JP2010064425A - Screen-printing method - Google Patents

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利彦 永冶
Masahiro Kihara
正宏 木原
Mitsutoshi Tako
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen-printing method capable of eliminating printing defects caused by short filling with paste in pattern openings. <P>SOLUTION: In the screen-printing method comprising: supplying paste 50 by contacting mask plate 4 formed with the pattern openings 4b to a substrate PB; filling the paste 50 into the pattern openings 4b by moving relatively to the mask plate 4 a squeegee 5a contacting the mask plate 4; and thereafter separating the mask plate 4 from the substrate PB to transfer the paste 50 in the pattern openings 4b onto the substrate PB, a relative moving rate of the squeegee 5a to the mask plate 4 is varied depending on a detected form of the paste 50 by detecting the form of the paste 50 transferred onto the substrate PB in the height direction from the substrate PB. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、パターン孔が形成されたマスクプレートを用いてペーストを印刷対象物に転写するスクリーン印刷方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printing method for transferring a paste to an object to be printed using a mask plate in which pattern holes are formed.

基板等の印刷対象物にペーストを転写するスクリーン印刷では、パターン孔が形成されたマスクプレートを印刷対象物に接触させてペーストを供給し、マスクプレートに接触させたスキージをマスクプレートに対して相対移動させてパターン孔内にペーストを充填した後、印刷対象物とマスクプレートを分離(いわゆる版離れ)させる。これにより印刷対象物には、パターン孔に応じた形状のペーストが転写(印刷)される。   In screen printing in which paste is transferred to an object to be printed such as a substrate, the paste is supplied by bringing the mask plate with a pattern hole into contact with the object to be printed, and the squeegee that is in contact with the mask plate is relative to the mask plate. After moving and filling the pattern holes with paste, the object to be printed and the mask plate are separated (so-called plate separation). As a result, a paste having a shape corresponding to the pattern hole is transferred (printed) to the print object.

このようなスクリーン印刷では、印刷後の印刷対象物の上方から観察し、ペーストの印刷不良がある場合には印刷条件を変えて印刷不良状態を改善することが行われる。例えば、特許文献1には、印刷後の印刷対象物を観察し、印刷対象物の表面状態に応じてスキージ走行速度を変更することにより、印刷ニジミやムラのない外観良好で一様な印刷状態が得られるようにした技術が示されている。
特開平2−308589号公報
In such screen printing, an observation is made from above the printed object after printing, and when there is a printing failure of the paste, the printing condition is changed to improve the printing failure state. For example, in Patent Document 1, a printed object with good appearance and uniform appearance without bleed or unevenness is observed by observing the printed object after printing and changing the squeegee running speed according to the surface condition of the printed object. The technique that can be obtained is shown.
JP-A-2-308589

しかしながら、スクリーン印刷において発生しうる印刷不良の中には、パターン孔内にペーストが十分に充填されなかったために、印刷対象物への転写後のペーストが高さ(印刷対象物からの高さ)不足となるタイプのものある。このようなパターン孔内へのペーストの充填不足に起因して生じる高さ不足の印刷不良は、上記の印刷ニジミやムラ等のように、印刷対象物の表面を見ただけでは発見しにくく、したがってその改善も難しいという問題点があった。   However, among the printing defects that may occur in screen printing, the paste is not sufficiently filled in the pattern holes, so the paste after transfer to the printing object is high (height from the printing object). There is a shortage type. Such poor printing due to insufficient filling of the paste in the pattern hole is difficult to find just by looking at the surface of the print object, such as the above-mentioned printing blur or unevenness, Therefore, there was a problem that the improvement was difficult.

そこで本発明は、パターン孔内へのペーストの充填不足に起因して生じる印刷不良を改善することができるスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing method that can improve printing defects caused by insufficient filling of paste into pattern holes.

請求項1に記載のスクリーン印刷方法は、パターン孔が形成されたマスクプレートを印刷対象物に接触させてペーストを供給する工程と、マスクプレートに接触させたスキージをマスクプレートに対して相対移動させてパターン孔内にペーストを充填する工程と、印刷対象物とマスクプレートを分離させることによりパターン孔内のペーストを印刷対象物に転写する工程と、印刷対象物に転写されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の形状を検出する工程と、検出されたペーストの形状に応じて、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を変更する工程とを含む。   The screen printing method according to claim 1, wherein a paste is supplied by bringing a mask plate in which pattern holes are formed into contact with an object to be printed, and a squeegee that is in contact with the mask plate is moved relative to the mask plate. The process of filling the pattern hole with paste, the process of transferring the paste in the pattern hole to the print object by separating the print object and the mask plate, and the print object of the paste transferred to the print object Detecting the shape of the squeegee in the height direction, and changing the relative movement speed of the squeegee with respect to the mask plate in accordance with the detected shape of the paste.

請求項2に記載のスクリーン印刷方法は、請求項1に記載のスクリーン印刷方法であって、検出されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の形状に基づいて、印刷対象物に転写されたペーストのスキージの移動方向の上流側に、スキージの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面が形成されていることを検知した場合、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を増大させる。   The screen printing method according to claim 2 is the screen printing method according to claim 1, wherein the detected paste is transferred to the printing object based on the shape in the height direction from the printing object. When it is detected that an inclined surface having a gradient rising in the moving direction of the squeegee is formed on the upstream side of the moving direction of the paste squeegee, the relative moving speed of the squeegee with respect to the mask plate is increased.

本発明のスクリーン印刷方法では、印刷されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の
形状を検出し、その検出したペーストの形状に応じて、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を変更するようにしている。パターン孔内へのペーストの充填不足により印刷後のペーストに高さ不足の印刷不良が生じている場合、そのことは印刷対象物への印刷後のペーストの高さ方向(印刷対象物からの高さ方向)の形状から検知することができ(例えば、ペーストのスキージの移動方向の上流側に、スキージの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面が形成される)、また、ペーストの充填不足はスキージのマスクプレートに対する相対移動速度を増大させることによって改善することができるので、本発明のスクリーン印刷方法によれば、パターン孔内へのペーストの充填不足に起因して生じる印刷不良を改善することができる。
In the screen printing method of the present invention, the shape of the printed paste in the height direction from the printing object is detected, and the relative movement speed of the squeegee with respect to the mask plate is changed according to the detected shape of the paste. ing. If the printed paste has a printing defect with insufficient height due to insufficient filling of the paste in the pattern hole, this is due to the height direction of the paste after printing on the printing object (the height from the printing object). (For example, an inclined surface with a gradient rising toward the movement direction of the squeegee is formed on the upstream side of the movement direction of the paste squeegee), and the paste is insufficiently filled. Can be improved by increasing the relative movement speed of the squeegee with respect to the mask plate, the screen printing method of the present invention improves printing defects caused by insufficient filling of the paste in the pattern holes. be able to.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図、図2は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図、図3は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分平面図、図4は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図、図5(a),(b)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図、図6(a),(b),(c)、図7(a),(b),(c)及び図8(a),(b),(c)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によりスクリーン印刷を行ったときの印刷状態を示す図、図9は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷手順の一例を示すフローチャートである。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view of a screen printer according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the screen printer according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a screen printer according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a block diagram showing a control system of the screen printer in one embodiment of the present invention, and FIGS. 5A and 5B are operations of the screen printer in one embodiment of the present invention. FIG. 6 (a), (b), (c), FIG. 7 (a), (b), (c) and FIG. 8 (a), (b), (c) are one embodiment of the present invention. FIG. 9 is a flowchart showing an example of a screen printing procedure executed by the screen printer according to one embodiment of the present invention.

