、後記で詳述する。   In addition to this function, the board recognition camera 15 also plays a role of imaging a designated point of the board 5 designated in advance as a solder paste adhesion predicted position in another embodiment of the present invention. The designated point is a position where the solder paste adheres in the regular printing process or a position where the solder paste cannot adhere in the regular printing process. These points will be described in detail later.

第1印刷テーブル30Aは、一対のフレーム構造体14に設けられた一対のガイドレール33aによりX方向の両側を支持され、基板作業テーブル2よりも上方の位置に配置されている。第1印刷テーブル30Aは、Y方向に延びるガイドレール33aに沿ってY方向に移動可能であると共に、上下方向(Z方向)に移動可能である。同様に、第2印刷テーブル30Bもガイドレール33aで支持され、Y方向に移動可能である。第1、第2印刷テーブル30A、30Bは各々、スクリーンマスクが着脱可能に組み付けられる略矩形状のマスク固定部材31と、マスク固定部材31を昇降(Z軸方向移動)させるマスク昇降機構32と、マスク固定部材31をZ軸回りに回動させるとともに、Y方向に移動させるための一対のマスク駆動機構33とを有している。   The first printing table 30 </ b> A is supported on both sides in the X direction by a pair of guide rails 33 a provided on the pair of frame structures 14, and is disposed at a position above the substrate work table 2. The first printing table 30A is movable in the Y direction along the guide rail 33a extending in the Y direction, and is movable in the vertical direction (Z direction). Similarly, the second printing table 30B is also supported by the guide rail 33a and is movable in the Y direction. Each of the first and second printing tables 30A and 30B includes a substantially rectangular mask fixing member 31 to which the screen mask is detachably assembled, a mask lifting mechanism 32 for moving the mask fixing member 31 up and down (moving in the Z-axis direction), and The mask fixing member 31 is rotated around the Z axis and has a pair of mask drive mechanisms 33 for moving in the Y direction.

第1印刷テーブル30Aのマスク固定部材31には、小型部品用マスク6が組み付けられている。図4(A)は、小型部品用マスク6の一例を模式的に示す縦断面図である。小型部品用マスク6は、所定の第1厚さt1を有し、所定の小パターン開口61(第1パターン開口)を備えている。小パターン開口61は、例えば0402サイズの電子部品やボールピッチが0.4mmのBGA等の小型電子部品に対応したパターンで穿孔された微小な開口である。第1厚さt1は、前記小型電子部品に適した厚みに設定される。好適な第1厚さt1は、例えば70μmである。小型部品用マスク6を用いてスクリーン印刷を行うことにより、基板5の表面には、小パターン開口61に応じた半田パターンが印刷される。この半田パターンの高さは、第1厚さt1と同じ、若しくは当該半田パターンに作用する重力のため第1厚さt1より僅かに小さい高さとなる。   The small component mask 6 is assembled to the mask fixing member 31 of the first printing table 30A. FIG. 4A is a longitudinal sectional view schematically showing an example of the small component mask 6. The small component mask 6 has a predetermined first thickness t1 and includes a predetermined small pattern opening 61 (first pattern opening). The small pattern opening 61 is a minute opening perforated with a pattern corresponding to, for example, an electronic component of 0402 size or a small electronic component such as a BGA having a ball pitch of 0.4 mm. The first thickness t1 is set to a thickness suitable for the small electronic component. A suitable first thickness t1 is, for example, 70 μm. By performing screen printing using the small component mask 6, a solder pattern corresponding to the small pattern opening 61 is printed on the surface of the substrate 5. The height of the solder pattern is the same as the first thickness t1, or slightly lower than the first thickness t1 due to gravity acting on the solder pattern.

一方、第2印刷テーブル30Bのマスク固定部材31には、大型部品用マスク7が組み付けられている。図4(B)は、大型部品用マスク7の一例を模式的に示す縦断面図である。大型部品用マスク7は、第1厚さt1よりも厚い第2厚さt2を有し、所定の大パターン開口71(第2パターン開口)と、小パターン開口61に対応する位置に設けられた逃がし凹部72とを備えている。大パターン開口71は、例えばシールドケース等の大型電子部品に対応したパターンで穿孔された比較的大きな開口である。第2厚さt2は、前記大型電子部品に適した厚みに設定される。好適な第2厚さt2は、例えば130μmである。大型部品用マスク7を用いてスクリーン印刷を行うことにより、基板5の表面には、大パターン開口71に応じた半田パターンが印刷される。この半田パターンの高さは、第2厚さt2と同じか、第2厚さt2より僅かに小さい高さとなる。   On the other hand, the large component mask 7 is assembled to the mask fixing member 31 of the second printing table 30B. FIG. 4B is a longitudinal sectional view schematically showing an example of the large component mask 7. The large component mask 7 has a second thickness t2 that is thicker than the first thickness t1, and is provided at a position corresponding to a predetermined large pattern opening 71 (second pattern opening) and a small pattern opening 61. An escape recess 72 is provided. The large pattern opening 71 is a relatively large opening perforated with a pattern corresponding to a large electronic component such as a shield case. The second thickness t2 is set to a thickness suitable for the large electronic component. A suitable second thickness t2 is, for example, 130 μm. By performing screen printing using the large component mask 7, a solder pattern corresponding to the large pattern opening 71 is printed on the surface of the substrate 5. The height of this solder pattern is the same as the second thickness t2 or slightly smaller than the second thickness t2.

逃がし凹部72は、大型部品用マスク7の基板接触面(下面)側に凹設されている。上述の小パターン開口61に対応する位置とは、小型部品用マスク6を用いたスクリーン印刷により小型部品用の半田パターンが形成された基板5に、大型部品用マスク7を用いて同じ基板5にスクリーン印刷を追加的に行う場合(順次印刷する場合)に、その小型部品用半田パターンが大型部品用マスク7に対向する位置を意味する。逃がし凹部72の窪み深さt3は、小型部品用マスク6の第1厚さt1よりも大きく設定されている。また、逃がし凹部72のXYサイズは、小型部品用の半田パターンの形成部分を取り囲むことができるサイズに設定されている。   The relief recess 72 is recessed on the substrate contact surface (lower surface) side of the large component mask 7. The position corresponding to the above-mentioned small pattern opening 61 refers to the substrate 5 on which the solder pattern for small components is formed by screen printing using the small component mask 6 and the same substrate 5 using the large component mask 7. This means a position where the small component solder pattern faces the large component mask 7 when screen printing is additionally performed (sequential printing). The depth t3 of the relief recess 72 is set to be larger than the first thickness t1 of the small component mask 6. The XY size of the relief recess 72 is set to a size that can surround the solder pattern forming portion for the small component.

このため、小型部品用マスク6を用いた第1印刷処理後の基板5に対して、順次印刷のため大型部品用マスク7の版合わせを行うと、小型部品用マスク6により形成された小型部品用の半田パターンが逃がし凹部72の内部に収まり、大型部品用マスク7と前記半田パターンとが非接触の状態に保たれる。この状態で大型部品用マスク7を用いた第2印刷処理を行うことにより、基板5には、小型部品用の半田パターンに追加して、大型部品用の半田パターンが印刷されるものである。   For this reason, when the plate of the large component mask 7 is sequentially printed on the substrate 5 after the first printing process using the small component mask 6, the small component formed by the small component mask 6 is obtained. Therefore, the large solder mask 7 and the solder pattern are kept in a non-contact state. By performing the second printing process using the large component mask 7 in this state, the solder pattern for the large component is printed on the substrate 5 in addition to the solder pattern for the small component.

マスク昇降機構32は、マスク固定部材31を昇降させる機構である。マスク昇降機構32は、マスク固定部材31を支持するとともに、図示しないガイド、ねじ軸、および、ねじ軸を駆動するZ軸モータによってマスク固定部材31を昇降させる。マスク昇降機構32は、一対のガイドレール33a上にX方向の両端を支持されている。   The mask elevating mechanism 32 is a mechanism for elevating the mask fixing member 31. The mask elevating mechanism 32 supports the mask fixing member 31 and moves the mask fixing member 31 up and down by a guide, a screw shaft, and a Z-axis motor that drives the screw shaft (not shown). The mask elevating mechanism 32 is supported at both ends in the X direction on a pair of guide rails 33a.

一対のマスク駆動機構33は、Y方向に延びる一対のガイドレール33a及びねじ軸33bと、一対のねじ軸33bを各々駆動する2個のY軸モータ33cとを含み、一対のフレーム構造体14上にそれぞれ設置されている。一対のマスク駆動機構33は、X方向の両側から独立的にマスク昇降機構32をY方向に駆動することが可能である。一対のマスク駆動機構33の両方を等速度で駆動すれば、マスク昇降機構32ごとマスク固定部材31を平行にY方向に移動させることができる。これに対し、一対のマスク駆動機構33間で駆動量に差を設ければ、マスク昇降機構32ごとマスク固定部材31を水平面内(X−Y面内)で回動させることができる。   The pair of mask drive mechanisms 33 includes a pair of guide rails 33a and screw shafts 33b extending in the Y direction, and two Y-axis motors 33c that respectively drive the pair of screw shafts 33b. Respectively. The pair of mask drive mechanisms 33 can drive the mask lifting mechanism 32 in the Y direction independently from both sides in the X direction. If both of the pair of mask drive mechanisms 33 are driven at a constant speed, the mask fixing member 31 can be moved in the Y direction in parallel with the mask elevating mechanism 32. On the other hand, if there is a difference in driving amount between the pair of mask drive mechanisms 33, the mask fixing member 31 together with the mask elevating mechanism 32 can be rotated in the horizontal plane (in the XY plane).

