JP5146473B2 - Screen printing machine and screen printing method - Google Patents

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Description

本発明は、マスクプレートを介して基板にペーストを転写するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printing machine and a screen printing method for transferring a paste to a substrate via a mask plate.

スクリーン印刷機はベルトコンベア機構等から成る基板位置決め部によって基板の位置決めを行い、その位置決めした基板を下受け部によって下方から支持してスクリーン印刷作業を実行するようになっている(例えば、特許文献1参照)。このようなスクリーン印刷機では、位置決めした基板に対してスクリーン印刷作業を実行しているときに、基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に他の基板が進入してしまう事態を防止するため、位置決めした基板が作業実行中である場合には、基板位置決め部の上流側に設けられた基板搬入部から進入しようとする基板をセンサにより検出して基板搬入部の作動を停止するようにしている。   A screen printing machine positions a substrate by a substrate positioning unit composed of a belt conveyor mechanism or the like, and supports the positioned substrate from below by a lower receiving unit to execute a screen printing operation (for example, patent document). 1). In such a screen printing machine, in order to prevent a situation where another substrate enters the substrate positioning portion from the upstream side in the substrate transport direction when performing a screen printing operation on the positioned substrate. When the positioned substrate is in operation, the sensor detects a substrate to be entered from the substrate carry-in portion provided upstream of the substrate positioning portion and stops the operation of the substrate carry-in portion. Yes.

特開2007−160710号公報JP 2007-160710 A

しかしながら、上記のように、センサによる基板の検出によって作業実行中の基板位置決め部への基板の進入を防止しようとすると、センサの故障等が起きたときにはスクリーン印刷機の動作が緊急停止されてしまい、基板の生産性が大幅に低下するおそれがあるという問題点があった。   However, as described above, if an attempt is made to prevent the substrate from entering the substrate positioning unit that is performing work by detecting the substrate by the sensor, the operation of the screen printing machine is urgently stopped when a sensor failure or the like occurs. There has been a problem that the productivity of the substrate may be significantly reduced.

そこで本発明は、作業実行中の基板位置決め部への基板の進入を確実に防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供すること目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing machine and a screen printing method capable of reliably preventing the substrate from entering the substrate positioning unit during execution of work.

請求項1に記載のスクリーン印刷機は、ベース部に対して昇降する昇降部、昇降部に対して昇降する下受け部及び昇降部とともにベース部に対して昇降し、昇降部がベース部に対する下降位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する下降位置に位置しているときに基板を搬入して位置決めを行う基板位置決め部を有する基板昇降ユニットと、基板の電極の配置に応じたパターン孔が形成されたマスクプレートと、昇降部をベース部に対する下降位置に位置させた状態で下受け部を昇降部に対する上昇位置まで上昇させ、基板位置決め部により位置決めされた基板を下受け部により支持させた後、昇降部をベース部に対する上昇位置まで上昇させて、下受け部に支持された基板をマスクプレートに下方から接触させる基板昇降ユニット作動手段と、基板が接触したマスクプレート上を摺動し、マスクプレート上に供給されたペーストをマスクプレート上で掻き寄せることにより、マスクプレートのパターン孔を介してペーストを基板に転写させるスキージと、基板位置決め部に設けられ、昇降部がベース部に対する下降位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する下降位置に位置した状態では基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接しない位置に位置し、昇降部がベース部に対する上昇位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する上昇位置に位置した状態では基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接する位置に位置する第1の基板進入規制部材とを備えた。   The screen printer according to claim 1 is moved up and down with respect to the base unit together with a lifting unit that moves up and down with respect to the base unit, a lower receiving unit that moves up and down with respect to the lifting unit, and the lifting unit descends with respect to the base unit. A substrate lifting unit having a substrate positioning portion for carrying and positioning the substrate when the lower receiving portion is positioned at a lower position relative to the lifting portion, and a pattern hole corresponding to the arrangement of the electrodes on the substrate With the mask plate on which the substrate is formed and the elevating part positioned at the lowered position with respect to the base part, the lower receiving part is raised to the raised position with respect to the elevating part, and the substrate positioned by the substrate positioning part is supported by the lower receiving part. After that, the lifting / lowering unit is moved up to the raised position with respect to the base portion, and the substrate lifting unit operating hand that brings the substrate supported by the lower receiving portion into contact with the mask plate from below. A squeegee that slides on the mask plate in contact with the substrate and scrapes the paste supplied on the mask plate on the mask plate to transfer the paste to the substrate through the pattern hole of the mask plate; In the state where the lifting part is located at the lowered position with respect to the base part and the lower receiving part is located at the lowered position with respect to the lifting part, the substrate is brought into contact with the substrate entering the substrate positioning part from the upstream side in the substrate transport direction. A substrate that enters the substrate positioning unit from the upstream side in the substrate transport direction in a state where the substrate is located at a position that is not in contact, the lifting unit is positioned at the rising position with respect to the base unit, and the lower receiving unit is positioned at the rising position with respect to the lifting unit. And a first substrate entry restricting member located at the abutting position.

請求項2に記載のスクリーン印刷機は、請求項1に記載のスクリーン印刷機であって、下受け部に設けられ、昇降部がベース部に対する下降位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する下降位置に位置した状態では基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接しない位置に位置し、昇降部がベース部に対する下降位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する上昇位置に位置した状態では基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接する位置に位置する第2の基板進入規制部材を備えた。   A screen printing machine according to claim 2 is the screen printing machine according to claim 1, wherein the screen printing machine is provided in the lower receiving portion, the lifting portion is located at a lowered position with respect to the base portion, and the lower receiving portion is the lifting portion. In the state where it is in the lowered position relative to the substrate, it is located at a position where it does not contact the substrate entering the substrate positioning portion from the upstream side in the substrate transport direction, the lifting portion is located at the lowered position with respect to the base portion, and the lower receiving portion is raised or lowered In a state of being positioned at the ascending position with respect to the portion, a second substrate entry regulating member is provided which is located at a position where the substrate enters the substrate positioning portion from the upstream side in the substrate transport direction.

請求項3に記載のスクリーン印刷方法は、ベース部に対して昇降する昇降部、昇降部に対して昇降する下受け部及び昇降部とともにベース部に対して昇降し、昇降部がベース部に対する下降位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する下降位置に位置しているときに基板を搬入して位置決めを行う基板位置決め部を有する基板昇降ユニットと、基板の電極の配置に応じたパターン孔が形成されたマスクプレートと、昇降部をベース部に対する下降位置に位置させた状態で下受け部を昇降部に対する上昇位置まで上昇させ、基板位置決め部により位置決めされた基板を下受け部により支持させた後、昇降部をベース部に対する上昇位置まで上昇させて、下受け部に支持された基板をマスクプレートに下方から接触させる基板昇降ユニット作動手段と、基板が接触したマスクプレート上を摺動し、マスクプレート上に供給されたペーストをマスクプレート上で掻き寄せることにより、マスクプレートのパターン孔を介してペーストを基板に転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機のスクリーン印刷方法であって、昇降部をベース部に対する下降位置に位置させ、かつ下受け部を昇降部に対する下降位置に位置させた状態で基板位置決め部により基板を搬入して位置決めを行う工程と、下受け部を昇降部に対する下降位置から上昇位置に上昇させて基板位置決め部により位置決めした基板を下方から支持する工程と、昇降部をベース部に対する上昇位置に上昇させ、下受け部により支持した基板をマスクプレートの下方から接触させるとともに、基板位置決め部に設けられた第1の基板進入規制部材を、基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接する位置に位置させる工程と、基板が接触したマスクプレート上でスキージを摺動させ、マスクプレート上に供給したペーストをマスクプレート上で掻き寄せることにより、マスクプレートのパターン孔を介してペーストを基板に転写させる工程とを含む。   According to a third aspect of the present invention, there is provided the screen printing method, wherein the elevating unit is moved up and down relative to the base unit, the lower receiving unit is moved up and down relative to the elevating unit, and the elevating unit is moved up and down relative to the base unit A substrate lifting unit having a substrate positioning portion for carrying and positioning the substrate when the lower receiving portion is positioned at a lower position relative to the lifting portion, and a pattern hole corresponding to the arrangement of the electrodes on the substrate With the mask plate on which the substrate is formed and the elevating part positioned at the lowered position with respect to the base part, the lower receiving part is raised to the raised position with respect to the elevating part, and the substrate positioned by the substrate positioning part is supported by the lower receiving part. After that, the lifting / lowering unit is actuated by raising the lifting / lowering part to the raised position with respect to the base part and bringing the substrate supported by the lower receiving part into contact with the mask plate from below And a squeegee that slides on the mask plate in contact with the substrate and scrapes the paste supplied on the mask plate on the mask plate to transfer the paste to the substrate through the pattern holes of the mask plate. A screen printing method of a screen printing machine provided with a substrate positioning unit carrying a substrate in a state where the elevating unit is positioned at a lowered position with respect to the base unit and the lower receiving unit is positioned at a lowered position with respect to the elevating unit. A step of positioning, a step of supporting the substrate positioned by the substrate positioning unit from the lower position by raising the lower receiving portion from the lowered position with respect to the lifting portion, and a step of raising the lifting portion to the raised position with respect to the base portion. The substrate supported by the receiving portion is brought into contact with the lower side of the mask plate, and the second plate provided in the substrate positioning portion. The step of positioning the substrate entry restricting member at a position in contact with the substrate entering the substrate positioning portion from the upstream side in the substrate transport direction, and sliding the squeegee on the mask plate in contact with the substrate, And transferring the paste to the substrate through the pattern holes of the mask plate by scraping the supplied paste on the mask plate.

