JP5903575B2 - Screen printing machine - Google Patents

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Description

本発明は、マスク上でスキージを摺動させて基板に半田等のペーストを印刷するスクリーン印刷機に関するものである。   The present invention relates to a screen printer that prints a paste such as solder on a substrate by sliding a squeegee on a mask.

基板上の電極に半田等のペーストを印刷するスクリーン印刷機は、基板の電極の配置に応じたパターン開口を有するマスクをパターン開口と電極とが合致するようにして基板に接触させた後、マスク上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せることにより、マスクのパターン開口を介して電極にペーストを転写させるようになっている。マスクは、パターン開口が形成された金属板の周辺部に樹脂(例えばポリエステル)製のシート状部材を取り付け、このシート状部材を矩形枠状のマスク枠によって支持した構成となっている。   A screen printing machine that prints a paste such as solder on an electrode on a substrate contacts a substrate with a pattern opening corresponding to the placement of the electrode on the substrate so that the pattern opening and the electrode match, and then the mask By sliding the squeegee and scraping the paste, the paste is transferred to the electrode through the pattern opening of the mask. The mask has a configuration in which a sheet-like member made of resin (for example, polyester) is attached to the periphery of a metal plate in which pattern openings are formed, and this sheet-like member is supported by a rectangular frame-like mask frame.

このようなスクリーン印刷機では、基板上の電極にペーストを転写させた後、基板をマスクの下面から離間させて版離れを行うことにより電極にペーストを残留させるのであるが、スクリーン印刷の実行回数が増大してくると、パターン開口からマスクの下面に回り込んだペーストの粘性によって版離れ時にマスクが下方に引っ張られてマスクのテンション(樹脂製のシート状部材の張り具合)が低下してくる。このマスクのテンションの低下の程度が大きくなると、版離れのときに基板とマスクが離間するタイミングが遅れて良好な品質での印刷ができなくなってしまうことから、従来はマスクのテンションの低下の状況を種々の方法によって検知し、必要に応じてマスクの下面からペーストの残り滓を除去するマスククリーニングを行って版離れがスムーズに行われるようにしていた(例えば、特許文献1)。   In such a screen printing machine, after the paste is transferred to the electrode on the substrate, the substrate is separated from the lower surface of the mask and the plate is separated to leave the paste on the electrode. Increases, the mask is pulled downward when the plate is released due to the viscosity of the paste that has passed from the pattern opening to the lower surface of the mask, and the mask tension (the tension of the resin sheet-like member) decreases. . If the reduction in the tension of the mask becomes large, the timing at which the substrate and the mask are separated at the time of separating the plate is delayed and printing with good quality cannot be performed. Is detected by various methods, and if necessary, mask cleaning is performed to remove the remaining residue of the paste from the lower surface of the mask so that the plate separation is performed smoothly (for example, Patent Document 1).

特開2008−265219号公報JP 2008-265219 A

しかしながら、従来のスクリーン印刷機では、マスクの下面のクリーニングを行っても一旦低下したマスクのテンションが元に戻ることはないことから、マスクのテンションが予め定めた限度以下になったときにはマスク全体を新品のものと交換せざるを得なかった。このため、マスクのテンションが限度以下になる度にオペレータはマスクの交換作業を行う必要があり、その間、スクリーン印刷機の稼動停止を余儀なくされて基板の生産性の低下を招くおそれがあるという問題点があった。   However, in conventional screen printing machines, once the mask lower surface is cleaned, the reduced mask tension does not return to its original state. Therefore, when the mask tension falls below a predetermined limit, the entire mask is removed. I had to replace it with a new one. For this reason, every time the mask tension falls below the limit, the operator needs to replace the mask. During this time, the screen printing machine must be stopped and the productivity of the substrate may be reduced. There was a point.

そこで本発明は、マスクのテンションの低下に伴うマスクの交換作業の頻度を少なくして基板の生産性の低下を防止することができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing machine capable of reducing the frequency of mask replacement work accompanying a decrease in mask tension and preventing a decrease in substrate productivity.

請求項1に記載のスクリーン印刷機は、基板上の電極の配置に応じたパターン開口を有する矩形の金属板から成り、四辺に折り返し部が形成されるとともに、マスクホルダによって保持されたマスクと、前記基板を接触させた状態の前記マスク上を摺動し、前記マスク上でペーストを掻き寄せて前記基板に転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機であって、前記マスクホルダは、前記マスクの四辺を取り囲むように設けられたガイドレールと、前記ガイドレールに沿って移動自在に設けられ、前記マスクの四辺の折り返し部に係止部が係止されて前記マスクの四辺と連結された4つの連結部材と、前記ガイドレールに設けられるとともに前記各連結部材に連結された連結部材駆動部とを備え、前記連結部材駆動部は、前記4つの連結部材のうち対向するもの同士が互いに離間する方向に相対移動するように前記4つの連結部材を駆動して前記マスクにテンションを付与すScreen printing machine according to claim 1 consists of a rectangular metal plate having a pattern opening in accordance with the arrangement of the electrodes on the substrate, a mask held four sides folded portion is formed in Rutotomoni, by a mask holder, slides on the mask being in contact with the substrate, a screen printer and a squeegee which scraped the paste is transferred to the substrate on the mask, the mask holder, the mask a guide rail provided so as to surround the four sides, the guide along the rail provided movably engaging portion on the folded portion of the four sides of the mask locked by four coupled with four sides of the mask a connecting member, and a said with provided guide rails connected is connected to the coupling member member driving unit, the connecting member drive unit, the four connection In a direction to each other which faces out of the timber away from each other by driving the four coupling members for relative movement to grant tension to the mask.

請求項2に記載のスクリーン印刷機は、請求項1に記載のスクリーン印刷機であって、前記マスクのテンションを計測するテンション計測手段と、前記テンション計測手段により計測された前記マスクのテンションの値に基づいて前記連結部材駆動部の作動制御を行う連結部材駆動部制御手段とを備えた。 Screen printing machine according to claim 2 is the screen printing machine according to claim 1, and a tension measuring means for measuring the tension of said mask, said tension measuring means by the tension of the value of the mask is measured and a connecting member drive unit control means for controlling operation of the coupling member driving unit based on.