以上の機構により、第1、第2印刷テーブル30A、30Bを、移動範囲内においてY方向の任意の位置へ移動させて基板5に対する印刷を行うことが可能であり、保持する小型部品用マスク6又は大型部品用マスク7のX−Y面内における詳細な位置合わせ(Y方向位置および水平面内の傾き)を行うことが可能である。X方向位置の位置合わせはクランプユニット23の移動調整によりなされる。第1、第2印刷テーブル30A、30Bは、印刷時には、マスク昇降機構32によってZ2方向に下降してマスク6、7を基板5の上面に当接させる版合わせ動作を行い、印刷後には、Z1方向に上昇してマスク6、7を基板5の上面から離間させる版離れ動作を行う。   With the above mechanism, the first and second printing tables 30A and 30B can be moved to arbitrary positions in the Y direction within the movement range to perform printing on the substrate 5, and hold the small component mask 6 Alternatively, it is possible to perform detailed alignment (Y-direction position and inclination in the horizontal plane) in the XY plane of the large component mask 7. The alignment of the position in the X direction is performed by adjusting the movement of the clamp unit 23. At the time of printing, the first and second printing tables 30A and 30B are moved down in the Z2 direction by the mask elevating mechanism 32 to perform a plate aligning operation to bring the masks 6 and 7 into contact with the upper surface of the substrate 5, and after printing, Z1 A plate separating operation is performed in which the masks 6 and 7 are separated from the upper surface of the substrate 5 by moving upward.

第1スキージユニット4Aは、X方向に延びる可動梁42の中央部で支持され、第1印刷テーブル30Aの上方に配置されている。第2スキージユニット4Bは他の可動梁42の中央部で支持され、第2印刷テーブル30Bの上方に配置されている。第1、第2スキージユニット4A、4Bは各々、マスク6、7の上面に対して半田ペーストを押圧しながらY方向に往復して摺動するスキージ41(図2参照)と、印刷時にスキージ41を昇降させる図略の昇降機構と、マスク6、マスク7に対するスキージ41の傾き方向および傾き角度を変更するための図略のスキージ角度可変機構とを含む。   The first squeegee unit 4A is supported by the central portion of the movable beam 42 extending in the X direction, and is disposed above the first printing table 30A. The second squeegee unit 4B is supported at the center of the other movable beam 42 and is disposed above the second printing table 30B. The first and second squeegee units 4A and 4B each have a squeegee 41 (see FIG. 2) that reciprocates in the Y direction while pressing the solder paste against the upper surfaces of the masks 6 and 7, and a squeegee 41 during printing. And an unillustrated elevating mechanism for elevating the mask, and a mask 6 and an unillustrated squeegee angle variable mechanism for changing the inclination direction and angle of the squeegee 41 with respect to the mask 7.

可動梁42は、一対のフレーム構造体14の上面上にY方向に沿って延びるように設けられた一対のガイドレール43上で、移動可能に支持されている。可動梁42は、フレーム構造体14に設けられたY方向に延びるねじ軸44およびスキージ軸モータ45によって、Y方向に移動される。各スキージ41は、第1、第2スキージユニット4A、4Bが可動梁42の移動に伴ってY方向に移動することで、マスク6、7の上面をY方向に摺動し、印刷動作を行う。第1スキージユニット4Aは、小型部品用マスク6を備えた第1印刷テーブル30Aを用いて基板5に第1印刷処理を行う。第2スキージユニット4Bは、前記第1印刷処理の後、大型部品用マスク7を備えた第2印刷テーブル30Bを用いて同じ基板5に第2印刷処理を行う。以下、このような順次印刷の手順を図説する。   The movable beam 42 is movably supported on a pair of guide rails 43 provided on the upper surfaces of the pair of frame structures 14 so as to extend along the Y direction. The movable beam 42 is moved in the Y direction by a screw shaft 44 and a squeegee shaft motor 45 provided in the frame structure 14 and extending in the Y direction. Each squeegee 41 performs a printing operation by sliding the upper surfaces of the masks 6 and 7 in the Y direction as the first and second squeegee units 4A and 4B move in the Y direction as the movable beam 42 moves. . The first squeegee unit 4A performs the first printing process on the substrate 5 using the first printing table 30A provided with the small component mask 6. After the first printing process, the second squeegee unit 4B performs the second printing process on the same substrate 5 using the second printing table 30B including the large component mask 7. Hereinafter, the procedure of such sequential printing will be illustrated.

[順次印刷の手順]
図5〜図10は、第1、第2スクリーン印刷部3A、3Bによる順次印刷の動作を時系列順に示す模式図である。順次印刷では、先ず第1スクリーン印刷部3Aにおいて、小型部品用マスク6を用いて小型部品用の半田パターンを基板5にスクリーン印刷する第1印刷処理が実行される。図5に示すように、基板作業テーブル2が、基板5を第1印刷テーブル30Aのマスク固定部材31が保持する小型部品用マスク6の直下へ移動する。小型部品用マスク6の上面には、半田ペーストの塊である半田溜まりSdを抱え込んだスキージ41が当接されている。
[Procedure for sequential printing]
5 to 10 are schematic diagrams showing sequential printing operations by the first and second screen printing units 3A and 3B in time series. In the sequential printing, first, the first screen printing unit 3 </ b> A executes a first printing process in which a small component solder pattern 6 is screen printed on the substrate 5 using the small component mask 6. As shown in FIG. 5, the substrate work table 2 moves the substrate 5 directly below the small component mask 6 held by the mask fixing member 31 of the first printing table 30A. A squeegee 41 holding a solder pool Sd, which is a lump of solder paste, is in contact with the upper surface of the small component mask 6.

続いて、図6に示すように、マスク昇降機構32によりマスク固定部材31と共に小型部品用マスク6が下降され、基板5の上面に小型部品用マスク6を当接させる版合わせ動作が行われる。この際、スキージ41も下降される。そして、スキージ41が、基板5の上面に対して半田溜まりSdを押圧しながら、小型部品用マスク6上を右方向(Y方向)に摺動する。これにより、基板5の上面には、小型部品用マスク6の小パターン開口61に対応した小パターンSd1が印刷される(第1印刷処理)。   Subsequently, as shown in FIG. 6, the mask raising member 32 lowers the small component mask 6 together with the mask fixing member 31, and performs a plate aligning operation in which the small component mask 6 is brought into contact with the upper surface of the substrate 5. At this time, the squeegee 41 is also lowered. The squeegee 41 slides in the right direction (Y direction) on the small component mask 6 while pressing the solder pool Sd against the upper surface of the substrate 5. As a result, a small pattern Sd1 corresponding to the small pattern opening 61 of the small component mask 6 is printed on the upper surface of the substrate 5 (first printing process).

その後、図7に示すように、第1スクリーン印刷部3Aにおいて小型部品用マスク6を基板5の上面から上方へ離間させる版離れ動作が実行される。スキージ41も同時に上昇される。第1印刷処理の基板5は、第2スクリーン印刷部3Bへ移動される。すなわち、基板作業テーブル2が、小パターンSd1が印刷された基板5を第2印刷テーブル30Bのマスク固定部材31が保持する大型部品用マスク7の直下へ移動する。大型部品用マスク7の上面には、半田溜まりSdを抱え込んだスキージ41が当接されている。   Thereafter, as shown in FIG. 7, a plate separating operation for separating the small component mask 6 upward from the upper surface of the substrate 5 is performed in the first screen printing unit 3 </ b> A. The squeegee 41 is also raised at the same time. The substrate 5 for the first printing process is moved to the second screen printing unit 3B. That is, the substrate work table 2 moves the substrate 5 on which the small pattern Sd1 is printed directly below the large component mask 7 held by the mask fixing member 31 of the second print table 30B. A squeegee 41 holding a solder pool Sd is in contact with the upper surface of the large component mask 7.

続いて、大型部品用マスク7の版合わせ動作が行われる。図8は、第2印刷テーブル30Bのマスク昇降機構32により、マスク固定部材31と共に大型部品用マスク7が下降され、基板5の上面に大型部品用マスク7が当接された状態を示している。この版合わせの際、先に基板5に印刷された小パターンSd1は、逃がし凹部72に収容される。図4に基づき先述した通り、小型部品用マスク6の第1厚さt1と逃がし凹部72の窪み深さt3との関係はt1<t3であるので、小パターンSd1は大型部品用マスク7と接触することはない。   Subsequently, a plate aligning operation of the large component mask 7 is performed. FIG. 8 shows a state in which the large component mask 7 is lowered together with the mask fixing member 31 by the mask lifting mechanism 32 of the second printing table 30 </ b> B, and the large component mask 7 is brought into contact with the upper surface of the substrate 5. . During the plate matching, the small pattern Sd1 previously printed on the substrate 5 is accommodated in the escape recess 72. As described above with reference to FIG. 4, the relationship between the first thickness t1 of the small component mask 6 and the recess depth t3 of the escape recess 72 is t1 <t3, so that the small pattern Sd1 is in contact with the large component mask 7. Never do.

しかる後、スキージ41が、基板5の上面に対して半田溜まりSdを押圧しながら、大型部品用マスク7上を左方向(Y方向)に摺動する。これにより、基板5の上面には、大型部品用マスク7の大パターン開口71に対応した大パターンSd2が追加的に印刷される(第2印刷処理)。その後、図10に示すように、第2スクリーン印刷部3Bにおいて大型部品用マスク7を基板5の上面から上方へ離間させる版離れ動作が実行される。   After that, the squeegee 41 slides leftward (Y direction) on the large component mask 7 while pressing the solder pool Sd against the upper surface of the substrate 5. Thereby, a large pattern Sd2 corresponding to the large pattern opening 71 of the large component mask 7 is additionally printed on the upper surface of the substrate 5 (second printing process). Thereafter, as shown in FIG. 10, a plate separating operation for separating the large component mask 7 upward from the upper surface of the substrate 5 is performed in the second screen printing unit 3B.