請求項4に記載のスクリーン印刷方法は、請求項3に記載のスクリーン印刷方法であって、下受け部を昇降部に対する下降位置から上昇位置に上昇させて基板位置決め部により位置決めした基板を下方から支持する工程を実行するとき、下受け部に設けられた第2の基板進入規制部材を、基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接する位置に位置させる。   The screen printing method according to claim 4 is the screen printing method according to claim 3, wherein the substrate positioned by the substrate positioning portion is moved from below by raising the lower receiving portion from the lowered position relative to the lifting portion to the raised position. When the supporting step is executed, the second substrate entry restricting member provided in the lower receiving portion is positioned at a position that comes into contact with the substrate entering the substrate positioning portion from the upstream side in the substrate transport direction.

本発明では、昇降部をベース部に対する下降位置から上昇位置に上昇させ、下受け部により支持した基板をマスクプレートの下方から接触させるときに、昇降部とともにベース部に対して昇降する基板位置決め部に設けられた第1の基板進入規制部材を、基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接する位置に位置させるようにしているので、作業実行中の基板位置決め部への基板の進入を確実に防止することができる。   In the present invention, when the elevating part is raised from the lowered position with respect to the base part to the elevated position, and the substrate supported by the lower receiving part is brought into contact with the lower part of the mask plate, the substrate positioning part that moves up and down relative to the base part together with the elevating part The first board entry restricting member provided on the board is positioned at a position in contact with the board entering the board positioning section from the upstream side in the substrate transport direction. It is possible to reliably prevent the substrate from entering.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図The front view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めコンベアの(a)斜視図(b)正面図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS (a) Perspective view (b) Front view of substrate positioning conveyor provided in screen printing machine in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクプレートの平面図The top view of the mask plate with which the screen printer in one embodiment of the present invention is provided (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めコンベアの正面図(A) (b) The front view of the board | substrate positioning conveyor with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めコンベアの正面図(A) (b) The front view of the board | substrate positioning conveyor with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めコンベアの(a)正面図(b)斜視図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS (a) Front view (b) Perspective view of substrate positioning conveyor provided in screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めコンベアの(a)正面図(b)斜視図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS (a) Front view (b) Perspective view of substrate positioning conveyor provided in screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めコンベアの(a)側面図(b)斜視図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS (a) Side view (b) Perspective view of substrate positioning conveyor provided in screen printing machine in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めコンベアの(a)側面図(b)斜視図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS (a) Side view (b) Perspective view of substrate positioning conveyor provided in screen printing machine in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めコンベアの(a)側面図(b)斜視図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS (a) Side view (b) Perspective view of substrate positioning conveyor provided in screen printing machine in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めコンベアの(a)側面図(b)斜視図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS (a) Side view (b) Perspective view of substrate positioning conveyor provided in screen printing machine in one embodiment of the present invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めコンベアの側面図(A) (b) (c) Side view of the board | substrate positioning conveyor with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めコンベアの側面図(A) (b) (c) Side view of the board | substrate positioning conveyor with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1、図2及び図3に示すスクリーン印刷機1は、実装基板生産用の電子部品実装ラインを構成する電子部品実装用装置の一種であり、基板2を搬送しつつ、その基板2の表面に設けられた電極3上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストをスクリーン印刷して下流側の電子部品実装機(図示せず)等に搬出するものである。以下、説明の便宜上、このスクリーン印刷機1における基板2の搬送方向をX軸方向(図1の紙面左右方向)、X軸方向と直交する水平面内方向をY軸方向(図1の紙面上下方向)、上下方向をZ軸方向(図2の紙面上下方向)とし、Y軸方向をスクリーン印刷機1の前後方向、X軸方向をスクリーン印刷機1の横方向とする。更に、前後方向のうち、スクリーン印刷機1のオペレータOP(図1)がスクリーン印刷機1に対して作業を行う側(図1の紙面下方)をスクリーン印刷機1の前方、その反対側(図1の紙面上方)をスクリーン印刷機1の後方とする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A screen printing machine 1 shown in FIGS. 1, 2 and 3 is a kind of electronic component mounting apparatus constituting an electronic component mounting line for mounting substrate production. The surface of the substrate 2 is conveyed while the substrate 2 is conveyed. A paste such as a solder paste or a conductive paste is screen-printed on the electrode 3 provided on the substrate 3 and carried out to a downstream electronic component mounting machine (not shown) or the like. Hereinafter, for convenience of explanation, the transport direction of the substrate 2 in the screen printing machine 1 is the X axis direction (left and right direction in FIG. 1), and the horizontal direction perpendicular to the X axis direction is the Y axis direction (up and down direction in FIG. 1). ), The vertical direction is the Z-axis direction (the vertical direction in FIG. 2), the Y-axis direction is the front-rear direction of the screen printer 1, and the X-axis direction is the horizontal direction of the screen printer 1. Further, in the front-rear direction, the operator OP (FIG. 1) of the screen printing machine 1 performs the operation on the screen printing machine 1 (below the paper surface in FIG. 1) is the front side of the screen printing machine 1, and the opposite side (see FIG. 1). 1) is the rear side of the screen printer 1.

図1、図2及び図3において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、基台11上に設けられた基板昇降ユニット12、基板昇降ユニット12の上方に設けられたマスクプレート13、一対のスキージ14及びカメラユニット15を備えている。   1, 2, and 3, the screen printing machine 1 according to the present embodiment includes a substrate elevating unit 12 provided on a base 11, a mask plate 13 provided above the substrate elevating unit 12, and a pair of A squeegee 14 and a camera unit 15 are provided.

図2及び図3において、基板昇降ユニット12は、水平移動部21、昇降部22、基板位置決めコンベア23(基板位置決め部)及び基板保持部24から成る。   2 and 3, the substrate lifting unit 12 includes a horizontal moving unit 21, a lifting unit 22, a substrate positioning conveyor 23 (substrate positioning unit), and a substrate holding unit 24.

水平移動部21は、基台11に対してY軸方向に移動するYテーブル21a、Yテーブル21aに対してX軸方向に移動するXテーブル21b、Xテーブル21bに対してZ軸回りに回転するθテーブル21c、θテーブル21cの上面に固定されたベーステーブル21d(ベース部)及びベーステーブル21dの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド21eから成る。   The horizontal moving unit 21 rotates around the Z axis with respect to the Y table 21a that moves in the Y axis direction with respect to the base 11, the X table 21b that moves in the X axis direction with respect to the Y table 21a, and the X table 21b. A θ table 21c, a base table 21d (base portion) fixed to the upper surface of the θ table 21c, and a plurality of elevating table guides 21e extending upward from the upper surface of the base table 21d.

昇降部22は、水平移動部21の複数の昇降テーブルガイド21eにガイドされてベーステーブル21dに対して昇降する昇降テーブル22a(昇降部)及び昇降テーブル22aの上面から上方に延びて設けられた複数の下受けユニット昇降ガイド22bから成る。   The elevating unit 22 is guided by a plurality of elevating table guides 21e of the horizontal moving unit 21 and is elevating from the upper surface of the elevating table 22a (elevating unit) and elevating the table 22a. It comprises a lower receiving unit lifting guide 22b.

基板位置決めコンベア23は昇降テーブル22aとともにベーステーブル21dに対して昇降する一対のコンベア機構23aから成る。各コンベア機構23aは、図4(a),(b)に示すように、X軸方向に延びて設けられ、下受けユニット昇降ガイド22bの上端に取り付けられたベルトコンベア取り付け部材31と、ベルトコンベア取り付け部材31に取り付けられてX軸方向に延びるベルトコンベア32から成り、これら一対のコンベア機構23aが(ベルトコンベア32が)同期して作動することにより、基板2のX軸方向への搬送及び位置決めがなされる。   The substrate positioning conveyor 23 includes a pair of conveyor mechanisms 23a that move up and down with respect to the base table 21d together with the lifting table 22a. As shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b), each conveyor mechanism 23a is provided extending in the X-axis direction, and a belt conveyor attachment member 31 attached to the upper end of the receiving unit elevating guide 22b, and a belt conveyor. The belt conveyor 32 is attached to the attachment member 31 and extends in the X-axis direction. The pair of conveyor mechanisms 23a operate synchronously (the belt conveyor 32) so that the substrate 2 is conveyed and positioned in the X-axis direction. Is made.

図2及び図3において、基板保持部24は、基板位置決めコンベア23が備える一対のベルトコンベア取り付け部材31の上部にY軸方向に移動自在に設けられた一対のクランプ部材24a(図1も参照)、基板位置決めコンベア23の下方において、下受けユニット昇降ガイド22bにガイドされて昇降する下受けユニット支持テーブル24b及び下受けユニット支持テーブル24bの上面に設けられた下受けユニット24cから成る。下受けユニット24cは、下受けユニット支持テーブル24bとともに昇降テーブル22aに対して昇降することにより、基板位置決めコンベア23により位置決めされた基板2を下方から支持する。一対のクランプ部材24aは、基板位置決めコンベア23によって作業位置に位置決めされ、下受けユニット24cによって下面が支持された基板2のY軸方向の両側部を基板2の外方から挟んでクランプする。   2 and 3, the substrate holding unit 24 is a pair of clamp members 24a provided on the upper portions of the pair of belt conveyor attachment members 31 included in the substrate positioning conveyor 23 so as to be movable in the Y-axis direction (see also FIG. 1). In the lower part of the substrate positioning conveyor 23, the lower receiving unit support table 24b is moved up and down by being guided by the lower receiving unit lifting guide 22b, and the lower receiving unit 24c is provided on the upper surface of the lower receiving unit support table 24b. The lower receiving unit 24c moves up and down with respect to the lifting table 22a together with the lower receiving unit support table 24b, thereby supporting the substrate 2 positioned by the substrate positioning conveyor 23 from below. The pair of clamp members 24a is positioned at the work position by the substrate positioning conveyor 23, and clamps both sides in the Y-axis direction of the substrate 2 whose lower surface is supported by the lower receiving unit 24c from the outside of the substrate 2.