図1及び図2において、スクリーン印刷機1は、基台2の上に基板位置合わせ部3を有し、基板位置合わせ部3の上方にはマスクプレート4、スキージヘッド5及びカメラユニット6が設けられている。   1 and 2, the screen printing machine 1 has a substrate alignment unit 3 on a base 2, and a mask plate 4, a squeegee head 5, and a camera unit 6 are provided above the substrate alignment unit 3. It has been.

図1及び図2において、基板位置合わせ部3は水平方向位置合わせ機構10及び垂直方向位置合わせ機構11を有して成る。   1 and 2, the substrate alignment unit 3 includes a horizontal alignment mechanism 10 and a vertical alignment mechanism 11.

水平方向位置合わせ機構10は、基台2の上面側に、基台2に対して水平面内の一の方向(図1の紙面の左右方向。Y軸方向とする)に移動自在に設けられたYテーブル14、Yテーブル14の上面側に、Yテーブル14に対してY軸と直交する水平面内の方向(図1の紙面に垂直な方向。X軸方向とする)に移動自在に設けられたXテーブル15、及び、Xテーブル15の上面側に、Xテーブル15に対して水平面内で回転自在に設けられたθテーブル16を有する。   The horizontal alignment mechanism 10 is provided on the upper surface side of the base 2 so as to be movable in one direction in the horizontal plane with respect to the base 2 (the left-right direction on the paper surface of FIG. 1, the Y-axis direction). The Y table 14 is provided on the upper surface side of the Y table 14 so as to be movable in a direction in a horizontal plane perpendicular to the Y axis with respect to the Y table 14 (a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1 and referred to as the X axis direction). The X table 15 and the θ table 16 provided on the upper surface side of the X table 15 so as to be rotatable in a horizontal plane with respect to the X table 15 are provided.

Yテーブル14に設けられたYテーブル駆動モータ17を回転作動させるとYテーブル14が基台2に対してY軸方向に移動し、Xテーブル15に設けられたXテーブル駆動モータ18を回転作動させるとXテーブル15がYテーブル14に対してX軸方向に移動し、θテーブル16に設けられたθテーブル駆動モータ19(図4参照)を回転作動させるとθテーブル16がXテーブル15に対して回転する。Yテーブル駆動モータ17、Xテーブル駆動モータ18及びθテーブル駆動モータ19の作動制御は、このスクリーン印刷機1に設けられた制御装置20によってなされる(図4)。   When the Y table drive motor 17 provided on the Y table 14 is rotated, the Y table 14 moves in the Y-axis direction with respect to the base 2 and the X table drive motor 18 provided on the X table 15 is rotated. When the X table 15 moves in the X-axis direction with respect to the Y table 14 and the θ table drive motor 19 (see FIG. 4) provided on the θ table 16 is rotated, the θ table 16 moves relative to the X table 15. Rotate. The operation control of the Y table drive motor 17, the X table drive motor 18 and the θ table drive motor 19 is performed by a control device 20 provided in the screen printing machine 1 (FIG. 4).

垂直方向位置合わせ機構11は、θテーブル16に固定されたベースプレート22、ベースプレート22の上方にベースプレート22に対して昇降自在に設けられた第1昇降プレート23、第1昇降プレート23の上方に第1昇降プレート23に対して昇降自在に設けられた第2昇降プレート24及び第2昇降プレート24の上方に固定された基板支持ブロック25を有する。   The vertical alignment mechanism 11 includes a base plate 22 fixed to the θ table 16, a first elevating plate 23 provided above the base plate 22 so as to be movable up and down with respect to the base plate 22, and a first above the first elevating plate 23. It has the 2nd raising / lowering plate 24 provided so that raising / lowering with respect to the raising / lowering plate 23 was possible, and the board | substrate support block 25 fixed above the 2nd raising / lowering plate 24. As shown in FIG.

ベースプレート22に設けられた第1昇降モータ26を回転作動させると、第1ベルト
27を介して、第1昇降プレート23に垂直に支持された複数の第1昇降螺子28が回転駆動され、これら第1昇降螺子28に螺合した第1昇降プレート23が昇降する。また、第1昇降プレート23に設けられた第2昇降モータ29を回転作動させると、第2ベルト30を介して、第2昇降プレート24に垂直に支持された複数の第2昇降螺子31が回転駆動され、これら第2昇降螺子31に螺合した第2昇降プレート24が(すなわち基板支持ブロック25が)昇降する。第1昇降モータ26及び第2昇降モータ29の作動制御は制御装置20によってなされる。
When the first elevating motor 26 provided on the base plate 22 is rotated, a plurality of first elevating screws 28 that are vertically supported by the first elevating plate 23 are rotationally driven via the first belt 27. The 1st raising / lowering plate 23 screwed in 1 raising / lowering screw 28 raises / lowers. Further, when the second lifting / lowering motor 29 provided on the first lifting / lowering plate 23 is rotated, the plurality of second lifting / lowering screws 31 that are vertically supported by the second lifting / lowering plate 24 are rotated via the second belt 30. When driven, the second elevating plate 24 screwed into the second elevating screws 31 (that is, the substrate support block 25) moves up and down. Operation control of the first elevating motor 26 and the second elevating motor 29 is performed by the control device 20.

垂直方向位置合わせ機構11はまた、第1昇降プレート23に立設された複数の垂直フレーム34に支持されてX軸方向に延びた平行な一対の搬送コンベア35と、搬送コンベア35の上方に搬送コンベア35と平行に設けられた一対のクランプ部材36(図3も参照)を有している。一対の搬送コンベア35は搬送コンベア35の近傍に設けられたコンベア駆動モータ37(図4参照)の回転作動によって駆動することができる。また、一対のクランプ部材36はY軸方向に対向して配置されており、垂直フレーム34に固定されたクランプシリンダ38に駆動されてY軸方向に開閉作動する。コンベア駆動モータ37及びクランプシリンダ38の作動制御は制御装置20によってなされる。   The vertical alignment mechanism 11 is also supported by a plurality of vertical frames 34 erected on the first elevating plate 23 and extends in the X-axis direction, and is transported above the transport conveyor 35. A pair of clamp members 36 (see also FIG. 3) provided in parallel with the conveyor 35 are provided. The pair of transport conveyors 35 can be driven by a rotation operation of a conveyor drive motor 37 (see FIG. 4) provided in the vicinity of the transport conveyor 35. Further, the pair of clamp members 36 are arranged to face each other in the Y axis direction, and are driven to open and close in the Y axis direction by being driven by a clamp cylinder 38 fixed to the vertical frame 34. Operation control of the conveyor drive motor 37 and the clamp cylinder 38 is performed by the control device 20.

