JP5906386B2 - Screen printing machine and screen printing method - Google Patents
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Description
本発明は、基板と接触させたマスク上でスキージを摺動させてマスク上のペーストを掻き寄せることにより基板にペーストを転写させるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機方法に関するものである。 The present invention relates to a screen printer and a screen printer method for transferring a paste to a substrate by sliding a squeegee on the mask in contact with the substrate and scraping the paste on the mask.
スクリーン印刷機は、基板と接触させたマスクにスキージを当接させて水平方向に移動させ、スキージをマスク上で摺動させてマスク上のペーストを掻き寄せることにより、マスクに設けられた開口部にペーストを充填させて基板へのペーストの転写を行う構成となっている。このようなスクリーン印刷機では通常、ペーストの転写を終えたスキージはマスクに当接した状態で水平方向への移動の停止がなされ、その後上昇されてマスクから離間される。ところが、ペーストはローリング中では粘度が低いが非ローリング中は粘度が高くなる特質があることから、スキージを水平移動の停止後に上昇させると、スキージはローリングが終了して粘度が高くなりつつあるペーストの一部を引き上げることになり、ペーストは上方に先細りの状態となって次回のスキージの摺動時にスキージの移動方向に倒れ込み、空気を巻き込んでしまう。そうするとローリング中のペースト内に気泡が含まれた状態となり、マスクの開口部におけるペーストの充填状態が悪くなるので、印刷不良が生じ易くなることから、従来、水平方向への移動を停止させたスキージをマスクに対して上昇させる際のスキージの移動速度(離間速度)を規制し、ペーストの倒れ込みが起きにくくして空気の巻き込みを防ぐようにしたスクリーン印刷機が知られている(例えば、特許文献1)。 The screen printing machine makes the squeegee contact the mask that is in contact with the substrate and moves it horizontally, and slides the squeegee on the mask to scrape the paste on the mask, thereby opening the opening provided in the mask. The paste is filled with paste to transfer the paste to the substrate. In such a screen printing machine, the squeegee that has finished transferring the paste is normally stopped moving in the horizontal direction while being in contact with the mask, and then lifted and separated from the mask. However, since the paste has a characteristic that the viscosity is low during rolling but becomes high during non-rolling, if the squeegee is raised after stopping the horizontal movement, the squeegee will finish rolling and increase in viscosity. Part of the paste is pulled up, and the paste is tapered upward and falls down in the moving direction of the squeegee at the next sliding of the squeegee, and air is entrained. Then, bubbles are included in the paste being rolled, and the filling state of the paste in the opening of the mask is deteriorated, and printing failure is likely to occur. Conventionally, the squeegee that has stopped moving in the horizontal direction has been conventionally used. 2. Description of the Related Art A screen printing machine is known that regulates the movement speed (separation speed) of a squeegee when raising the squeegee with respect to the mask, and prevents the paste from collapsing to prevent air entrainment (for example, Patent Documents) 1).
しかしながら、上記従来のスクリーン印刷機であっても、スキージはマスク上で停止した後に上昇されるため、スキージに付着して引き上げられるペーストの量は多く、その後にペーストの倒れ込みによる空気の巻き込みが生じて印刷精度が低下するおそれがあるという問題点があった。 However, even in the above-described conventional screen printing machine, the squeegee is lifted after stopping on the mask, so that the amount of paste that is attached to the squeegee and pulled up is large, and air entrainment occurs due to the collapse of the paste. As a result, there is a problem that printing accuracy may be lowered.
そこで本発明は、スキージをマスクから離間させた際に引き上げられたペーストがその後のスキージの摺動時に倒れ込んで空気を巻き込んでしまう事態が起きにくくしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention provides a screen printing machine and a screen printing method in which it is difficult for the paste pulled up when the squeegee is separated from the mask to collapse when the squeegee slides and the air is trapped. Objective.
