JP5487660B2

JP5487660B2 - Screen printing machine

Info

Publication number: JP5487660B2
Application number: JP2009065751A
Authority: JP
Inventors: 成孝阿部; 亮前田
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2009-03-18
Filing date: 2009-03-18
Publication date: 2014-05-07
Anticipated expiration: 2029-03-18
Also published as: JP2010214842A

Description

本発明は、マスク部材のパターン孔を版抜けさせて基板の電極にペーストを印刷するスクリーン印刷機に関するものである。 The present invention let me exit plate the pattern holes of the mask member about the screen printing machine for printing paste on the electrode substrate.

スクリーン印刷機は、基板の電極とマスク部材のパターン孔が上下に合致するように基板とマスク部材の位置合わせをしたうえで、マスク部材にスキージを上方から当接させて水平方向に移動させ、マスク部材上に供給された半田ペーストや導電性ペースト等のペーストをスキージによって掻き寄せてマスク部材のパターン孔内にペーストを充填させた後、基板とマスク部材を相対的に離間させてパターン孔内のペーストを電極上に版抜けさせるようになっている。このようなスクリーン印刷機では、十分なペースト量のもとでスクリーン印刷を実行する必要があり、ペースト量が不足した状態でスクリーン印刷を行うと、電極に十分な量のペーストが転写されず、印刷不良の基板が生成されることになる。このようなスクリーン印刷機の中には、印刷動作が終わった後のマスク部材上のペーストの残量を検出するセンサを備えたものが知られており（特許文献１）、このようなセンサを用いれば、ペースト量の不足状態を検知することが可能である。
特開平７−３２５７７号公報 The screen printer aligns the substrate and the mask member so that the electrode of the substrate and the pattern hole of the mask member are aligned vertically, and then moves the squeegee in contact with the mask member from above and moves it horizontally. After the paste such as solder paste or conductive paste supplied on the mask member is scraped by a squeegee to fill the pattern hole of the mask member, the substrate and the mask member are relatively spaced apart from each other in the pattern hole. The paste is removed from the plate on the electrode. In such a screen printing machine, it is necessary to perform screen printing under a sufficient amount of paste, and when screen printing is performed in a state where the amount of paste is insufficient, a sufficient amount of paste is not transferred to the electrode, A poorly printed substrate is generated. Among such screen printers, one having a sensor for detecting the remaining amount of paste on the mask member after the printing operation is known is known (Patent Document 1). If used, it is possible to detect an insufficient amount of paste.
JP 7-32577 A

しかしながら、上記のセンサは、複数枚の基板に対する印刷動作が終わった後のマスク部材上のペーストの残量を検出するものであるため、マスク部材上に供給したペーストそのものが不足状態であった場合にはこれを検出することはできず、また、オペレータがマスク部材上にペーストを供給する際には、マスク部材上のペースト供給量を目視にて確認しているが、オペレータの習熟度によっては、必要十分な量のペーストの供給を行えたかどうかを判別することが困難であることから、ペーストの供給量不足による印刷不良の基板が生成されるおそれがあるという問題点があった。 However, since the above sensor detects the remaining amount of paste on the mask member after the printing operation on a plurality of substrates is finished, when the paste itself supplied on the mask member is in a shortage state However, when the operator supplies the paste onto the mask member, the amount of paste supplied on the mask member is visually confirmed, but depending on the skill level of the operator, Since it is difficult to determine whether or not a necessary and sufficient amount of paste has been supplied, there is a problem in that a defective substrate may be generated due to insufficient supply of paste.

そこで本発明は、ペーストの供給量不足により印刷不良の基板が生成されることを防止することができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing machine that can prevent a defective substrate from being generated due to insufficient supply of paste.

請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板の電極に対応して設けられたパターン孔が基板の電極と上下に合致するように基板と位置合わせされるマスク部材と、基板と位置合わせされたマスク部材に上方から当接されるスキージを有し、スキージをマスク部材に当接させて水平方向に移動させることによりマスク部材上に供給されたペーストをマスク部材のパターン孔内に充填させた後、基板とマスク部材を相対的に離間させて電極にペーストを版抜けさせる印刷動作を実行する印刷実行手段と、印刷実行手段により、マスク部材上にペーストが供給された後の最初の印刷動作が実行される前に、スキージをマスク部材に当接させた状態で移動させてペーストをスキージの幅方向に均し、その均したペーストの高さが予め定めた基準高さを超えているかどうかを目視により点検するようオペレータに指示するメッセージを出力する点検喚起手段とを備え、前記スキージは、スキージ板と、スキージ板が固定されたスキージホルダと、スキージホルダの長尺方向に対向する両側面に取り付けられた一対のガイド部材とを備え、前記スキージにより均されたペーストの高さが基準高さを超えているかどうかをオペレータが目視によって点検するときの判断基準となる基準マークが、スキージホルダの長尺方向に対向する両側面からスキージホルダの長尺方向の側方へ延伸する一対のガイド部材の延伸面に設けられた。 The screen printing machine according to claim 1 is aligned with the substrate and a mask member that is aligned with the substrate so that pattern holes provided corresponding to the electrodes of the substrate are vertically aligned with the electrodes of the substrate. After having a squeegee in contact with the mask member from above, and filling the pattern hole of the mask member with paste supplied on the mask member by moving the squeegee in contact with the mask member in the horizontal direction A printing execution means for executing a printing operation for releasing the paste from the electrode by relatively separating the substrate and the mask member, and an initial printing operation after the paste is supplied onto the mask member by the printing execution means. Before execution, the squeegee is moved against the mask member to level the paste in the width direction of the squeegee, and the level of the leveled paste is set to a predetermined reference height. And a check evoke means for outputting a message which instructs the operator to check visually whether example, the squeegee, the squeegee plate, a squeegee holder squeegee plate is fixed, facing the longitudinal direction of the squeegee holder A pair of guide members attached to both side surfaces, and a reference mark serving as a judgment reference when the operator visually checks whether the paste leveled by the squeegee exceeds a reference height. The squeegee holder is provided on the extending surfaces of the pair of guide members extending from both side surfaces facing the longitudinal direction of the squeegee holder to the lateral direction of the squeegee holder.

本発明では、マスク部材上にペーストを供給した後の最初の印刷動作を実行する前に、スキージをマスク部材に当接させた状態で移動させてペーストをスキージの幅方向に均し、その均したペーストの高さが予め定めた基準高さを超えているかどうかを目視により点検するようオペレータに指示するメッセージを出力するようになっているので、オペレータはマスク部材上に供給したペーストの量が不足していないかどうかの点検を印刷動作の開始前に行うことができ、供給したペーストの量が不足していたときにはペーストを追加して供給するなどの対応をとることができるので、ペーストの供給量不足により印刷不良の基板が生成されることを防止することができる。そして、スキージは、スキージ板と、スキージ板が固定されたスキージホルダと、スキージホルダの長尺方向に対向する両側面に取り付けられた一対のガイド部材とを備え、スキージにより均されたペーストの高さが基準高さを超えているかどうかをオペレータが目視によって点検するときの判断基準となる基準マークが、スキージホルダの長尺方向に対向する両側面からスキージホルダの長尺方向の側方へ延伸する一対のガイド部材の延伸面に設けられているので、スキージ板に基準マークが設けられている場合と比べて（ペーストの上面が基準マークを上方に超えていれば基準マークがペーストに隠れてしまい、即座に判断することができない）、オペレータはスキージによって均されたペーストの上面が基準マークを上方に超えているかどうかを即座に判断することができる。 In the present invention, before the first printing operation after supplying the paste on the mask member, the squeegee is moved in contact with the mask member to level the paste in the width direction of the squeegee. Since the operator outputs a message instructing the operator to visually check whether or not the height of the paste exceeds a predetermined reference height, the operator can reduce the amount of paste supplied on the mask member. It is possible to check whether there is a shortage before starting the printing operation, and when the amount of paste supplied is insufficient, it is possible to take measures such as adding and supplying paste. It is possible to prevent generation of a substrate with poor printing due to an insufficient supply amount. The squeegee includes a squeegee plate, a squeegee holder to which the squeegee plate is fixed, and a pair of guide members attached to both side surfaces opposed to the longitudinal direction of the squeegee holder. The reference mark, which is a judgment criterion when the operator visually checks whether or not the height exceeds the reference height, extends from both sides facing the longitudinal direction of the squeegee holder to the lateral direction of the squeegee holder. Compared to the case where the reference mark is provided on the squeegee plate (if the upper surface of the paste exceeds the reference mark, the reference mark is hidden by the paste). And the operator cannot judge immediately), the top surface of the paste leveled by the squeegee is above the reference mark It is possible to determine immediately how.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分平面図、図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える印刷実行部の正面図、図３は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスク部材の平面図、図４（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの一部分解斜視図、図５は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図、図６は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すフローチャート、図７（ａ），（ｂ）、図８（ａ），（ｂ）、図９（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図、図１０は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える後方のスキージの（ａ）正面図及び（ｂ）一部断面側面図、図１１（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a partial plan view of a screen printer according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of a printing execution unit provided in the screen printer according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an embodiment of the present invention. FIG. 4A and FIG. 4B are partially exploded perspective views of a squeegee provided in the screen printer in one embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 6 is a block diagram showing a control system of the screen printer in one embodiment, FIG. 6 is a flowchart showing a flow of a screen printing process executed by the screen printer in one embodiment of the present invention, and FIGS. 8 (a), 8 (b), 9 (a), 9 (b), 9 (c) and 9 (d) are diagrams for explaining the operation of the screen printing machine according to the embodiment of the present invention, and FIG. In one embodiment of the invention (A) Front view and (b) Partial cross-sectional side view of rear squeegee provided in screen printing machine, FIGS. 11 (a) and 11 (b) are operation explanatory views of the screen printing machine in one embodiment of the present invention. It is.