本発明では、矩形の金属板から成るマスクの四辺のそれぞれに連結された4つの連結部材を連結部材駆動部によって相対移動させてマスクにテンションを付与することができるようになっており、マスクのテンションが予め定めた限度以下になった場合であっても、マスクの交換を行うことなく、マスクにテンションを付加することでテンションの回復を図ることができる。このためマスクのテンションの低下に伴うマスクの交換作業の頻度を少なくでき、基板生産性の低下を防ぐことができる。   In the present invention, it is possible to apply tension to the mask by relatively moving the four connecting members connected to each of the four sides of the mask made of a rectangular metal plate by the connecting member driving unit. Even when the tension falls below a predetermined limit, the tension can be recovered by adding tension to the mask without replacing the mask. For this reason, it is possible to reduce the frequency of mask replacement work accompanying a decrease in mask tension, and to prevent a decrease in substrate productivity.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の斜視図The perspective view of the principal part of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の側面図The side view of the principal part of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダとマスクの斜視図(A) (b) Perspective view of a mask holder and a mask provided in a screen printing machine according to an embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダとマスクの平面図The top view of the mask holder with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is equipped, and a mask 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の流れを示すフローチャートThe flowchart which shows the flow of the screen printing work which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示す図(A) (b) The figure which shows the procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示す図(A) (b) The figure which shows the procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示す図(A) (b) The figure which shows the procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1及び図2において、スクリーン印刷機1は、基板2上に設けられた多数の電極3のそれぞれに半田等のペーストPtをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行するものであり、基台10上に設けられた基板搬入コンベア11、基板保持ユニット12及び基板搬出コンベア13、基板保持ユニット12の上方に基台10に対して固定して設けられたマスクホルダ14、マスクホルダ14によって水平姿勢に保持された矩形の金属板から成るマスク15、マスク15の上方に設けられたスキージヘッド16、マスク15の下方領域を移動自在に設けられたカメラユニット17、マスク15の上方領域を移動自在に設けられた撓み計測器18及びスクリーン印刷機1の各部の作動制御を行う制御装置19を備えている。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2, the screen printing machine 1 executes a screen printing operation in which a paste Pt such as solder is screen printed on each of a large number of electrodes 3 provided on a substrate 2. The substrate carry-in conveyor 11, the substrate holding unit 12, the substrate carry-out conveyor 13, the mask holder 14 that is fixed to the base 10 above the substrate holding unit 12, and is held in a horizontal posture by the mask holder 14. A mask 15 made of a rectangular metal plate, a squeegee head 16 provided above the mask 15, a camera unit 17 provided movably in a lower area of the mask 15, and an upper area of the mask 15 provided movably. And a control device 19 for controlling the operation of each part of the deflection measuring instrument 18 and the screen printing machine 1.

基板搬入コンベア11はスクリーン印刷機1の外部から投入された基板2を搬入し(図1中に示す矢印R1)、基板保持ユニット12に受け渡す。基板搬出コンベア13は基板保持ユニット12から受け取った基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(図1中に示す矢印R2)。すなわち基板2は基板搬入コンベア11、基板保持ユニット12、基板搬出コンベア13の順で搬送され、この基板2の移動方向を以下、X軸方向(前後方向)とする。また、このX軸方向と直交する水平面内方向をY軸方向(左右方向)とし、上下方向をZ軸方向とする。   The substrate carry-in conveyor 11 carries the substrate 2 loaded from the outside of the screen printing machine 1 (arrow R1 shown in FIG. 1) and delivers it to the substrate holding unit 12. The substrate carry-out conveyor 13 carries the substrate 2 received from the substrate holding unit 12 out of the screen printer 1 (arrow R2 shown in FIG. 1). That is, the board | substrate 2 is conveyed in order of the board | substrate carrying-in conveyor 11, the board | substrate holding | maintenance unit 12, and the board | substrate carrying-out conveyor 13, and let the moving direction of this board | substrate 2 be the X-axis direction (front-back direction) hereafter. Further, the horizontal plane direction orthogonal to the X-axis direction is defined as the Y-axis direction (left-right direction), and the vertical direction is defined as the Z-axis direction.

基板保持ユニット12は、XYZロボットから成るユニット移動機構12Aによって水平面内(XY面内)の方向への移動(回転も含む)及びZ軸方向への移動が自在なユニットベース21、ユニットベース21に取り付けられた一対のコンベア22、ユニットベース21に設けられた下受け部昇降シリンダ23によって昇降され、コンベア22によって所定の作業位置(図1に示す位置)に搬送及び位置決めされた基板2の両端がコンベア22から上方に離間するように基板2を下方から持ち上げ支持する下受け部24及びY軸方向に開閉自在に設けられ、下受け部24により持ち上げ支持された基板2の両側部をY軸方向から挟んで(クランプして)保持する一対のクランプ部材25を備えている。   The substrate holding unit 12 includes a unit base 21 and a unit base 21 that can be moved (including rotation) in the horizontal plane (in the XY plane) and moved in the Z-axis direction by a unit moving mechanism 12A composed of an XYZ robot. A pair of attached conveyors 22 and a lower receiving part raising / lowering cylinder 23 provided on the unit base 21 are lifted and lowered, and both ends of the substrate 2 conveyed and positioned by the conveyor 22 to a predetermined work position (position shown in FIG. 1) A lower receiving portion 24 that lifts and supports the substrate 2 from below so as to be spaced apart from the conveyor 22 and a Y-axis direction that can be opened and closed, and both sides of the substrate 2 lifted and supported by the lower receiving portion 24 are arranged in the Y-axis direction. A pair of clamp members 25 that are sandwiched (clamped) and held are provided.

図3及び図4において、マスク15の中央領域には基板2上の電極3の配置に対応した多数のパターン開口15aが設けられており、四辺のそれぞれにはマスク15の上面から内方へ向かって折り返された折り返し部15bが設けられている。   3 and 4, a large number of pattern openings 15 a corresponding to the arrangement of the electrodes 3 on the substrate 2 are provided in the central region of the mask 15, and each of the four sides is directed inward from the upper surface of the mask 15. A folded portion 15b that is folded back is provided.