このように、順次印刷を行うことが可能なスクリーン印刷装置100によれば、1枚の基板5に対して必要な半田ペースト印刷用のパターン開口を、厚みの異なる小型部品用マスク6の小パターン開口61と大型部品用マスク7の大パターン開口71とに分担し、個別に印刷処理を行う。これにより、部品サイズに応じたアスペクト比(半田高さ/半田底面積、すなわち、マスク厚み/開口面積)の半田パターンである小パターンSd1及び大パターンSd2を、それぞれ基板5の表面上に形成することができる。或いは、第1、第2スクリーン印刷部3A、3Bで使用する粘性材を変えることで、異種の粘性材の印刷(例えば、半田ペーストと接着剤との印刷)を行うことができる。   As described above, according to the screen printing apparatus 100 capable of performing sequential printing, a pattern opening for solder paste printing required for one substrate 5 is provided with a small pattern of the small component mask 6 having different thicknesses. The printing process is performed separately for the opening 61 and the large pattern opening 71 of the large component mask 7. As a result, a small pattern Sd1 and a large pattern Sd2 that are solder patterns having an aspect ratio (solder height / solder bottom area, ie, mask thickness / opening area) corresponding to the component size are formed on the surface of the substrate 5, respectively. be able to. Alternatively, different viscous materials can be printed (for example, printing with a solder paste and an adhesive) by changing the viscous materials used in the first and second screen printing units 3A and 3B.

[順次印刷における印刷不良の発生要因]
順次印刷は、上述のようなメリットがあるが、一つの基板5に対して第1印刷処理及び第2印刷処理の2回の印刷処理を行うことに起因して、印刷不良が発生してしまうことがある。その一つが、スクリーンマスクの装着方向誤りである。図11は、マスクの装着ミスによる順次印刷の失敗例を示す模式図である。ここでは、小型部品用マスク6が、その装着方向が正規の方向に対して180°反転した状態で、第1スクリーン印刷部3Aのマスク固定部材31に取り付けられた場合を例示している。一般にスクリーンマスクは、平面視で長方形の形状を有しており、オペレータは90°だけ装着方向を間違うことは無いが、180°反転した装着を行ってしまうことはある。
[Causes of printing defects in sequential printing]
Sequential printing has the above-mentioned advantages, but printing defects occur due to performing two printing processes, the first printing process and the second printing process, on one substrate 5. Sometimes. One of them is a screen mask mounting direction error. FIG. 11 is a schematic diagram illustrating an example of sequential printing failure due to a mask mounting error. Here, the case where the small component mask 6 is attached to the mask fixing member 31 of the first screen printing unit 3A in the state where the mounting direction is inverted by 180 ° with respect to the normal direction is illustrated. In general, the screen mask has a rectangular shape in plan view, and the operator does not mistake the mounting direction by 90 °, but the screen mask may be mounted reversed by 180 °.

この状態で第1印刷処理が行われると、小パターンSd1は基板5上の予め定められた正規位置ではなく、反転された小パターン開口61に応じた非正規位置に印刷されてしまうことになる。このような小パターンSd1を伴う基板5が第2スクリーン印刷部3Bに移送され、第2印刷処理のために大型部品用マスク7との版合わせが行われると、小パターンSd1の半田ペーストが大型部品用マスク7の下面に付着する。すなわち、大型部品用マスク7の逃がし凹部72と、基板5上の小パターンSd1との位置が合わなくなるため、小パターンSd1と大型部品用マスク7の下面とが接触してしまう。   When the first printing process is performed in this state, the small pattern Sd1 is not printed at a predetermined normal position on the substrate 5, but at a non-normal position corresponding to the inverted small pattern opening 61. . When the substrate 5 with such a small pattern Sd1 is transferred to the second screen printing unit 3B and plate-matching with the large component mask 7 is performed for the second printing process, the solder paste of the small pattern Sd1 becomes large. It adheres to the lower surface of the component mask 7. That is, since the position of the relief recess 72 of the large component mask 7 and the small pattern Sd1 on the substrate 5 is not aligned, the small pattern Sd1 and the lower surface of the large component mask 7 come into contact with each other.

このようなマスク装着ミスが生じた場合、非正規位置に小パターンSd1が印刷されたしまった基板5が印刷不良になるのは勿論である。これに加え、当該基板5の以降に印刷処理される基板5に対して、大型部品用マスク7に付着してしまった半田ペーストが転写されてしまうことから、さらなる印刷不調の基板5を誘発してしまうことになる。   When such a mask mounting error occurs, it is a matter of course that the substrate 5 on which the small pattern Sd1 has been printed at the non-regular position becomes defective in printing. In addition to this, the solder paste adhered to the large component mask 7 is transferred to the substrate 5 to be printed after the substrate 5, thereby inducing a further printing failure substrate 5. It will end up.

同様な不具合が、基板5の投入方向の誤りによって起こり得る。第1スクリーン印刷部3Aと第2スクリーン印刷部3Bとが各々独立した装置構成を備え、両印刷部間においてオペレータが検査や目視確認等の目的で基板5を一旦取り出すことが可能とされている場合がある。この場合、取り出した基板5をオペレータが印刷ラインに再投入する際に、その投入方向を誤ってしまうことがある。起こり得るのは、正規の投入方向に対して180°反転した状態で基板5が再投入される誤りである。このようなケースでも、図11に示した態様と同じになり、小パターンSd1の半田ペーストが大型部品用マスク7の下面に付着することになる。本実施形態では、このような印刷不良を抑止するスクリーン印刷装置100を提供する。   A similar problem can occur due to an error in the loading direction of the substrate 5. The first screen printing unit 3A and the second screen printing unit 3B each have an independent device configuration, and an operator can temporarily take out the substrate 5 between the printing units for the purpose of inspection or visual confirmation. There is a case. In this case, when the operator re-inserts the taken-out substrate 5 into the printing line, the input direction may be wrong. A possible error is that the substrate 5 is re-inserted in a state where the substrate is inverted by 180 ° with respect to the normal input direction. Even in such a case, it becomes the same as the embodiment shown in FIG. 11, and the solder paste of the small pattern Sd1 adheres to the lower surface of the large component mask 7. In the present embodiment, a screen printing apparatus 100 that suppresses such printing defects is provided.

[スクリーン印刷装置の電気的構成]
図12は、スクリーン印刷装置100の電気的構成を示すブロック図である。スクリーン印刷装置100は、上述の基板認識カメラ15及びマスク認識カメラ24に加えて、センサー81、基板搬送モータ82、作業テーブル駆動部83、クリーニング駆動部84、クランプ駆動部85、マスク駆動部86、スキージ駆動部87及び制御部90(印刷制御部)を備えている。
[Electrical configuration of screen printing device]
FIG. 12 is a block diagram showing an electrical configuration of the screen printing apparatus 100. In addition to the substrate recognition camera 15 and the mask recognition camera 24 described above, the screen printing apparatus 100 includes a sensor 81, a substrate transport motor 82, a work table drive unit 83, a cleaning drive unit 84, a clamp drive unit 85, a mask drive unit 86, A squeegee driving unit 87 and a control unit 90 (printing control unit) are provided.

本実施形態において撮像部として機能する基板認識カメラ15及びマスク認識カメラ24は、本来の基板認識及びマスク認識の撮像に加えて、第1、第2スクリーン印刷部3A、3Bにおいて実行される第1、第2印刷処理に起因した半田ペーストの付着予想位置として、予め指定された指定ポイントを撮像する。   In the present embodiment, the substrate recognition camera 15 and the mask recognition camera 24 functioning as an imaging unit, in addition to the original substrate recognition and mask recognition imaging, are executed in the first and second screen printing units 3A and 3B. Then, a designated point designated in advance is imaged as the expected position of the solder paste adhesion resulting from the second printing process.

具体的な態様を例示すると、第1スクリーン印刷部3Aに配置されている基板認識カメラ15は、第1印刷処理後の基板5の、正規の印刷処理で半田ペーストが付着する正規位置、又は正規の印刷処理では半田ペーストが付着し得ない非正規位置を撮像する。第2スクリーン印刷部3Bに配置されている基板認識カメラ15は、第1印刷処理後に第2スクリーン印刷部3Bに導入される基板5、若しくは第2印刷処理後の基板5の、前記正規位置又は前記非正規位置を撮像する。マスク認識カメラ24は、第1印刷処理後の小型部品用マスク6の裏面の特定位置、若しくは、第2印刷処理後の大型部品用マスク7の裏面の特定位置を撮像する。前記特定位置は、マスク6、7の取り付けミスや基板5の投入ミスが生じた場合に、半田ペーストが付着すると予想される指定ポイントである。   As a specific example, the board recognition camera 15 disposed in the first screen printing unit 3A has a normal position where the solder paste adheres to the board 5 after the first printing process in the normal printing process, or In this printing process, an image of a non-regular position where the solder paste cannot adhere is imaged. The substrate recognition camera 15 arranged in the second screen printing unit 3B is configured to detect the normal position of the substrate 5 introduced into the second screen printing unit 3B after the first printing process or the substrate 5 after the second printing process, or The non-regular position is imaged. The mask recognition camera 24 images a specific position on the back surface of the small component mask 6 after the first printing process or a specific position on the back surface of the large component mask 7 after the second printing process. The specific position is a designated point where the solder paste is expected to adhere when an attachment error of the masks 6 and 7 or an insertion error of the substrate 5 occurs.

センサー81は、温度センサーや湿度センサー等の環境条件を計測するセンサー、位置センサー、圧力センサー等、スクリーン印刷装置100の制御のために必要な情報を取得する。基板搬送モータ82は、搬送コンベア22が備えるベルトコンベアを駆動するための駆動源である。基板搬送モータ82の駆動により、搬送コンベア22は基板5をX方向に搬送する。   The sensor 81 acquires information necessary for controlling the screen printing apparatus 100, such as a sensor for measuring environmental conditions such as a temperature sensor and a humidity sensor, a position sensor, and a pressure sensor. The substrate transport motor 82 is a drive source for driving the belt conveyor provided in the transport conveyor 22. By driving the substrate transport motor 82, the transport conveyor 22 transports the substrate 5 in the X direction.