図1、図2及び図3において、マスクプレート4は矩形のマスク枠4aによって四辺が支持されており、マスク枠4aによって囲まれた内側領域には、印刷対象物である基板PBの電極D(図3参照)の形状及び位置に対応した多数のパターン孔4bが設けられている。   1, 2, and 3, the mask plate 4 has four sides supported by a rectangular mask frame 4 a, and an electrode D (on the substrate PB that is a printing target) is surrounded by an inner region surrounded by the mask frame 4 a. A large number of pattern holes 4b corresponding to the shape and position of FIG. 3) are provided.

図2において、基台2には基板位置合わせ部3を挟んでX軸方向に対向するように立設された一対の縦フレーム39が設けられており、各縦フレーム39の上端部にはY軸方向に延びた第1ガイドレール40と第2ガイドレール41が設けられている。一対の第1ガイドレール40にはX軸方向に延びた第1スライダ44の両端部が支持されており、一対の第2ガイドレール41には同じくX軸方向に延びた第2スライダ45の両端部が支持されている。   In FIG. 2, the base 2 is provided with a pair of vertical frames 39 erected so as to face each other in the X-axis direction with the substrate alignment portion 3 interposed therebetween. A first guide rail 40 and a second guide rail 41 extending in the axial direction are provided. Both ends of the first slider 44 extending in the X-axis direction are supported by the pair of first guide rails 40, and both ends of the second slider 45 also extending in the X-axis direction are supported by the pair of second guide rails 41. The part is supported.

図1及び図2において、スキージヘッド5は第1スライダ44に固定して設けられている。第1スライダ44は第1スライダ駆動モータ46(図4参照)の回転作動によって第1ガイドレール40に沿ってY軸方向に移動し、これによりスキージヘッド5がY軸方向に移動される。第1スライダ駆動モータ46の作動制御は制御装置20によってなされる。   In FIGS. 1 and 2, the squeegee head 5 is fixed to the first slider 44. The first slider 44 is moved in the Y-axis direction along the first guide rail 40 by the rotation operation of the first slider drive motor 46 (see FIG. 4), whereby the squeegee head 5 is moved in the Y-axis direction. The operation control of the first slider drive motor 46 is performed by the control device 20.

スキージヘッド5はY軸方向に対向して設けられた2つのスキージ5aと、各スキージ5aを昇降させる2つのスキージ昇降シリンダ5bを備えて成る。各スキージ5aはX軸方向に延びた形状を有しており、アタック角変更シリンダ5c(図4参照)の作動によってアタック角を変更することができる。ここでアタック角とは、水平姿勢にされた基板PB或いはマスクプレート4に対してスキージ5aがなす角度αのことである(図1)。各スキージ昇降シリンダ5b及びアタック角変更シリンダ5cの作動制御は制御装置20によってなされる。   The squeegee head 5 includes two squeegees 5a provided to face each other in the Y-axis direction, and two squeegee lifting cylinders 5b for raising and lowering each squeegee 5a. Each squeegee 5a has a shape extending in the X-axis direction, and the attack angle can be changed by operating the attack angle changing cylinder 5c (see FIG. 4). Here, the attack angle is an angle α formed by the squeegee 5a with respect to the substrate PB or the mask plate 4 in a horizontal posture (FIG. 1). Operation control of each squeegee lifting cylinder 5b and attack angle changing cylinder 5c is performed by the control device 20.

カメラユニット6は第2スライダ45上をX軸方向に移動自在に設けられている。第2スライダ45は第2スライダ駆動モータ48(図4参照)の回転作動によって第2ガイドレール41に沿ってY軸方向に移動し、カメラユニット6はカメラ移動モータ49(図4参照)の回転作動によって第2スライダ45上をX軸方向に移動する。したがって、カメラユニット6は水平面内で自在に移動させることができる。なお、第2スライダ駆動モータ48及びカメラ移動モータ49の作動制御は制御装置20によってなされる。   The camera unit 6 is provided on the second slider 45 so as to be movable in the X-axis direction. The second slider 45 is moved in the Y-axis direction along the second guide rail 41 by the rotation of the second slider drive motor 48 (see FIG. 4), and the camera unit 6 is rotated by the camera moving motor 49 (see FIG. 4). The second slider 45 is moved in the X-axis direction by the operation. Therefore, the camera unit 6 can be moved freely within the horizontal plane. The operation control of the second slider drive motor 48 and the camera movement motor 49 is performed by the control device 20.

カメラユニット6は図1、図2及び図3に示すように、撮像面を下方に向けた第1カメラ6aと、撮像面を上方に向けた第2カメラ6bと、撮像面を下方に向けた第3カメラ6cを備えている。第1カメラ6aは、基板位置合わせ部3上の基板PBに設けられている基板位置検出マーク(図示せず)の画像認識を行い、第2カメラ6bは、マスクプレート4に設けられているマスク位置検出マーク(図示せず)の画像認識を行う。また、第3カメラ6cはスキージ5aによって基板PB上に印刷されたペースト50の、基板PBからの高さ方向の形状を含めた三次元形状の認識を行う。この第3カメラ6cは例えば、レーザや赤外線を用いて認識対象の立体形状の検出を行う構成を有する。第1カメラ6a、第2カメラ6b及び第3カメラ6cの作動(撮像)制御は制御装置20によってなされ、これらカメラ6a,6b,6cにより撮像されたデータは制御装置20に入力される(図4)。   As shown in FIGS. 1, 2 and 3, the camera unit 6 has a first camera 6a with the imaging surface facing downward, a second camera 6b with the imaging surface facing upward, and an imaging surface facing downward. A third camera 6c is provided. The first camera 6 a performs image recognition of a substrate position detection mark (not shown) provided on the substrate PB on the substrate alignment unit 3, and the second camera 6 b is a mask provided on the mask plate 4. Image recognition of a position detection mark (not shown) is performed. Further, the third camera 6c recognizes the three-dimensional shape including the shape in the height direction from the substrate PB of the paste 50 printed on the substrate PB by the squeegee 5a. For example, the third camera 6c has a configuration for detecting a three-dimensional shape to be recognized using a laser or infrared rays. Operation (imaging) control of the first camera 6a, the second camera 6b, and the third camera 6c is performed by the control device 20, and data captured by these cameras 6a, 6b, and 6c is input to the control device 20 (FIG. 4). ).

次に、このスクリーン印刷機1が実行する基板PBへのペーストの印刷手順を説明する。スクリーン印刷機1の上流側の装置(図示せず)から基板PBが送られてきたら、スクリーン印刷機1の制御装置20は、コンベア駆動モータ37の制御を行って搬送コンベア35にその基板PBを受け取らせ、所定の位置まで搬送させる。そして、第2昇降モータ29を作動させて第2昇降プレート24を第1昇降プレート23に対して上昇させ、基板支持ブロック25を基板PBの下面に押し当てて基板支持ブロック25に基板PBを支持させる。制御装置20は、基板支持ブロック25に基板PBを支持させたら、クランプシリンダ38を作動させてクランプ部材36を閉作動させ、基板PBを両側方からクランプさせる。   Next, a procedure for printing paste on the substrate PB executed by the screen printer 1 will be described. When the substrate PB is sent from an upstream device (not shown) of the screen printing machine 1, the control device 20 of the screen printing machine 1 controls the conveyor drive motor 37 to transfer the substrate PB to the transport conveyor 35. Receive it and transport it to a predetermined position. Then, the second elevating motor 29 is operated to raise the second elevating plate 24 relative to the first elevating plate 23, and the substrate support block 25 is pressed against the lower surface of the substrate PB to support the substrate PB on the substrate support block 25. Let When the controller 20 supports the substrate PB on the substrate support block 25, the clamp cylinder 38 is operated to close the clamp member 36, and the substrate PB is clamped from both sides.