図１において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基台２と、基台２上に設けられ、印刷対象物である基板ＰＢの搬送及び位置決めを行う基板搬送路３と、基板搬送路３によって位置決めされた基板ＰＢに対してスクリーン印刷を実行する印刷実行部４を備えて構成されている。以下、スクリーン印刷機１における基板ＰＢの搬送方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する水平面内の方向をＹ軸方向とする。このスクリーン印刷機１
のオペレータＯＰはスクリーン印刷機１のＹ軸方向の一端側において作業を行うが、このオペレータＯＰが作業を行う側（図１の紙面下方）をスクリーン印刷機１の前方、反対側（図１の紙面上方）をスクリーン印刷機１の後方とする。 In FIG. 1, a screen printing machine 1 according to the present embodiment includes a base 2, a substrate transport path 3 that is provided on the base 2, and transports and positions a substrate PB that is a printing target, and a substrate transport path. 3 includes a print execution unit 4 that performs screen printing on the substrate PB positioned by 3. Hereinafter, the transport direction of the substrate PB in the screen printer 1 is defined as the X-axis direction, and the direction in the horizontal plane perpendicular to the X-axis direction is defined as the Y-axis direction. This screen printer 1
The operator OP works on one side of the screen printing machine 1 in the Y-axis direction. The side on which the operator OP works (below the paper surface in FIG. 1) is the front side of the screen printing machine 1 and the opposite side (FIG. 1). The upper side of the drawing is the rear side of the screen printer 1.

図１において基板搬送路３は、Ｘ軸方向に並んで設けられた搬入コンベア１１、位置決めコンベア１２及び搬出コンベア１３から成る。搬入コンベア１１はスクリーン印刷機１の外部（図１の紙面左方）から投入された基板ＰＢをスクリーン印刷機１の内部に搬入して位置決めコンベア１２に受け渡す。位置決めコンベア１２は搬入コンベア１１から受け取った基板ＰＢを印刷実行位置（図１に示す基板ＰＢの位置）に位置決めし、基板ＰＢに対するスクリーン印刷が終了した後、基板ＰＢを搬出コンベア１３に受け渡す。搬出コンベア１３は位置決めコンベア１２から受け取った基板ＰＢをスクリーン印刷機１の外部（図１の紙面右方）に搬出する。 In FIG. 1, the substrate transport path 3 includes a carry-in conveyor 11, a positioning conveyor 12, and a carry-out conveyor 13 provided side by side in the X-axis direction. The carry-in conveyor 11 carries the substrate PB loaded from the outside of the screen printing machine 1 (left side in FIG. 1) into the screen printing machine 1 and delivers it to the positioning conveyor 12. The positioning conveyor 12 positions the substrate PB received from the carry-in conveyor 11 at the printing execution position (the position of the substrate PB shown in FIG. 1), and after the screen printing on the substrate PB is completed, the substrate PB is delivered to the carry-out conveyor 13. The carry-out conveyor 13 carries out the substrate PB received from the positioning conveyor 12 to the outside of the screen printing machine 1 (right side of the paper in FIG. 1).

図２において印刷実行部４は、位置決めコンベア１２上の基板ＰＢをクランプしてその基板ＰＢの水平面内の方向への移動と上下方向（Ｚ軸方向とする）への移動を行う基板移動ユニット２１、基板移動ユニット２１の上方をＹ軸方向に延びて設けられた一対の支持レール２２、支持レール２２によってＹ軸方向にスライド自在に支持されたプレート状のマスク部材２３、マスク部材２３の上方をＹ軸方向に移動自在に設けられたスキージユニット２４及び基台２上に設けられたＸＹロボット２５（図１）によって基板移動ユニット２１とマスク部材２３の間の空間を水平面内の方向に移動自在なカメラユニット２６を備えている。 In FIG. 2, the print execution unit 4 clamps the substrate PB on the positioning conveyor 12 and moves the substrate PB in the horizontal plane and in the vertical direction (Z-axis direction). A pair of support rails 22 extending in the Y-axis direction above the substrate moving unit 21, a plate-like mask member 23 slidably supported in the Y-axis direction by the support rails 22, and above the mask member 23 A space between the substrate moving unit 21 and the mask member 23 can be moved in a horizontal plane by a squeegee unit 24 provided movably in the Y-axis direction and an XY robot 25 (FIG. 1) provided on the base 2. The camera unit 26 is provided.

図２において、印刷実行部４の基板移動ユニット２１は、基台２に対してＹ軸方向に相対移動するＹテーブル２１ａ、Ｙテーブル２１ａに対してＸ軸方向に相対移動するＸテーブル２１ｂ、Ｘテーブル２１ｂに対してＺ軸回りに相対回転するθテーブル２１ｃ、θテーブル２１ｃに固定されたベースプレート２１ｄ、ベースプレート２１ｄに対して相対昇降する第１昇降プレート２１ｅ、第１昇降プレート２１ｅに対して相対昇降する第２昇降プレート２１ｆ、第２昇降プレート２１ｆに固定された下受けユニット２１ｇ、基板搬送路３を構成する位置決めコンベア１２及び位置決めコンベア１２の上方でＹ軸方向に開閉動作する一対のクランパ２１ｈ（図１も参照）から成る。 In FIG. 2, the substrate moving unit 21 of the print execution unit 4 includes a Y table 21a that moves relative to the base 2 in the Y axis direction, an X table 21b that moves relative to the Y table 21a in the X axis direction, and X A θ table 21c that rotates relative to the table 21b around the Z axis, a base plate 21d fixed to the θ table 21c, a first elevating plate 21e that elevates relative to the base plate 21d, and a relative elevating relative to the first elevating plate 21e A second elevating plate 21f, a receiving unit 21g fixed to the second elevating plate 21f, a positioning conveyor 12 constituting the substrate transport path 3, and a pair of clampers 21h (opening / closing in the Y-axis direction above the positioning conveyor 12) 1).

図１及び図３において、マスク部材２３は平面視において矩形形状を有する枠部材２３ｗによって四辺が支持されており、枠部材２３ｗによって囲まれた領域内のマスク部材２３上の所定領域（マスク領域ＭＲと称する）には、基板ＰＢに設けられた電極ＤＴ（図１）に対応する多数のパターン孔２３ｈが設けられている。 1 and 3, the mask member 23 is supported by a frame member 23w having a rectangular shape in plan view, and a predetermined region (mask region MR) on the mask member 23 in a region surrounded by the frame member 23w. Are provided with a large number of pattern holes 23h corresponding to the electrodes DT (FIG. 1) provided on the substrate PB.