作業テーブル駆動部83は、基板作業テーブル2の駆動源であり、X軸サーボモータ831、Y軸サーボモータ832及びZ軸サーボモータ833を含む。X軸サーボモータ831は、クランプユニット23をX方向に移動させる上述のX軸移動機構51に相当する。Y軸サーボモータ832は、可動台21をY方向に移動させる上述のサーボモータ13に相当する。Z軸サーボモータ833は、基板を昇降させる支持機構53の昇降機構53bの駆動源である。   The work table drive unit 83 is a drive source for the substrate work table 2 and includes an X-axis servo motor 831, a Y-axis servo motor 832, and a Z-axis servo motor 833. The X-axis servomotor 831 corresponds to the above-described X-axis moving mechanism 51 that moves the clamp unit 23 in the X direction. The Y-axis servo motor 832 corresponds to the servo motor 13 that moves the movable base 21 in the Y direction. The Z-axis servomotor 833 is a drive source for the elevating mechanism 53b of the support mechanism 53 that elevates the substrate.

クリーニング駆動部84は、クリーニングユニット25の駆動源であり、上述のクリーニングヘッドの吸引ノズルに吸引力を発生する機構、前記クリーニングヘッドを昇降させる機構などを含む。なお、クリーニングユニット25のY方向の移動は、Y軸サーボモータ832に依存する。   The cleaning drive unit 84 is a drive source of the cleaning unit 25, and includes a mechanism that generates a suction force to the suction nozzle of the cleaning head, a mechanism that raises and lowers the cleaning head, and the like. Note that the movement of the cleaning unit 25 in the Y direction depends on the Y-axis servomotor 832.

クランプ駆動部85は、クランプユニット23の移動クランプ部52bを、基板5の側辺に圧接して当該基板5をクランプする位置と、このクランプを解除する位置との間で移動させる駆動源である。クランプ駆動部85は、例えばエアシリンダである。   The clamp drive unit 85 is a drive source that moves the moving clamp unit 52b of the clamp unit 23 between a position where the side of the substrate 5 is pressed and the substrate 5 is clamped and a position where the clamp is released. . The clamp drive unit 85 is an air cylinder, for example.

マスク駆動部86は、第1印刷テーブル30Aにおいて小型部品用マスク6を、第2印刷テーブル30Bにおいて大型部品用マスク7を、それぞれY方向及びZ方向に移動させると共に、Z軸回りに回動させるための駆動部である。マスク駆動部86は、上述のマスク昇降機構32及びマスク駆動機構33が相当する。   The mask driving unit 86 moves the small component mask 6 in the first printing table 30A and the large component mask 7 in the second printing table 30B in the Y direction and the Z direction, respectively, and rotates around the Z axis. It is a drive part for. The mask drive unit 86 corresponds to the mask lifting mechanism 32 and the mask drive mechanism 33 described above.

スキージ駆動部87は、第1、第2スキージユニット4A、4Bの各可動梁42をY方向に移動させる駆動源であり、上述のスキージ軸モータ45を含む。スキージ駆動部87は、さらに、スキージ41を昇降させる昇降機構、及びスキージ41の傾き角を調整するスキージ角度可変機構を含む。   The squeegee drive unit 87 is a drive source that moves the movable beams 42 of the first and second squeegee units 4A and 4B in the Y direction, and includes the squeegee shaft motor 45 described above. The squeegee driving unit 87 further includes an elevating mechanism that raises and lowers the squeegee 41 and a squeegee angle variable mechanism that adjusts the tilt angle of the squeegee 41.

制御部90は、マイクロコンピューター等からなり、スクリーン印刷装置100の動作、すなわち上述の第1、第2印刷処理動作を統括的に制御する。制御部90は、所定のプログラムが実行されることで、機能的に撮像制御部91、画像処理部92、演算処理部93(判定部)、搬送制御部94、作業テーブル制御部95、クリーニング制御部96、クランプ制御部97、マスク制御部98及びスキージ制御部99を有するように動作する。   The control unit 90 includes a microcomputer or the like, and comprehensively controls the operation of the screen printing apparatus 100, that is, the first and second print processing operations described above. The control unit 90 is functionally executed by a predetermined program, so that the imaging control unit 91, the image processing unit 92, the arithmetic processing unit 93 (determination unit), the conveyance control unit 94, the work table control unit 95, and the cleaning control are functionally performed. It operates so as to have a section 96, a clamp control section 97, a mask control section 98, and a squeegee control section 99.

撮像制御部91は、基板認識カメラ15及びマスク認識カメラ24の撮像動作を制御する。具体的には撮像制御部91は、基板認識カメラ15に基板5の認識処理のため基板認識マークを撮像させる動作、マスク認識カメラ24に小型部品用マスク6及び大型部品用マスク7に付されたマスク認識マークを撮像させる動作を実行させる。本実施形態ではこれに加え、撮像制御部91は、半田ペーストの付着予想位置として予め指定された基板5の指定ポイントを基板認識カメラ15に撮像させる動作、若しくは、マスク6又はマスク7の指定ポイントをマスク認識カメラ24に撮像させる動作を実行させる。   The imaging control unit 91 controls the imaging operations of the substrate recognition camera 15 and the mask recognition camera 24. Specifically, the imaging control unit 91 is configured to cause the board recognition camera 15 to take an image of the board recognition mark for the board 5 recognition process. The mask recognition camera 24 is attached to the small part mask 6 and the large part mask 7. An operation for imaging the mask recognition mark is executed. In this embodiment, in addition to this, the imaging control unit 91 performs an operation of causing the board recognition camera 15 to take an image of a designated point of the substrate 5 designated in advance as a solder paste adhesion predicted position, or a designated point of the mask 6 or 7. The operation of causing the mask recognition camera 24 to pick up an image

画像処理部92は、基板認識カメラ15及びマスク認識カメラ24によって取得された画像データに、基板認識マーク及びマスク認識マーク形状認識のためのエッジ検出処理等の画像処理を行う。さらに画像処理部92は、基板認識カメラ15及びマスク認識カメラ24が前記指定ポイントを撮像した画像データに、半田ペーストの付着部分を抽出するための画像処理を行う。   The image processing unit 92 performs image processing such as edge detection processing for substrate recognition mark and mask recognition mark shape recognition on the image data acquired by the substrate recognition camera 15 and the mask recognition camera 24. Further, the image processing unit 92 performs image processing for extracting a portion where the solder paste is attached to the image data obtained by imaging the designated point by the board recognition camera 15 and the mask recognition camera 24.

演算処理部93は、スクリーン印刷装置100の制御のために必要な各種の演算処理や、センサー81が取得した各種の情報に基づいた状況認識、制御条件変更のための演算処理などを行う。これに加えて演算処理部93は、画像処理部92による前記指定ポイントの画像データの画像処理結果に基づいて、前記指定ポイントに半田ペースト(粘性材)が存在するか否かを判定する判定処理を行う。   The arithmetic processing unit 93 performs various arithmetic processes required for controlling the screen printing apparatus 100, situation recognition based on various information acquired by the sensor 81, arithmetic processes for changing control conditions, and the like. In addition to this, the arithmetic processing unit 93 determines whether or not solder paste (viscous material) exists at the designated point based on the image processing result of the image data of the designated point by the image processing unit 92. I do.

搬送制御部94は、搬送コンベア22のベルトコンベアによる基板5の基板搬送動作を制御するために、基板搬送モータ82を制御する。作業テーブル制御部95は、作業テーブル駆動部83を制御することによって、基板作業テーブル2の移動動作、クランプユニット23の移動及び昇降動作の動作を制御し、基板5のマスク6、7への位置決め動作等を実行させる。   The transport controller 94 controls the substrate transport motor 82 in order to control the substrate transport operation of the substrate 5 by the belt conveyor of the transport conveyor 22. The work table control unit 95 controls the movement operation of the substrate work table 2, the movement of the clamp unit 23, and the lifting / lowering operation by controlling the work table driving unit 83, and positioning the substrate 5 on the masks 6 and 7. Execute an action.

クリーニング制御部96は、クリーニング駆動部84を制御して、クリーニングユニット25によりマスク6、7の裏面を拭き取るクリーニング動作を実行させる。本実施形態では、予め定められた定期のクリーニング動作に加え、演算処理部93が前記指定ポイントに半田ペーストが存在すると判定した場合に、クリーニング制御部96は、大型部品用マスク7の裏面に対するクリーニング動作を実行させる。   The cleaning control unit 96 controls the cleaning driving unit 84 to execute a cleaning operation of wiping the back surfaces of the masks 6 and 7 by the cleaning unit 25. In the present embodiment, in addition to the predetermined periodic cleaning operation, when the arithmetic processing unit 93 determines that the solder paste is present at the designated point, the cleaning control unit 96 cleans the back surface of the large component mask 7. Run the action.

クランプ制御部97は、クランプ駆動部85を制御することによって、クランプユニット23の移動クランプ部52bの移動動作を制御する。クランプ駆動部85がエアシリンダである場合、クランプ制御部97は、前記エアシリンダに付設されているレギュレータを制御し、所定の基板押圧パラメータに応じて前記エアシリンダの推力を制御する。   The clamp control unit 97 controls the movement operation of the moving clamp unit 52 b of the clamp unit 23 by controlling the clamp driving unit 85. When the clamp driving unit 85 is an air cylinder, the clamp control unit 97 controls a regulator attached to the air cylinder and controls the thrust of the air cylinder according to a predetermined substrate pressing parameter.

マスク制御部98は、マスク駆動部86を制御して、小型部品用マスク6及び大型部品用マスク7の基板に対する位置合わせのための水平移動及び昇降移動を実行させる。スキージ制御部99は、スキージ駆動部87を制御して、第1、第2スキージユニット4A、4Bのスキージ41による第1、第2印刷処理動作を各々実行させる。   The mask control unit 98 controls the mask drive unit 86 to execute horizontal movement and vertical movement for alignment of the small component mask 6 and the large component mask 7 with respect to the substrate. The squeegee control unit 99 controls the squeegee driving unit 87 to execute the first and second print processing operations by the squeegee 41 of the first and second squeegee units 4A and 4B.