制御装置20は、クランプ部材36に基板PBをクランプさせたら、第1カメラ6aの移動及び撮像制御を行って第1カメラ6aに基板PBの基板位置検出マークの画像認識を行わせ、基板PBの位置を把握するとともに、第2カメラ6bの移動及び撮像制御を行って第2カメラ6bにマスクプレート4のマスク位置検出マークの画像認識を行わせ、マスクプレート4の位置を把握する。   After the substrate PB is clamped by the clamp member 36, the control device 20 performs the movement and imaging control of the first camera 6a to cause the first camera 6a to perform image recognition of the substrate position detection mark of the substrate PB, and In addition to grasping the position, the second camera 6b is moved and imaged to perform image recognition of the mask position detection mark of the mask plate 4 to grasp the position of the mask plate 4.

制御装置20は、基板PBの位置とマスクプレート4の位置を把握したら、水平方向位置合わせ機構10の作動制御を行って、基板PBをマスクプレート4の直下の所定位置に位置させる(水平方向の位置合わせ)。基板PBの水平方向への移動は、Yテーブル14の基台2に対するY軸方向への移動、Xテーブル15のYテーブル14に対するX軸方向への移動及びθテーブル16のXテーブル15に対する水平面内での回転を組み合わせて行う。   After grasping the position of the substrate PB and the position of the mask plate 4, the control device 20 controls the operation of the horizontal alignment mechanism 10 to position the substrate PB at a predetermined position directly below the mask plate 4 (in the horizontal direction). Alignment). The movement of the substrate PB in the horizontal direction is the movement of the Y table 14 in the Y axis direction with respect to the base 2, the movement of the X table 15 in the X axis direction with respect to the Y table 14, and the θ table 16 in the horizontal plane with respect to the X table 15. Combined with rotation in

基板PBの水平方向の位置合わせが終わったら、制御装置20は、垂直方向位置合わせ機構11の作動制御を行って、基板PBの上面をマスクプレート4の下面に接触させる(垂直方向の位置合わせ)。基板PBの垂直方向への移動は、第1昇降プレート23をベースプレート22に対して上昇させて行う(図5(b))。これにより、制御装置20によるマスクプレート4に対する基板PBの位置合わせ(水平方向の位置合わせと垂直方向の位置合わせ)が完了する。   When the horizontal alignment of the substrate PB is finished, the control device 20 controls the operation of the vertical alignment mechanism 11 to bring the upper surface of the substrate PB into contact with the lower surface of the mask plate 4 (vertical alignment). . The movement of the substrate PB in the vertical direction is performed by raising the first elevating plate 23 with respect to the base plate 22 (FIG. 5B). Thus, the alignment of the substrate PB with respect to the mask plate 4 by the control device 20 (horizontal alignment and vertical alignment) is completed.

制御装置20は、マスクプレート4に対する基板PBの位置合わせが完了したら、基板PBに対するスクリーン印刷を実行する。これには、制御装置20は先ず、図示しないペースト供給部の作動制御を行って、マスクプレート4の上面に半田ペーストや導電性ペースト等のペースト50を供給し、次いで、スキージ昇降シリンダ5bの作動制御を行って一方のスキージ5aを降下させ、そのスキージ5aの下縁をマスクプレート4の上面に当接させる。   When the alignment of the substrate PB with respect to the mask plate 4 is completed, the control device 20 executes screen printing on the substrate PB. To this end, the control device 20 first controls the operation of a paste supply unit (not shown) to supply a paste 50 such as a solder paste or a conductive paste to the upper surface of the mask plate 4, and then operates the squeegee lifting cylinder 5b. Control is performed to lower one squeegee 5 a and bring the lower edge of the squeegee 5 a into contact with the upper surface of the mask plate 4.

制御装置20は、一方のスキージ5aの下縁をマスクプレート4の上面に当接させたら
、第1スライダ駆動モータ46の作動制御を行ってスキージヘッド5をY軸方向に移動させ(図5(b)及び図6(a)中に示す矢印A)、ペースト50をスキージ5aによってかき寄せてそれをマスクプレート4の複数のパターン孔4b内に次々と充填させていく(図6(b)参照)。
When the lower edge of one squeegee 5a is brought into contact with the upper surface of the mask plate 4, the control device 20 controls the operation of the first slider drive motor 46 to move the squeegee head 5 in the Y-axis direction (FIG. 5 ( b) and an arrow A) shown in FIG. 6A, the paste 50 is scraped by the squeegee 5a and filled in the pattern holes 4b of the mask plate 4 one after another (see FIG. 6B). .

なお、図5(b)は、図中の左側のスキージ5aを矢印Aの方向に移動させることによってペースト50を矢印Aの方向にかき寄せる様子を示したものである。ペースト50を矢印Aと反対の方向にかき寄せるときには、図中の右側のスキージ5aをマスクプレート4の上面に当接させて、矢印Aと反対の方向に移動させることになる。   FIG. 5B shows a state in which the paste 50 is scraped in the direction of arrow A by moving the left squeegee 5a in the direction of arrow A in the figure. When the paste 50 is scraped in the direction opposite to the arrow A, the right squeegee 5a in the drawing is brought into contact with the upper surface of the mask plate 4 and moved in the direction opposite to the arrow A.

制御装置20は、マスクプレート4のパターン孔4b内にペースト50を充填させたら、第2昇降モータ29を作動させて第2昇降プレート24を下降させ、マスクプレート4を基板PBから分離させる(図6(c)中に示す矢印B)。これにより、いわゆる版離れが行われ、マスクプレート4のパターン孔4b内に充填されたペースト50が基板PB上に転写(印刷)される(図6(c))。   When the control device 20 fills the pattern hole 4b of the mask plate 4 with the paste 50, the control device 20 operates the second lifting / lowering motor 29 to lower the second lifting / lowering plate 24 to separate the mask plate 4 from the substrate PB (FIG. 6 (c), arrow B). Thus, so-called plate separation is performed, and the paste 50 filled in the pattern holes 4b of the mask plate 4 is transferred (printed) onto the substrate PB (FIG. 6C).

ここで、図6(a),(b)に示すように、マスクプレート4のパターン孔4b内にペースト50が十分に充填された状態から版離れが行われたときは、図6(c)に示すように、基板PBにはパターン孔4b内の空間立体形状をほぼそのまま象った理想形状のペースト50が転写される。例えば、パターン孔4bが直方体形状をくり抜いた形状であったのであれば、基板PBにはほぼ直方体形状となる理想形状のペースト50が転写される。   Here, as shown in FIGS. 6A and 6B, when the plate separation is performed from the state where the paste 50 is sufficiently filled in the pattern hole 4b of the mask plate 4, FIG. As shown in FIG. 4, an ideal-shaped paste 50 that is almost the same as the spatial three-dimensional shape in the pattern hole 4b is transferred to the substrate PB. For example, if the pattern hole 4b has a shape in which a rectangular parallelepiped shape is cut out, an ideal-shaped paste 50 having a substantially rectangular parallelepiped shape is transferred to the substrate PB.