図3及び図4において、マスクホルダ14は、マスク15の四辺のそれぞれに連結される4つの連結部材30を備えて成る。これら4つの連結部材30は、Y軸方向に延びてマスク15のX軸方向に対向する両辺(マスク15の縦辺)それぞれに連結される2つの左右辺連結部材31と、X軸方向に延びてマスク15のY軸方向に対向する両辺(マスク15の横辺)それぞれに連結される2つの前後辺連結部材32から成る。2つの左右辺連結部材31は、これら2つの左右辺連結部材31と直交する方向(X軸方向)に延びた一対のX軸方向移動ガイドレール33に沿ってX軸方向に移動自在であり、2つの前後辺連結部材32は、これら2つの前後辺連結部材32と直交する方向(Y軸方向)に延びた一対のY軸方向移動ガイドレール34に沿ってY軸方向に移動自在である。   3 and 4, the mask holder 14 includes four connecting members 30 connected to each of the four sides of the mask 15. These four connecting members 30 extend in the X-axis direction, and two left and right side connecting members 31 that extend in the Y-axis direction and are connected to both sides (vertical sides of the mask 15) facing the X-axis direction of the mask 15. And two front and rear side connecting members 32 connected to both sides of the mask 15 facing in the Y-axis direction (lateral sides of the mask 15). The two left and right side connecting members 31 are movable in the X axis direction along a pair of X axis direction moving guide rails 33 extending in a direction orthogonal to the two left and right side connecting members 31 (X axis direction). The two front and rear side connecting members 32 are movable in the Y axis direction along a pair of Y axis direction moving guide rails 34 extending in a direction (Y axis direction) orthogonal to the two front and rear side connecting members 32.

図3及び図4において、4つの連結部材30(2つの左右辺連結部材31および2つの前後辺連結部材32)それぞれの上部には、マスク15の四辺に設けられた各折り返し部15bに係合してその折り返し部15bを連結部材30に対して固定するフック状の係止部30aが設けられている。各係止部30aは連結部材30に取り付けられたヒンジ部30hを揺動支点として上方に跳ね上げられたロック解除位置(図3(a))とロック解除位置から水平姿勢に倒伏されたロック位置(図3(b))との間で揺動自在であり、マスク15は、各係止部30aがロック解除位置に位置された状態で四辺が4つの連結部材30の上に載置された後、マスクホルダ14の係止部30aがロック位置に倒伏される。これにより4つの係止部30aがマスク15の四辺の各折り返し部15bに係止され(図3(a)→図3(b))、マスク15がマスクホルダ14によって保持された状態となる。   3 and 4, the upper portions of the four connecting members 30 (the two left and right side connecting members 31 and the two front and rear side connecting members 32) are engaged with the folded portions 15b provided on the four sides of the mask 15, respectively. Then, a hook-like locking portion 30 a that fixes the folded portion 15 b to the connecting member 30 is provided. Each locking portion 30a has a lock release position (FIG. 3 (a)) that is flipped upward with a hinge 30h attached to the connecting member 30 as a swing fulcrum, and a lock position that has fallen to a horizontal posture from the lock release position. (FIG. 3B), and the mask 15 is placed on the four connecting members 30 with four sides in a state where the respective locking portions 30a are positioned at the unlocking position. Thereafter, the locking portion 30a of the mask holder 14 is laid down to the locked position. As a result, the four locking portions 30a are locked to the folded portions 15b on the four sides of the mask 15 (FIG. 3 (a) → FIG. 3 (b)), and the mask 15 is held by the mask holder 14.

図3及び図4において、マスクホルダ14を構成する2つのY軸方向移動ガイドレール34と2つのX軸方向移動ガイドレール33にはそれぞれ連結部材駆動シリンダ35が設けられている。これら4つの連結部材駆動シリンダ35のうちY軸方向移動ガイドレール34に取り付けられた2つはX軸方向に延びたピストンロッドを左右辺連結部材31に連結させており、ピストンロッドを進退させることで一対の左右辺連結部材31をX軸方向移動ガイドレール33に沿って(すなわちX軸方向に)互いに反対方向に移動させる。一方、4つの連結部材駆動シリンダ35のうちX軸方向移動ガイドレール33に取り付けられた他の2つの連結部材駆動シリンダ35はY軸方向に延びたピストンロッドを前後辺連結部材32に連結させており、ピストンロッドを進退させることで一対の前後辺連結部材32をY軸方向移動ガイドレール34に沿って(すなわちY軸方向に)互いに反対方向に移動させる。このため、マスク15の四辺に4つの連結部材30を連結させた状態で4つの連結部材駆動シリンダ35を同時に作動させ、4つの連結部材30を対向するもの同士が互いに離間する方向に移動させてマスク15全体を水平面内方向に引っ張ることにより、マスク15にテンションを付与することができる(図4中に示す矢印P)。   3 and 4, the two Y-axis direction moving guide rails 34 and the two X-axis direction moving guide rails 33 constituting the mask holder 14 are provided with connecting member drive cylinders 35, respectively. Of these four connecting member drive cylinders 35, two attached to the Y-axis direction moving guide rail 34 connect the piston rod extending in the X-axis direction to the left and right side connecting members 31, and advance and retract the piston rod. Then, the pair of left and right side connecting members 31 are moved in the opposite directions along the X-axis direction moving guide rail 33 (that is, in the X-axis direction). On the other hand, of the four connecting member drive cylinders 35, the other two connecting member drive cylinders 35 attached to the X-axis direction moving guide rail 33 connect the piston rods extending in the Y-axis direction to the front and rear side connecting members 32. Then, by moving the piston rod back and forth, the pair of front and rear side connecting members 32 are moved in opposite directions along the Y-axis direction moving guide rail 34 (that is, in the Y-axis direction). For this reason, the four connecting member drive cylinders 35 are simultaneously operated in a state where the four connecting members 30 are connected to the four sides of the mask 15, and the four connecting members 30 are moved in a direction away from each other. By pulling the entire mask 15 in the horizontal plane direction, tension can be applied to the mask 15 (arrow P shown in FIG. 4).