図１において、基板ＰＢの対角位置には２つ一組の基板位置合わせマークｍが設けられている。一方、図３において、マスク部材２３には、マスク部材２３を基板ＰＢに位置合わせするための２つ一組のマスク部材位置合わせマークＭＫが基板位置合わせマークｍに対応して設けられている。 In FIG. 1, a pair of substrate alignment marks m are provided at diagonal positions of the substrate PB. On the other hand, in FIG. 3, the mask member 23 is provided with a pair of mask member alignment marks MK for aligning the mask member 23 with the substrate PB corresponding to the substrate alignment mark m.

マスク部材２３は、オペレータＯＰがこのマスク部材２３を両手で把持してスクリーン印刷機１の前方から一対の支持レール２２の間に挿入し（図１中に示す矢印Ａ）、枠部材２３ｗの先頭部が支持レール２２上に設けられたストッパ２２ａに当接するまで後方に押し込むことによって、所定の位置に設置される。 The mask member 23 is inserted between the pair of support rails 22 from the front of the screen printing machine 1 by the operator OP holding the mask member 23 with both hands (arrow A shown in FIG. 1), and the top of the frame member 23w. The unit is installed at a predetermined position by pushing backward until it comes into contact with a stopper 22 a provided on the support rail 22.

図２において、スキージユニット２４は支持レール２２の上方を基板移動ユニット２１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられたスキージベース２４ｐと、スキージベース２４ｐに取り付けられて上下方向に延びた２つのスキージ昇降シリンダ（空圧シリンダ）２４ｓと、各スキージ昇降シリンダ２４ｓのピストンロッド２４ｒの下端に取り付けられ、マ
スク部材２３上に供給されたペーストＰＴを掻き寄せる面同士をＹ軸方向に対向させた一対のスキージ（前方側に設けられた前方のスキージ２４ａ及び後方側に設けられた後方のスキージ２４ｂ）を備えて成る。前方のスキージ２４ａ及び後方のスキージ２４ｂはともにＸ軸方向に延びた「へら」状の部材であり、それぞれスキージ昇降シリンダ２４ｓのピストンロッド２４ｒの下方への突没動作によって、スキージベース２４ｐに対して昇降される。 In FIG. 2, the squeegee unit 24 includes two squeegee bases 24p provided above the support rails 22 so as to be movable in the Y-axis direction relative to the substrate moving unit 21, and two squeegee bases 24p attached to the squeegee base 24p and extending vertically. A pair of squeegee elevating cylinders (pneumatic cylinders) 24s and a pair of squeegee elevating cylinders 24s attached to the lower ends of the piston rods 24r and scraping the paste PT supplied on the mask member 23 in the Y-axis direction. (A front squeegee 24a provided on the front side and a rear squeegee 24b provided on the rear side). Both the front squeegee 24a and the rear squeegee 24b are “spar” -shaped members extending in the X-axis direction, and are respectively moved relative to the squeegee base 24p by the protrusion and subtraction operation of the piston rod 24r of the squeegee lifting cylinder 24s. Go up and down.

図４（ａ），（ｂ）において、前方のスキージ２４ａ及び後方のスキージ２４ｂはそれぞれスキージ昇降シリンダ２４ｓのピストンロッド２４ｒの下端に連結されたスキージホルダ３０と、スキージホルダ３０に取り付けられたスキージ固定具３１によって固定された平板状のスキージ板３２と、スキージホルダ３０のＸ軸方向（長尺方向）に対向する両側面に複数の取り付けねじ３３によって取り付けられた一対のガイド部材３４を有して成る。 4A and 4B, the front squeegee 24a and the rear squeegee 24b are respectively connected to the lower end of the piston rod 24r of the squeegee lifting cylinder 24s, and the squeegee fixed attached to the squeegee holder 30. A flat squeegee plate 32 fixed by the tool 31 and a pair of guide members 34 attached by a plurality of attachment screws 33 on both side surfaces of the squeegee holder 30 facing the X-axis direction (longitudinal direction). Become.

また、図４（ｂ）に示すように、後方のスキージ２４ｂの両ガイド部材３４には基準マーク３５が設けられている。これら基準マーク３５は、後述するように、スクリーン印刷機１が行う印刷実行工程開始前の点検工程において、両スキージ２４ａ，２４ｂにより均されたペーストＰＴの高さ（マスク部材２３の上面からペーストＰＴの上面までの距離）が基準高さを超えているかどうかを点検するときの判断基準となるように設けられている。本実施の形態では、基準マーク３５は、スキージホルダ３０のＸ軸方向（長尺方向）に対向する両側面からスキージホルダ３０の長尺方向の側方へ延伸する一対のガイド部材３４の延伸面（互いに対向する側面３４ａ及びその側面３４ａの前縁からＸ軸方向外方に延出した延出面３４ｂ）に設けられている。 Further, as shown in FIG. 4B, reference marks 35 are provided on both guide members 34 of the rear squeegee 24b. As will be described later, these reference marks 35 are the height of the paste PT leveled by the squeegees 24a and 24b in the inspection process before the start of the printing execution process performed by the screen printer 1 (the paste PT from the upper surface of the mask member 23). The distance to the upper surface of the surface is provided as a criterion for checking whether or not the reference height is exceeded. In the present embodiment, the reference mark 35 is an extension surface of the pair of guide members 34 that extends from both side surfaces facing the X-axis direction (longitudinal direction) of the squeegee holder 30 to the lateral side of the squeegee holder 30. (The side surface 34a facing each other and the extending surface 34b extending outward from the front edge of the side surface 34a in the X-axis direction).

図１において、ＸＹロボット２５は、基台２の上方をＹ軸方向に延び、基台２に相対的に固定して設けられたＹ軸ステージ２５ａ、Ｘ軸方向に延び、Ｙ軸ステージ２５ａ上をＹ軸方向に移動自在に設けられたＸ軸ステージ２５ｂ及びＸ軸ステージ２５ｂ上をＸ軸方向に移動自在に設けられた移動プレート２５ｃから成っている。図２においてカメラユニット２６は、ＸＹロボット２５の移動プレート２５ｃに、撮像面を下方に向けた第１カメラ２６ａと、撮像面を上方に向けた第２カメラ２６ｂが取り付けられた構成となっている。 In FIG. 1, the XY robot 25 extends above the base 2 in the Y-axis direction, and is provided with a Y-axis stage 25 a fixed relative to the base 2, extending in the X-axis direction, and on the Y-axis stage 25 a. Are configured to be movable in the Y-axis direction and a moving plate 25c provided to be movable in the X-axis direction on the X-axis stage 25b. In FIG. 2, the camera unit 26 has a configuration in which a first camera 26 a with an imaging surface facing downward and a second camera 26 b with an imaging surface facing upward are attached to a moving plate 25 c of an XY robot 25. .

基板搬送路３を構成する搬入コンベア１１、位置決めコンベア１２及び搬出コンベア１３による基板ＰＢの搬送及び位置決め動作は、このスクリーン印刷機１が備える制御装置４０（図５）が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構４１（図５）の作動制御を行うことによってなされる。 The substrate PB is conveyed and positioned by the carry-in conveyor 11, the positioning conveyor 12 and the carry-out conveyor 13 constituting the substrate conveyance path 3, and the control device 40 (FIG. 5) provided in the screen printing machine 1 includes an actuator or the like not shown. This is done by controlling the operation of the transport path operating mechanism 41 (FIG. 5).

基台２に対するＹテーブル２１ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル２１ａに対するＸテーブル２１ｂのＸ軸方向への移動、Ｘテーブル２１ｂに対するθテーブル２１ｃのＺ軸回りの回転、ベースプレート２１ｄに対する（すなわちθテーブル２１ｃに対する）第１昇降プレート２１ｅの昇降、第１昇降プレート２１ｅに対する第２昇降プレート２１ｆの（すなわち下受けユニット２１ｇの）昇降及びクランパ２１ｈの開閉動作の各動作は、制御装置４０がＹテーブル駆動モータＭｙやＸテーブル駆動モータＭｘ（図２）等のアクチュエータ等から成る基板移動ユニット作動機構４２（図５）の作動制御を行うことによってなされる。 Movement of the Y table 21a with respect to the base 2 in the Y axis direction, movement of the X table 21b with respect to the Y table 21a in the X axis direction, rotation of the θ table 21c with respect to the X table 21b around the Z axis, and rotation with respect to the base plate 21d (that is, θ The controller 40 controls the Y table to move the first elevating plate 21e (with respect to the table 21c), the second elevating plate 21f with respect to the first elevating plate 21e (that is, the lowering unit 21g) and the opening / closing operation of the clamper 21h. This is done by controlling the operation of the substrate moving unit operating mechanism 42 (FIG. 5) including actuators such as the drive motor My and the X table drive motor Mx (FIG. 2).