しかし、図7(a),(b)に示すように、マスクプレート4のパターン孔4b内にペースト50が十分に充填されておらず、パターン孔4b内のスキージ5aの移動方向(図7では、紙面の左側から右側へ向かう方向)の上流側(図7では紙面左側)の部分に空間SPがある状態から版離れが行われたときには、基板PBには理想形状とは異なった形状のペースト50が転写されることとなる。このときのペースト50の形状は、図7(c)に示すように、ペースト50のスキージ5aの移動方向の上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配(図7では紙面左下から右上に向かう方向の勾配)の傾斜面50aが形成されたものとなる。   However, as shown in FIGS. 7A and 7B, the paste 50 is not sufficiently filled in the pattern hole 4b of the mask plate 4, and the moving direction of the squeegee 5a in the pattern hole 4b (in FIG. 7). When the plate separation is performed from the state where the space SP is in the upstream (left side of FIG. 7) portion in the direction from the left side to the right side of the paper surface, a paste having a shape different from the ideal shape is applied to the substrate PB. 50 will be transferred. As shown in FIG. 7C, the shape of the paste 50 at this time is a gradient that rises in the moving direction of the squeegee 5a toward the upstream side in the moving direction of the squeegee 5a (in FIG. 7, from the lower left side of the page). An inclined surface 50a having a gradient in a direction toward the upper right) is formed.

このことから、基板PBに転写されたペースト50のスキージ5aの移動方向の上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面50aが形成されている場合には、パターン孔4b内へのペースト50の充填が不十分であったことが分かる。なお、基板PBに転写されたペースト50がこのような形状となっていることは、ペースト50の高さ(印刷対象物からの高さ)が不足している、すなわち高さ不足の印刷不良が生じていることを意味する。この高さ不足の印刷不良が生じていると、その後に行われる基板PBへの部品の搭載工程等において部品の接合不良が起きるおそれがあるため、改善する必要がある。   For this reason, when an inclined surface 50a having a gradient rising in the moving direction of the squeegee 5a is formed on the upstream side in the moving direction of the squeegee 5a of the paste 50 transferred to the substrate PB, the pattern hole 4b It can be seen that the filling of the paste 50 inside was insufficient. Note that the paste 50 transferred to the substrate PB has such a shape that the height of the paste 50 (height from the printing object) is insufficient, that is, the printing failure is insufficient. It means that it has occurred. If a printing defect with insufficient height occurs, there is a possibility that a defective bonding of components may occur in a subsequent step of mounting the component on the substrate PB or the like.

ここで、上記のようなパターン孔4b内へのペースト50の充填不足が発生するのは、スキージ5aのマスクプレート4に対する移動速度(以下、スキージ移動速度と称する)が小さく、マスクプレート4上でのペースト50のローリングが不十分であるためと考えられる。したがって、このように、基板PBに転写された後のペースト50のスキージ5aの移動方向の上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面50aが形成されており、パターン孔4b内へのペースト50の充填不足が発生していると考えられる場合には、マスクプレート4に対するスキージ移動速度を上昇させることによってペースト50のローリングを促進させることでパターン孔4b内へのペースト50の充填不足を改善することができる。   Here, the insufficient filling of the paste 50 into the pattern hole 4b as described above occurs because the moving speed of the squeegee 5a with respect to the mask plate 4 (hereinafter referred to as squeegee moving speed) is small. This is probably because the rolling of the paste 50 is insufficient. Therefore, an inclined surface 50a having a gradient rising in the moving direction of the squeegee 5a is formed on the upstream side in the moving direction of the squeegee 5a of the paste 50 after being transferred to the substrate PB, and the pattern hole When it is considered that the filling of the paste 50 into the 4b is insufficient, the rolling of the paste 50 is promoted by increasing the squeegee moving speed with respect to the mask plate 4 to thereby paste the paste 50 into the pattern hole 4b. Insufficient filling can be improved.

そこで、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1が実行するスクリーン印刷手順(スクリーン印刷方法)では、例えば、スキージ移動速度や版離れ速度等の印刷条件を設定する段階において、試験的なスクリーン印刷の実行と、そのスクリーン印刷の後、第3カメラ6cの移動及び撮像制御を行って、その基板PBに転写されたペースト50の基板PBからの高さ方向の形状を含む三次元形状を検出し、その検出したペースト50の形状に応じて、スキージ移動速度を変更するようにしている。具体的には、基板PBに転写されたペースト50のスキージ5aの移動方向の上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面50aが形成されていることを検知した場合には、スキージ移動速度を増大させるようにする。   Therefore, in the screen printing procedure (screen printing method) executed by the screen printer 1 according to the present embodiment, for example, in the stage of setting the printing conditions such as the squeegee moving speed and the plate separating speed, the trial screen printing is executed. Then, after the screen printing, the third camera 6c is moved and imaged, and the three-dimensional shape including the shape in the height direction of the paste 50 transferred from the substrate PB from the substrate PB is detected. The squeegee moving speed is changed according to the detected shape of the paste 50. Specifically, when it is detected that an inclined surface 50a having a gradient rising in the moving direction of the squeegee 5a is formed on the upstream side in the moving direction of the squeegee 5a of the paste 50 transferred to the substrate PB. Increases the speed of squeegee movement.

また、図8(a),(b),(c)に示すように、マスクプレート4のパターン孔4b内にペースト50が十分に充填された状態から版離れが行われた場合であっても、版離れ速度が適切でなかったときには、パターン孔4b内に残存するペースト50が多くなり、基板PBに転写されたペースト50には、スキージ5aの移動方向の上流側の面だけでなく、スキージ5aの移動方向の下流側にも傾斜面50b(この傾斜面50bはスキージ5aの移動方向に向けて下降する勾配の傾斜面)が生じ、基板PBに転写されたペースト50をスキージ5aの移動方向と直交する水平方向(ここではY軸方向)から見たペースト50の側面形状は三角形(三角形に近い形状)となる(図8(c))。そして、版離れ速度が遅いほど、三角形の頂部Tはスキージ5aの移動方向の下流側(図8の紙面右側)に寄る傾向にある。   Further, as shown in FIGS. 8A, 8B, and 8C, even when the plate separation is performed from the state in which the paste 50 is sufficiently filled in the pattern holes 4b of the mask plate 4, as shown in FIGS. When the plate separation speed is not appropriate, the paste 50 remaining in the pattern hole 4b increases, and the paste 50 transferred to the substrate PB includes not only the upstream surface in the moving direction of the squeegee 5a but also the squeegee. An inclined surface 50b (this inclined surface 50b is an inclined surface having a gradient descending toward the moving direction of the squeegee 5a) is also generated downstream of the moving direction of the squeegee 5a, and the paste 50 transferred to the substrate PB is moved in the moving direction of the squeegee 5a. The side shape of the paste 50 viewed from the horizontal direction (here, the Y-axis direction) perpendicular to the triangle is a triangle (a shape close to a triangle) (FIG. 8C). And as the plate separation speed is slower, the triangular top portion T tends to be closer to the downstream side in the moving direction of the squeegee 5a (the right side in FIG. 8).