図1及び図2において、スキージヘッド16は、マスクホルダ14に保持されたマスク15の上方領域をY軸方向に移動自在に設けられたプレート状のベース部材41、ベース部材41に取り付けられてピストンロッド42aをベース部材41の下方に突出させた2つのスキージ昇降シリンダ42、各スキージ昇降シリンダ42のピストンロッド42aの下端に取り付けられてX軸方向に延びたスキージ保持具43及び各スキージ保持具43に上端部が保持されて斜め下方に延びた薄板部材から成る2つのスキージ44を備えている。   1 and 2, a squeegee head 16 is attached to a plate-like base member 41 and a base member 41 which are provided so as to be movable in the Y-axis direction in an upper region of a mask 15 held by a mask holder 14. Two squeegee lifting cylinders 42 with rods 42a projecting below the base member 41, squeegee holders 43 attached to the lower ends of the piston rods 42a of the squeegee lifting cylinders 42 and extending in the X-axis direction, and squeegee holders 43 Are provided with two squeegees 44 each made of a thin plate member having an upper end held and extending obliquely downward.

スクリーン印刷機1の操作を行うオペレータ(図示せず)は通常、2つのスキージ44が対向する方向(Y軸方向)の一方側に位置しており、ここではオペレータが位置する側をスクリーン印刷機1の前方、その反対側をスクリーン印刷機1の後方とする。   An operator (not shown) for operating the screen printing machine 1 is usually located on one side in the direction in which the two squeegees 44 face each other (Y-axis direction). Here, the side on which the operator is located is the screen printing machine. The front side of 1 is the rear side of the screen printing machine 1.

図1及び図2において、カメラユニット17は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ17aと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ17bを備えて成る。カメラユニット17は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構17Mによってマスク15の下方領域を水平面内方向に移動される。   1 and 2, the camera unit 17 includes a lower imaging camera 17a having an imaging field of view directed downward and an upper imaging camera 17b having an imaging field of view directed upward. The camera unit 17 is moved in the horizontal plane in the area below the mask 15 by a camera unit moving mechanism 17M including an actuator (not shown).

撓み計測器18は、図示しないアクチュエータ等から成る撓み計測器移動機構18M(図2)によって、マスクホルダ14に保持されたマスク15の中心部の上方の位置(計測位置)と、計測位置から水平方向に退避した退避位置との間を往復する。撓み計測器18は、上記計測位置に位置した状態から下方に向けてレーザ光を照射し、マスク15の中心部において反射したレーザ光の反射光を受光することによって撓み計測器18の位置(高さ)を基準とした下方距離を求め、これによりマスク15の中心部の高さ計測を行う。   The deflection measuring instrument 18 is positioned horizontally from the position (measurement position) above the center portion of the mask 15 held by the mask holder 14 by the deflection measuring instrument moving mechanism 18M (FIG. 2) including an actuator (not shown). Reciprocate between the retracted position retracted in the direction. The deflection measuring device 18 irradiates laser light downward from the state at the measurement position, and receives the reflected light of the laser beam reflected at the central portion of the mask 15 to receive the position (high height) of the deflection measuring device 18. )) As a reference, and the height of the central portion of the mask 15 is measured.

基板保持ユニット12のコンベア22による基板2の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板2に対する下受け部24による下受け動作及び一対のクランプ部材25によるクランプ動作は、制御装置19が下受け部昇降シリンダ23を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構12B(図2)の作動制御を行うことによってなされ、基板2を保持した基板保持ユニット12の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御装置19がユニット移動機構12Aの作動制御を行うことによってなされる。また、基板搬入コンベア11による基板2の搬入動作及び基板搬出コンベア13による基板2の搬出動作も制御装置19によってなされる。   The substrate holding unit 12 conveys the substrate 2 by the conveyor 22 and positions the substrate 2 at the work position. The substrate receiving unit 24 is positioned at the work position by the lower receiving portion 24 and the clamp member 25 is clamped by the control device 19. 2 is performed by controlling the operation of the substrate holding mechanism 12B (FIG. 2) including an actuator including the lower receiving part raising / lowering cylinder 23, and the movement operation in the horizontal plane direction and the vertical direction of the substrate holding unit 12 holding the substrate 2 is performed. This is done by the control device 19 controlling the operation of the unit moving mechanism 12A. Further, the control device 19 also carries in the operation of loading the substrate 2 by the substrate carry-in conveyor 11 and the operation of carrying out the substrate 2 by the substrate carry-out conveyor 13.

図1において、スキージヘッド16(ベース部材41)のY軸方向への往復移動動作は制御装置19が図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構16M(図2)の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ44のベース部材41に対する昇降動作は、制御装置19がそのスキージ44に対応するスキージ昇降シリンダ42の作動制御を行ってスキージ保持具43を上下させることによってなされる。   In FIG. 1, the reciprocating movement of the squeegee head 16 (base member 41) in the Y-axis direction is performed when the control device 19 controls the operation of a squeegee head moving mechanism 16M (FIG. 2) including an actuator (not shown). The raising / lowering operation of each squeegee 44 with respect to the base member 41 is performed by the control device 19 performing the operation control of the squeegee raising / lowering cylinder 42 corresponding to the squeegee 44 to move the squeegee holder 43 up and down.

図2において、カメラユニット17の水平面内での移動動作は、制御装置19がカメラユニット移動機構17Mの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ17aによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ17bによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置19によってなされ、下方撮像カメラ17aの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ17bの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置19に送信されて制御装置19の画像認識部19aにおいて画像認識処理される。   In FIG. 2, the movement operation of the camera unit 17 in the horizontal plane is performed by the control device 19 performing operation control of the camera unit movement mechanism 17M. Control of the imaging operation by the lower imaging camera 17a and the imaging operation by the upper imaging camera 17b are respectively performed by the control device 19, and obtained by the image data obtained by the imaging operation of the lower imaging camera 17a and the imaging operation of the upper imaging camera 17b. The received image data is transmitted to the control device 19 and subjected to image recognition processing in the image recognition unit 19a of the control device 19.