請求項1に記載のスクリーン印刷機は、基板と接触されるマスクと、前記基板と接触された前記マスクにスキージを当接させて水平方向に移動させ、前記スキージを前記マスク上で摺動させて前記マスク上のペーストを掻き寄せることにより、前記マスクに設けられた開口部にペーストを充填させて前記基板へのペーストの転写を行うスキージ移動制御部とを備え、前記スキージ移動制御部は、前記マスクに対する前記スキージの水平方向への移動の途中で前記スキージを前記マスクに対して上昇させ、前記マスクから離間させた状態で前記スキージの水平方向移動を停止させる。
The screen printing machine according to
請求項2に記載のスクリーン印刷機は、請求項1に記載のスクリーン印刷機であって、前記スキージ移動制御部は、前記スキージの水平方向移動を停止させた直後にそれまで水平方向移動させていた方向とは反対の方向に前記スキージを移動させる。
The screen printing machine according to
請求項3に記載のスクリーン印刷方法は、基板にマスクを接触させるマスク接触工程と、前記基板と接触させた前記マスクにスキージを当接させて水平方向に移動させ、前記スキージを前記マスク上で摺動させて前記マスク上のペーストを掻き寄せることにより、前記マスクに設けられた開口部にペーストを充填させて前記基板へのペーストの転写を行うペースト転写工程とを含み、前記ペースト転写工程において、前記マスクに対する前記スキージの水平方向への移動の途中で前記スキージを前記マスクに対して上昇させ、前記マスクから離間させた状態で前記スキージの水平方向移動を停止させる。 The screen printing method according to claim 3, wherein a mask contact step of bringing a mask into contact with a substrate, a squeegee is brought into contact with the mask in contact with the substrate and moved in a horizontal direction, and the squeegee is moved on the mask. A paste transfer step of transferring the paste to the substrate by filling the opening provided in the mask by sliding and scraping the paste on the mask, and in the paste transfer step The squeegee is raised with respect to the mask during the horizontal movement of the squeegee with respect to the mask, and the horizontal movement of the squeegee is stopped while being separated from the mask.
請求項4に記載のスクリーン印刷方法は、請求項3に記載のスクリーン印刷方法であって、前記ペースト転写工程において、前記スキージの水平方向移動を停止させた直後にそれまで水平方向移動させていた方向とは反対の方向に前記スキージを移動させる。 The screen printing method according to claim 4 is the screen printing method according to claim 3, wherein in the paste transfer step, the horizontal movement of the squeegee is continued until immediately after the horizontal movement of the squeegee is stopped. The squeegee is moved in a direction opposite to the direction.
本発明では、マスクに対するスキージの水平方向への移動の途中でスキージをマスクに対して上昇させ、マスクから離間させた状態でスキージの水平方向移動を停止させるようにしており、ペーストの粘度が低いローリング中にマスクに対するスキージの上昇を行うので、スキージをマスクから離間させる際に引き上げるペーストの量を少なくすることができる。このためスキージをマスクから離間させた際に引き上げたペーストがその後のスキージの摺動時に倒れ込んで空気を巻き込んでしまう事態が起きにくくなり、これにより印刷精度の低下を防ぐことができる。 In the present invention, the squeegee is lifted with respect to the mask during the horizontal movement of the squeegee with respect to the mask, and the horizontal movement of the squeegee is stopped while being separated from the mask, so that the viscosity of the paste is low. Since the squeegee is lifted with respect to the mask during rolling, the amount of paste pulled up when the squeegee is separated from the mask can be reduced. For this reason, it is difficult for the paste pulled up when the squeegee is separated from the mask to fall down when the squeegee slides and the air is trapped, thereby preventing the printing accuracy from being lowered.