図1及び図2において、基板昇降ユニット12を構成する基板位置決めコンベア23のX軸方向の両側(基板2の搬送方向の上流側と下流側)の位置には、スクリーン印刷機1の外部(図1及び図2の紙面左側)から投入された基板2を搬送(搬入)して基板位置決めコンベア23に受け渡す基板搬入コンベア25と、基板位置決めコンベア23から受け渡された基板2をスクリーン印刷機1の外部(図1及び図2の紙面右側)に搬送(搬出)する基板搬出コンベア26が備えられている。基板搬入コンベア25及び基板搬出コンベア26はそれぞれ、基板位置決めコンベア23と同様に一対のコンベア機構(図1では符号を25a及び26aとする)から成っている。   1 and 2, the positions of both sides in the X-axis direction (upstream side and downstream side in the conveyance direction of the substrate 2) of the substrate positioning conveyor 23 constituting the substrate lifting unit 12 are outside the screen printing machine 1 (see FIG. 1). 1 and the substrate loading conveyor 25 that transports (loads) the substrate 2 loaded from the left side of the sheet of FIG. 2 to the substrate positioning conveyor 23 and the substrate 2 that is transferred from the substrate positioning conveyor 23 to the screen printing machine 1. A substrate carry-out conveyor 26 for carrying (carrying out) the outside (right side of the drawing in FIGS. 1 and 2) is provided. The substrate carry-in conveyor 25 and the substrate carry-out conveyor 26 are each composed of a pair of conveyor mechanisms (indicated by reference numerals 25a and 26a in FIG. 1) like the substrate positioning conveyor 23.

図1及び図5において、マスクプレート13は平面視において矩形形状を有する枠部材13wによって四辺が支持されており、枠部材13wによって囲まれた矩形の領域には、基板2上の複数の電極3に対応して設けられた(すなわち電極3の配置に応じた)多数のパターン孔phが形成されている。   1 and 5, the mask plate 13 is supported on four sides by a frame member 13w having a rectangular shape in plan view, and a plurality of electrodes 3 on the substrate 2 are disposed in a rectangular region surrounded by the frame member 13w. A large number of pattern holes ph provided corresponding to (that is, according to the arrangement of the electrodes 3) are formed.

図1において、基板2の対角位置には2つ一組の基板側位置合わせマークmkが設けられている。一方、図5において、マスクプレート13には、基板側位置合わせマークmkに対応して配置された2つ一組のマスク側位置合わせマークMKが設けられている。   In FIG. 1, two sets of substrate side alignment marks mk are provided at diagonal positions of the substrate 2. On the other hand, in FIG. 5, the mask plate 13 is provided with a pair of mask side alignment marks MK arranged corresponding to the substrate side alignment marks mk.

マスクプレート13は、オペレータOPがこのマスクプレート13の両端部を両手で把持してスクリーン印刷機1の前方から基板昇降ユニット12の上方をY軸方向に延びて設けられた一対のマスク支持レール27(図1及び図5)の間に挿入し、枠部材13wの先頭部がマスク支持レール27上に設けられたストッパ27a(図1及び図5)に当接するまで後方に押し込むことによって、所定の位置に設置される。   The mask plate 13 is provided with a pair of mask support rails 27 provided so that the operator OP holds both ends of the mask plate 13 with both hands and extends in the Y-axis direction from the front of the screen printing machine 1 to above the substrate lifting unit 12. (FIG. 1 and FIG. 5), and by pushing backward until the leading end of the frame member 13w comes into contact with a stopper 27a (FIGS. 1 and 5) provided on the mask support rail 27, a predetermined Installed in position.

図1及び図2において、基台11上には基板搬入コンベア25及び基板搬出コンベア26をそれぞれY軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム28が設けられており、これら一対の門型フレーム28にはX軸方向に延びたX軸ステージ29aの両端部がY軸方向にスライド自在に支持されている。X軸ステージ29a上にはカメラ支持ステージ29bがX軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ29bには前述のカメラユニット15が取り付けられている。カメラユニット15は、撮像視野を下方に向けた第1カメラ15aと撮像視野を上方に向けた第2カメラ15bを備えている(図3)。   In FIG. 1 and FIG. 2, a pair of gate-shaped frames 28 are provided on the base 11 so as to straddle the substrate carry-in conveyor 25 and the substrate carry-out conveyor 26 in the Y-axis direction. Both end portions of the X-axis stage 29a extending in the X-axis direction are supported so as to be slidable in the Y-axis direction. A camera support stage 29b is provided on the X-axis stage 29a so as to be movable in the X-axis direction. The camera unit 15 is attached to the camera support stage 29b. The camera unit 15 includes a first camera 15a whose imaging field is directed downward and a second camera 15b whose imaging field is directed upward (FIG. 3).

図1において、上記一対の門型フレーム28にはX軸方向に延びたスキージベース40の両端が支持されており、スキージベース40は門型フレーム28に沿ってY軸方向に往復移動自在となっている。このスキージベース40には前述の一対のスキージ14がY軸方向に対向して設けられている。各スキージ14はX軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、それぞれスキージベース40に対して昇降自在に取り付けられている。   In FIG. 1, both ends of a squeegee base 40 extending in the X-axis direction are supported by the pair of portal frames 28, and the squeegee base 40 can reciprocate in the Y-axis direction along the portal frame 28. ing. The squeegee base 40 is provided with the above-described pair of squeegees 14 facing each other in the Y-axis direction. Each squeegee 14 is made of a “spar” -like member extending in the X-axis direction, and is attached to the squeegee base 40 so as to be movable up and down.

図4(a),(b)において、基板位置決めコンベア23を構成する各ベルトコンベア取り付け部材31それぞれのX軸方向の両端部のうち、基板2の搬送方向の上流側(図4の紙面左側)の端部には、第1の基板進入規制部材41が設けられている。各第1の基板進入規制部材41は、基板2の搬送方向の上流側に延びた水平延出部41aと、水平延出部41aの端部から下方に延びた下方延出部41bを有して逆L字型形状をしており、下方延出部41bは、基板搬入コンベア25と基板位置決めコンベア23との間のX軸に直交する垂直面内(YZ面内)に位置している。   4 (a) and 4 (b), the upstream side in the transport direction of the substrate 2 (the left side in FIG. 4) among the both ends in the X-axis direction of each belt conveyor attachment member 31 constituting the substrate positioning conveyor 23. A first board entry restricting member 41 is provided at the end of the first board. Each first board entry restriction member 41 has a horizontal extension 41a extending upstream in the conveyance direction of the board 2 and a lower extension 41b extending downward from the end of the horizontal extension 41a. The downward extending portion 41b is located in a vertical plane (in the YZ plane) orthogonal to the X axis between the substrate carry-in conveyor 25 and the substrate positioning conveyor 23.

図4(a),(b)において、下受けユニット24cは、下受けユニット支持テーブル24bの上面に取り付けられたブロック部42と、ブロック部42の上面から上方に延びて設けられた複数のピン状部材43から成り、基板2を支持するときには、これら複数のピン状部材43の上端部が基板2の下面に当接される。   4A and 4B, the lower receiving unit 24c includes a block portion 42 attached to the upper surface of the lower receiving unit support table 24b and a plurality of pins provided extending upward from the upper surface of the block portion 42. When the substrate 2 is supported, the upper end portions of the plurality of pin-shaped members 43 are brought into contact with the lower surface of the substrate 2.

下受けユニット24cのブロック部42のX軸方向(基板2の搬送方向)の両端部のうち、基板2の搬送方向の上流側の端部(図4の紙面左側)には、第2の基板進入規制部材44が設けられている。第2の基板進入規制部材44は、基板2の搬送方向の上流側に延びた水平延出部44aと、水平延出部44aの端部から上方に延びた上方延出部44bを有してL字型形状をしており、上方延出部44bは、基板搬入コンベア25と基板位置決めコンベア23との間のX軸に直交する垂直面内(YZ面内)に位置している。   Of both ends of the block portion 42 of the lower receiving unit 24c in the X-axis direction (the transport direction of the substrate 2), the second substrate is located at the upstream end in the transport direction of the substrate 2 (left side in FIG. 4). An entry restricting member 44 is provided. The second board entry restricting member 44 has a horizontal extension 44a that extends upstream in the transport direction of the board 2 and an upper extension 44b that extends upward from the end of the horizontal extension 44a. It has an L-shape, and the upward extending portion 44b is located in a vertical plane (YZ plane) orthogonal to the X axis between the substrate carry-in conveyor 25 and the substrate positioning conveyor 23.