スキージユニット２４の（スキージベース２４ｐの）Ｙ軸方向への移動動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージユニット移動機構４３（図５）の作動制御を行うことによってなされ、前方のスキージ２４ａ及び後方のスキージ２４ｂそれぞれの昇降動作は、制御装置４０が前述のスキージ昇降シリンダ２４ｓ等から成るスキージ昇降機構４４（図５）の作動制御を行うことによってなされる。 The movement of the squeegee unit 24 (of the squeegee base 24p) in the Y-axis direction is performed when the control device 40 controls the operation of a squeegee unit moving mechanism 43 (FIG. 5) including an actuator (not shown). The raising / lowering operations of the squeegee 24b and the rear squeegee 24b are performed by the control device 40 controlling the operation of the squeegee raising / lowering mechanism 44 (FIG. 5) including the squeegee raising / lowering cylinder 24s.

ＸＹロボット２５を構成するＸ軸ステージ２５ｂのＹ軸方向への移動動作及び移動プレート２５ｃのＸ軸方向への移動動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成るＸＹロボット作動機構４５（図５）の作動制御を行うことによってなされる。 The movement operation in the Y-axis direction of the X-axis stage 25b constituting the XY robot 25 and the movement operation in the X-axis direction of the movement plate 25c are performed by an XY robot operation mechanism 45 (FIG. 5) including an actuator (not shown). ).

第１カメラ２６ａは、制御装置４０に制御されて、基板ＰＢに設けられた基板位置合わせマークｍの撮像を行い、第２カメラ２６ｂは、制御装置４０に制御されて、マスク部材２３に設けられたマスク部材位置合わせマークＭＫの撮像を行う。第１カメラ２６ａの撮像によって得られた画像データ及び第２カメラ２６ｂの撮像によって得られた画像データは制御装置４０に入力される（図５）。 The first camera 26 a is controlled by the control device 40 to image the substrate alignment mark m provided on the substrate PB, and the second camera 26 b is controlled by the control device 40 and provided on the mask member 23. The mask member alignment mark MK is imaged. Image data obtained by imaging with the first camera 26a and image data obtained by imaging with the second camera 26b are input to the control device 40 (FIG. 5).

次に、図６〜図１１を参照してスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷工程の流れを説明する。スクリーン印刷機１の制御装置４０は、図示しない検出手段によってオペレータＯＰ（或いはスクリーン印刷機１の上流側に設置された図示しない他の装置）から基板搬送路３（搬入コンベア１１）に基板ＰＢが投入されたことを検知したら、搬入コンベア１１と位置決めコンベア１２を連動作動させて、スクリーン印刷機１内に基板ＰＢを搬入する（基板搬入工程。図６のステップＳＴ１）。 Next, the flow of the screen printing process by the screen printer 1 will be described with reference to FIGS. The control device 40 of the screen printing machine 1 detects the substrate PB from the operator OP (or another device (not shown) installed on the upstream side of the screen printing machine 1) from the operator OP (not shown) to the substrate transport path 3 (loading conveyor 11). When it is detected that it has been loaded, the carry-in conveyor 11 and the positioning conveyor 12 are operated in conjunction to carry the substrate PB into the screen printer 1 (substrate carry-in process, step ST1 in FIG. 6).

制御装置４０は基板ＰＢを搬入したら、基板移動ユニット２１による基板ＰＢの固定を行う（基板固定工程。図６のステップＳＴ２）。これには先ず、基板移動ユニット２１の第２昇降プレート２１ｆを第１昇降プレート２１ｅに対して相対上昇させ（図７（ａ）中に示す矢印Ｃ１）、下受けユニット２１ｇの上面を基板ＰＢの下面に下方から当接させて、下受けユニット２１ｇに基板ＰＢを支持させる（図７（ａ））。そして、下受けユニット２１ｇに基板ＰＢを支持させたら、クランパ２１ｈにより基板ＰＢをクランプしたうえで更に第２昇降プレート２１ｆを上昇させ（図７（ｂ）中に示す矢印Ｃ２）、下受けユニット２１ｇで基板ＰＢを押し上げる。これにより基板ＰＢは両端をクランパ２１ｈに対して摺動させながら上昇し、位置決めコンベア１２から上方に離間し、かつ基板ＰＢの上面が両クランパ２１ｈの上面と同じ高さになった状態で、基板移動ユニット２１に固定される（図７（ｂ））。 After loading the substrate PB, the control device 40 fixes the substrate PB by the substrate moving unit 21 (substrate fixing step, step ST2 in FIG. 6). For this, first, the second lifting plate 21f of the substrate moving unit 21 is raised relative to the first lifting plate 21e (arrow C1 shown in FIG. 7A), and the upper surface of the lower receiving unit 21g is placed on the substrate PB. The substrate PB is supported on the lower receiving unit 21g by contacting the lower surface with the lower surface (FIG. 7A). When the substrate PB is supported by the lower receiving unit 21g, the substrate PB is clamped by the clamper 21h, and then the second elevating plate 21f is further lifted (arrow C2 shown in FIG. 7B), and the lower receiving unit 21g. To push up the substrate PB. As a result, the substrate PB is lifted while sliding both ends with respect to the clamper 21h, separated from the positioning conveyor 12, and the top surface of the substrate PB is at the same height as the top surfaces of both the clampers 21h. It is fixed to the moving unit 21 (FIG. 7B).

制御装置４０は、基板ＰＢの固定が終了したら、基板ＰＢの電極ＤＴとマスク部材２３のパターン孔２３ｈが上下に合致するように基板ＰＢとマスク部材２３の位置合わせをする（位置合わせ工程。図６のステップＳＴ３）。 When the fixing of the substrate PB is completed, the control device 40 aligns the substrate PB and the mask member 23 so that the electrode DT of the substrate PB and the pattern hole 23h of the mask member 23 are aligned vertically (alignment process, FIG. 6 step ST3).

この位置合わせ工程では、制御装置４０は先ず、カメラユニット２６の移動と第１カメラ２６ａの撮像動作制御を行って基板ＰＢに設けられた基板位置合わせマークｍの画像データを取得し、基板ＰＢの位置を把握するとともに、カメラユニット２６の移動と第２カメラ２６ｂの撮像動作制御を行ってマスク部材２３に設けられたマスク部材位置合わせマークＭＫの画像データを取得し、マスク部材２３の位置を把握する。 In this alignment step, first, the control device 40 performs the movement of the camera unit 26 and the imaging operation control of the first camera 26a to acquire the image data of the substrate alignment mark m provided on the substrate PB. As well as grasping the position, the image data of the mask member alignment mark MK provided on the mask member 23 is obtained by moving the camera unit 26 and controlling the imaging operation of the second camera 26b, and grasping the position of the mask member 23. To do.

制御装置４０は、基板ＰＢの位置とマスク部材２３の位置を把握したら、基板移動ユニット２１による基板ＰＢの水平面内の方向の移動動作によって、基板ＰＢをマスク部材２３のマスク領域ＭＲの下方に位置させた後、基板移動ユニット２１による基板ＰＢの垂直方向の移動（第１昇降プレート２１ｅの上昇）動作を行って、基板位置合わせマークｍとマスク部材位置合わせマークＭＫが上下に合致するようにし、基板ＰＢの上面をマスク部材２３の下面に下方から接触させる（図８（ａ）中に示す矢印Ｃ３）。これにより基板ＰＢとマスク部材２３の位置合わせ工程が終了する（図８（ａ））。 After grasping the position of the substrate PB and the position of the mask member 23, the control device 40 moves the substrate PB below the mask region MR of the mask member 23 by moving the substrate PB in the direction in the horizontal plane by the substrate moving unit 21. After that, the substrate moving unit 21 performs the vertical movement of the substrate PB (the first elevating plate 21e is lifted) so that the substrate alignment mark m and the mask member alignment mark MK are aligned vertically. The upper surface of the substrate PB is brought into contact with the lower surface of the mask member 23 from below (arrow C3 shown in FIG. 8A). Thereby, the alignment process of the substrate PB and the mask member 23 is completed (FIG. 8A).