[半田検出処理の第1実施形態]
図13は、スクリーン印刷装置100による、前記指定ポイントの撮像による半田検出処理の第1実施形態を示すフローチャートである。第1実施形態では、小型部品用マスク6が、正規方向に対して180°反転した状態で第1スクリーン印刷部3Aのマスク固定部材31に取り付けられたことに起因する印刷不良を想定する。半田ペーストが存在するか否かを見る指定ポイントは大型部品用マスク7(第2マスク)の裏面の特定位置であり、撮像は第2印刷処理の後に実行される。
[First Embodiment of Solder Detection Processing]
FIG. 13 is a flowchart showing a first embodiment of solder detection processing by imaging the designated point by the screen printing apparatus 100. In the first embodiment, a printing failure is assumed due to the small component mask 6 being attached to the mask fixing member 31 of the first screen printing unit 3 </ b> A in a state of being inverted 180 ° with respect to the normal direction. The designated point for checking whether or not the solder paste is present is a specific position on the back surface of the large component mask 7 (second mask), and imaging is performed after the second printing process.

上記の印刷不良を想定して、制御部90は、大型部品用マスク7の裏面の特定位置に指定ポイントを設定し、この設定を撮像制御部91に教示する(ステップS1)。取り付け方向が180°反転した小型部品用マスク6を用いて第1スクリーン印刷部3Aにて第1印刷処理が行われると、小パターンSd1は基板5の、正規位置に対して180°反転した非正規位置に印刷されることになる。そして、このような基板5に第2印刷処理のために大型部品用マスク7の版合わせが行われると、前記非正規位置に対向する箇所に半田ペーストが付着することが予想できる(付着予想位置)。このような付着予想位置が前記特定位置であり、当該位置に指定ポイントが設定される。   Assuming the printing failure, the control unit 90 sets a designated point at a specific position on the back surface of the large component mask 7 and teaches this setting to the imaging control unit 91 (step S1). When the first printing process is performed in the first screen printing unit 3A using the small component mask 6 whose mounting direction is inverted by 180 °, the small pattern Sd1 is not inverted by 180 ° with respect to the normal position of the substrate 5. It will be printed at the normal position. Then, when plate alignment of the large component mask 7 is performed on the substrate 5 for the second printing process, it can be expected that the solder paste adheres to a portion facing the non-regular position (predicted adhesion position). ). Such a predicted adhesion position is the specific position, and a designated point is set at the position.

続いて基板5に対する印刷処理が実行される。搬送制御部94が搬送コンベア22を動作させてローダLDから基板5を取り入れ、作業テーブル制御部95が基板作業テーブル2を動作させることにより、当該基板5が第1スクリーン印刷部3Aに搬入される(ステップS2)。   Subsequently, a printing process for the substrate 5 is performed. The conveyance control unit 94 operates the conveyance conveyor 22 to take in the substrate 5 from the loader LD, and the work table control unit 95 operates the substrate work table 2, whereby the substrate 5 is carried into the first screen printing unit 3 </ b> A. (Step S2).

次に、クランプ制御部97、マスク制御部98及びスキージ制御部99が、それぞれクランプ駆動部85、マスク駆動部86及びスキージ駆動部87を制御することにより、第1スクリーン印刷部3Aにおいて基板5に第1印刷処理が施される(ステップS3、図6も参照)。これにより、基板5には、小型部品用マスク6の小パターン開口61に応じた小パターンSd1が印刷される。ここで、小型部品用マスク6が正規に取り付けられていれば、小パターンSd1は基板5の正規位置に印刷される(図7参照)。一方、小型部品用マスク6が180°反転して取り付けられていれば、小パターンSd1は基板5の非正規位置に印刷されることになる(図11参照)。   Next, the clamp control unit 97, the mask control unit 98, and the squeegee control unit 99 control the clamp drive unit 85, the mask drive unit 86, and the squeegee drive unit 87, respectively. A first printing process is performed (see also step S3 and FIG. 6). As a result, a small pattern Sd 1 corresponding to the small pattern opening 61 of the small component mask 6 is printed on the substrate 5. Here, if the small component mask 6 is properly attached, the small pattern Sd1 is printed at the normal position of the substrate 5 (see FIG. 7). On the other hand, if the small component mask 6 is mounted 180 ° inverted, the small pattern Sd1 is printed at an irregular position on the substrate 5 (see FIG. 11).

続いて、作業テーブル制御部95が、基板作業テーブル2を動作させて、基板5を第2スクリーン印刷部3Bへ移動させる(ステップS4)。そして、クランプ制御部97、マスク制御部98及びスキージ制御部99が、それぞれクランプ駆動部85、マスク駆動部86及びスキージ駆動部87を制御することにより、第2スクリーン印刷部3Bにおいて基板5に第2印刷処理が施される(ステップS5、図9も参照)。これにより、基板5には、小パターンSd1に加えて、大型部品用マスク7の大パターン開口71に応じた大パターンSd2が印刷される(図10参照)。   Subsequently, the work table control unit 95 operates the substrate work table 2 to move the substrate 5 to the second screen printing unit 3B (step S4). Then, the clamp control unit 97, the mask control unit 98, and the squeegee control unit 99 control the clamp drive unit 85, the mask drive unit 86, and the squeegee drive unit 87, respectively, so that the second screen printing unit 3B is connected to the substrate 5 by the second. Two printing processes are performed (see also step S5 and FIG. 9). Thereby, in addition to the small pattern Sd1, a large pattern Sd2 corresponding to the large pattern opening 71 of the large component mask 7 is printed on the substrate 5 (see FIG. 10).

第1印刷処理が、正規に取り付けられた小型部品用マスク6にて実行されていれば、この第2印刷処理において小パターンSd1は、図9に示すように大型部品用マスク7の逃がし凹部72に収容される。一方、第1印刷処理が、180°反転して取り付けられた小型部品用マスク6にて実行されていれば、小パターンSd1は逃がし凹部72に収容されない。そればかりでなく、大型部品用マスク7のステップS1で設定された指定ポイントに、小パターンSd1の半田ペーストが付着する。   If the first printing process is performed with the properly mounted small component mask 6, the small pattern Sd1 in the second printing process is the relief recess 72 of the large component mask 7 as shown in FIG. Is housed in. On the other hand, if the first printing process is executed with the small component mask 6 attached with being inverted 180 °, the small pattern Sd1 is not accommodated in the escape recess 72. In addition, the solder paste of the small pattern Sd1 adheres to the designated point set in step S1 of the large component mask 7.

第2印刷処理の後、撮像制御部91がマスク認識カメラ24に、大型部品用マスク7の裏面の指定ポイントを撮像させる(ステップS6)。前記撮像により取得された画像データは画像処理部92に送られ、画像中の半田ペーストの付着部分を抽出する画像処理が実行される。そして、当該画像処理結果に基づき、演算処理部93が、前記指定ポイントに半田ペーストが存在するか否かを判定する(ステップS7)。   After the second printing process, the imaging control unit 91 causes the mask recognition camera 24 to image the designated point on the back surface of the large component mask 7 (step S6). The image data acquired by the imaging is sent to the image processing unit 92, and image processing for extracting the attached portion of the solder paste in the image is executed. Then, based on the image processing result, the arithmetic processing unit 93 determines whether or not a solder paste exists at the designated point (step S7).

指定ポイントに半田ペーストが存在しないと判定された場合(ステップS7でNO)、正規の第1印刷処理が基板5に行われたことになる。この場合、制御部90は、印刷処理を行うべき後続の基板5が存在するか否かを確認し(ステップS8)、後続の基板5が存在する場合は(ステップS8でYES)、ステップS2に戻って処理を繰り返す。   If it is determined that there is no solder paste at the designated point (NO in step S7), the regular first printing process has been performed on the substrate 5. In this case, the control unit 90 checks whether or not there is a subsequent substrate 5 to be printed (step S8). If there is a subsequent substrate 5 (YES in step S8), the control unit 90 proceeds to step S2. Return and repeat the process.

一方、指定ポイントに半田ペーストが存在すると判定された場合(ステップS7でYES)、小型部品用マスク6の取り付けミスが発生し、正規の第1印刷処理が基板5に対して行われなかったことになる。この場合、制御部90は、クリーニング制御部96にクリーニング動作を実行させる。クリーニング制御部96は、クリーニング駆動部84を制御して、大型部品用マスク7の裏面をクリーニングする動作を実行させる(ステップS9)。このクリーニング動作により、大型部品用マスク7の裏面に付着した半田ペーストが除去される。   On the other hand, if it is determined that the solder paste is present at the designated point (YES in step S7), an attachment error of the small component mask 6 has occurred, and the regular first printing process has not been performed on the substrate 5. become. In this case, the control unit 90 causes the cleaning control unit 96 to perform a cleaning operation. The cleaning control unit 96 controls the cleaning driving unit 84 to execute an operation of cleaning the back surface of the large component mask 7 (step S9). By this cleaning operation, the solder paste attached to the back surface of the large component mask 7 is removed.

さらに、制御部90は、図略の表示パネル若しくは音声源に、印刷不良発生の報知を行わせると共に、スクリーン印刷装置100をエラー停止させる(ステップS10)。これは、直前に第1、第2印刷処理が施された基板5に印刷不良が発生したことをオペレータに伝達すると共に、オペレータに当該基板のスクリーン印刷装置100からの取り出しを行わせるためである。エラー処理後、スクリーン印刷装置100は再起動され、ステップS2に戻って処理が継続される。   Further, the control unit 90 causes a display panel or audio source (not shown) to notify the occurrence of a printing failure and stops the screen printing apparatus 100 in error (step S10). This is to notify the operator that a printing failure has occurred on the substrate 5 on which the first and second printing processes have been performed immediately before, and to cause the operator to take out the substrate from the screen printing apparatus 100. . After the error process, the screen printing apparatus 100 is restarted, and the process returns to step S2 to continue the process.