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1及び図2に示すスクリーン印刷機1は、基板2への部品実装を行う部品実装システムに組み込まれて基板2の電極部2a上に半田等のペーストPsをスクリーン印刷する作業(スクリーン印刷作業)を行う装置であり、基台10に設けられた基板保持ユニット移動機構11、基板保持ユニット移動機構11によって移動される基板保持ユニット12、基板保持ユニット12の上方に設置されたマスクホルダ13、マスクホルダ13によって水平姿勢に保持されたマスク14、マスク14の下方を移動自在に設けられたカメラユニット15及びマスク14の上方領域を移動自在に設けられたスキージユニット16を備えている。以下の説明では、基板2の搬送方向をX軸方向(オペレータOPから見た左右方向)とし、X軸と直交する水平面内方向をY軸方向(オペレータOPから見た前後方向)とする。また、上下方向をZ軸とする。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A
図1においてマスクホルダ13は、Y軸方向に延びてX軸方向に対向した断面「L」字状の左右一対のマスク載置部材13aを有して成る。マスク14は、薄肉金属製で矩形の板状部材から成って基板2の電極部2aに対応する多数の開口部14hを有しており、外縁に設けられた矩形のマスク枠14wがマスクホルダ13によって支持されている。
In FIG. 1, the
図1において、基板2上の一の対角位置には2つの基板側マーク2mが設けられており、マスク14にはこれら2つの基板側マーク2mに対応して2つのマスク側マーク14mが設けられている。2つの基板側マーク2mと2つのマスク側マーク14mを上下に対向させた状態で基板2を上昇させてマスク14に基板2を接触させると、基板2の電極部2aとマスク14に設けられた開口部14hとが合致した状態となる。
In FIG. 1, two
図1及び図2において、基板保持ユニット12は、基台10に対して昇降自在に設けられたベース部12a、ベース部12aに取り付けられて基板2をX軸方向に搬送する基板搬送コンベア12b、基板搬送コンベア12bによって搬送されて所定の基板保持位置に位置決めされた基板2の下方に位置する下受け部材12c、下受け部材12cを昇降させて基板2を押し上げる基板昇降シリンダ12d及び基板昇降シリンダ12dによって押し上げられた基板2をY軸方向からクランプして保持する一対のクランプ部材12eを有して成る。
1 and 2, the
図3において、基板搬送コンベア12bを駆動する図示しないアクチュエータ等から成るコンベア駆動機構12Aの作動制御、基板昇降シリンダ12dの作動制御及び一対のクランプ部材12eを駆動する図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材駆動機構12Bによる基板2のクランプ動作の制御はスクリーン印刷機1が備える制御装置20によってなされる。
In FIG. 3, the operation control of the
基板保持ユニット移動機構11はXYZロボットから成り、制御装置20によって作動制御されて基板保持ユニット12を水平面内で移動(回転も含む)させるとともに、基板保持ユニット12を上下方向(Z軸方向)に移動させる。
The substrate holding
図1及び図2において、カメラユニット15は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ15aと、撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ15bを備えて成り、制御装置20により作動制御される図示しない直交座標ロボットから成るカメラユニット移動機構15M(図3)の動作によってマスクホルダ13に保持されたマスク14の下方の水平面内を移動する。
1 and 2, the
下方撮像カメラ15aの撮像動作及び上方撮像カメラ15bの撮像動作は制御装置20によって制御され、下方撮像カメラ15aの撮像動作によって得られた画像データ及び上方撮像カメラ15bの撮像動作によって得られた画像データは制御装置20に送られる(図3)。
The imaging operation of the
図1及び図2において、スキージユニット16は、図示しない直交座標ロボットから成るスキージユニット移動機構16A(図3)の作動によってマスク14の上方をY軸方向に移動自在なベース部16a及びベース部16aの下方にY軸方向に対向して設けられた2つのスキージ16bを備えており、各スキージ16bは、ベース部16aに取り付けられた2つの空圧シリンダ16cによってそれぞれ独立してベース部16aの下方を昇降されるようになっている。スキージユニット移動機構16Aの作動制御及び各空圧シリンダ16cの作動によるスキージ16bの昇降制御は制御装置20によってなされる(図3)。
1 and 2, the
図1及び図2において、スキージユニット16のベース部16aの後方側の端部には、下方に向けた吐出口からペーストPsを吐出するペースト供給シリンジ16dが設けられている。このペースト供給シリンジ16dによるペーストPsの供給制御は制御装置20が図示しないアクチュエータ等から成るペースト吐出機構16Bの作動制御を行うことによってなされる(図3)。
1 and 2, a