図4(b)、図6(a),(b)及び図7(a),(b)において、昇降テーブル22aはベーステーブル21dに対する(ベーステーブル21dを基準とした)下降位置P1と上昇位置P2との間で昇降が自在であり、下受けユニット24cは昇降テーブル22aに対する(昇降テーブル22aを基準とした)下降位置Q1と上昇位置Q2との間で昇降が自在である。図4(b)、図6(a),(b)及び図7(a),(b)では、昇降テーブル22aの昇降範囲を範囲R1で示し、下受けユニット24cの昇降範囲を範囲R2で示している。   4 (b), 6 (a), 6 (b) and 7 (a), 7 (b), the elevating table 22a is in a lowered position P1 and a raised position with respect to the base table 21d (based on the base table 21d). The lower receiving unit 24c can move up and down between the lowered position Q1 and the raised position Q2 (based on the raised table 22a) with respect to the raised table 22a. 4 (b), 6 (a), 6 (b) and 7 (a), 7 (b), the lifting range of the lifting table 22a is indicated by a range R1, and the lifting range of the lower receiving unit 24c is indicated by a range R2. Show.

図6(a)は、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する下降位置Q1に位置した状態を示しており、図6(b)は、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置した状態を示している。   FIG. 6A shows a state in which the lifting table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d and the lower receiving unit 24c is located at the lowered position Q1 with respect to the lifting table 22a. Shows a state in which the lifting table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d and the lower receiving unit 24c is located at the raised position Q2 with respect to the lifting table 22a.

また、図7(a)は、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置し、かつ、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1と上昇位置P2との間に位置した状態を示しており、図7(b)は、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置し、かつ、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する上昇位置P2に位置した状態を示している。   FIG. 7A shows a state in which the lower receiving unit 24c is located at the raised position Q2 with respect to the lifting table 22a and the lifting table 22a is located between the lowered position P1 and the raised position P2 with respect to the base table 21d. FIG. 7B shows a state in which the lower receiving unit 24c is located at the raised position Q2 with respect to the lifting table 22a, and the lifting table 22a is located at the raised position P2 with respect to the base table 21d.

なお、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、その動作手順において、下受けユニット24cは昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置しているときにのみ昇降作動をする。したがって、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対して昇降するときには、下受けユニット24cは必ず昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置した状態となっている。   In the screen printing machine 1 according to the present embodiment, in the operation procedure, the lower receiving unit 24c moves up and down only when the lifting table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d. Therefore, when the elevating table 22a moves up and down with respect to the base table 21d, the lower receiving unit 24c is always in a state of being in the ascending position Q2 with respect to the elevating table 22a.

第1の基板進入規制部材41は、図6(a),(b)に示すように、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する下降位置Q1に位置しているか上昇位置Q2に位置しているかに拘らず、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置している状態では、下方延出部41bが基板搬入コンベア25から(すなわち、基板2の搬送方向の上流側から)基板位置決めコンベア23に進入する基板2の搬送面Sよりも下方に位置するようになっており、図7(b)に示すように、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置し、かつ昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する上昇位置P2に位置した状態では、下方延出部41bが基板搬入コンベア25から基板位置決めコンベア23に進入する基板2の進行方向前方に位置するようになっている。   As shown in FIGS. 6A and 6B, the first board entry restricting member 41 determines whether the lower receiving unit 24c is located at the lowered position Q1 or the raised position Q2 with respect to the lifting table 22a. Regardless, in the state where the lift table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d, the downward extending portion 41b is moved from the substrate carry-in conveyor 25 (that is, from the upstream side in the transfer direction of the substrate 2). As shown in FIG. 7 (b), the lower receiving unit 24c is positioned at the rising position Q2 with respect to the lifting table 22a, and the lifting table is located. In a state where 22a is located at the ascending position P2 with respect to the base table 21d, the downward extending portion 41b is moved from the substrate carry-in conveyor 25 to the substrate positioning connector. It is adapted to position forward in the traveling direction of the substrate 2 which enters the bare 23.

また、第2の基板進入規制部材44は、図6(a)に示すように、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する下降位置Q1に位置した状態では、上方延出部44bが基板搬入コンベア25から基板位置決めコンベア23に進入する基板2の搬送面Sよりも下方に位置するようになっており、図6(b)に示すように、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置した状態では、上方延出部44bが基板搬入コンベア25から基板位置決めコンベア23に進入する基板2の進行方向前方に位置するようになっている。   In addition, as shown in FIG. 6A, the second board entry restricting member 44 is configured such that the elevating table 22a is positioned at the lowered position P1 with respect to the base table 21d, and the lower receiving unit 24c is at the lowered position Q1 with respect to the elevating table 22a. 6b, the upper extension 44b is positioned below the transfer surface S of the substrate 2 entering the substrate positioning conveyor 23 from the substrate carry-in conveyor 25, as shown in FIG. 6B. In addition, when the lifting table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d and the lower receiving unit 24c is located at the raised position Q2 with respect to the lifting table 22a, the upper extending portion 44b is moved from the substrate carry-in conveyor 25 to the substrate positioning conveyor. 23 is located in front of the substrate 2 in the direction of travel.

昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する下降位置Q1に位置した状態(図6(a))では、第1の基板進入規制部材41及び第2の基板進入規制部材44はともに基板搬入コンベア25から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接しない位置に位置することから、基板搬入コンベア25から基板位置決めコンベア23への基板2の進入が可能であり、基板位置決めコンベア23は基板2の搬入及び位置決めを行うことができる。(図4(b)→図6(a))。   In the state where the lifting table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d and the lower receiving unit 24c is located at the lowered position Q1 with respect to the lifting table 22a (FIG. 6A), the first board entry restricting member 41 and Since both of the second board entry restriction members 44 are located at positions where they do not come into contact with the board 2 entering the board positioning conveyor 23 from the board carry-in conveyor 25, the board 2 enters the board positioning conveyor 23 from the board carry-in conveyor 25. The substrate positioning conveyor 23 can carry in and position the substrate 2. (FIG. 4 (b) → FIG. 6 (a)).

下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する下降位置Q1から上昇位置Q2に上昇すると(図6(a)→図6(b))、その間、基板搬入コンベア25から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接する位置に第2の基板進入規制部材44が位置するので、基板搬入コンベア25から基板位置決めコンベア23への基板2の進入が阻止される。   When the lower receiving unit 24c rises from the lowered position Q1 to the raised position Q2 with respect to the lifting table 22a (FIG. 6 (a) → FIG. 6 (b)), the substrate 2 entering the substrate positioning conveyor 23 from the substrate carry-in conveyor 25 during this period Since the second substrate entry restricting member 44 is located at the contact position, entry of the substrate 2 from the substrate carry-in conveyor 25 to the substrate positioning conveyor 23 is prevented.

また、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する下降位置Q1から上昇位置Q2に上昇した後(図6(b))、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1から上昇位置P2に上昇すると(図6(b)→図7(a)→図7(b))、その間、基板搬入コンベア25から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接する位置には、初めは第2の基板進入規制部材44が位置し(図6(b))、次いで第2の基板進入規制部材44に加えて第1の基板進入規制部材41が位置し(図7(a))、更に昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する上昇位置P2に位置した状態では、第1の基板進入規制部材41が基板2と当接する位置に位置するので(図7(b))、基板搬入コンベア25から基板位置決めコンベア23への基板2の進入が阻止される。   Further, after the lower receiving unit 24c is raised from the lowered position Q1 to the raised position Q2 with respect to the lift table 22a (FIG. 6B), the lift table 22a is lifted from the lowered position P1 with respect to the base table 21d to the raised position P2 (FIG. 6). 6 (b) → FIG. 7 (a) → FIG. 7 (b)), during this time, the second substrate entry restriction member is initially located at a position where it abuts on the substrate 2 entering the substrate positioning conveyor 23 from the substrate carry-in conveyor 25. 44 is located (FIG. 6B), then the first substrate entry restriction member 41 is located in addition to the second substrate entry restriction member 44 (FIG. 7A), and the lifting table 22a is the base table. In the state where the first substrate entry restriction member 41 is in contact with the substrate 2 in the state where it is in the raised position P2 with respect to 21d (FIG. 7B), the substrate is loaded from the substrate carry-in conveyor 25 to the substrate. Entry of the substrate 2 to-decided Me conveyor 23 is prevented.

このスクリーン印刷機1において、基板2の搬送を行う基板搬送路としての基板搬入コンベア25、基板位置決めコンベア23及び基板搬出コンベア26の各動作は、制御装置50(図8)が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構51(図8)の作動制御を行うことによってなされ、クランプ部材24aによる基板2のクランプ動作は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材作動機構52(図8)の作動制御を行うことによってなされる。   In this screen printing machine 1, the operations of the substrate carry-in conveyor 25, the substrate positioning conveyor 23 and the substrate carry-out conveyor 26 as a substrate carrying path for carrying the substrate 2 are controlled by an actuator not shown by the control device 50 (FIG. 8). The substrate transport path actuating mechanism 51 (FIG. 8) is controlled so as to clamp the substrate 2 by the clamp member 24a. The clamp device actuating mechanism 52 (FIG. 8) is configured by the controller 50 including an actuator (not shown). This is done by performing the operation control.

基台11に対するYテーブル21aのY軸方向への移動、Yテーブル21aに対するXテーブル21bのX軸方向への移動、Xテーブル21bに対するθテーブル21cの(すなわちベーステーブル21dの)Z軸回りの回転、ベーステーブル21dに対する昇降テーブル22aの昇降、昇降テーブル22aに対する下受けユニット支持テーブル24bの(すなわち下受けユニット24cの)昇降の各動作は、制御装置50がYテーブル駆動モータMyやXテーブル駆動モータMx(図2及び図3参照)を含むアクチュエータ等から成る基板昇降ユニット作動機構53(図8)の作動制御を行うことによってなされる。   Movement of the Y table 21a relative to the base 11 in the Y-axis direction, movement of the X table 21b relative to the Y table 21a in the X-axis direction, rotation of the θ table 21c relative to the X table 21b (ie, the base table 21d) around the Z axis The control device 50 operates the Y table drive motor My and the X table drive motor for the operations of raising and lowering the elevation table 22a relative to the base table 21d and raising and lowering the lower support unit support table 24b relative to the elevation table 22a (that is, lower support unit 24c). This is done by controlling the operation of the substrate lifting unit operation mechanism 53 (FIG. 8) including an actuator including Mx (see FIGS. 2 and 3).