[半田検出処理の第2実施形態]
図14は、スクリーン印刷装置100による、前記指定ポイントの撮像による半田検出処理の第2実施形態を示すフローチャートである。第2実施形態では、上述の第1実施形態と同様な小型部品用マスク6の取り付けミスが発生したことを、基板5の特定位置を撮像することによって知見する例を示す。前記撮像のタイミングは、第1実施形態とは異なり、第1印刷処理の実行後であって第2印刷処理の実行前である。
[Second Embodiment of Solder Detection Processing]
FIG. 14 is a flowchart showing a second embodiment of solder detection processing by imaging the designated point by the screen printing apparatus 100. In the second embodiment, an example will be shown in which it is found by imaging a specific position of the substrate 5 that an attachment error of the small component mask 6 similar to that in the first embodiment described above has occurred. Unlike the first embodiment, the imaging timing is after the execution of the first printing process and before the execution of the second printing process.

上記の印刷不良を想定して、制御部90は、基板5の表面の特定位置に指定ポイントを設定し、この設定を撮像制御部91に教示する(ステップS11)。上述の通り、取り付け方向が180°反転した小型部品用マスク6を用いて第1印刷処理が行われると、小パターンSd1は基板5の、正規位置に対して180°反転した非正規位置に印刷される。この非正規位置は、正規の第1印刷処理では半田ペーストが付着し得ない位置である。制御部90は、当該非正規位置(特定位置)を付着予想位置として、指定ポイントに設定する。   Assuming the printing failure, the control unit 90 sets a designated point at a specific position on the surface of the substrate 5 and teaches this setting to the imaging control unit 91 (step S11). As described above, when the first printing process is performed using the small component mask 6 whose mounting direction is reversed by 180 °, the small pattern Sd1 is printed on the non-regular position of the substrate 5 that is reversed by 180 ° with respect to the regular position. Is done. This non-regular position is a position where the solder paste cannot adhere in the regular first printing process. The control unit 90 sets the non-regular position (specific position) as a predicted attachment position as a designated point.

続いて基板5に対する印刷処理が実行される。基板5が第1スクリーン印刷部3Aに搬入され(ステップS12)、当該基板5に第1印刷処理が施される(ステップS13)。これにより、基板5には小パターンSd1が印刷される。小型部品用マスク6が正規に取り付けられていれば、小パターンSd1は基板5の正規位置に印刷され、180°反転して取り付けられていれば、小パターンSd1は基板5の非正規位置に印刷される。第1印刷処理の後、基板5が第2スクリーン印刷部3Bへ移動される(ステップS14)。   Subsequently, a printing process for the substrate 5 is performed. The substrate 5 is carried into the first screen printing unit 3A (step S12), and the first printing process is performed on the substrate 5 (step S13). Thereby, the small pattern Sd1 is printed on the substrate 5. If the small component mask 6 is properly attached, the small pattern Sd1 is printed at the normal position of the substrate 5, and if it is attached 180 ° reversed, the small pattern Sd1 is printed at the non-normal position of the substrate 5. Is done. After the first printing process, the substrate 5 is moved to the second screen printing unit 3B (step S14).

その後、撮像制御部91が第2スクリーン印刷部3Bに備えられている基板認識カメラ15に、第2スクリーン印刷部3Bへ移動された基板5の前記指定ポイントを撮像させる(ステップS15)。この撮像により取得された前記指定ポイントの画像に基づいて、演算処理部93が、前記指定ポイントに半田ペーストが存在するか否かを判定する(ステップS16)。   Thereafter, the imaging control unit 91 causes the board recognition camera 15 provided in the second screen printing unit 3B to take an image of the designated point of the board 5 moved to the second screen printing unit 3B (step S15). Based on the image of the designated point acquired by this imaging, the arithmetic processing unit 93 determines whether or not a solder paste exists at the designated point (step S16).

指定ポイントに半田ペーストが存在しないと判定された場合(ステップS16でNO)、正規の第1印刷処理が基板5に行われたことになる。この場合、制御部90は、第2スクリーン印刷部3Bにおいて基板5に対する第2印刷処理を実行させる(ステップS17)。しかる後、制御部90は、印刷処理を行うべき後続の基板5が存在するか否かを確認し(ステップS18)、後続の基板5が存在する場合は(ステップS18でYES)、ステップS12に戻って処理を繰り返す。   If it is determined that there is no solder paste at the designated point (NO in step S16), the regular first printing process has been performed on the substrate 5. In this case, the control unit 90 causes the second screen printing unit 3B to execute the second printing process on the substrate 5 (step S17). Thereafter, the control unit 90 confirms whether or not there is a subsequent substrate 5 to be printed (step S18). If there is a subsequent substrate 5 (YES in step S18), the control unit 90 proceeds to step S12. Return and repeat the process.

一方、指定ポイントに半田ペーストが存在すると判定された場合(ステップS18でYES)、小型部品用マスク6の取り付けミスが発生し、正規の第1印刷処理が基板5に対して行われなかったことになる。この場合、制御部90は、第2印刷処理の実行を中止させる。すなわち、制御部90は、印刷不良発生の報知を行わせると共に、スクリーン印刷装置100をエラー停止させる(ステップS19)。   On the other hand, if it is determined that the solder paste is present at the designated point (YES in step S18), an attachment error of the small component mask 6 has occurred, and the regular first printing process has not been performed on the substrate 5. become. In this case, the control unit 90 stops the execution of the second printing process. That is, the control unit 90 notifies the occurrence of defective printing and stops the screen printing apparatus 100 in error (step S19).

第2実施形態によれば、基板5に対する第2印刷処理が実行される前に印刷不良を検知することができる。従って、既に不良品となっている基板5に対する無用な第2印刷処理の実行を回避できると共に、大型部品用マスク7に半田ペーストが付着することを未然に防止できる利点がある。   According to the second embodiment, it is possible to detect a printing failure before the second printing process for the substrate 5 is performed. Therefore, there is an advantage that it is possible to avoid performing unnecessary second printing processing on the substrate 5 that is already defective and to prevent the solder paste from adhering to the large component mask 7.

[半田検出処理の第3実施形態]
図15は、スクリーン印刷装置100による、前記指定ポイントの撮像による半田検出処理の第3実施形態を示すフローチャートである。第3実施形態は、第2実施形態と同様に基板5の特定位置を撮像する態様であるが、小型部品用マスク6が正規に取り付けられた状態で第1印刷処理が実行された場合に、半田ペーストが正規に印刷される正規位置を前記特定位置(付着予定位置)として撮像する例を示す。第2実施形態とは逆に、第3実施形態では前記正規位置を指定ポイントとし、その指定ポイントに半田ペーストが存在しないことをもって、印刷不良の発生を検知する。
[Third embodiment of solder detection processing]
FIG. 15 is a flowchart showing a third embodiment of solder detection processing by imaging the designated point by the screen printing apparatus 100. The third embodiment is an aspect in which a specific position of the substrate 5 is imaged as in the second embodiment, but when the first printing process is executed in a state where the small component mask 6 is properly attached, An example will be shown in which a normal position where solder paste is normally printed is imaged as the specific position (position to be attached). Contrary to the second embodiment, in the third embodiment, the regular position is set as a designated point, and the occurrence of a printing defect is detected when there is no solder paste at the designated point.

制御部90は、正規の第1印刷処理が行われた場合に小パターンSd1が印刷される正規位置に指定ポイントを設定し、この設定を撮像制御部91に教示する(ステップS21)。基板5が第1スクリーン印刷部3Aに搬入され(ステップS22)、当該基板5に第1印刷処理が施される(ステップS23)。   The control unit 90 sets a designated point at a regular position where the small pattern Sd1 is printed when the regular first printing process is performed, and teaches this setting to the imaging control unit 91 (step S21). The substrate 5 is carried into the first screen printing unit 3A (step S22), and the first printing process is performed on the substrate 5 (step S23).

その後、撮像制御部91が第1スクリーン印刷部3Aに備えられている基板認識カメラ15に、第1印刷処理後の基板5の前記指定ポイントを撮像させる(ステップS24)。この撮像により取得された前記指定ポイントの画像に基づいて、演算処理部93が、前記指定ポイントに半田ペーストが存在するか否かを判定する(ステップS25)。   Thereafter, the imaging control unit 91 causes the board recognition camera 15 provided in the first screen printing unit 3A to take an image of the designated point of the board 5 after the first printing process (step S24). Based on the image of the designated point acquired by this imaging, the arithmetic processing unit 93 determines whether or not a solder paste exists at the designated point (step S25).

指定ポイントに半田ペーストが存在すると判定された場合(ステップS25でYES)、正規の第1印刷処理が基板5に行われたことになる。この場合、制御部90は、基板5を第2スクリーン印刷部3Bへ移動させ(ステップS26)、さらに第2スクリーン印刷部3Bにおいて当該基板5に対する第2印刷処理を実行させる(ステップS27)。しかる後、制御部90は、印刷処理を行うべき後続の基板5が存在するか否かを確認し(ステップS28)、後続の基板5が存在する場合は(ステップS28でYES)、ステップS22に戻って処理を繰り返す。   If it is determined that the solder paste is present at the designated point (YES in step S25), the regular first printing process has been performed on the substrate 5. In this case, the control unit 90 moves the substrate 5 to the second screen printing unit 3B (step S26), and further causes the second screen printing unit 3B to execute the second printing process on the substrate 5 (step S27). Thereafter, the control unit 90 confirms whether or not there is a subsequent substrate 5 to be printed (step S28). If there is a subsequent substrate 5 (YES in step S28), the control unit 90 proceeds to step S22. Return and repeat the process.