制御装置20は、後方側のスキージ16bを後方側のクランプ部材12eの上方に位置させた状態から下降させてマスク14上に当接させた後、ベース部16aを後方から前方に向けて移動させることによって後方側のスキージ16bをマスク14上で摺動させながら前方側のクランプ部材12eの上方まで移動させる「後方側のスキージ16bによるスキージング」と、前方側のスキージ16bを前方側のクランプ部材12eの上方に位置させた状態から下降させてマスク14上に当接させた後、ベース部16aを前方から後方に向けて移動させることによって前方側のスキージ16bをマスク14上で摺動させながら後方側のクランプ部材12eの上方まで移動させる「前方側のスキージ16bによるスキージング」を交互に実行する。
The
次に、図4のフローチャート及び図5〜図10の説明図を用いてスクリーン印刷機1が行うスクリーン印刷作業(スクリーン印刷方法)の実行手順を説明する。スクリーン印刷作業では、制御装置20は先ず、スクリーン印刷機1の外部から投入された基板2を基板搬送コンベア12bによって搬入し、前述の所定の作業位置に位置決めする。そして、基板昇降シリンダ12dによる基板2の押し上げ(図5(a)中に示す矢印A1)とクランプ部材12eによる基板2のクランプ(図5(a)中に示す矢印B1)を行って基板2を保持する(図4に示すステップST1。図5(a))。
Next, the execution procedure of the screen printing operation (screen printing method) performed by the
制御装置20は、上記のようにして基板2を保持したら、カメラユニット移動機構15Mの作動制御を行い、下方撮像カメラ15aを基板2に設けられた基板側マーク2mの上方に位置させたうえで下方撮像カメラ15aに基板側マーク2mの撮像を行わせてその画像データから基板2の位置を把握するとともに、上方撮像カメラ15bをマスク14に設けられたマスク側マーク14mの下方に位置させたうえで上方撮像カメラ15bにマスク側マーク14mの撮像を行わせてその画像データからマスク14の位置を把握する。そして、基板保持ユニット12を水平面内方向に移動させ、基板側マーク2mとマスク側マーク14mとが上下に対向するようにして、マスク14に対する基板2の水平面内方向の位置合わせを行う(ステップST2)。
After holding the
制御装置20は、マスク14に対する基板2の位置合わせが終わったら、基板保持ユニット移動機構11の作動制御を行って基板保持ユニット12を基台10に対して上昇させ(図5(b)中に示す矢印C1)、一対のクランプ部材12eにより保持した基板2の上面をマスク14の下面に接触させることによって、マスク14に基板2を接触させる(ステップST3。図5(b))。これにより基板2上の電極部2aとマスク14の開口部14hとが合致した状態となる。
When the positioning of the
制御装置20は基板2をマスク14に接触させたら、マスク14上にペーストPsを供給する必要があるか否かの判断を行い(ステップST4)、その結果、マスク14上にペーストPsを供給する必要があると判断したときには、スキージユニット移動機構16Aの作動制御を行ってペースト供給シリンジ16dをマスク14の上方の所定の位置へ移動させ、ペースト吐出機構16Bの作動制御を行って、ペースト供給シリンジ16dよりペーストPsをマスク14上に吐出供給させる(ステップST5。図5(b))。
When the
制御装置20は、ステップST5でマスク14上にペーストPsを供給し、或いはステップST4でマスク14上にペーストPsを供給する必要がないと判断したときには、スキージ16bによるスキージングを行って、予めマスク14上に供給されたペーストPsを基板2の電極部2aに転写させる(ステップST6)。
When the
制御装置20は、ステップST6では、基板2の1枚当たり、後方側のスキージ16bによるスキージングと前方側のスキージ16bによるスキージングのうち一方を1回実行する。制御装置20は、後方側のスキージ16bによるスキージングを行う場合には、後方側のスキージ16bが後方側のクランプ部材12eの上方に位置するようにスキージユニット16全体を移動させたうえで後方側のスキージ16bを下動させ(図6(a)中に示す矢印D1)、後方側のスキージ16bをマスク14の上面に当接させた状態を維持したままベース部16aを前方に移動(図6(b)中に示す矢印E)させることによって行う。
In step ST <b> 6, the
制御装置20は、後方側のスキージ16bが前方側のクランプ部材12eの上方領域に達したら(図7(a))、後方側のスキージ16bを上昇させて初期位置(高さ)に復帰させる(図7(b)。図中に示す矢印D2)。この後方側のスキージ16bによるスキージング(マスク14上での摺動)によってペーストPsはマスク14の後方側から前方側に掻き寄せられ、その間にペーストPsはマスク14の開口部14h内に充填されて基板2の電極部2a上に転写される。
When the
この後方側のスキージ16bによるスキージングでは、マスク14に対するスキージ16bの水平方向への移動の途中で(但し、後方側のスキージ16bがマスク14に設けられた全ての開口部14hの上方を通過した後)、スキージ16bをマスク14に対して上昇させ(図8中に示す矢印F)、マスク14から離間させた状態でスキージ16bの水平方向移動を停止させるようにする(図8)。このようにすると、ペーストPsの粘度が低いローリング中にマスク14に対するスキージ16bの上昇が行われるので、スキージ16bをマスク14から離間させる際に引き上げるペーストの量が少なくなり、ペーストPsが上方に先細りの状態になりにくくなり、したがって次の前方側のスキージ16bによるスキージングのときにペーストPsの倒れ込みによる空気の巻き込みが生じにくくなる。