カメラユニット15の水平面内での移動動作、すなわち一対の門型フレーム28に対するX軸ステージ29aのY軸方向への移動動作及びX軸ステージ29aに対するカメラ支持ステージ29bのX軸方向への移動動作の各制御は、制御装置50が図示しないアクチュエータから成るカメラユニット移動機構54(図8)の作動制御を行うことによってなされる。   Movement of the camera unit 15 in the horizontal plane, that is, movement of the X-axis stage 29a in the Y-axis direction with respect to the pair of portal frames 28 and movement of the camera support stage 29b in the X-axis direction with respect to the X-axis stage 29a Each control is performed when the control device 50 controls the operation of the camera unit moving mechanism 54 (FIG. 8) including an actuator (not shown).

一対のスキージ14をY軸方向に往復移動させるスキージベース40の作動制御は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成るスキージ移動機構55(図8)の制御を行うことによってなされる。また、各スキージ14のスキージベース40に対する昇降動作は、制御装置50がスキージベース40の上部に取り付けられたスキージ昇降シリンダ56(図2、図3及び図8)の作動制御を行うことによってなされる。   The operation control of the squeegee base 40 for reciprocating the pair of squeegees 14 in the Y-axis direction is performed by the control device 50 controlling a squeegee moving mechanism 55 (FIG. 8) including an actuator (not shown). Further, the raising / lowering operation of each squeegee 14 with respect to the squeegee base 40 is performed when the control device 50 controls the operation of the squeegee raising / lowering cylinder 56 (FIG. 2, FIG. 3 and FIG. 8) attached to the upper part of the squeegee base 40. .

カメラユニット15を構成する第1カメラ15aは、制御装置50に制御されて、基板昇降ユニット12が備える基板位置決めコンベア23によって作業位置に位置決めされた基板2の基板側位置合わせマークmkの撮像を行い、第2カメラ15bは、制御装置50に制御されて、マスクプレート13に設けられたマスク側位置合わせマークMKの撮像を行う。第1カメラ15aの撮像によって得られた画像データと第2カメラ15bの撮像によって得られた画像データはともに制御装置50に入力される(図8)。   The first camera 15a constituting the camera unit 15 is controlled by the control device 50 to image the substrate side alignment mark mk of the substrate 2 positioned at the work position by the substrate positioning conveyor 23 provided in the substrate lifting unit 12. The second camera 15b is controlled by the control device 50 to image the mask side alignment mark MK provided on the mask plate 13. Both the image data obtained by imaging with the first camera 15a and the image data obtained by imaging with the second camera 15b are input to the control device 50 (FIG. 8).

次に、図9のフローチャート及び図10〜図17の動作説明図を加えてスクリーン印刷機1の動作について説明する。スクリーン印刷機1の制御装置50は、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置させるとともに、下受けユニット24cを昇降テーブル22aに対する下降位置Q1に位置させた状態で(図4(b)及び図10(a),(b))、図示しない検出手段によってスクリーン印刷機1の上流側に設置された他の装置等(図示せず)から基板搬入コンベア25に基板2が投入されたことを検知した場合には、基板搬入コンベア25と基板位置決めコンベア23を連動作動させてスクリーン印刷機1内に基板2を搬入し(図10(a),(b)中に示す矢印A)、更に、図示しない検知手段により、基板位置決めコンベア23が搬入する基板2が所定の作業位置に到達したことを検知したら、基板位置決めコンベア23の作動を停止させて基板2の位置決めを行う(図6(a)及び図11(a),(b)。基板位置決め工程。図9のステップST1)。   Next, the operation of the screen printer 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. 9 and the operation explanatory diagrams of FIGS. The control device 50 of the screen printing machine 1 places the lifting table 22a at the lowered position P1 with respect to the base table 21d and the lower receiving unit 24c at the lowered position Q1 with respect to the lifting table 22a (FIG. 4B). 10 (a) and 10 (b)), the substrate 2 is loaded into the substrate carry-in conveyor 25 from another device or the like (not shown) installed on the upstream side of the screen printing machine 1 by a detection means (not shown). Is detected, the substrate carrying conveyor 25 and the substrate positioning conveyor 23 are operated in conjunction to carry the substrate 2 into the screen printer 1 (arrow A shown in FIGS. 10A and 10B), and further When the detection means (not shown) detects that the substrate 2 to be carried by the substrate positioning conveyor 23 has reached a predetermined work position, the substrate positioning conveyor 2 The actuation is stopped to position the substrate 2 (FIG. 6 (a) and FIG. 11 (a), (b). Step ST1 of the substrate positioning step. Figure 9).

制御装置50は、基板2の作業位置への位置決めを行ったら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置させたまま、下受けユニット24cを(下受けユニット支持テーブル24bを)昇降テーブル22aに対して上昇させ(図12(a),(b)中に示す矢印B1)、下受けユニット24cのピン状部材43が基板2の下面に接触したところで下受けユニット24cの上昇を停止させる(図12(a),(b))。そして、クランプ部材24aを作動させ(図13(a),(b)中に示す矢印C1)、基板位置決めコンベア23上の基板2の両側部を一対のクランプ部材24aによりクランプする(図13(a),(b))。   After positioning the substrate 2 to the work position, the control device 50 moves the lower receiving unit 24c (lower receiving unit support table 24b) to the lifting table while keeping the lifting table 22a at the lowered position P1 with respect to the base table 21d. 22a (arrow B1 shown in FIGS. 12A and 12B), and when the pin-like member 43 of the lower receiving unit 24c comes into contact with the lower surface of the substrate 2, the lowering of the lower receiving unit 24c is stopped. (FIGS. 12A and 12B). Then, the clamp member 24a is operated (arrow C1 shown in FIGS. 13A and 13B), and both side portions of the substrate 2 on the substrate positioning conveyor 23 are clamped by the pair of clamp members 24a (FIG. 13A ), (B)).

制御装置50は、一対のクランプ部材24aにより基板2をクランプしたら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置させたまま、下受けユニット24cを更に昇降テーブル22aに対して上昇させて、下受けユニット24cで基板2を押し上げる(図14(a),(b)。これらの図中に示す矢印B2)。これにより基板2はY軸方向の両端をクランプ部材24aに対して摺動させながら上昇し(基板2は基板位置決めコンベア23の両ベルトコンベア32から上方に離間する)、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置して基板2の上面が両クランプ部材24aの上面とほぼ同じ高さになったところで、下受けユニット24cの押し上げを停止させる。これにより基板保持部24によって基板2が保持された状態となる(図14(a),(b)。基板保持工程。図9のステップST2)。   After the substrate 2 is clamped by the pair of clamp members 24a, the control device 50 further raises the lower receiving unit 24c relative to the lifting table 22a while keeping the lifting table 22a at the lowered position P1 with respect to the base table 21d. The substrate 2 is pushed up by the receiving unit 24c (FIGS. 14A and 14B, arrow B2 shown in these drawings). As a result, the substrate 2 is raised while sliding both ends in the Y-axis direction with respect to the clamp member 24a (the substrate 2 is separated upward from both belt conveyors 32 of the substrate positioning conveyor 23), and the lower receiving unit 24c is moved up and down. When the upper surface of the substrate 2 is substantially at the same height as the upper surfaces of the clamp members 24a at the rising position Q2 with respect to 22a, the push-up of the lower receiving unit 24c is stopped. As a result, the substrate 2 is held by the substrate holding unit 24 (FIGS. 14A and 14B, substrate holding step, step ST2 in FIG. 9).

この基板保持工程が終了した時点では、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置した状態となり、基板搬入コンベア25から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接する位置に第2の基板進入規制部材44が位置する(図6(b))。このため、基板保持工程の実行中のほか、基板保持工程の終了後、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置した状態となっている間は、誤って基板2が基板搬入コンベア25から基板位置決めコンベア23に進入してくることを防止することができる。   At the time when the substrate holding process is completed, the lifting table 22a is positioned at the lowered position P1 with respect to the base table 21d, and the lower receiving unit 24c is positioned at the rising position Q2 with respect to the lifting table 22a. The second board entry restricting member 44 is located at a position where it comes into contact with the board 2 entering the board positioning conveyor 23 (FIG. 6B). For this reason, in addition to executing the substrate holding process, after the substrate holding process is completed, the lifting table 22a is positioned at the lowered position P1 with respect to the base table 21d, and the lower receiving unit 24c is positioned at the rising position Q2 with respect to the lifting table 22a. During this state, it is possible to prevent the substrate 2 from entering the substrate positioning conveyor 23 from the substrate carry-in conveyor 25 by mistake.