図2において、撓み計測器18の水平面内での移動動作は、制御装置19が前述の撓み計測器移動機構18Mの作動制御を行うことによってなされる。また、撓み計測器18によるマスク15の中心部の高さ計測も制御装置19によってなされる。   In FIG. 2, the movement operation of the deflection measuring instrument 18 in the horizontal plane is performed by the control device 19 performing the operation control of the aforementioned deflection measuring instrument moving mechanism 18M. Further, the control device 19 also measures the height of the center portion of the mask 15 by the deflection measuring instrument 18.

このような構成のスクリーン印刷機1がスクリーン印刷作業を行う場合には、制御装置19は先ず、上流工程側の他の装置から基板2が送られてきたことを検知したところで基板搬入コンベア11と基板保持ユニット12のコンベア22を作動させ、スクリーン印刷機1内に基板2を搬入したうえで(図5に示すステップST1)、基板保持機構12Bの作動制御を行って基板2を保持する(図5に示すステップST2。図6(a))。基板2の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ23で下受け部24を押し上げて基板2をコンベア22から浮いた状態に持ち上げる一方(図6(a)中に示す矢印A1)、一対のクランプ部材25を閉じる方向に駆動して基板2の両端を挟み込む(図6(a)中に示す矢印B1)ことによって行う。   When the screen printing machine 1 having such a configuration performs a screen printing operation, the control device 19 first detects that the substrate 2 has been sent from another device on the upstream process side and the substrate carry-in conveyor 11. The conveyor 22 of the substrate holding unit 12 is operated to carry the substrate 2 into the screen printing machine 1 (step ST1 shown in FIG. 5), and then the operation of the substrate holding mechanism 12B is controlled to hold the substrate 2 (FIG. Step ST2 shown in Fig. 5 (a)). Specifically, the holding of the substrate 2 is performed by pushing up the lower receiving portion 24 by the lower receiving portion lifting cylinder 23 and lifting the substrate 2 from the conveyor 22 (arrow A1 shown in FIG. 6A), This is done by driving the pair of clamp members 25 in the closing direction and sandwiching both ends of the substrate 2 (arrow B1 shown in FIG. 6A).

制御装置19は基板2を保持したら、カメラユニット移動機構17Mの作動制御を行い、下方撮像カメラ17aを基板2に設けられた基板側マーク2m(図1)の直上に位置させて下方撮像カメラ17aに基板側マーク2mの撮像を行わせる一方、上方撮像カメラ17bをマスク15に設けられたマスク側マーク15m(図1、図3及び図4)の直下に位置させて上方撮像カメラ17bにマスク側マーク15mの撮像を行わせる。そして、得られた基板側マーク2mの画像データから基板2の位置を把握するとともに、得られたマスク側マーク15mの画像データからマスク15の位置を把握し、基板保持ユニット12を水平面内方向に移動させ、基板側マーク2mとマスク側マーク15mとが上下に対向するようにして、マスク15に対する基板2の水平面内方向の位置合わせを行う(図5に示すステップST3)。   After holding the substrate 2, the control device 19 controls the operation of the camera unit moving mechanism 17M, positions the lower imaging camera 17a directly above the substrate-side mark 2m (FIG. 1) provided on the substrate 2, and lowers the imaging camera 17a. The upper imaging camera 17b is positioned immediately below the mask side mark 15m (FIGS. 1, 3, and 4) provided on the mask 15 so that the upper imaging camera 17b is on the mask side. The mark 15m is imaged. And while grasping | ascertaining the position of the board | substrate 2 from the image data of the obtained board | substrate side mark 2m, the position of the mask 15 is grasped | ascertained from the image data of the obtained mask side mark 15m, and the board | substrate holding | maintenance unit 12 is made into a horizontal surface inward direction. The substrate 2 mark and the mask side mark 15m are vertically moved so that the substrate 2 is aligned in the horizontal plane with respect to the mask 15 (step ST3 shown in FIG. 5).

制御装置19は、マスク15に対する基板2の位置合わせが終わったら、ユニット移動機構12Aの作動制御を行って基板保持ユニット12を基台10に対して上昇させ(図6(b)中に示す矢印C1)、基板2を保持した一対のクランプ部材25がマスク15の下面に相対的に下方から押し当てられるようにすることにより、一対のクランプ部材25及び基板2それぞれの上面をマスク15の下面に接触させる(図5に示すステップST4。図6(b))。これにより基板2上の電極3とマスク15のパターン開口15aとが合致した状態となる。   When the alignment of the substrate 2 with respect to the mask 15 is completed, the control device 19 controls the operation of the unit moving mechanism 12A to raise the substrate holding unit 12 with respect to the base 10 (arrows shown in FIG. 6B). C1) By making the pair of clamp members 25 holding the substrate 2 relatively pressed against the lower surface of the mask 15 from below, the upper surfaces of the pair of clamp members 25 and the substrate 2 are made lower surfaces of the mask 15. Contact is made (step ST4 shown in FIG. 5; FIG. 6B). As a result, the electrode 3 on the substrate 2 and the pattern opening 15a of the mask 15 are brought into alignment.

制御装置19は基板2をマスク15に接触させたら、制御装置19に繋がるディスプレイ装置DP(図2)に、オペレータにペーストPtの供給を促すメッセージを表示する(図5に示すステップST5)。この表示に対してオペレータは、現時点でマスク15上に残っているペーストPtを目視し、そのペーストPtの量に基づいてペーストPtの供給(補充)を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストPtの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ(図示せず)により、マスク15上にペーストPtの供給を行う。そしてオペレータは、ペーストPtの供給が終わり、或いはペーストPtの供給が不要と判断したときにはマスク15上へのペーストPtの供給を行うことなく、制御装置19に繋がる動作再開ボタンBT(図2)の操作を行う。   When the control device 19 brings the substrate 2 into contact with the mask 15, the control device 19 displays a message prompting the operator to supply the paste Pt on the display device DP (FIG. 2) connected to the control device 19 (step ST5 shown in FIG. 5). In response to this display, the operator visually checks the paste Pt remaining on the mask 15 at this time, and determines whether or not to supply (supplement) the paste Pt based on the amount of the paste Pt. When it is determined that the paste Pt should be supplied, the paste Pt is supplied onto the mask 15 by a separately provided paste supply syringe (not shown). Then, when the operator determines that the supply of the paste Pt is finished or the supply of the paste Pt is unnecessary, the operation restart button BT (FIG. 2) connected to the control device 19 is not performed without supplying the paste Pt onto the mask 15. Perform the operation.