In the squeegeeing by the
また、制御装置20は、スキージ16bの水平方向移動を停止させた直後には、それまで水平方向移動させていた方向とは反対の方向(ここでは後方)にスキージ16bを移動させて(図9中に示す矢印G)、マスク14上のペーストPsからスキージ16bが離れ易くなるようにする(図9)。
Further, immediately after stopping the movement of the
制御装置20は、基板2の電極部2aにペーストPsを転写させたら、基板保持ユニット移動機構11を作動させ、基板保持ユニット12を下降させることによって基板2をマスク14から離間させ(図10(a)中に示す矢印C2)、版離れを行う(ステップST7。図10(a))。これにより基板2の電極部2a上にペーストPsが残留し、基板2にペーストPsが印刷された状態となる。
When the paste Ps is transferred to the
制御装置20は版離れを行ったら、基板保持ユニット12による基板2の保持を解除する(ステップST8)。この基板2の保持の解除は、具体的には、制御装置20が、クランプ部材駆動機構12Bの作動制御を行ってクランプ部材12eを開かせたうえで(図10(b)中に示す矢印B2)、基板昇降シリンダ12dを作動させて基板2を下降させ(図10(b)中に示す矢印A2)、基板2の両端を一対の基板搬送コンベア12b上に降ろすことによって行う(図10(b))。
When the
制御装置20は基板2の保持を解除したら、基板搬送コンベア12bを作動させて基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(ステップST9)。
When the holding of the
このようにして基板2の1枚当たりのスクリーン印刷が終了したら、次に投入された基板2に対して上記ステップST1〜ステップST9を同様の手順で実行する。但し、今度はステップST6のペースト転写工程は、前方側のスキージ16bによるスキージングによって行い、以後、新しい基板2が投入されるごとに、後方側のスキージ16bによるスキージングと前方側のスキージ16bによるスキージングを交互に実行する。
When screen printing per
この前方側のスキージ16bによるスキージングにおいても、後方側のスキージ16bによるスキージングの場合と同様に、マスク14に対するスキージ16bの水平方向への移動の途中で(但し、前方側のスキージ16bがマスク14に設けられた全ての開口部14hの上方を通過した後)、スキージ16bをマスク14に対して上昇させ、マスク14から離間させた状態でスキージ16bの水平方向移動を停止させるようにする。また、スキージ16bの水平方向移動を停止させた直後には、それまで水平方向移動させていた方向とは反対の方向(ここでは前方)にスキージ16bを移動させて、マスク14上のペーストPsからスキージ16bが離れるようにする。
In the squeegeeing by the
このように、本実施の形態において、スキージユニット移動機構16A及びその作動制御を行う制御装置20は、基板2と接触されたマスク14にスキージ16bを当接させてスキージ16bを水平方向に移動させ、スキージ16bをマスク14上で摺動させてマスク14上のペーストPsを掻き寄せることにより、マスク14に設けられた開口部14hにペーストPsを充填させて基板2へのペーストPsの転写を行うスキージ移動制御部となっており、このスキージ移動制御部が、マスク14に対するスキージ16bの水平方向への移動の途中でスキージ16bをマスク14に対して上昇させ、マスク14から離間させた状態でスキージ16bの水平方向移動を停止させるようになっている。
Thus, in the present embodiment, the squeegee
また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1によるスクリーン印刷方法は、基板2にマスク14を接触させるマスク接触工程(ステップST3)、基板2と接触させたマスク14にスキージ16bを当接させてスキージ16bを水平方向に移動させ、スキージ16bをマスク14上で摺動させてマスク14上のペーストPsを掻き寄せることにより、マスク14に設けられた開口部14hにペーストPsを充填させて基板2へのペーストPsの転写を行うペースト転写工程(ステップST6)を含み、ペースト転写工程において、マスクに14対するスキージ16bの水平方向への移動の途中でスキージ16bをマスクに14対して上昇させ、マスク14から離間させた状態でスキージ16bの水平方向移動を停止させるようになっている。
Further, in the screen printing method by the
本実施の形態におけるスクリーン印刷機1(スクリーン印刷方法)では、マスク14に対するスキージ16bの水平方向への移動の途中でスキージ16bをマスク14に対して上昇させ、マスク14から離間させた状態でスキージ16bの水平方向移動を停止させるようにしており、ペーストPsの粘度が低いローリング中にマスク14に対するスキージ16bの上昇を行うので、スキージ16bをマスク14から離間させる際に引き上げるペーストPsの量を少なくすることができる。このためスキージ16bをマスク14から離間させた際に引き上げたペーストPsがその後のスキージ16bの摺動時に倒れ込んで空気を巻き込んでしまう事態が起きにくくなり、これにより印刷精度の低下を防ぐことができる。
In the screen printing machine 1 (screen printing method) according to the present embodiment, the