制御装置50は、上記のようにして基板保持部24により基板2を保持したら、カメラユニット移動機構54の作動制御を行い(X軸ステージ29aをY軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ29bをX軸方向に移動させ)、第1カメラ15aを基板2に設けられた基板側位置合わせマークmkの直上に位置させて、第1カメラ15aに基板側位置合わせマークmkの撮像を行わせる一方、第2カメラ15bをマスクプレート13に設けられたマスク側位置合わせマークMKの直下に位置させて、第2カメラ15bにマスク側位置合わせマークMKの撮像を行わせる。そして、制御装置50は、得られた基板側位置合わせマークmkの画像データから基板2の位置を把握するとともに、得られたマスク側位置合わせマークMKの画像データからマスクプレート13の位置を把握し、基板昇降ユニット12が備える水平移動部21の作動制御を行って基板保持部24を(したがって基板2を)水平面内方向に移動させ、基板側位置合わせマークmkとマスク側位置合わせマークMKとが上下に対向するように、基板2とマスクプレート13の水平面内方向の位置合わせを行う(位置合わせ工程。図9のステップST3)。   After holding the substrate 2 by the substrate holding part 24 as described above, the control device 50 controls the operation of the camera unit moving mechanism 54 (the X-axis stage 29a is moved in the Y-axis direction and the camera support stage 29b is moved). The first camera 15a is positioned immediately above the substrate-side alignment mark mk provided on the substrate 2 to cause the first camera 15a to image the substrate-side alignment mark mk, The second camera 15b is positioned directly below the mask side alignment mark MK provided on the mask plate 13, and the second camera 15b is caused to image the mask side alignment mark MK. Then, the control device 50 grasps the position of the substrate 2 from the obtained image data of the substrate side alignment mark mk, and grasps the position of the mask plate 13 from the obtained image data of the mask side alignment mark MK. Then, the operation of the horizontal moving unit 21 included in the substrate lifting / lowering unit 12 is controlled to move the substrate holding unit 24 (and thus the substrate 2) in the horizontal plane direction, so that the substrate side alignment mark mk and the mask side alignment mark MK are The substrate 2 and the mask plate 13 are aligned in the horizontal plane direction so as to face each other vertically (alignment step; step ST3 in FIG. 9).

制御装置50は、上記基板2とマスクプレート13の水平面内方向の位置合わせが終わったら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して上昇させ(図15(a),(b)中に示す矢印D1)、基板2の被印刷面である上面をマスクプレート13に下方から接触させる(図15(a),(b)。接触工程。図9のステップST4)。これによりマスクプレート13のパターン孔phと基板2上の電極3とが上下方向に合致した状態となる。   When the alignment of the substrate 2 and the mask plate 13 in the horizontal plane direction is finished, the control device 50 raises the lifting table 22a with respect to the base table 21d (the arrow D1 shown in FIGS. 15A and 15B). ), The upper surface, which is the printing surface, of the substrate 2 is brought into contact with the mask plate 13 from below (FIGS. 15A and 15B. Contact process, step ST4 in FIG. 9). As a result, the pattern hole ph of the mask plate 13 and the electrode 3 on the substrate 2 are aligned in the vertical direction.

この接触工程が終了した時点では、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置し、かつ、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する上昇位置P2に位置した状態となり、基板位置決めコンベア23に設けられた第1の基板進入規制部材41は、基板2の搬送方向の上流側から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接する位置に位置する(図7(b))。このため、接触工程の実行中のほか、接触工程の終了後、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置し、かつ、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する上昇位置P2に位置した状態となっている間は、誤って基板2が基板搬入コンベア25から基板位搬送部23に進入してくることを防止することができる。   When this contact process is completed, the receiving unit 24c is positioned at the lift position Q2 with respect to the lift table 22a, and the lift table 22a is positioned at the lift position P2 with respect to the base table 21d. The first board entry restriction member 41 thus formed is located at a position where it abuts on the board 2 entering the board positioning conveyor 23 from the upstream side in the transport direction of the board 2 (FIG. 7B). For this reason, in addition to the execution of the contact process, after the contact process is completed, the lower receiving unit 24c is positioned at the lift position Q2 with respect to the lift table 22a, and the lift table 22a is positioned at the lift position P2 with respect to the base table 21d. During this time, it is possible to prevent the substrate 2 from entering the substrate position transport unit 23 from the substrate carry-in conveyor 25 by mistake.

なお、上記の基板保持工程及び接触工程において、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置させた状態で下受けユニット24cを昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2まで上昇させ、基板位置決めコンベア23により位置決めされた基板2を下受けユニット24cにより支持させた後、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する上昇位置P2まで上昇させて、下受けユニット24cに支持された基板2をマスクプレート13に下方から接触させる動作は、制御装置50によって作動制御された基板昇降ユニット作動手段としての基板昇降ユニット作動機構53が行う。   In the above-described substrate holding step and contact step, the lower receiving unit 24c is raised to the raised position Q2 with respect to the lifting table 22a with the lifting table 22a positioned at the lowered position P1 with respect to the base table 21d. After the positioned substrate 2 is supported by the lower receiving unit 24c, the lifting table 22a is raised to the rising position P2 with respect to the base table 21d, and the substrate 2 supported by the lower receiving unit 24c is brought into contact with the mask plate 13 from below. The operation to be performed is performed by the substrate lifting unit operating mechanism 53 as the substrate lifting unit operating means whose operation is controlled by the control device 50.

制御装置50は、基板2をマスクプレート13に接触させたら、スクリーン印刷機1の動作を一時中断したうえで、図示しないディスプレイ装置による画像表示等を介して、オペレータOPにペーストPstの供給を促す。オペレータOPは、現在マスクプレート13上に残っているペーストPstの量に基づいて、ペーストPstの供給(補充)を行うべきかどうかの判断を行い、ペーストPstの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ60(図16(a))により、マスクプレート13上にペーストPstの供給を行う。そして、ペーストPstの供給が終わったら、図示しない動作再開ボタンの操作を行う。オペレータOPは、ペーストPstの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタンの操作を行う。   When the control device 50 brings the substrate 2 into contact with the mask plate 13, the operation of the screen printing machine 1 is temporarily interrupted, and then the operator OP is prompted to supply the paste Pst via an image display by a display device (not shown). . When the operator OP determines whether or not to supply (supplement) the paste Pst based on the amount of the paste Pst currently remaining on the mask plate 13, and determines that the paste Pst should be supplied, The paste Pst is supplied onto the mask plate 13 by using a separately prepared paste supply syringe 60 (FIG. 16A). Then, when the supply of the paste Pst is finished, an operation restart button (not shown) is operated. The operator OP operates the operation restart button even when it is determined that the supply of the paste Pst is unnecessary.

制御装置50はステップST4の後、動作再開ボタンの操作が行われたかどうかの判断を行い(判断工程。図9のステップST5)、動作再開ボタンの操作が行われたと判断した場合には、スクリーン印刷機1の動作中断を解除し、スキージ14を(スキージベース40を)Y軸方向に往復移動させて、マスクプレート13のパターン孔ph内にペーストPstを充填させることによって、ペーストPstを基板2の電極3上に転写させる(転写工程。図9のステップST6)。   After step ST4, the control device 50 determines whether or not the operation resume button has been operated (determination step; step ST5 in FIG. 9), and if it is determined that the operation resume button has been operated, the screen The operation interruption of the printing press 1 is canceled, the squeegee 14 (the squeegee base 40) is reciprocated in the Y-axis direction, and the paste Pst is filled in the pattern holes ph of the mask plate 13, whereby the paste Pst is applied to the substrate 2. Is transferred onto the electrode 3 (transfer process; step ST6 in FIG. 9).

なお、このようにスキージ14は、本実施の形態において、下受けユニット24cにより支持された基板2に対して電子部品実装用の作業としてのスクリーン印刷作業を行う作業装置となっている。   In this way, in this embodiment, the squeegee 14 is a working device that performs screen printing work as work for mounting electronic components on the board 2 supported by the receiving unit 24c.

スキージ14によるペーストPstの基板2への転写動作では、先ず、前方のスキージ14(図16及び図17における紙面左側のスキージ14)を下降させてその下縁をマスクプレート13の上面に当接させた後、スキージベース40をY軸方向の後方に移動させ、前方のスキージ14をマスクプレート13上で摺動させることによって、後方のクランプ部材24aの上面領域までペーストPstを掻き寄せる(図16(b)中に示す矢印E1)。ペーストPstを後方のクランプ部材24aの上面領域まで掻き寄せたら、スキージベース40の移動を停止させたうえで、前方のスキージ14を上昇させてマスクプレート13から離間させるとともに、後方のスキージ14(図16及び図17における紙面右側のスキージ14)を下降させてその下縁をマスクプレート13の上面に当接させる。そして、スキージベース40を矢印E1とは反対の方向に移動させ、後方のスキージ14をマスクプレート13上で摺動させることによって、前方のクランプ部材24aの上面領域までペーストPstを掻き寄せる(図16(c)中に示す矢印E2)。これによりマスクプレート13のパターン孔phを介して基板2の電極3上にペーストPstが転写される。   In the transfer operation of the paste Pst to the substrate 2 by the squeegee 14, first, the front squeegee 14 (the squeegee 14 on the left side in FIG. 16 and FIG. 17) is lowered and its lower edge is brought into contact with the upper surface of the mask plate 13. Thereafter, the squeegee base 40 is moved rearward in the Y-axis direction, and the front squeegee 14 is slid on the mask plate 13 to scrape the paste Pst to the upper surface region of the rear clamping member 24a (FIG. 16 ( b) Arrow E1) shown in the figure. When the paste Pst is scraped to the upper surface area of the rear clamp member 24a, the movement of the squeegee base 40 is stopped, the front squeegee 14 is raised and separated from the mask plate 13, and the rear squeegee 14 (see FIG. 16 and FIG. 17, the squeegee 14) on the right side of the paper surface is lowered and its lower edge is brought into contact with the upper surface of the mask plate 13. Then, by moving the squeegee base 40 in the direction opposite to the arrow E1 and sliding the rear squeegee 14 on the mask plate 13, the paste Pst is scraped to the upper surface region of the front clamp member 24a (FIG. 16). (C) Arrow E2 shown in the figure). As a result, the paste Pst is transferred onto the electrode 3 of the substrate 2 through the pattern hole ph of the mask plate 13.