制御装置19は、ディスプレイ装置DPにペーストPtの供給を促すメッセージを表示した後、動作再開ボタンBTの操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い(図5に示すステップST6)、動作再開ボタンBTからの信号出力に基づいて、オペレータによって動作再開ボタンBTの操作がなされたことを検知したときには、スキージ44によるスキージングを行ってマスク15上のペーストPtを基板2に転写させる(図5に示すステップST7)。   The control device 19 displays a message for prompting the supply of the paste Pt on the display device DP, and then determines whether or not the operation restart button BT has been operated at regular intervals (step ST6 shown in FIG. 5). When it is detected based on the signal output from the restart button BT that the operator has operated the operation restart button BT, the squeegee 44 performs squeegeeing to transfer the paste Pt on the mask 15 to the substrate 2 (FIG. Step ST7 shown in FIG.

このスキージングは、具体的には、スキージヘッド16から2つのスキージ44のうちの一方を下降させ、マスク15の上面に当接させた状態を維持したままベース部材41をY軸方向に移動させることによって行う(図7(a)中に示す矢印D)。これによりマスク15上でスキージ44が摺動し、マスク15上のペーストPtはスキージ44によって掻き寄せられてマスク15のパターン開口15a内に押し込まれ、基板2の電極3上に転写される。なお、制御装置19は、スキージヘッド16を前方から後方に移動させてスキージングを行うときには後側のスキージ44をマスク15上に当接させ、スキージヘッド16を後方から前方に移動させてスキージングを行うときには前側のスキージ44をマスク15上に当接させるようにする。   Specifically, this squeezing moves one of the two squeegees 44 down from the squeegee head 16 and moves the base member 41 in the Y-axis direction while maintaining the state in contact with the upper surface of the mask 15. (Arrow D shown in FIG. 7A). As a result, the squeegee 44 slides on the mask 15, and the paste Pt on the mask 15 is scraped up by the squeegee 44, pushed into the pattern opening 15 a of the mask 15, and transferred onto the electrode 3 of the substrate 2. When squeezing by moving the squeegee head 16 from the front to the rear, the control device 19 abuts the squeegee 44 on the rear side on the mask 15 and moves the squeegee head 16 from the rear to the front. When performing, the front squeegee 44 is brought into contact with the mask 15.

制御装置19は、スキージングを行って基板2にペーストPtを転写させたら、ユニット移動機構12Aを作動させて基板保持ユニット12を下降させ(図7(b)及び図8(a)中に示す矢印C2)、マスク15から基板2及び一対のクランプ部材25を離間させて版離れを行う(図5に示すステップST8。図8(a))。これにより基板2の電極3上にペーストPtが残留し、基板2にペーストPtが印刷された状態となる。   After squeezing and transferring the paste Pt to the substrate 2, the control device 19 operates the unit moving mechanism 12A to lower the substrate holding unit 12 (shown in FIGS. 7B and 8A). Arrow C2), the substrate 2 and the pair of clamp members 25 are separated from the mask 15 to release the plate (step ST8 shown in FIG. 5; FIG. 8A). As a result, the paste Pt remains on the electrode 3 of the substrate 2 and the paste Pt is printed on the substrate 2.

なお、この版離れのとき、マスク15はパターン開口15aからマスク15の下面に回り込んで基板2との間に入り込んだペーストPtの粘性によって下方に引っ張られて一時的に下方に撓んだ状態となった後(図7(b))、マスク15の弾性によってもとの形状に復帰する(図8(a))。このときマスク15のテンションが低下しているときほどマスク15がもとの形状に復帰するのが遅れ、スムーズな版離れがなされずに印刷品質が低下することになる。   When the plate is separated, the mask 15 is bent downward due to the viscosity of the paste Pt that goes around the lower surface of the mask 15 through the pattern opening 15a and enters between the substrate 2 and temporarily bent downward. After that (FIG. 7B), the original shape is restored by the elasticity of the mask 15 (FIG. 8A). At this time, the lower the tension of the mask 15 is, the slower the mask 15 is restored to its original shape, and the smooth print separation is not performed and the print quality is lowered.

制御装置19は版離れが終わったら、基板保持ユニット12による基板2の保持を解除する(図5に示すステップST9。図8(b))。この基板2の保持の解除は、具体的には、制御装置19が基板保持機構12Bを作動させて一対のクランプ部材25を開かせたうえで(図8(b)中に示す矢印B2)、下受け部24を下降させ(図8(b)中に示す矢印A2)、基板2の両端を一対のコンベア22上に降ろすことによって行う。   When the plate separation is completed, the control device 19 releases the holding of the substrate 2 by the substrate holding unit 12 (step ST9 shown in FIG. 5; FIG. 8B). Specifically, the release of holding of the substrate 2 is performed after the control device 19 operates the substrate holding mechanism 12B to open the pair of clamp members 25 (arrow B2 shown in FIG. 8B). The lower receiving portion 24 is lowered (arrow A2 shown in FIG. 8B), and both ends of the substrate 2 are lowered onto the pair of conveyors 22.

制御装置19は基板2の保持を解除したら、ユニット移動機構12Aを作動させて基板保持ユニット12を水平面内で移動させ、コンベア22の向きを整えたうえでコンベア22及び基板搬出コンベア13を作動させ、基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(図5に示すステップST10)。   After releasing the holding of the substrate 2, the control device 19 operates the unit moving mechanism 12 </ b> A to move the substrate holding unit 12 in the horizontal plane, aligns the direction of the conveyor 22, and operates the conveyor 22 and the substrate carry-out conveyor 13. Then, the substrate 2 is carried out of the screen printer 1 (step ST10 shown in FIG. 5).

制御装置19は基板2を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(図5に示すステップST11)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   After unloading the substrate 2, the control device 19 determines whether there is another substrate 2 to be screen printed (step ST11 shown in FIG. 5). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing operations. Exit.