スキージをマスクから離間させた際に引き上げられたペーストがその後のスキージの摺動時に倒れ込んで空気を巻き込んでしまう事態が起きにくくしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。 Provided are a screen printing machine and a screen printing method in which it is difficult for the paste pulled up when the squeegee is separated from the mask to fall when the squeegee slides and the air is trapped.
1 スクリーン印刷機
2 基板
14 マスク
14h 開口部
16b スキージ
16A スキージユニット移動機構(スキージ移動制御部)
20 制御装置(スキージ移動制御部)
Ps ペースト
DESCRIPTION OF
20 Control device (squeegee movement control unit)
Ps paste
Claims (4)
前記基板と接触された前記マスクにスキージを当接させて水平方向に移動させ、前記スキージを前記マスク上で摺動させて前記マスク上のペーストを掻き寄せることにより、前記マスクに設けられた開口部にペーストを充填させて前記基板へのペーストの転写を行うスキージ移動制御部とを備え、
前記スキージ移動制御部は、
全ての前記開口部に前記ペーストを充填した後、前記マスクに対する前記スキージおよび前記ペーストの水平方向への移動の途中で前記スキージを前記マスクに対して上昇させ、前記マスクから離間させた状態で前記スキージの水平方向移動を停止させることを特徴とするスクリーン印刷機。 A mask in contact with the substrate;
An opening provided in the mask by bringing a squeegee into contact with the mask in contact with the substrate and moving the squeegee in a horizontal direction and sliding the squeegee on the mask to scrape the paste on the mask. A squeegee movement control unit for filling the part with paste and transferring the paste to the substrate,
The squeegee movement control unit
After filling all the openings with the paste, the squeegee with respect to the mask and the squeegee are raised with respect to the mask during the horizontal movement of the paste , and in a state of being separated from the mask A screen printing machine characterized by stopping horizontal movement of a squeegee.
前記基板と接触させた前記マスクにスキージを当接させて水平方向に移動させ、前記スキージを前記マスク上で摺動させて前記マスク上のペーストを掻き寄せることにより、前記マスクに設けられた開口部にペーストを充填させて前記基板へのペーストの転写を行うペースト転写工程とを含み、
前記ペースト転写工程において、全ての前記開口部にペーストを充填した後、前記マスクに対する前記スキージおよび前記ペーストの水平方向への移動の途中で前記スキージを前記マスクに対して上昇させ、前記マスクから離間させた状態で前記スキージの水平方向移動を停止させることを特徴とするスクリーン印刷方法。 A mask contact process for bringing the mask into contact with the substrate;
An opening provided in the mask by bringing a squeegee into contact with the mask in contact with the substrate and moving the squeegee horizontally, and sliding the squeegee on the mask to scrape the paste on the mask. Paste transfer step of filling the part with paste and transferring the paste to the substrate,
In the paste transfer step, after all the openings are filled with paste , the squeegee with respect to the mask and the squeegee are raised with respect to the mask during the horizontal movement of the paste , and separated from the mask. A screen printing method, wherein the horizontal movement of the squeegee is stopped in a state where the squeegee is moved.
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