このように、版離れ速度が適切でなかったことが原因で、基板PBに転写されたペースト50の側面形状が三角形となる場合、パターン孔4b内へのペースト50の充填不足の場合と同様にペースト50の高さ不足の印刷不良が生じるので、改善する必要がある。   As described above, when the shape of the side surface of the paste 50 transferred to the substrate PB is a triangle due to an inappropriate plate separation speed, as in the case of insufficient filling of the paste 50 into the pattern hole 4b. Since the printing defect of the insufficient height of the paste 50 arises, it needs to be improved.

このことから、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1が実行するスクリーン印刷手順では、例えば上記の印刷条件を設定する段階において、試験的なスクリーン印刷を実行した後、第3カメラ6cの移動及び撮像制御を行って、基板PBに転写されたペースト50の基板PBからの高さ方向の形状を検出し、その検出したペースト50の形状に応じて、基板PBとマスクプレート4を分離させるときの相対速度を変更するようにしている。具体的には、検出したペースト50の基板PBからの高さ方向の形状に基づいて、基板PBに転写されたペースト50をスキージ5aの移動方向と直交する水平方向から見たペースト50の側面形状が三角形であることを検知した場合には、基板PBとマスクプレート4を分離させるときの相対速度を増大させるようにする。また、その三角形の頂部Tがスキージ5aの移動方向に寄っている程度が大きいほど、基板PBとマスクプレート4を分離させるときの相対速度を増大させるようにする。   Therefore, in the screen printing procedure executed by the screen printer 1 according to the present embodiment, for example, in the stage of setting the above printing conditions, after performing trial screen printing, the movement and imaging of the third camera 6c. Control is performed to detect the shape of the paste 50 transferred to the substrate PB in the height direction from the substrate PB, and relative to the separation of the substrate PB and the mask plate 4 according to the detected shape of the paste 50 The speed is changed. Specifically, based on the detected shape of the paste 50 in the height direction from the substrate PB, the side surface shape of the paste 50 as viewed from the horizontal direction perpendicular to the moving direction of the squeegee 5a. Is detected to be a triangle, the relative speed when separating the substrate PB and the mask plate 4 is increased. In addition, the greater the degree that the triangular apex T approaches the moving direction of the squeegee 5a, the greater the relative speed at which the substrate PB and the mask plate 4 are separated.

図9は、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1が実行するスクリーン印刷手順の一例を示すフローチャートであり、スキージ移動速度及び版離れ速度の設定を行う段階におけるものを例としたものである。   FIG. 9 is a flowchart showing an example of a screen printing procedure executed by the screen printing machine 1 according to the present embodiment, and shows an example at a stage of setting the squeegee moving speed and the plate separation speed.

スキージ移動速度及び版離れ速度の設定では、制御装置20が先ず、スキージ移動速度及び版離れ速度を仮設定して試験的にスクリーン印刷を実行する(ステップST1)。制御装置20は、基板PBにスクリーン印刷を実行したら、そのスクリーン印刷によって基板PBに転写されたペースト50の三次元形状を第3カメラ6cによって検出し(ステップST2)、ペースト50のスキージ5aの移動方向の上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面50aが形成されているか否かの判断を行う(ステップST3)。制御装置20はその結果、基板PBに転写されたペースト50のスキージ5aの上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面50aが形成されておらず、ペースト50の形状がほぼ理想形状であること検知した場合(例えば図6(c)
に示す場合)には、現在の条件(ステップST1で仮設定したスキージ移動速度及び版離れ速度)をそのまま最終決定の印刷条件として記憶部20a(図4)に記憶する(ステップST4)。
In setting the squeegee movement speed and the plate separation speed, the control device 20 first temporarily sets the squeegee movement speed and the plate separation speed and executes screen printing on a trial basis (step ST1). After executing screen printing on the substrate PB, the control device 20 detects the three-dimensional shape of the paste 50 transferred to the substrate PB by the screen printing (step ST2), and moves the squeegee 5a of the paste 50. It is determined whether or not an inclined surface 50a having a gradient rising in the moving direction of the squeegee 5a is formed on the upstream side in the direction (step ST3). As a result, the control device 20 does not have an inclined surface 50a having a gradient rising in the moving direction of the squeegee 5a on the upstream side of the squeegee 5a of the paste 50 transferred to the substrate PB. When it is detected that the shape is almost ideal (for example, FIG. 6C)
In this case, the current conditions (the squeegee movement speed and the plate separation speed temporarily set in step ST1) are stored as they are in the storage unit 20a (FIG. 4) as final decision printing conditions (step ST4).

一方、制御装置20は、ステップST3において、ペースト50のスキージ5aの移動方向の上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面50aが形成されていたことを検知した場合には、スキージ移動速度を増大させて改めてスクリーン印刷を実行した後(ステップST5)、第3カメラ6cによって、基板PBに印刷されたペースト50の三次元形状を検出する(ステップST6)。そして、検出したペースト50の三次元形状から、ペースト50の形状が改善方向(理想形状に近づく方向)に変化したかどうかの判断を行い(ステップST7)、その結果、ペースト50の形状が改善方向に変化していたときには、ペースト50のスキージ5aの移動方向の上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面50aが形成されていた原因のひとつがパターン孔4b内へのペースト50の充填不足にあったことが明らかとなるので、改めてステップST5〜ステップST7を実行する。そして、ステップST7で、ペースト50の形状が改善方向に変化しなくなったら、それまでに取得したスキージ移動速度のデータから最適のもの(ペースト50の形状が理想形状に最も近づいたときのスキージ移動速度)を記憶して次のステップST9に進む。   On the other hand, when the control device 20 detects in step ST3 that an inclined surface 50a having a gradient rising in the moving direction of the squeegee 5a is formed on the upstream side of the moving direction of the squeegee 5a of the paste 50. After increasing the squeegee moving speed and executing screen printing again (step ST5), the third camera 6c detects the three-dimensional shape of the paste 50 printed on the substrate PB (step ST6). Then, it is determined from the detected three-dimensional shape of the paste 50 whether the shape of the paste 50 has changed in the improvement direction (direction approaching the ideal shape) (step ST7). As a result, the shape of the paste 50 is improved. The reason why the inclined surface 50a having the gradient rising in the moving direction of the squeegee 5a is formed on the upstream side in the moving direction of the squeegee 5a of the paste 50 is Since it becomes clear that the paste 50 is insufficiently filled, Steps ST5 to ST7 are performed again. In step ST7, when the shape of the paste 50 no longer changes in the improving direction, the optimum squeegee moving speed data obtained so far (the squeegee moving speed when the shape of the paste 50 is closest to the ideal shape). ) Is stored and the process proceeds to the next step ST9.