スクリーン印刷機1の制御装置19はスクリーン印刷作業を上記手順によって行うが、撓み計測器18を用いたマスク15の中心部の下方撓みの計測と必要に応じた4つの連結部材駆動シリンダ35の作動とを適宜行うことによって、マスク15のテンションが低下することによる印刷品質の低下を防止するようにしている。   The control device 19 of the screen printing machine 1 performs the screen printing operation according to the above procedure, and measures the downward deflection of the central portion of the mask 15 using the deflection measuring device 18 and operates the four connecting member drive cylinders 35 as necessary. Is appropriately performed to prevent a decrease in print quality due to a decrease in the tension of the mask 15.

具体的には、制御装置19は印刷枚数カウンタ19b(図2)によって、上記ステップST1〜ステップST10のスクリーン印刷作業を実行した回数からスクリーン印刷を施した基板2の枚数をカウントしており、スクリーン印刷を施した基板2の枚数が予め定めた基準の枚数に達したことを検知したときには、その次に行われるスクリーン印刷作業の版離れ工程(ステップST8)において、撓み計測器18を退避位置から計測位置に移動させてマスク15の中心部の下方撓みδ(図6(b))の計測を行う。この撓みδはマスク15の張り具合、すなわちマスク15のテンションが大きいときは小さく、マスク15のテンションが小さいときは大きくなるものであって、撓み計測器18はマスク15の撓みδからマスク15のテンションを計測するテンション計測手段となっている。   Specifically, the control device 19 counts the number of substrates 2 on which screen printing has been performed from the number of times the screen printing operations in steps ST1 to ST10 have been performed, using the print number counter 19b (FIG. 2). When it is detected that the number of printed substrates 2 has reached a predetermined reference number, the deflection measuring instrument 18 is moved from the retracted position in the plate separation process (step ST8) of the next screen printing operation. It is moved to the measurement position and the downward deflection δ (FIG. 6B) at the center of the mask 15 is measured. This deflection δ is small when the tension of the mask 15 is large, that is, when the tension of the mask 15 is large, and is large when the tension of the mask 15 is small. It is a tension measuring means for measuring the tension.

この撓み計測器18によるマスク15の中心部の下方撓みδの計測では、先ず、版離れを行う直前の下方に撓んでいない状態のマスク15の中心部の高さを測定し(この値は常に同じであるので計測は最初だけでよい)、次に、版離れを行っている間、下方に撓んでいる状態のマスク15の中心部の下方距離を測定する。そして、得られたマスク15の中心部の下方距離の最大値(この下方距離の最大値は、マスク15が基板2から離れる直前に計測される)との差分を算出し、得られた差分の値をマスク15の中心部の下方撓みδとする。   In the measurement of the downward deflection δ of the central portion of the mask 15 by the deflection measuring instrument 18, first, the height of the central portion of the mask 15 that is not bent downward immediately before the plate separation is measured (this value is always constant). Since the measurement is the same, only the first measurement is necessary.) Next, while the plate is being separated, the lower distance of the center portion of the mask 15 in the state of being bent downward is measured. And the difference with the maximum value of the downward distance of the center part of the obtained mask 15 (this maximum value of this downward distance is measured immediately before the mask 15 leaves | separates from the board | substrate 2) is calculated, and the difference of the obtained difference is calculated. The value is defined as a downward deflection δ at the center of the mask 15.

制御装置19は、上記のようにしてマスク15の中心部の下方撓みδを計測したら、得られた下方撓みδを予め定めた閾値と比較する。そして、その結果、計測したマスク15の中心部の下方撓みδが閾値以上となっていると判断したときには、4つの連結部材駆動シリンダ35を作動させてマスク15にテンションを付与する。   When the control device 19 measures the downward deflection δ of the central portion of the mask 15 as described above, it compares the obtained downward deflection δ with a predetermined threshold value. As a result, when it is determined that the measured downward deflection δ of the central portion of the mask 15 is equal to or greater than the threshold value, the four connecting member drive cylinders 35 are operated to apply tension to the mask 15.

このように、本実施の形態において、制御装置19は、テンション計測手段である撓み計測器18により計測されたマスク15のテンションの値に基づいて連結部材駆動部である連結部材駆動シリンダ35の作動制御を行う連結部材駆動部制御手段となっている。   As described above, in the present embodiment, the control device 19 operates the connection member drive cylinder 35 that is the connection member drive unit based on the tension value of the mask 15 measured by the deflection measuring device 18 that is the tension measurement unit. It is a connecting member driving unit control means for performing control.

なお、このとき制御装置19が各連結部材駆動シリンダ35を駆動する駆動力は、マスク15のテンションが正常状態になる(下方たわみδが閾値を下回るようになる)値として下方撓みδの値ごとに予め定められており、テーブルの形式で上記閾値とともに制御装置19の記憶部19c(図2)に記憶されている。   At this time, the driving force by which the control device 19 drives each connecting member drive cylinder 35 is the value of the downward deflection δ as the value at which the tension of the mask 15 becomes normal (the downward deflection δ falls below the threshold value). Are stored in the storage unit 19c (FIG. 2) of the control device 19 together with the threshold values in the form of a table.

このようなスクリーン印刷機1が備えるマスク15のテンション調整機能により、スクリーン印刷作業を繰り返し実行することによってマスク15のテンションが低下していた場合であっても、オペレータがマスク15の交換作業を行うことなく、マスク15のテンションを回復させることができる。なお、制御装置19は、計測したマスク15の中心部の下方撓みδが閾値以上となっていなかった場合には、その次に行われる版離れ工程(ステップST8)においてもマスク15の中心部の下方撓みδの計測を行い、改めて閾値との比較を行うようにする。   Even if the tension of the mask 15 is reduced by repeatedly executing the screen printing operation by the tension adjusting function of the mask 15 provided in the screen printing machine 1, the operator performs the replacement operation of the mask 15. Without this, the tension of the mask 15 can be recovered. Note that if the measured downward deflection δ of the central portion of the mask 15 is not greater than or equal to the threshold value, the control device 19 also determines the central portion of the mask 15 in the next plate separation step (step ST8). The downward deflection δ is measured and compared with the threshold value again.