制御装置50は、基板2の電極3上にペーストPstを転写させたら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して下降させ(図17(a)中に示す矢印D2)、マスクプレート13を基板2から離間させる(図17(a))。これにより版離れが行われ、ペーストPstが基板2の電極3上に印刷された状態となる(版離れ工程。図9のステップST7)。   After transferring the paste Pst onto the electrode 3 of the substrate 2, the control device 50 lowers the elevating table 22a with respect to the base table 21d (arrow D2 shown in FIG. 17A) and moves the mask plate 13 to the substrate 2. (Fig. 17 (a)). As a result, plate separation is performed, and the paste Pst is printed on the electrode 3 of the substrate 2 (plate separation step, step ST7 in FIG. 9).

制御装置50は、基板2へのペーストPstの印刷が終了したら、クランプ部材24aを作動させて基板2のクランプを解除したうえで(図17(b)中に示す矢印C2)、下受けユニット24cを(下受けユニット支持テーブル24bを)昇降テーブル22aに対して下降させ(図17(c)中に示す矢印B3)、基板2を基板位置決めコンベア23上に降ろす(図17(c))。これにより基板保持部24による基板2の保持が解除される(基板保持解除工程。図9のステップST8)。   When the printing of the paste Pst on the substrate 2 is finished, the control device 50 operates the clamp member 24a to release the clamp of the substrate 2 (arrow C2 shown in FIG. 17B), and then the receiving unit 24c. (The receiving unit support table 24b) is lowered with respect to the lifting table 22a (arrow B3 shown in FIG. 17C), and the substrate 2 is lowered onto the substrate positioning conveyor 23 (FIG. 17C). Thereby, the holding of the substrate 2 by the substrate holding unit 24 is released (substrate holding releasing step; step ST8 in FIG. 9).

制御装置50は、基板2の保持を解除したら、基板昇降ユニット12が備える水平移動部21を作動させ、基板搬出コンベア26に対する基板位置決めコンベア23の位置調整を行ったうえで、基板位置決めコンベア23と基板搬出コンベア26を連動作動させ、基板位置決めコンベア23上の基板2を基板搬出コンベア26に受け渡してそのまま基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(基板搬出工程。図9のステップST9)。   When the holding of the substrate 2 is released, the control device 50 operates the horizontal moving unit 21 included in the substrate lifting unit 12 to adjust the position of the substrate positioning conveyor 23 with respect to the substrate carry-out conveyor 26, and The substrate carry-out conveyor 26 is operated in an interlocked manner, the substrate 2 on the substrate positioning conveyor 23 is transferred to the substrate carry-out conveyor 26, and the substrate 2 is directly carried out of the screen printing machine 1 (substrate carry-out process, step ST9 in FIG. 9).

制御装置50は、基板2を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(第2の判断工程。図9のステップST10)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って新たな基板2の搬入及び位置決めを行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   When the control device 50 carries out the substrate 2, the control device 50 determines whether there is another substrate 2 on which screen printing is to be performed (second determination step, step ST10 in FIG. 9). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in and position a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screens. End the printing operation.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する下降位置Q1に位置した状態では基板2の搬送方向の上流側から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接しない位置に位置し、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する上昇位置P2に位置し、かつ下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置した状態では基板2の搬送方向の上流側から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接する位置に位置する第1の基板進入規制部材41を基板位置決めコンベア23に設けたものとなっている。   As described above, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the lift table 22a is located at the lowered position P1 with respect to the base table 21d, and the lower receiving unit 24c is located at the lowered position Q1 with respect to the lift table 22a. It is located at a position where it does not come into contact with the substrate 2 entering the substrate positioning conveyor 23 from the upstream side in the conveyance direction of the substrate 2, the lifting table 22a is positioned at the rising position P2 with respect to the base table 21d, and the lower receiving unit 24c is the lifting table. The substrate positioning conveyor 23 is provided with a first substrate entry regulating member 41 located at a position in contact with the substrate 2 entering the substrate positioning conveyor 23 from the upstream side in the conveyance direction of the substrate 2 in a state where the substrate positioning conveyor 23 is in the raised position Q2. It has become.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、上記スクリーン印刷機1のスクリーン印刷方法であり、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置させ、かつ下受けユニット24cを昇降テーブル22aに対する下降位置Q1に位置させた状態で基板位置決めコンベア23により基板2を搬入して位置決めを行う工程(基板位置決め工程)と、下受けユニット24cを昇降テーブル22aに対する下降位置Q1から上昇位置Q2に上昇させて基板位置決めコンベア23により位置決めした基板2を下方から支持する工程(基板保持工程)と、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する上昇位置P2に上昇させ、下受けユニット24cにより支持した基板2をマスクプレート13の下方から接触させるとともに、基板位置決めコンベア23に設けられた第1の基板進入規制部材41を、基板2の搬送方向の上流側から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接する位置に位置させる工程(接触工程)と、基板2が接触したマスクプレート13上でスキージ14を摺動させ、マスクプレート13上に供給したペーストPstをマスクプレート13上で掻き寄せることにより、マスクプレート13のパターン孔phを介してペーストPstを基板2に転写させる工程(転写工程)を含むものとなっている。   Further, the screen printing method in the present embodiment is the screen printing method of the screen printing machine 1, in which the lifting table 22a is positioned at the lowered position P1 with respect to the base table 21d, and the lower receiving unit 24c is lowered with respect to the lifting table 22a. In the state where the substrate 2 is carried by the substrate positioning conveyor 23 in the state where the substrate is positioned at the position Q1 (substrate positioning step), the lower unit 24c is moved from the lowered position Q1 to the raised position Q2 with respect to the lifting table 22a. The step of supporting the substrate 2 positioned by the substrate positioning conveyor 23 from below (substrate holding step), the lifting table 22a is lifted to the rising position P2 with respect to the base table 21d, and the substrate 2 supported by the lower receiving unit 24c is masked 13 Touched from below And a step of positioning the first substrate entry regulating member 41 provided on the substrate positioning conveyor 23 at a position where it abuts on the substrate 2 entering the substrate positioning conveyor 23 from the upstream side in the conveyance direction of the substrate 2 (contacting step). The squeegee 14 is slid on the mask plate 13 with which the substrate 2 is in contact, and the paste Pst supplied on the mask plate 13 is scraped on the mask plate 13, thereby passing through the pattern holes ph of the mask plate 13. This includes a step of transferring the paste Pst to the substrate 2 (transfer step).

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1(スクリーン印刷方法)では、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置P1から上昇位置P2に上昇させ、下受けユニット24cにより支持した基板2をマスクプレート13の下方から接触させるときに、昇降テーブル22aとともにベーステーブル21dに対して昇降する基板位置決めコンベア23に設けられた第1の基板進入規制部材41を、基板2の搬送方向の上流側から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接する位置に位置させるようにしているので、作業実行中の基板位置決めコンベア23への基板2の進入を確実に防止することができる。   Thus, in the screen printer 1 (screen printing method) according to the present embodiment, the lifting table 22a is lifted from the lowered position P1 to the raised position P2 with respect to the base table 21d, and the substrate 2 supported by the lower receiving unit 24c is masked. When contacting from the lower side of the plate 13, the first substrate entry regulating member 41 provided on the substrate positioning conveyor 23 that moves up and down with respect to the base table 21 d together with the lifting table 22 a is moved from the upstream side in the transport direction of the substrate 2 to the substrate. Since it is made to position in the position which contact | abuts the board | substrate 2 which approachs the positioning conveyor 23, the approach of the board | substrate 2 to the board | substrate positioning conveyor 23 in operation | work execution can be prevented reliably.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する下降位置Q1に位置した状態では基板2の搬送方向の上流側から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接しない位置に位置し、昇降テーブル22aがベーステーブル21dに対する下降位置P1に位置し、かつ下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置Q2に位置した状態では基板2の搬送方向の上流側から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接する位置に位置する第2の基板進入規制部材44を下受けユニット24cに設けたものとなっており、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、上記基板保持工程を実行するとき、下受けユニット24cに設けられた第2の基板進入規制部材44を、基板2の搬送方向の上流側から基板位置決めコンベア23に進入する基板2と当接する位置に位置させるようになっているので、基板位置決めコンベア23による基板2の位置決めの後、下受けユニット24cにより基板2を支持するまでの間においても、基板位置決めコンベア23への基板2の進入を防止することができる。   Further, the screen printing machine 1 according to the present embodiment transports the substrate 2 in a state where the lifting table 22a is positioned at the lowered position P1 with respect to the base table 21d and the lower receiving unit 24c is positioned at the lowered position Q1 with respect to the lifting table 22a. Is located at a position where it does not come into contact with the substrate 2 entering the substrate positioning conveyor 23 from the upstream side in the direction, the lifting table 22a is positioned at the lowered position P1 with respect to the base table 21d, and the lower receiving unit 24c is at the rising position with respect to the lifting table 22a In the state of being positioned at Q2, the second receiving unit 24c is provided in the lower receiving unit 24c so as to be positioned in contact with the substrate 2 entering the substrate positioning conveyor 23 from the upstream side in the conveyance direction of the substrate 2. In the screen printing method according to the present embodiment, the substrate protection is performed. When the process is executed, the second substrate entry restricting member 44 provided in the receiving unit 24c is positioned at a position where it abuts on the substrate 2 entering the substrate positioning conveyor 23 from the upstream side in the conveyance direction of the substrate 2. Therefore, it is possible to prevent the board 2 from entering the board positioning conveyor 23 even after the board 2 is positioned by the board positioning conveyor 23 until the board 2 is supported by the receiving unit 24c. .