なお、最初のステップST7で、ペースト50の形状が改善方向に変化していないことを検知した場合には、ペースト50のスキージ5aの移動方向の上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面50aが形成されていた原因のひとつに、パターン孔4b内へのペースト50の充填不足は含まれていない(ペースト50の充填不足は生じていない)ことが明らかとなるので、ステップST5〜ステップST7を繰り返すことなく、ステップST8で現在の(ステップST1で仮設定した)スキージ移動速度をそのまま記憶して、ステップST9に進む。   In addition, when it is detected in the first step ST7 that the shape of the paste 50 has not changed in the improvement direction, the paste 50 rises toward the moving direction of the squeegee 5a upstream of the moving direction of the squeegee 5a. It is clear that one of the reasons why the inclined surface 50a having the gradient to be formed does not include insufficient filling of the paste 50 into the pattern hole 4b (no insufficient filling of the paste 50 occurs). Without repeating step ST5 to step ST7, the current squeegee moving speed (temporarily set in step ST1) is stored as it is in step ST8, and the process proceeds to step ST9.

ステップST9では、直近のステップST6で検出したペースト50の三次元形状に基づいて、基板PBに転写されたペースト50をスキージ5aの移動方向と直交する水平方向(Y軸方向)から見たペースト50の側面形状が三角形であるかどうかの判断を行う。そして、その結果、ペースト50の側面形状が三角形でなかった(理想形状である直方体形状に近かった)場合には、版離れ速度は適切であるといえるので、現在の(ステップST1で仮設定した)版離れ速度をそのまま記憶する(ステップST10)。一方、ペースト50の側面形状が三角形であった場合には(例えば図8(c)に示す場合)、版離れ速度を増大させてスクリーン印刷を実行し(ステップST11)、改めて第3カメラ6cを用いてペースト50の三次元形状を検出し(ステップST12)、ペースト50の形状が改善方向(理想形状に近づく方向)に変化したかどうかの判断を行う(ステップST13)。その結果、ペースト50の形状が改善方向に変化していたときには、ペースト50の側面形状が三角形となっている原因が、版離れ速度が適切でなかった(遅かった)ことにあると考えられるので、改めてステップST11〜ステップST13を実行する。そして、ステップST13で、ペースト50の形状が改善方向に変化しなくなったら、それまでに取得した版離れ速度のデータから最適のもの(ペースト50の形状が理想形状に最も近づいたときの版離れ速度)を記憶する(ステップST14)。なお、ステップST11において、基板PBに転写されたペースト50の側面形状の三角形の頂部Tがスキージ5aの移動方向(図8の紙面右側)に寄っているときほど版離れ速度を増大させるようにすれば、効率よく版離れ速度を最適の値に近づけることができる。   In step ST9, based on the three-dimensional shape of the paste 50 detected in the latest step ST6, the paste 50 as viewed from the horizontal direction (Y-axis direction) perpendicular to the moving direction of the squeegee 5a is displayed. It is determined whether the side shape of the triangle is a triangle. As a result, if the side surface shape of the paste 50 is not a triangle (close to the ideal rectangular parallelepiped shape), it can be said that the plate separation speed is appropriate, so that the current (temporarily set in step ST1) ) The plate separation speed is stored as it is (step ST10). On the other hand, when the side surface shape of the paste 50 is a triangle (for example, the case shown in FIG. 8C), screen printing is executed by increasing the plate separation speed (step ST11), and the third camera 6c is set again. The three-dimensional shape of the paste 50 is detected (step ST12), and it is determined whether or not the shape of the paste 50 has changed in the improvement direction (direction approaching the ideal shape) (step ST13). As a result, when the shape of the paste 50 is changing in the improving direction, it is considered that the reason why the side surface shape of the paste 50 is triangular is that the plate separation speed was not appropriate (slow). Then, Step ST11 to Step ST13 are executed again. In step ST13, when the shape of the paste 50 no longer changes in the improvement direction, the optimum one from the data of the plate separation speed obtained so far (the plate separation speed when the shape of the paste 50 is closest to the ideal shape). ) Is stored (step ST14). It should be noted that in step ST11, the plate separation speed is increased as the apex T of the triangular shape of the side surface shape of the paste 50 transferred to the substrate PB is closer to the moving direction of the squeegee 5a (the right side in FIG. 8). Thus, the plate separation speed can be brought close to the optimum value efficiently.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法(スクリーン印刷機1が実行するスクリーン印刷手順)では、パターン孔4bが形成されたマスクプレート4を印刷対象物である基板PBに接触させてペースト50を供給するペースト供給工程と、マ
スクプレート4に接触させたスキージ5aをマスクプレート4に対して相対移動させてパターン孔4b内にペースト50を充填するペースト充填工程と、基板PBとマスクプレート4を分離させることによりパターン孔4b内のペースト50を基板PBに転写するペースト転写工程と、基板PBに転写されたペースト50の基板PBからの高さ方向の形状を検出する形状検出工程と、形状検出工程において検出されたペースト50の形状に応じて、スキージ移動速度(スキージ5aのマスクプレート4に対する相対移動速度)を変更するスキージ移動速度変更工程を含むものとなっている。
As described above, in the screen printing method according to the present embodiment (screen printing procedure executed by the screen printer 1), the mask plate 4 in which the pattern holes 4b are formed is brought into contact with the substrate PB that is a printing object. A paste supplying step for supplying the paste 50; a paste filling step for filling the pattern hole 4b with the paste 50 by moving the squeegee 5a in contact with the mask plate 4 relative to the mask plate 4; and the substrate PB and the mask plate. A paste transfer step of transferring the paste 50 in the pattern hole 4b to the substrate PB by separating 4 and a shape detection step of detecting the shape of the paste 50 transferred to the substrate PB in the height direction from the substrate PB; Depending on the shape of the paste 50 detected in the shape detection step, the squeegee moving speed (squeegee) It has to include a squeegee movement speed changing step of changing the relative moving velocity) with respect to the mask plate 4 of a.

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、基板PBに転写(印刷)されたペースト50の基板PBからの高さ方向の形状を検出し、その検出したペースト50の形状に応じて、スキージ移動速度を変化させるようにしているのであるが、ペースト50の充填不足が生じている場合、そのことはペースト50の基板PBからの高さ方向の形状から検知することができ(ペースト50のスキージ5aの移動方向の上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面50aが形成される)、また、ペースト50の充填不足はスキージ移動速度を増大させることによって改善することができるので、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法によれば、ペースト50の充填不足に起因する印刷不良を改善することができる。   Thus, in the screen printing method according to the present embodiment, the shape of the paste 50 transferred (printed) to the substrate PB in the height direction from the substrate PB is detected, and according to the detected shape of the paste 50, Although the squeegee moving speed is changed, when the filling of the paste 50 is insufficient, this can be detected from the shape of the paste 50 in the height direction from the substrate PB (the paste 50). An inclined surface 50a having a gradient rising in the moving direction of the squeegee 5a is formed on the upstream side of the moving direction of the squeegee 5a), and insufficient filling of the paste 50 is improved by increasing the moving speed of the squeegee. Therefore, according to the screen printing method in the present embodiment, it is possible to improve the printing defect due to insufficient filling of the paste 50. Kill.