制御装置４０は、位置合わせ工程が終了したら、オペレータＯＰにペーストＰＴの供給を要求するかどうかの判断を行う（図６のステップＳＴ４）。制御装置４０に設けられた
カウント部４０ａ（図５）は、基板ＰＢが新たに搬入されるごとにその搬入された基板ＰＢをカウントして累積枚数を求めるようになっており、制御装置４０は、このカウント部４０ａによって求められた基板ＰＢの累積枚数が、オペレータＯＰが予め設定した数に達したときには、このスクリーン印刷機１に備えられたディスプレイ装置５０（図５）に、「ペーストを供給して下さい」等のメッセージ（ペースト供給要求メッセージ）を出力（画像表示）させて、オペレータＯＰにペーストＰＴの供給を要求する（図６のステップＳＴ５）。 When the alignment process is completed, the control device 40 determines whether or not to request the operator OP to supply the paste PT (step ST4 in FIG. 6). The count unit 40a (FIG. 5) provided in the control device 40 counts the loaded substrate PB each time a substrate PB is newly loaded, and obtains a cumulative number. When the cumulative number of substrates PB obtained by the counting unit 40a reaches the number set in advance by the operator OP, the display device 50 (FIG. 5) provided in the screen printing machine 1 is supplied with “paste supply”. Output a message (paste supply request message) and request the operator OP to supply the paste PT (step ST5 in FIG. 6).

このスクリーン印刷機１には、ペースト供給要求設定部５１が設けられており（図５）、オペレータＯＰはこのペースト供給要求設定部５１を操作することによって、ペーストＰＴの供給の要求が行われる基板ＰＢの累積枚数の設定を行うことができるようになっている。オペレータＯＰは通常、累積枚数が１枚のとき（マスク部材２３の設置後最初に基板ＰＢを搬入したとき）のほか、累積枚数が所定枚数（例えば２０枚）増えるごとにペーストＰＴの供給要求が行われるように設定する。 The screen printer 1 is provided with a paste supply request setting unit 51 (FIG. 5), and the operator OP operates the paste supply request setting unit 51 to request a supply of paste PT. The cumulative number of PBs can be set. The operator OP normally requests the supply of the paste PT every time the cumulative number increases by a predetermined number (for example, 20) in addition to when the cumulative number is one (when the substrate PB is first loaded after the mask member 23 is installed). Set to be done.

オペレータＯＰは、ディスプレイ装置５０にペーストＰＴの供給を要求するメッセージが画像表示されたら、マスク部材２３上へのペーストＰＴの供給を行う。オペレータＯＰは例えば、ペーストＰＴが収容された容器から「へら」等を用いて所要量のペーストＰＴを取り出し、そのペーストＰＴをマスク部材２３上の所定箇所に載せることによってペーストＰＴの供給を行う。本実施の形態では、図８（ａ）に示すように、一対のクランパ２１ｈのうち、スクリーン印刷機１の前方に位置するクランパ２１ｈ（前方のクランパ２１ｈ）の上面に相当するマスク部材２３上に、オペレータＯＰが手作業によってペーストＰＴを供給するものとする。 The operator OP supplies the paste PT onto the mask member 23 when an image of a message requesting the supply of the paste PT is displayed on the display device 50. For example, the operator OP takes out a required amount of paste PT from a container containing the paste PT using a spatula or the like, and places the paste PT on a predetermined location on the mask member 23 to supply the paste PT. In the present embodiment, as shown in FIG. 8A, on the mask member 23 corresponding to the upper surface of the clamper 21h (front clamper 21h) positioned in front of the screen printing machine 1 out of the pair of clampers 21h. Suppose that the operator OP supplies the paste PT manually.

オペレータＯＰは、マスク部材２３上の所定箇所にペーストＰＴを供給したら、スクリーン印刷機１に設けられたペースト供給終了スイッチ５２（図５）を操作する。 When the operator OP supplies the paste PT to a predetermined location on the mask member 23, the operator OP operates the paste supply end switch 52 (FIG. 5) provided in the screen printing machine 1.

制御装置４０は、ペースト供給終了スイッチ５２が操作されるか否かによって、オペレータＯＰによって、マスク部材２３上へのペーストＰＴの供給が終了したかの判断を行う（図６のステップＳＴ６）。すなわち制御装置４０は、ペースト供給終了スイッチ５２が操作されていないときにはまだペーストＰＴの供給が終了していないと判断し、ペースト供給終了スイッチ５２が操作されたときには、ペーストＰＴの供給が終了したと判断する。制御装置４０はステップＳＴ６において、ペーストＰＴの供給が終了していないと判断したときには、ステップＳＴ５におけるオペレータＯＰに対するペーストＰＴの供給の要求を継続（ペースト供給要求メッセージの画像表示を継続）し、ペーストＰＴの供給が終了したと判断したときは、オペレータＯＰが供給したペーストＰＴが適正量であったかどうかの点検工程（図６のステップＳＴ７〜ステップＳＴ９）に進む。 The control device 40 determines whether or not the supply of the paste PT onto the mask member 23 is ended by the operator OP depending on whether or not the paste supply end switch 52 is operated (step ST6 in FIG. 6). That is, the control device 40 determines that the supply of the paste PT has not been completed yet when the paste supply end switch 52 has not been operated, and that the supply of the paste PT has been completed when the paste supply end switch 52 has been operated. to decide. When the control device 40 determines in step ST6 that the supply of the paste PT has not ended, the control device 40 continues the request for supplying the paste PT to the operator OP in step ST5 (continues the image display of the paste supply request message), and pastes When it is determined that the supply of PT is completed, the process proceeds to an inspection process (step ST7 to step ST9 in FIG. 6) for checking whether or not the amount of paste PT supplied by the operator OP is an appropriate amount.

この点検工程では、制御装置４０は先ず、ペースト均し工程を実行する（図６のステップＳＴ７）。 In this inspection process, the control device 40 first executes a paste leveling process (step ST7 in FIG. 6).

ペースト均し工程では、制御装置４０は、供給したペーストＰＴの直上にスキージユニット２４を位置させた後（図８（ｂ））、前方のスキージ２４ａを下降させてマスク部材２３上に当接させ（図９（ａ））、スキージユニット２４を後方（図９の紙面右方。図９（ａ）中に示す矢印Ｃ４）に移動させて前方のスキージ２４ａをマスク部材２３上で摺動させる。そして、前方のスキージ２４ａがスクリーン印刷機１の後方に位置するクランパ２１ｈ（後方のクランパ２１ｈ）の上面に相当するマスク部材２３上に達したら（図９（ｂ））、前方のスキージ２４ａを上昇させて前方のスキージ２４ａをマスク部材２３から離間させるとともに、後方のスキージ２４ｂを下降させてマスク部材２３上に当接させ（図９（ｃ））、スキージユニット２４を前方（図９の紙面左方。図９（ｃ）中に示す矢印
Ｃ５）に移動させて後方のスキージ２４ｂをマスク部材２３上で摺動させる。後方のスキージ２４ｂが前方のクランパ２１ｈの上面に相当するマスク部材２３上に達したら（図９（ｄ））、ペースト均し工程が終了する。 In the paste leveling step, the control device 40 positions the squeegee unit 24 directly above the supplied paste PT (FIG. 8B), and then lowers the front squeegee 24a to abut on the mask member 23. (FIG. 9A), the squeegee unit 24 is moved rearward (to the right in FIG. 9, the arrow C4 shown in FIG. 9A), and the front squeegee 24a is slid on the mask member 23. When the front squeegee 24a reaches the mask member 23 corresponding to the upper surface of the clamper 21h (rear clamper 21h) located behind the screen printing machine 1 (FIG. 9B), the front squeegee 24a is raised. Then, the front squeegee 24a is separated from the mask member 23, and the rear squeegee 24b is lowered and brought into contact with the mask member 23 (FIG. 9C), and the squeegee unit 24 is moved forward (left side of FIG. 9). 9. Move to the arrow C5) shown in FIG.9 (c), and slide the back squeegee 24b on the mask member 23. FIG. When the rear squeegee 24b reaches the mask member 23 corresponding to the upper surface of the front clamper 21h (FIG. 9 (d)), the paste leveling process ends.