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、第1の基板進入規制部材及び第2の基板進入規制部材はそれぞれ逆L字型又はL字型の形状をした部材であったが、その形状は任意である。   Although the embodiment of the present invention has been described so far, the present invention is not limited to the above. For example, in the above-described embodiment, the first substrate entry restriction member and the second substrate entry restriction member are members each having an inverted L shape or L shape, but the shapes thereof are arbitrary. .

作業実行中の基板位置決め部への基板の進入を確実に防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。   Provided is a screen printing machine and a screen printing method capable of reliably preventing a substrate from entering a substrate positioning unit during work execution.

1 スクリーン印刷機
2 基板
3 電極
12 基板昇降ユニット
13 マスクプレート
14 スキージ
21d ベーステーブル(ベース部)
22a 昇降テーブル(昇降部)
23 基板位置決めコンベア(基板位置決め部)
24c 下受けユニット(下受け部)
41 第1の基板進入規制部材
44 第2の基板進入規制部材
53 基板昇降ユニット作動機構(基板昇降ユニット作動手段)
ph パターン孔
Pst ペースト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printer 2 Board | substrate 3 Electrode 12 Board | substrate lifting / lowering unit 13 Mask plate 14 Squeegee 21d Base table (base part)
22a Elevating table (elevating part)
23 Substrate positioning conveyor (substrate positioning unit)
24c Lower receiving unit (lower receiving part)
41 First substrate entry restriction member 44 Second substrate entry restriction member 53 Substrate elevating unit operating mechanism (substrate elevating unit operating means)
ph pattern hole Pst paste

Claims (4)

ベース部に対して昇降する昇降部、昇降部に対して昇降する下受け部及び昇降部とともにベース部に対して昇降し、昇降部がベース部に対する下降位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する下降位置に位置しているときに基板を搬入して位置決めを行う基板位置決め部を有する基板昇降ユニットと、
基板の電極の配置に応じたパターン孔が形成されたマスクプレートと、
昇降部をベース部に対する下降位置に位置させた状態で下受け部を昇降部に対する上昇位置まで上昇させ、基板位置決め部により位置決めされた基板を下受け部により支持させた後、昇降部をベース部に対する上昇位置まで上昇させて、下受け部に支持された基板をマスクプレートに下方から接触させる基板昇降ユニット作動手段と、
基板が接触したマスクプレート上を摺動し、マスクプレート上に供給されたペーストをマスクプレート上で掻き寄せることにより、マスクプレートのパターン孔を介してペーストを基板に転写させるスキージと、
基板位置決め部に設けられ、昇降部がベース部に対する下降位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する下降位置に位置した状態では基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接しない位置に位置し、昇降部がベース部に対する上昇位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する上昇位置に位置した状態では基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接する位置に位置する第1の基板進入規制部材とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
The elevating part that moves up and down relative to the base part, the lower receiving part that elevates and lowers relative to the elevating part, and the elevating part move up and down relative to the base part, the elevating part is located at the lowered position with respect to the base part, and the lower receiving part is raised and lowered A substrate lifting unit having a substrate positioning unit that carries in and positions the substrate when positioned at a lowered position relative to the unit;
A mask plate in which pattern holes corresponding to the arrangement of electrodes on the substrate are formed;
With the lifting / lowering part positioned at the lowered position with respect to the base part, the lower receiving part is raised to the rising position with respect to the lifting / lowering part, and after the substrate positioned by the substrate positioning part is supported by the lower receiving part, the lifting / lowering part is moved to the base part. A substrate lifting unit actuating means for bringing the substrate supported by the lower receiving portion into contact with the mask plate from below;
A squeegee that slides on the mask plate in contact with the substrate and scrapes the paste supplied on the mask plate on the mask plate to transfer the paste to the substrate through the pattern hole of the mask plate;
A substrate that is provided in the substrate positioning portion, and that the lifting portion is positioned at a lowered position with respect to the base portion and the lower receiving portion is positioned at a lowered position with respect to the lifting portion, and a substrate that enters the substrate positioning portion from the upstream side in the substrate transport direction; A substrate that enters the substrate positioning portion from the upstream side in the substrate transport direction when the lift portion is located at a raised position with respect to the base portion and the lower receiving portion is located at a raised position with respect to the lift portion. And a first board entry restricting member located at a position in contact with the screen printing machine.
下受け部に設けられ、昇降部がベース部に対する下降位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する下降位置に位置した状態では基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接しない位置に位置し、昇降部がベース部に対する下降位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する上昇位置に位置した状態では基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接する位置に位置する第2の基板進入規制部材を備えたことを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷機。   A substrate that is provided in the lower receiving portion, and in which the lifting portion is positioned at a lowered position with respect to the base portion and the lower receiving portion is positioned at a lowered position with respect to the lifting portion; A substrate that enters the substrate positioning portion from the upstream side in the substrate transport direction when the lift portion is positioned at a lower position with respect to the base portion and the lower receiving portion is positioned at a lift position with respect to the lift portion. The screen printing machine according to claim 1, further comprising a second substrate entry restricting member located at a position where the second substrate entering member is in contact with the screen. ベース部に対して昇降する昇降部、昇降部に対して昇降する下受け部及び昇降部とともにベース部に対して昇降し、昇降部がベース部に対する下降位置に位置し、かつ下受け部が昇降部に対する下降位置に位置しているときに基板を搬入して位置決めを行う基板位置決め部を有する基板昇降ユニットと、基板の電極の配置に応じたパターン孔が形成されたマスクプレートと、昇降部をベース部に対する下降位置に位置させた状態で下受け部を昇降部に対する上昇位置まで上昇させ、基板位置決め部により位置決めされた基板を下受け部により支持させた後、昇降部をベース部に対する上昇位置まで上昇させて、下受け部に支持された基板をマスクプレートに下方から接触させる基板昇降ユニット作動手段と、基板が接触したマスクプレート上を摺動し、マスクプレート上に供給されたペーストをマスクプレート上で掻き寄せることにより、マスクプレートのパターン孔を介してペーストを基板に転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機のスクリーン印刷方法であって、
昇降部をベース部に対する下降位置に位置させ、かつ下受け部を昇降部に対する下降位置に位置させた状態で基板位置決め部により基板を搬入して位置決めを行う工程と、
下受け部を昇降部に対する下降位置から上昇位置に上昇させて基板位置決め部により位置決めした基板を下方から支持する工程と、
昇降部をベース部に対する上昇位置に上昇させ、下受け部により支持した基板をマスクプレートの下方から接触させるとともに、基板位置決め部に設けられた第1の基板進入規制部材を、基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接する位置に位置させる工程と、
基板が接触したマスクプレート上でスキージを摺動させ、マスクプレート上に供給したペーストをマスクプレート上で掻き寄せることにより、マスクプレートのパターン孔を介してペーストを基板に転写させる工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
The elevating part that moves up and down relative to the base part, the lower receiving part that elevates and lowers relative to the elevating part, and the elevating part move up and down relative to the base part, the elevating part is located at the lowered position with respect to the base part, and the lower receiving part is raised and lowered A substrate elevating unit having a substrate positioning unit for carrying in and positioning the substrate when positioned at a lowered position with respect to the unit, a mask plate in which pattern holes are formed according to the arrangement of electrodes on the substrate, and an elevating unit The lower receiving part is raised to the rising position with respect to the lifting part while being positioned at the lowering position with respect to the base part. After the substrate positioned by the substrate positioning part is supported by the lower receiving part, the lifting part is raised to the base part. The substrate lifting unit actuating means for bringing the substrate supported by the lower receiving portion into contact with the mask plate from below, and the mask plate on which the substrate contacts A screen printing method for a screen printing machine comprising a squeegee that slides and squeezes the paste supplied on the mask plate on the mask plate to transfer the paste to the substrate through the pattern holes of the mask plate. And
Carrying the substrate by the substrate positioning unit in a state where the elevating part is positioned at the lowered position with respect to the base part and the lower receiving part is positioned at the lowered position with respect to the elevating part; and
A step of raising the lower receiving portion from the lowered position with respect to the lifting portion to the raised position and supporting the substrate positioned by the substrate positioning portion from below;
The raising / lowering part is raised to a raised position with respect to the base part, the substrate supported by the lower receiving part is brought into contact with the lower side of the mask plate, and the first substrate entry restriction member provided on the substrate positioning part is moved in the substrate transport direction. A step of positioning at a position in contact with the substrate entering the substrate positioning unit from the upstream side;
And a step of transferring the paste to the substrate through the pattern hole of the mask plate by sliding the squeegee on the mask plate in contact with the substrate and scraping the paste supplied on the mask plate on the mask plate. A screen printing method characterized by the above.
下受け部を昇降部に対する下降位置から上昇位置に上昇させて基板位置決め部により位置決めした基板を下方から支持する工程を実行するとき、下受け部に設けられた第2の基板進入規制部材を、基板の搬送方向の上流側から基板位置決め部に進入する基板と当接する位置に位置させることを特徴とする請求項3に記載のスクリーン印刷方法。   When performing the step of raising the lower receiving portion from the lowered position to the raised position with respect to the lifting portion and supporting the substrate positioned by the substrate positioning portion from below, the second substrate entry restriction member provided in the lower receiving portion is The screen printing method according to claim 3, wherein the screen printing method is positioned at a position in contact with the substrate entering the substrate positioning portion from the upstream side in the substrate transport direction.
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