一方、指定ポイントに半田ペーストが存在しないと判定された場合(ステップS25でNO)、小型部品用マスク6の取り付けミスが発生し、正規の第1印刷処理が基板5に対して行われなかったことになる。この場合、制御部90は、基板5の第2スクリーン印刷部3Bへの搬送を停止させることで、第2印刷処理の実行を中止させる。すなわち、制御部90は、印刷不良発生の報知を行わせると共に、スクリーン印刷装置100をエラー停止させる(ステップS29)。これにより、基板作業テーブル2による基板5の第2スクリーン印刷部3Bへの搬送が停止される。この第3実施形態によっても、上記第2実施形態と同様に、無用な第2印刷処理の実行を回避できるメリットがある。   On the other hand, when it is determined that the solder paste does not exist at the designated point (NO in step S25), an attachment error of the small component mask 6 occurs, and the regular first printing process is not performed on the substrate 5. It will be. In this case, the control unit 90 stops the execution of the second printing process by stopping the conveyance of the substrate 5 to the second screen printing unit 3B. That is, the control unit 90 notifies the occurrence of defective printing and stops the screen printing apparatus 100 in error (step S29). Thereby, conveyance of the board | substrate 5 to the 2nd screen printing part 3B by the board | substrate work table 2 is stopped. The third embodiment also has an advantage that unnecessary execution of the second printing process can be avoided as in the second embodiment.

[半田検出処理の第4実施形態]
図16は、スクリーン印刷装置による、前記指定ポイントの撮像による半田検出処理の第4実施形態を説明するための模式図である。図16に示すスクリーン印刷装置は、第1スクリーン印刷部3Cと第2スクリーン印刷部3Dが各々独立した装置構成を備え、両者間に連結コンベア22A(基板搬送部)が配置されている例を示している。
[Fourth Embodiment of Solder Detection Processing]
FIG. 16 is a schematic diagram for explaining a fourth embodiment of solder detection processing by imaging a designated point by a screen printing apparatus. The screen printing apparatus shown in FIG. 16 shows an example in which the first screen printing unit 3C and the second screen printing unit 3D each have an independent device configuration, and a connecting conveyor 22A (substrate conveyance unit) is disposed between them. ing.

第1スクリーン印刷部3Cは、小型部品用マスク6、基板認識カメラ15C及びマスク認識カメラ24Cを具備し、第2スクリーン印刷部3Dは、大型部品用マスク7、基板認識カメラ15D及びマスク認識カメラ24Dを具備している。連結コンベア22Aは、第1スクリーン印刷部3Cで第1印刷処理を終えた基板5を第2スクリーン印刷部3Dへ搬送する。連結コンベア22Aは、基板5を外部に露呈した状態で搬送するため、オペレータは連結コンベア22A上において基板5にアクセス可能な状態となる。   The first screen printing unit 3C includes a small component mask 6, a substrate recognition camera 15C, and a mask recognition camera 24C, and the second screen printing unit 3D includes a large component mask 7, a substrate recognition camera 15D, and a mask recognition camera 24D. It has. The connecting conveyor 22A conveys the substrate 5 that has been subjected to the first printing process by the first screen printing unit 3C to the second screen printing unit 3D. Since the connection conveyor 22A conveys the substrate 5 with the substrate 5 exposed to the outside, the operator can access the substrate 5 on the connection conveyor 22A.

上記のスクリーン印刷装置によれば、第1印刷処理を終え、連結コンベア22Aを搬送されている基板5をオペレータが取り出すことが可能となる。例えば、第1印刷処理の仕上がり具合を確認すべく、連結コンベア22Aを止めてオペレータは基板5を取り出すことがある。その基板5を連結コンベア22Aへ戻す際、基板5の搭載方向を180°誤るミスを犯し得る。この場合、正しい第1印刷処理が基板5に対して行われても、第2スクリーン印刷部3Dでの第2印刷処理において印刷不良が発生することになる。図16において、基板5上のマーク「A」が、第1スクリーン印刷部3C内と連結コンベア22Aとで反転しているのは、上記のミスが生じたケースを模式的に表している。   According to the above screen printing apparatus, the first printing process is completed, and the operator can take out the substrate 5 being conveyed on the connecting conveyor 22A. For example, the operator may take out the substrate 5 by stopping the connecting conveyor 22A in order to check the finish of the first printing process. When returning the substrate 5 to the connecting conveyor 22A, a mistake may be made in which the mounting direction of the substrate 5 is mistaken by 180 °. In this case, even if the correct first printing process is performed on the substrate 5, a printing defect occurs in the second printing process in the second screen printing unit 3D. In FIG. 16, the mark “A” on the substrate 5 is inverted between the first screen printing unit 3 </ b> C and the connecting conveyor 22 </ b> A schematically represents a case where the above-described mistake has occurred.

この場合の印刷不良の検出方法としては、上述の第1〜第3実施形態を適用することができる。すなわち、第1実施形態に沿った検出方法は、第2スクリーン印刷部3Dでの第2印刷処理の後に、当該第2スクリーン印刷部3Dの大型部品用マスク7を撮像する方法である。具体的には、連結コンベア22Aから第2スクリーン印刷部3Dへ搬入された基板に第2印刷処理が行われた後に、マスク認識カメラ24Dに大型部品用マスク7を撮像させる。連結コンベア22A上での基板5の戻しミスが生じた場合、大型部品用マスク7の指定ポイントに半田ペーストが付着する。従って、印刷不良を検出することができる。   As a method for detecting a printing defect in this case, the above-described first to third embodiments can be applied. That is, the detection method according to the first embodiment is a method of imaging the large component mask 7 of the second screen printing unit 3D after the second printing process in the second screen printing unit 3D. Specifically, after the second printing process is performed on the board carried into the second screen printing unit 3D from the connecting conveyor 22A, the mask recognition camera 24D causes the large component mask 7 to be imaged. When an error of returning the substrate 5 on the connecting conveyor 22A occurs, the solder paste adheres to the designated point of the large component mask 7. Therefore, it is possible to detect printing defects.

第2、第3実施形態に沿った印刷不良の検出方法は、連結コンベア22Aから第2スクリーン印刷部3Dへ搬入された基板に第2印刷処理が行われる前に、基板認識カメラ15Dで基板5を撮像する方法である。撮像されるポイントは、基板5の表面において予め指定された上述の非正規位置(第2実施形態)又は正規位置(第3実施形態)からなる指定ポイントである。これらの指定ポイントの撮像によって、前記戻しミスに起因する印刷不良を検出することができる。   According to the second and third embodiments, the printing failure detection method is performed by the substrate recognition camera 15D using the substrate recognition camera 15D before the second printing process is performed on the substrate carried from the connecting conveyor 22A to the second screen printing unit 3D. Is a method of imaging. The point to be imaged is a designated point consisting of the above-mentioned non-regular position (second embodiment) or regular position (third embodiment) designated in advance on the surface of the substrate 5. By imaging these designated points, it is possible to detect printing defects caused by the return error.

[半田検出処理の第5実施形態]
図17は、スクリーン印刷装置による、前記指定ポイントの撮像による半田検出処理の第5実施形態を説明するための模式図である。図17に示すスクリーン印刷装置は、図16と同様に、第1スクリーン印刷部3Cと第2スクリーン印刷部3Dが各々独立した装置構成を備え、両者間に連結コンベア22Aが配置されてなる。
[Fifth Embodiment of Solder Detection Processing]
FIG. 17 is a schematic diagram for explaining a fifth embodiment of solder detection processing by imaging a designated point by a screen printing apparatus. 17, the screen printing apparatus shown in FIG. 17 has a device configuration in which the first screen printing unit 3C and the second screen printing unit 3D are independent from each other, and a connecting conveyor 22A is arranged therebetween.

第1スクリーン印刷部3Cにおいて、小型部品用マスク6の取り付け方向を誤るミスが発生しない場合でも、印刷不良が生じてしまう場合がある。例えば、何らかの原因で小型部品用マスク6と基板5との版合わせが生じたような場合である。図18(A)に示すように、基板5に対して小型部品用マスク6が位置ずれして版合わせされた状態で第1印刷処理が行われたとする。この場合、小パターンSd1が、基板5の本来の印刷位置に対してマスクの位置ずれの分だけシフトした位置に印刷される印刷ずれが発生する。この場合、図18(B)に示すように、第2印刷処理において、小パターンSd1が大型部品用マスク7の逃がし凹部72の収容されないケースが生じ、印刷不良が発生し得る。   In the first screen printing unit 3C, even when there is no mistake in which the mounting direction of the small component mask 6 is wrong, a printing defect may occur. For example, this is a case where plate matching between the small component mask 6 and the substrate 5 has occurred for some reason. As shown in FIG. 18A, it is assumed that the first printing process is performed in a state where the small component mask 6 is displaced with respect to the substrate 5 and the plates are aligned. In this case, a printing deviation occurs in which the small pattern Sd1 is printed at a position shifted from the original printing position of the substrate 5 by the positional deviation of the mask. In this case, as shown in FIG. 18B, in the second printing process, there is a case in which the small pattern Sd1 is not accommodated in the escape recess 72 of the large component mask 7, and printing failure may occur.

この場合の印刷不良の検出方法としても、上述の第1〜第3実施形態を適用することができる。すなわち、第1実施形態に沿った検出方法は、第2スクリーン印刷部3Dでの第2印刷処理の後に、当該第2スクリーン印刷部3Dの大型部品用マスク7を撮像する方法である。具体的には、連結コンベア22Aから第2スクリーン印刷部3Dへ搬入された基板に第2印刷処理が行われた後に、マスク認識カメラ24Dに大型部品用マスク7を撮像させる。第1印刷処理において小パターンSd1の大きな印刷ずれが生じた場合、大型部品用マスク7の大パターン開口71の周辺に半田ペーストが付着する。従って、大パターン開口71の周辺を前記指定ポイントとして撮像を行わせることで、印刷不良を検出することができる。   The first to third embodiments described above can also be applied as a printing defect detection method in this case. That is, the detection method according to the first embodiment is a method of imaging the large component mask 7 of the second screen printing unit 3D after the second printing process in the second screen printing unit 3D. Specifically, after the second printing process is performed on the board carried into the second screen printing unit 3D from the connecting conveyor 22A, the mask recognition camera 24D causes the large component mask 7 to be imaged. When a large printing deviation of the small pattern Sd1 occurs in the first printing process, the solder paste adheres around the large pattern opening 71 of the large component mask 7. Therefore, it is possible to detect printing defects by performing imaging with the periphery of the large pattern opening 71 as the designated point.