これによりオペレータＯＰによってマスク部材２３上に供給されたペーストＰＴはスキージ２４ａ，２４ｂの幅方向（Ｘ軸方向）に均され、スキージ２４ａ，２４ｂの幅方向に高さがほぼ一様な状態となる（図１０（ａ））。なお、ここではスキージ２４ａ，２４ｂを計２回移動（一往復）させたが、ペースト均し工程のためのスキージ２４ａ，２４ｂの移動回数は特に限定されない。 Thus, the paste PT supplied onto the mask member 23 by the operator OP is leveled in the width direction (X-axis direction) of the squeegees 24a and 24b, and the height is almost uniform in the width direction of the squeegees 24a and 24b. (FIG. 10 (a)). Here, the squeegees 24a and 24b are moved a total of two times (one reciprocation), but the number of movements of the squeegees 24a and 24b for the paste leveling process is not particularly limited.

制御装置４０は、ステップＳＴ７のペースト均し工程が終了したら、点検喚起メッセージ出力工程を実行する（図６のステップＳＴ８）。この点検喚起メッセージ出力工程では、制御装置４０は、ステップＳＴ７のペースト均し工程において均したペーストＰＴの高さが予め定めた基準高さを超えているかどうかを目視により点検するようオペレータＯＰに指示するメッセージ、例えば、「ペーストの高さを点検して下さい」等のメッセージ（点検喚起メッセージ）を、ディスプレイ装置５０に出力（画像表示）させる。 When the paste leveling process in step ST7 is completed, the control device 40 executes an inspection alert message output process (step ST8 in FIG. 6). In this inspection alert message output process, the control device 40 instructs the operator OP to visually inspect whether or not the height of the paste PT leveled in the paste leveling process in step ST7 exceeds a predetermined reference height. For example, a message (check alert message) such as “please check the height of the paste” is output (image display) to the display device 50.

制御装置４０によってディスプレイ装置５０に上記のような点検喚起メッセージが出力されたら、オペレータＯＰは、図１０（ｂ）に示すように、ペースト均し工程において均されたペーストＰＴの上面が、後方のスキージ２４ｂの両ガイド部材３４に設けられた基準マーク３５を上方に超えているかどうかを目視によって判断することによって、ペーストＰＴの高さｈが予め定めた基準高さＨを超えているかどうかの点検を行う（図１０（ｂ）中、オペレータＯＰの目を符号ＥＹＥで示す）。 When the control alert message is output to the display device 50 by the control device 40, the operator OP indicates that the upper surface of the paste PT leveled in the paste leveling process is the rear side as shown in FIG. Inspection of whether or not the height h of the paste PT exceeds a predetermined reference height H by visually judging whether or not the reference mark 35 provided on both guide members 34 of the squeegee 24b is exceeded. (In FIG. 10B, the eye of the operator OP is indicated by the symbol EYE).

なお、基準高さＨは、ペーストＰＴの供給要求が行われた後、次のペーストＰＴの供給要求が行われるまでの間に累積する基板ＰＢの枚数（ペースト供給要求設定部５１で設定される前述の「所定枚数」に相当する）分の印刷を行っても不足状態とならない量のペーストＰＴが供給されたときのペーストＰＴの高さｈを上回る高さに設定されており、基準マーク３５はこのような基準高さＨを有するペーストＰＴが供給されたときのペーストＰＴの高さｈに合致する位置に設けられている。図１０（ａ）はペーストＰＴの高さｈが基準高さＨを超えている場合（ペーストＰＴの量が十分である場合）の例を示しており、図１０（ｂ）はペーストＰＴの高さｈが基準高さＨを超えていない（ペーストＰＴの量が不足している場合）の例を示している。 The reference height H is set by the paste supply request setting unit 51 after the request for supplying the paste PT is made and before the supply request for the next paste PT is made. The reference mark 35 is set to a height that exceeds the height h of the paste PT when an amount of the paste PT that does not become deficient even if printing is performed (corresponding to the “predetermined number of sheets”). Is provided at a position that matches the height h of the paste PT when the paste PT having such a reference height H is supplied. FIG. 10A shows an example when the height h of the paste PT exceeds the reference height H (when the amount of the paste PT is sufficient), and FIG. 10B shows the height of the paste PT. An example in which the height h does not exceed the reference height H (when the amount of paste PT is insufficient) is shown.

オペレータＯＰはこの点検の結果、ペーストＰＴの高さｈが基準高さＨを超えていると判断したときには、このスクリーン印刷機１に設けられた印刷開始スイッチ５３（図５参照）の操作を行う。一方、ペーストＰＴの高さｈが基準高さＨを超えていないと判断したときには、マスク部材２３上へのペーストＰＴの再供給を行ったうえで、このスクリーン印刷機１に設けられた再点検スイッチ５４の操作を行う。 When the operator OP determines that the height h of the paste PT exceeds the reference height H as a result of the inspection, the operator OP operates the print start switch 53 (see FIG. 5) provided in the screen printer 1. . On the other hand, when it is determined that the height h of the paste PT does not exceed the reference height H, the paste PT is re-supplied onto the mask member 23, and then the re-inspection provided in the screen printing machine 1 is performed. The switch 54 is operated.

このため、ディスプレイ装置５０に画像表示させる点検喚起メッセージとしては、前述のように、単に「ペーストの高さを点検して下さい」とするだけでなく、「ペーストの高さをスキージに記されたマークの位置と比較して点検して下さい。ペーストの高さはマークを上に超えていますか。ペーストの高さがマークを上に超えているときには印刷開始スイッチを押して下さい。ペーストの高さがマークを上に超えていないときにはペーストを再供給して再点検スイッチを押して下さい。」といったように、ペーストＰＴの高さｈの点検の仕方及びその点検の結果オペレータＯＰが行うべき操作内容も併せた内容とすることが好ましい。 For this reason, as described above, the inspection alert message to display an image on the display device 50 is not only “please check the paste height” but also “the paste height is written on the squeegee. Check the position compared to the mark position.Is the paste height above the mark? Press the print start switch when the paste height exceeds the mark.Paste height If the mark does not exceed the mark, re-supply the paste and press the re-inspection switch. ”As shown in FIG. It is preferable that the contents are combined.

制御装置４０は、印刷開始スイッチ５３又は再点検スイッチ５４が操作されるか否かに
よって、オペレータＯＰの目視による点検が行われたかどうかの判断を行う（図６のステップＳＴ９）。制御装置４０は、このステップＳＴ９において、オペレータＯＰの目視による点検が行われていないと判断したときは、ステップＳＴ８におけるオペレータＯＰへの点検喚起メッセージの出力を継続し、オペレータＯＰの目視による点検が行われたと判断したときは、オペレータＯＰによって操作されたのが印刷開始スイッチ５３であるかどうかの判断を行う（図６のステップＳＴ１０）。 The control device 40 determines whether or not the visual inspection of the operator OP has been performed depending on whether or not the print start switch 53 or the reinspection switch 54 is operated (step ST9 in FIG. 6). When the control device 40 determines in step ST9 that the operator OP is not visually inspected, the control device 40 continues to output the inspection alert message to the operator OP in step ST8, and the operator OP visually inspects. If it is determined that it has been performed, it is determined whether or not the print start switch 53 has been operated by the operator OP (step ST10 in FIG. 6).

制御装置４０は、ステップＳＴ１０において、オペレータＯＰによって操作されたのが印刷開始スイッチ５３でなかった（すなわち、操作されたのが再点検スイッチ５４であった）と判断したときには、ステップＳＴ７に戻ってステップＳＴ７〜ステップＳＴ９の点検工程を再実行し、オペレータＯＰによって操作されたのが印刷開始スイッチ５３であったと判断したとき、或いは、先のステップＳＴ４で、オペレータＯＰにペーストＰＴの供給を要求しないと判断したときには、印刷実行工程（図６のステップＳＴ１１及びステップＳＴ１２）に進む。 When the control device 40 determines in step ST10 that the operator OP has not operated the print start switch 53 (that is, it has been operated by the recheck switch 54), the control device 40 returns to step ST7. When the inspection process in steps ST7 to ST9 is performed again and it is determined that the operator OP has operated the print start switch 53, or in step ST4, the operator OP is not requested to supply the paste PT. If it is determined, the process proceeds to a printing execution process (step ST11 and step ST12 in FIG. 6).