上述の例では、形状検出工程において検出されたペースト50の基板PBからの高さ方向の形状に基づいて、基板PBに転写されたペースト50のスキージ5aの移動方向の上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面50aが形成されていることを検知した場合に、スキージ移動速度(スキージ5aのマスクプレート4に対する相対移動速度)を増大させるようにしていたが、これは、基板PBに転写されたペースト50のスキージ5aの移動方向の上流側に、スキージ5aの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面50aが形成されているときには、パターン孔4b内へのペースト50の充填不足が起きていると推定するものであり、簡易な方法でペースト50の充填不足の発見し、かつ、それを改善することができるものとなっている。   In the above-described example, the squeegee 5a is positioned upstream of the movement direction of the squeegee 5a of the paste 50 transferred to the substrate PB based on the shape of the paste 50 from the substrate PB detected in the shape detection step. When it is detected that the inclined surface 50a having the gradient rising in the moving direction is formed, the squeegee moving speed (relative moving speed of the squeegee 5a with respect to the mask plate 4) is increased. When an inclined surface 50a having a gradient rising in the moving direction of the squeegee 5a is formed on the upstream side of the moving direction of the squeegee 5a of the paste 50 transferred to the substrate PB, the paste 50 into the pattern hole 4b is formed. Insufficient filling of the paste 50 is presumed, and it is possible to discover and improve the underfilling of the paste 50 by a simple method. It has become shall.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、形状検出工程の後、スキージ移動速度変更工程とともに(上記例ではスキージ移動速度変更工程の後に)、形状検出工程において検出されたペースト50の形状に応じて、基板PBとマスクプレート4を分離させるときの相対速度を変更する分離相対速度変更工程を含むものとなっている。そして、基板PBとマスクプレート4を分離させるときの相対速度の変更は、検出されたペースト50の基板PBからの高さ方向の形状に基づいて、基板PBに転写されたペースト50をスキージ5aの移動方向と直交する水平方向から見たペースト50の形状(側面形状)が三角形であることを検知した場合に、基板PBとマスクプレート4を分離させるときの相対速度を増大させるものとしており、また、その三角形の頂部がスキージの移動方向に寄っている程度が大きいほど、印刷対象物とマスクプレートを分離させるときの相対速度を増大させるものとしている。これにより、版離れ速度が適切でなかった(遅かった)ためにペースト50の高さ不足の印刷不良が生じていた場合でも、これを改善することができる。   Further, in the screen printing method according to the present embodiment, after the shape detection step, along with the squeegee movement speed changing step (after the squeegee movement speed changing step in the above example), depending on the shape of the paste 50 detected in the shape detection step. Thus, a separation relative speed changing step for changing the relative speed when the substrate PB and the mask plate 4 are separated is included. Then, the change of the relative speed when separating the substrate PB and the mask plate 4 is based on the detected shape of the paste 50 in the height direction from the substrate PB and the paste 50 transferred to the substrate PB of the squeegee 5a. The relative speed when separating the substrate PB and the mask plate 4 is increased when it is detected that the shape (side surface shape) of the paste 50 viewed from the horizontal direction orthogonal to the moving direction is a triangle. The relative speed at which the object to be printed and the mask plate are separated increases as the degree to which the apex of the triangle approaches the moving direction of the squeegee. Thereby, even when the printing defect with insufficient height of the paste 50 has occurred due to an inappropriate (slow) plate separation speed, this can be improved.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、印刷対象物が基板であるとしていたが、これは一例であり、基板以外のものであってもよい。   Although the embodiment of the present invention has been described so far, the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, in the above-described embodiment, the printing object is a substrate, but this is an example, and a substrate other than the substrate may be used.

また、本発明では、印刷対象物に転写されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の形状に応じて、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を変更する工程を有するところに特徴があり、印刷対象物に転写されたペーストのスキージの移動方向の上流側に、スキージの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面が形成されていることを検知した場合
に、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を増大させるというのは一つの手法に過ぎず、ペーストの高さ方向の形状に応じて行う、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度の変更の内容がこれに限定されるものではない。
Further, the present invention is characterized in that it has a step of changing the relative movement speed of the squeegee with respect to the mask plate in accordance with the shape in the height direction of the paste transferred from the print object to the print object. Relative moving speed of the squeegee with respect to the mask plate when it is detected that an inclined surface rising in the moving direction of the squeegee is formed on the upstream side of the moving direction of the paste squeegee transferred to the object. Increasing the squeegee is only one method, and the content of the change in the relative movement speed of the squeegee with respect to the mask plate performed according to the shape in the height direction of the paste is not limited to this.

パターン孔内へのペーストの充填不足に起因して生じる印刷不良を改善することができるスクリーン印刷方法を提供する。   Provided is a screen printing method capable of improving printing defects caused by insufficient filling of paste into pattern holes.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図The front view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分平面図The partial top view of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によりスクリーン印刷を行ったときの印刷状態を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the printing state when screen printing is performed with the screen printer in one embodiment of this invention. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によりスクリーン印刷を行ったときの印刷状態を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the printing state when screen printing is performed with the screen printer in one embodiment of this invention. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によりスクリーン印刷を行ったときの印刷状態を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the printing state when screen printing is performed with the screen printer in one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷手順の一例を示すフローチャートThe flowchart which shows an example of the screen printing procedure which the screen printer in one embodiment of this invention performs

符号の説明Explanation of symbols

1 スクリーン印刷機
4 マスクプレート
4b パターン孔
5a スキージ
50 ペースト
50a 傾斜面
PB 基板(印刷対象物)
1 Screen Printer 4 Mask Plate 4b Pattern Hole 5a Squeegee 50 Paste 50a Inclined Surface PB Substrate (Printing Object)

Claims (2)

パターン孔が形成されたマスクプレートを印刷対象物に接触させてペーストを供給する工程と、
マスクプレートに接触させたスキージをマスクプレートに対して相対移動させてパターン孔内にペーストを充填する工程と、
印刷対象物とマスクプレートを分離させることによりパターン孔内のペーストを印刷対象物に転写する工程と、
印刷対象物に転写されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の形状を検出する工程と、
検出されたペーストの形状に応じて、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を変更する工程と、
を含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
Supplying the paste by bringing the mask plate on which the pattern holes are formed into contact with the object to be printed;
Filling the paste into the pattern holes by moving the squeegee in contact with the mask plate relative to the mask plate;
Transferring the paste in the pattern hole to the printing object by separating the printing object and the mask plate; and
Detecting a shape in a height direction from the printing object of the paste transferred to the printing object;
Changing the relative movement speed of the squeegee with respect to the mask plate according to the shape of the detected paste;
A screen printing method comprising:
検出されたペーストの印刷対象物からの高さ方向の形状に基づいて、印刷対象物に転写されたペーストのスキージの移動方向の上流側に、スキージの移動方向に向けて上昇する勾配の傾斜面が形成されていることを検知した場合、スキージのマスクプレートに対する相対移動速度を増大させることを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷方法。   Based on the detected shape of the paste from the print object in the height direction, the slope of the gradient rising toward the movement direction of the squeegee upstream of the movement direction of the paste squeegee transferred to the print object The screen printing method according to claim 1, wherein when it is detected that the squeegee is formed, a relative moving speed of the squeegee with respect to the mask plate is increased.
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