第2、第3実施形態に沿った印刷不良の検出方法は、連結コンベア22Aから第2スクリーン印刷部3Dへ搬入された基板に第2印刷処理が行われる前に、基板認識カメラ15Dで基板5を撮像する方法である。撮像されるポイントは、基板5の表面の、小パターンSd1の印刷位置である。この印刷位置を指定ポイントとして基板認識カメラ15Dに撮像を行わせるによって、前記印刷ずれに起因する印刷不良を検出することができる。   According to the second and third embodiments, the printing failure detection method is performed by the substrate recognition camera 15D using the substrate recognition camera 15D before the second printing process is performed on the substrate carried from the connecting conveyor 22A to the second screen printing unit 3D. Is a method of imaging. The imaged point is the printing position of the small pattern Sd1 on the surface of the substrate 5. By causing the board recognition camera 15D to take an image with this printing position as a designated point, it is possible to detect a printing defect caused by the printing misalignment.

これに代えて、第1スクリーン印刷部3Cの基板認識カメラ15Cで基板5上の小パターンSd1の印刷位置を撮像させるようにしても良い。すなわち、第1印刷処理を終えた後の基板5を、第1スクリーン印刷部3Cの内部で撮像する。そして、当該撮像によって小パターンSd1の印刷ずれが検出された場合に、第2印刷処理の実行を中止させるために、連結コンベア22Aによる第1スクリーン印刷部3Cから第2スクリーン印刷部3Dへの基板5の搬送を停止させる。この態様によっても、同様に印刷不良を検出することができる。   Alternatively, the printing position of the small pattern Sd1 on the substrate 5 may be imaged by the substrate recognition camera 15C of the first screen printing unit 3C. That is, the substrate 5 after the first printing process is imaged inside the first screen printing unit 3C. Then, when the printing deviation of the small pattern Sd1 is detected by the imaging, the substrate from the first screen printing unit 3C to the second screen printing unit 3D by the connecting conveyor 22A is stopped in order to stop the execution of the second printing process. 5 is stopped. Also according to this aspect, it is possible to detect printing defects in the same manner.

100 スクリーン印刷装置
15 基板認識カメラ(撮像部)
2 基板作業テーブル
21 可動台21
22 搬送コンベア
22A 連結コンベア(基板搬送部)
24 マスク認識カメラ(撮像部)
25 クリーニングユニット(クリーニング部)
3A、3C 第1スクリーン印刷部
3B、3D 第2スクリーン印刷部
30A 第1印刷テーブル
30B 第2印刷テーブル
4A 第1スキージユニット(第1印刷部)
4B 第2スキージユニット(第2印刷部)
5 基板5
6 小型部品用マスク(第1マスク)
61 小パターン開口(第1パターン開口)
7 大型部品用マスク(第2マスク)
71 大パターン開口(第2パターン開口)
72 逃がし凹部
90 制御部(印刷制御部)
93 演算処理部(判定部)
100 Screen Printer 15 Board Recognition Camera (Imaging Unit)
2 Substrate work table 21 Movable base 21
22 Conveyor 22A Connection conveyor (substrate transport unit)
24 Mask recognition camera (imaging part)
25 Cleaning unit (cleaning part)
3A, 3C First screen printing unit 3B, 3D Second screen printing unit 30A First printing table 30B Second printing table 4A First squeegee unit (first printing unit)
4B 2nd squeegee unit (2nd printing part)
5 Substrate 5
6 Mask for small parts (first mask)
61 Small pattern opening (first pattern opening)
7 Mask for large parts (second mask)
71 Large pattern opening (second pattern opening)
72 Relief recess 90 Control unit (printing control unit)
93 Arithmetic processing part (determination part)

Claims (9)

第1マスク及び第1印刷部を備え、基板に対して粘性材をスクリーン印刷する第1印刷処理を行う第1スクリーン印刷部と、
第2マスク及び第2印刷部を備え、前記第1印刷処理が行われた基板に対して粘性材をスクリーン印刷する第2印刷処理を行う第2スクリーン印刷部と、
前記第1印刷処理又は前記第2印刷処理に起因した前記粘性材の付着予想位置として、予め指定された指定ポイントを撮像する撮像部と、
前記撮像部が取得した画像に基づいて、前記指定ポイントに前記粘性材が存在するか否かを判定する判定部と、
を備えるスクリーン印刷装置。
A first screen printing unit including a first mask and a first printing unit, and performing a first printing process for screen printing a viscous material on the substrate;
A second screen printing unit comprising a second mask and a second printing unit, and performing a second printing process for screen printing a viscous material on the substrate on which the first printing process has been performed;
An imaging unit that images a designated point designated in advance as the predicted adhesion position of the viscous material resulting from the first printing process or the second printing process;
A determination unit that determines whether or not the viscous material is present at the designated point based on an image acquired by the imaging unit;
A screen printing apparatus comprising:
請求項1に記載のスクリーン印刷装置において、
前記指定ポイントが前記第2マスクの裏面の特定位置であり、
前記撮像部は前記第2印刷処理後に前記第2マスクの前記特定位置を撮像する、スクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to claim 1,
The designated point is a specific position on the back surface of the second mask;
The screen printing apparatus, wherein the imaging unit images the specific position of the second mask after the second printing process.
請求項2に記載のスクリーン印刷装置において、
前記第2マスクの裏面をクリーニングするクリーニング部をさらに備え、
前記クリーニング部は、前記判定部が前記第2マスクの裏面に前記粘性材が存在すると判定した場合に、前記第2マスクの裏面をクリーニングする、スクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to claim 2,
A cleaning unit for cleaning the back surface of the second mask;
The said cleaning part is a screen printing apparatus which cleans the back surface of the said 2nd mask, when the said determination part determines with the said viscous material existing in the back surface of the said 2nd mask.
請求項1に記載のスクリーン印刷装置において、
前記指定ポイントが、前記第1印刷処理が行われた基板の特定位置であり、
前記撮像部は前記第1印刷処理後に前記基板の特定位置を撮像する、スクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to claim 1,
The designated point is a specific position of the substrate on which the first printing process has been performed;
The screen printing apparatus, wherein the imaging unit images a specific position of the substrate after the first printing process.
請求項4に記載のスクリーン印刷装置において、
前記第1印刷処理及び前記第2印刷処理の動作を制御する印刷制御部をさらに備え、
前記基板の特定位置が、正規の前記第1印刷処理では前記粘性材が付着し得ない所定の非正規位置であって、
前記印刷制御部は、前記判定部が前記非正規位置に前記粘性材が存在すると判定した場合に、前記第2印刷処理の実行を中止させる、スクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to claim 4.
A printing control unit for controlling operations of the first printing process and the second printing process;
The specific position of the substrate is a predetermined non-normal position where the viscous material cannot adhere in the normal first printing process,
The screen printing apparatus, wherein when the determination unit determines that the viscous material is present at the non-regular position, the print control unit stops the execution of the second printing process.
請求項4に記載のスクリーン印刷装置において、
前記第1印刷処理及び前記第2印刷処理の動作を制御する印刷制御部をさらに備え、
前記基板の特定位置が、正規の前記第1印刷処理で前記粘性材が付着する所定の正規位置であって、
前記印刷制御部は、前記判定部が前記正規位置に前記粘性材が存在しないと判定した場合に、前記第2印刷処理の実行を中止させる、スクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to claim 4.
A printing control unit for controlling operations of the first printing process and the second printing process;
The specific position of the substrate is a predetermined normal position where the viscous material adheres in the normal first printing process,
The screen printing apparatus, wherein when the determination unit determines that the viscous material does not exist at the regular position, the print control unit stops the execution of the second printing process.
請求項5又は6に記載のスクリーン印刷装置において、
前記基板を前記第1スクリーン印刷部から前記第2スクリーン印刷部へ搬送する基板搬送部をさらに備え、
前記撮像部は、前記第1スクリーン印刷部に配置され、
前記印刷制御部は、前記第2印刷処理の実行を中止させるために、前記基板搬送部による前記基板の前記第1スクリーン印刷部から前記第2スクリーン印刷部への搬送を停止させる、スクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to claim 5 or 6,
A substrate transport unit that transports the substrate from the first screen printing unit to the second screen printing unit;
The imaging unit is disposed in the first screen printing unit,
The screen printing apparatus, wherein the print control unit stops conveyance of the substrate from the first screen printing unit to the second screen printing unit by the substrate conveyance unit in order to stop execution of the second printing process. .
請求項1〜7のいずれか1項に記載のスクリーン印刷装置において、
前記第1マスクは、所定の第1厚さを有し、所定の第1パターン開口を備え、
前記第2マスクは、前記第1厚さよりも厚い第2厚さを有し、所定の第2パターン開口と前記第1パターン開口に対応する位置に設けられた逃がし凹部とを備える、スクリーン印刷装置。
In the screen printing apparatus of any one of Claims 1-7,
The first mask has a predetermined first thickness and includes a predetermined first pattern opening;
The second mask has a second thickness larger than the first thickness, and includes a predetermined second pattern opening and an escape recess provided at a position corresponding to the first pattern opening. .
請求項1〜8のいずれか1項に記載のスクリーン印刷装置において、
前記第1、第2スクリーン印刷部が各々独立した装置構成を備え、
前記第1スクリーン印刷部と前記第2スクリーン印刷部との間に配置され、オペレータがアクセス可能な状態で前記基板を搬送する連結コンベアをさらに備える、スクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to any one of claims 1 to 8,
The first and second screen printing units each have an independent device configuration,
A screen printing apparatus, further comprising a connecting conveyor that is disposed between the first screen printing unit and the second screen printing unit and conveys the substrate in an accessible state by an operator.
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