制御装置４０は、印刷実行工程では、先ず、ペースト充填工程（図６のステップＳＴ１１）を行う。このペースト充填工程は、上述のペースト均し工程と同じ要領でスキージユニット２４を（すなわち前方のスキージ２４ａ及び後方のスキージ２４ｂを）往復移動させ、マスク部材２３のパターン孔２３ｈ内にペーストＰＴを充填させることによって行う。そして、制御装置４０は、ステップＳＴ１１のペースト充填工程が終了したら、版抜け工程を行う（図６のステップＳＴ１２）。版抜け工程は、制御装置４０が、第１昇降プレート２１ｅを下降させて（図１１（ａ）中に示す矢印Ｃ６）、基板ＰＢとマスク部材２３を相対的に離間させることによって行う。これにより各パターン孔２３ｈ内に充填されたペーストＰＴが基板ＰＢの電極ＤＴ上に版抜けし、ペーストＰＴが基板ＰＢに印刷（転写）される。 In the printing execution process, the control device 40 first performs a paste filling process (step ST11 in FIG. 6). In this paste filling step, the squeegee unit 24 is reciprocated (that is, the front squeegee 24a and the rear squeegee 24b) in the same manner as the paste leveling step described above, and the paste PT is filled into the pattern holes 23h of the mask member 23. By doing. And the control apparatus 40 will perform a plate missing process, after the paste filling process of step ST11 is complete | finished (step ST12 of FIG. 6). The plate removal process is performed by the control device 40 lowering the first elevating plate 21e (arrow C6 shown in FIG. 11A) and relatively separating the substrate PB and the mask member 23 from each other. As a result, the paste PT filled in each pattern hole 23h is released on the electrode DT of the substrate PB, and the paste PT is printed (transferred) onto the substrate PB.

制御装置４０は、ステップＳＴ１２の版抜け工程が終了したら、クランパ２１ｈを開いて基板移動ユニット２１に対する基板ＰＢの固定を解除する（基板固定解除工程。図６のステップＳＴ１３）。そして、第２昇降プレート２１ｆを下降させて基板ＰＢを位置決めコンベア１２上に載置し（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｃ７）、基板移動ユニット２１を作動させて、位置決めコンベア１２の搬出コンベア１３に対する位置調整を行う。制御装置４０は、位置決めコンベア１２の搬出コンベア１３に対する位置調整が終了したら、位置決めコンベア１２と搬出コンベア１３を連動作動させて、スクリーン印刷機１から基板ＰＢを搬出する（基板搬出工程。図６のステップＳＴ１４）。 When the plate removal process in step ST12 is completed, the control device 40 opens the clamper 21h to release the substrate PB from being fixed to the substrate moving unit 21 (substrate fixation releasing step, step ST13 in FIG. 6). Then, the second elevating plate 21f is lowered to place the substrate PB on the positioning conveyor 12 (arrow C7 shown in FIG. 11B), the substrate moving unit 21 is operated, and the unloading conveyor of the positioning conveyor 12 is operated. 13 is adjusted. When the position adjustment of the positioning conveyor 12 with respect to the carry-out conveyor 13 is completed, the control device 40 operates the positioning conveyor 12 and the carry-out conveyor 13 in an interlocked manner to carry out the substrate PB from the screen printing machine 1 (substrate carry-out process, FIG. 6). Step ST14).

制御装置４０は、基板搬出工程が終了したら、他にスクリーン印刷を施す基板ＰＢがあるかどうかの判断を行う（判断工程。図６のステップＳＴ１５）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板ＰＢがあった場合にはステップＳＴ１に戻って新たな基板ＰＢの搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板ＰＢがなかった場合には一連のスクリーン印刷工程を終了する。 When the substrate carry-out step is completed, the control device 40 determines whether there is another substrate PB to be screen-printed (determination step; step ST15 in FIG. 6). As a result, if there is another substrate PB to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in a new substrate PB, and if there is no other substrate PB to be screen-printed, a series of screen printing steps. Exit.

なお、このステップＳＴ１５の判断工程で他にスクリーン印刷を施す基板ＰＢがあると判断してステップＳＴ１に戻った場合、制御装置４０は次に搬入する基板ＰＢをカウント部４０ａ（図５）によりカウントして搬入した基板ＰＢの累積枚数を求め、その累積枚数を用いてステップＳＴ４の判断を行う。したがって、マスク部材２３の設置後最初に基板ＰＢを搬入したとき（累積枚数が１枚のとき）のほか、累積枚数が所定枚数増えるごとに、オペレータＯＰにペーストＰＴの供給を要求するメッセージ（ペースト供給要求メッセージ）がディスプレイ装置５０に画像表示されることになる（ステップＳＴ５）。 If it is determined in step ST15 that there is another substrate PB to be screen-printed and the process returns to step ST1, the control device 40 counts the next substrate PB to be loaded by the counting unit 40a (FIG. 5). Then, the cumulative number of substrates PB carried in is obtained, and the determination in step ST4 is performed using the cumulative number. Therefore, in addition to when the substrate PB is carried in for the first time after the mask member 23 is installed (when the cumulative number is one), every time the cumulative number increases, a message (paste) requesting the operator OP to supply the paste PT. (Supply request message) is displayed on the display device 50 (step ST5).

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの電極Ｄ
Ｔに対応して設けられたパターン孔２３ｈが基板ＰＢの電極ＤＴと上下に合致するように基板ＰＢと位置合わせされるマスク部材２３と、基板ＰＢと位置合わせされたマスク部材２３に上方から当接されるスキージ２４ａ，２４ｂを有し、スキージ２４ａ，２４ｂをマスク部材２３に当接させて水平方向に移動させることによりマスク部材２３上に供給されたペーストＰＴをマスク部材２３のパターン孔２３ｈ内に充填させた後、基板ＰＢとマスク部材２３を相対的に離間させて電極ＤＴにペーストＰＴを版抜けさせる印刷動作を実行する印刷実行手段（印刷実行部４及び制御装置４０）と、印刷実行手段により、マスク部材２３上にペーストＰＴが供給された後の最初の印刷動作が実行される前に、スキージ２４ａ，２４ｂをマスク部材２３に当接させた状態で移動させてペーストＰＴをスキージ２４ａ，２４ｂの幅方向に均し、その均したペーストＰＴの高さｈが予め定めた基準高さＨを超えているかどうかを点検するようオペレータＯＰに指示するメッセージ（点検喚起メッセージ）を出力する点検喚起手段（印刷実行部４、制御装置４０及びディスプレイ装置５０）を備えたものとなっている。 As described above, the screen printing machine 1 according to the present embodiment has the electrode D of the substrate PB.
The mask member 23 aligned with the substrate PB and the mask member 23 aligned with the substrate PB so that the pattern hole 23h provided corresponding to T is vertically aligned with the electrode DT of the substrate PB are contacted from above. The squeegees 24a and 24b are in contact with each other, and the paste PT supplied onto the mask member 23 is moved into the pattern holes 23h of the mask member 23 by moving the squeegees 24a and 24b in contact with the mask member 23 in the horizontal direction. And a printing execution means (printing execution unit 4 and control device 40) for executing a printing operation in which the substrate PB and the mask member 23 are relatively spaced apart and the paste PT is removed from the electrode DT. The squeegees 24a and 24b are moved to the mask member 2 before the first printing operation after the paste PT is supplied onto the mask member 23 by the means. So that the paste PT is leveled in the width direction of the squeegees 24a and 24b, and whether the level h of the leveled paste PT exceeds a predetermined reference height H is checked. It is provided with inspection calling means (print execution unit 4, control device 40 and display device 50) for outputting a message (inspection calling message) instructing the operator OP.