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、矩形の金属板から成るマスク15の四辺のそれぞれに連結された4つの連結部材30を連結部材駆動部(4つの連結部材駆動シリンダ35)によって相対移動させてマスク15にテンションを付与することができるようになっており、マスク15のテンションが予め定めた限度以下(ここではマスク15の中心部の下方撓みδが閾値以上)になった場合であっても、マスク15の交換を行うことなく、マスク15にテンションを付加することでテンションの回復を図ることができる。このためマスク15のテンション低下に伴うマスク15の交換作業の頻度を少なくでき、基板生産性の低下を防ぐことができる。   As described above, the screen printing machine 1 according to the present embodiment includes the four connecting members 30 connected to the four sides of the mask 15 made of a rectangular metal plate as the connecting member driving unit (four connecting member driving cylinders 35). Thus, the tension can be applied to the mask 15 by relative movement, and the tension of the mask 15 is below a predetermined limit (here, the downward deflection δ at the center of the mask 15 is above the threshold). Even in this case, the tension can be recovered by applying tension to the mask 15 without replacing the mask 15. For this reason, it is possible to reduce the frequency of the replacement work of the mask 15 due to a decrease in the tension of the mask 15 and to prevent a decrease in substrate productivity.

なお、上述の実施の形態において、4つの連結部材30のうち対向するもの同士が互いに離間する方向に相対移動するように4つの連結部材30を駆動してマスク15にテンションを付与する連結部材駆動部としてシリンダ(連結部材駆動シリンダ35)を示したが、これは必ずしもシリンダでなくてもよい。   In the above-described embodiment, the connecting member drive that drives the four connecting members 30 to apply tension to the mask 15 so that the opposing members of the four connecting members 30 move relative to each other. Although the cylinder (the connecting member drive cylinder 35) is shown as a part, this need not necessarily be a cylinder.

また、前述の実施の形態では、連結部材30の係止部30aはフック状のものから成っていたが、これは一例であり、マスク15の四辺のそれぞれに形成された折り返し部15bに係止されるものであれば、必ずしもフック状のものでなくてもよい。しかし、上述したように、各連結部材30に設けられた係止部30aをマスク15の四辺に設けられた折り返し部15bに係止させることで連結部材30とマスク15との連結を行うことができるようになっているのであれば、連結部材30とマスク15との連結を極めて簡易な構成で行うことができるので、スクリーン印刷機1のコストの低廉化を図ることができる。   Further, in the above-described embodiment, the locking portion 30a of the connecting member 30 is formed of a hook shape, but this is an example, and the locking portion 30a is locked to the folded portion 15b formed on each of the four sides of the mask 15. As long as it is used, it does not have to be hook-shaped. However, as described above, the coupling member 30 and the mask 15 can be coupled by latching the latching portions 30a provided on each coupling member 30 to the folded portions 15b provided on the four sides of the mask 15. If it is possible, the connection between the connecting member 30 and the mask 15 can be performed with a very simple configuration, so that the cost of the screen printer 1 can be reduced.

マスクのテンションの低下に伴うマスクの交換作業の頻度を少なくして基板の生産性の低下を防止することができるスクリーン印刷機を提供する。   Provided is a screen printing machine capable of preventing a reduction in productivity of a substrate by reducing the frequency of mask replacement work accompanying a decrease in mask tension.

1 スクリーン印刷機
2 基板
3 電極
15 マスク
15a パターン開口
15b 折り返し部
18 撓み計測器(テンション計測手段)
19 制御装置(連結部材駆動部制御手段)
30 連結部材
30a 係止部
35 連結部材駆動シリンダ(連結部材駆動部)
44 スキージ
Pt ペースト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printer 2 Board | substrate 3 Electrode 15 Mask 15a Pattern opening 15b Folding part 18 Deflection measuring device (Tension measuring means)
19 Control device (connecting member drive unit control means)
30 connecting member 30a locking part 35 connecting member drive cylinder (connecting member drive part)
44 Squeegee Pt Paste

Claims (2)

基板上の電極の配置に応じたパターン開口を有する矩形の金属板から成り、四辺に折り返し部が形成されるとともに、マスクホルダによって保持されたマスクと、前記基板を接触させた状態の前記マスク上を摺動し、前記マスク上でペーストを掻き寄せて前記基板に転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機であって、
前記マスクホルダは、
前記マスクの四辺を取り囲むように設けられたガイドレールと、
前記ガイドレールに沿って移動自在に設けられ、前記マスクの四辺の折り返し部に係止部が係止されて前記マスクの四辺と連結された4つの連結部材と、
前記ガイドレールに設けられるとともに前記各連結部材に連結された連結部材駆動部とを備え、
前記連結部材駆動部は、前記4つの連結部材のうち対向するもの同士が互いに離間する方向に相対移動するように前記4つの連結部材を駆動して前記マスクにテンションを付与することを特徴とするスクリーン印刷機。
Consists of a rectangular metal plate having a pattern opening in accordance with the arrangement of the electrodes on the substrate, the folded portion is formed on four sides Rutotomoni, a mask held by the mask holder, on the mask being in contact with the substrate the slides, a screen printing machine comprising a squeegee to transfer to the substrate scraped paste on said mask,
The mask holder is
A guide rail provided so as to surround the four sides of the mask;
Along said guide rail is provided movably, and four coupling members engaging portion is connected to the four sides of the locked by the mask to the folded portion of the four sides of said mask,
A connecting member driving portion provided on the guide rail and connected to each connecting member;
The coupling member drive unit, the four connecting feature and the direction of each other are separated from each other as opposed to driving the four coupling members so as to move relative Turkey to impart tension to the mask of the member And screen printing machine.
前記マスクのテンションを計測するテンション計測手段と、前記テンション計測手段により計測された前記マスクのテンションの値に基づいて前記連結部材駆動部の作動制御を行う連結部材駆動部制御手段とを備えたことを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷機。 Further comprising a tension measuring means for measuring the tension of said mask, and a connecting member drive unit control means for controlling operation of the coupling member driving unit based on the value of the tension of the mask, which is measured by the tension measuring means The screen printer according to claim 1.
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