このように本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、マスク部材２３上にペーストＰＴを供給した後の最初の印刷動作を実行する前に、スキージ２４ａ，２４ｂをマスク部材２３に当接させた状態で移動させてペーストＰＴをスキージ２４ａ，２４ｂの幅方向に均し、その均したペーストＰＴの高さｈが予め定めた基準高さＨを超えているかどうかを目視により点検するようオペレータＯＰに指示するメッセージ（点検喚起メッセージ）を出力するようになっているので、オペレータＯＰはマスク部材２３上に供給したペーストＰＴの量が不足していないかどうかの点検を印刷動作の開始前に行うことができ、供給したペーストＰＴの量が不足していたときにはペーストＰＴを追加して供給するなどの対応をとることができるので、ペーストＰＴの供給量不足により印刷不良の基板が生成されることを防止することができる。 As described above, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the squeegees 24 a and 24 b are in contact with the mask member 23 before the first printing operation after the paste PT is supplied onto the mask member 23. To instruct the operator OP to visually inspect whether the level h of the leveled paste PT exceeds a predetermined reference height H by leveling the paste PT in the width direction of the squeegees 24a, 24b. The operator OP can check whether or not the amount of the paste PT supplied on the mask member 23 is insufficient before starting the printing operation. If the amount of the supplied paste PT is insufficient, it is possible to take measures such as adding and supplying the paste PT. It is possible to prevent the substrate of the printing error by the supply shortage of strike PT is generated.

ここで、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、スキージ２４ａ，２４ｂにより均されたペーストＰＴの高さｈが基準高さＨを超えているかどうかをオペレータＯＰが目視によって点検するときの判断基準となる基準マーク３５がスキージ（後方のスキージ２４ｂ）に設けられているので、オペレータＯＰはスキージ２４ａ，２４ｂによって均されたペーストＰＴの上面が基準マーク３５を上方に超えているかどうかを目視によって判断するだけで、ペーストＰＴの高さｈが基準高さＨを超えているかどうかの点検を行うことができる。したがってオペレータＯＰは、供給したペーストＰＴが適正量であったかどうかの判断を簡単かつ迅速に行うことができ、これによりスクリーン印刷に要するタクトの大幅な低減を図ることが可能となる。 Here, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the criterion for judging when the operator OP visually checks whether the height h of the paste PT leveled by the squeegees 24a and 24b exceeds the reference height H or not. Since the reference mark 35 is provided on the squeegee (rear squeegee 24b), the operator OP visually determines whether the upper surface of the paste PT leveled by the squeegees 24a and 24b exceeds the reference mark 35. It is possible to check whether or not the height h of the paste PT exceeds the reference height H. Therefore, the operator OP can easily and quickly determine whether or not the supplied paste PT is an appropriate amount, and this can greatly reduce the tact required for screen printing.

ここで後方のスキージ２４ｂは、スキージ板３２と、スキージ板３２が固定されたスキージホルダ３０と、スキージホルダ３０の長尺方向に対向する両側面に取り付けられた一
対のガイド部材３４とを備え、基準マーク３５は、スキージホルダ３０の長尺方向に対向する両側面からスキージホルダ３０の長尺方向の側方へ延伸する一対のガイド部材３４の延伸面に設けられているので、スキージ板３２に基準マーク３５が設けられている場合と比べて（ペーストＰＴの上面が基準マーク３５を上方に超えていれば基準マーク３５がペーストＰＴに隠れてしまい、即座に判断することができない）、オペレータＯＰはスキージ２４ａ，２４ｂによって均されたペーストＰＴの上面が基準マーク３５を上方に超えているかどうかを即座に判断することができる。 Here, the rear squeegee 24 b includes a squeegee plate 32, a squeegee holder 30 to which the squeegee plate 32 is fixed, and a pair of guide members 34 attached to both side surfaces facing the longitudinal direction of the squeegee holder 30. Since the reference mark 35 is provided on the extending surface of the pair of guide members 34 extending from both side surfaces opposed to the longitudinal direction of the squeegee holder 30 to the lateral side of the squeegee holder 30, the reference mark 35 is provided on the squeegee plate 32. Compared with the case where the reference mark 35 is provided (if the upper surface of the paste PT exceeds the reference mark 35, the reference mark 35 is hidden by the paste PT and cannot be immediately determined). Immediately determines whether the upper surface of the paste PT leveled by the squeegees 24a, 24b exceeds the reference mark 35. Door can be.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、ペースト均し工程で均したペーストＰＴの高さｈが予め定めた基準高さＨを超えているかどうかを目視により点検するよう指示する点検喚起メッセージをディスプレイ装置５０によって画像表示するようになっていたが、ディスプレイ装置５０の代わりに或いはディスプレイ装置５０とともに音声出力装置を設け、画像に代えて、或いは画像とともに音声により、点検喚起メッセージを出力するようにしてもよい。 Although the embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to those shown in the above-described embodiments. For example, in the above-described embodiment, the display device 50 displays an inspection alert message instructing to visually inspect whether the height h of the paste PT leveled in the paste leveling step exceeds a predetermined reference height H. However, instead of the display device 50 or together with the display device 50, an audio output device may be provided to output an inspection alert message by voice instead of the image or together with the image. .

ペーストの供給量不足により印刷不良の基板が生成されることを防止することができるスクリーン印刷機を提供する。 Provided is a screen printing machine capable of preventing generation of a defective substrate due to insufficient supply of paste.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分平面図The partial top view of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える印刷実行部の正面図The front view of the printing execution part with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスク部材の平面図The top view of the mask member with which the screen printer in one embodiment of the present invention is provided （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの一部分解斜視図(A) (b) The partial disassembled perspective view of the squeegee with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程の流れを示すフローチャートThe flowchart which shows the flow of the screen printing process which the screen printer in one embodiment of this invention performs （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) (c) (d) Operation explanatory diagram of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える後方のスキージの（ａ）正面図（ｂ）一部断面側面図(A) Front view (b) Partial cross-sectional side view of rear squeegee included in screen printing machine in one embodiment of the present invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention

１スクリーン印刷機
４印刷実行部（印刷実行手段、点検喚起手段）
２３マスク部材
２３ｈパターン孔
２４ａ前方のスキージ（スキージ）
２４ｂ後方のスキージ（スキージ）
３０スキージホルダ
３２スキージ板
３４ガイド部材
３４ａ側面（延伸面）
３４ｂ延出面（延伸面）
３５基準マーク
４０制御装置（印刷実行手段、点検喚起手段）
５０ディスプレイ装置（点検喚起手段）
ＰＢ基板
ＤＴ電極
ＰＴペースト
ｈペーストの高さ
Ｈ基準高さ 1 Screen printer 4 Print execution unit (print execution means, inspection alerting means)
23 Mask member 23h Pattern hole 24a Front squeegee (squeegee)
24b Squeegee behind (squeegee)
30 Squeegee holder 32 Squeegee plate 34 Guide member 34a Side surface (extended surface)
34b Extension surface (extension surface)
35 Reference mark 40 Control device (printing execution means, inspection alerting means)
50 Display device (inspection alerting means)
PB substrate DT electrode PT paste h Paste height H Reference height

Claims

A mask member that is aligned with the substrate such that the pattern holes provided corresponding to the electrodes of the substrate are vertically aligned with the electrodes of the substrate;
A squeegee that is in contact with the mask member aligned with the substrate from above, and the paste supplied on the mask member by moving the squeegee in contact with the mask member in the horizontal direction causes the pattern holes in the mask member A printing execution means for performing a printing operation in which the paste is removed from the electrode by relatively separating the substrate and the mask member after being filled in;
Before the first printing operation after the paste is supplied onto the mask member by the printing execution means, the squeegee is moved in contact with the mask member to level the paste in the width direction of the squeegee. , And a check alerting means for outputting a message instructing the operator to visually inspect whether the level of the leveled paste exceeds a predetermined reference height,
The squeegee includes a squeegee plate, a squeegee holder to which the squeegee plate is fixed, and a pair of guide members attached to both side surfaces facing the longitudinal direction of the squeegee holder,
A squeegee holder is provided from both sides facing the longitudinal direction of the squeegee holder so that the operator can visually check whether the paste leveled by the squeegee exceeds the reference height. A screen printing machine, wherein the screen printing machine is provided on an extending surface of a pair of guide members extending sideways in the longitudinal direction.