JP2012078738A5 - - Google Patents

Description

変位部４１は、可動部２に対してＸ軸方向に離間して設けられている。また、変位部４１は、前述したように一対の駆動梁４３によって両持ち支持されている。このような変位部４１には内枠部４１１が形成されている。この内枠部４１１は、変位部４１の光反射部２２の表面に平行な面の法線方向に沿って変位部４１を貫通する貫通孔によって形成されているとも言える。そして、この内枠部４１１に永久磁石８１１が挿通、固定されている。永久磁石８１１は、例えば、嵌合（圧入）や、接着剤によって、変位部４１に固定されている。

図２（ａ）に示す図１のＡ−Ａ断面図のように、基台１２は、平板状の基部１２１と、基部１２１の４隅に設けられた枠部１２２とを有している。このような基台１２は、図２（ｂ）に示す図１のＣ−Ｃ断面図のように、枠部１２２にて振動基板１１の固定部１３の下面と接合されている。これにより、基台１２によって振動基板１１が支持される。このような基台１２は、例えば、パイレックス（登録商標）、テンパックスなどのガラスやシリコンあるいはアルミニウムを主材料として構成されている。なお、基台１２と固定部１３の接合方法としては、特に限定されず、例えば接着剤を用いて接合してもよく、陽極接合等の各種接合方法を用いてもよい。また、基台１２は、４隅に枠部１２２を有するとしたが、これに限定されず、枠部１２２は、振動基板１１の固定部１３の位置に対応して基部１２１上に設けられていればよい。

１…光スキャナー、２…可動部、３…支持部、４，５，６，７…連結部、８…変位手段、１０…ミラーチップ、１１…振動基板、１２…基台、１３…固定部、１４…分離部、２０…光反射部材、２１…面、２２…光反射部、２３…支持部材、４１，５１，６１，７１…変位部、４２，５２，６２，７２…可動梁、４３，５３，６３，７３…駆動梁、８１…第１の変位手段、８２…第２の変位手段、８３…第３の変位手段、８４…第４の変位手段、８５…コイル固定部、９１…保持治具、９２…分離治具、１２１…基部、１２２…枠部、２００…プロジェクター、２１０…光源装置、２１１…赤色光源装置、２１２…青色光源装置、２１３…緑色光源装置、２２０…ダイクロイックミラー、２３０…走査軌跡、２５０…固定ミラー、２８０…スクリーン、４１１…内枠部、４２１，５２１，６２１，７２１…屈曲部、４２２，５２２，６２２，７２２…可動部側可動梁、４２３，５２３，６２３，７２３…変位部側可動梁、８１０，８２０，８３０，８４０…駆動部、８１１，８２１，８３１，８４１…永久磁石、８１２，８２２，８３２，８４２…コイル、８１３，８２３，８３３，８４３…電源、８５１…突出部、４２１１，４２１２，６２１１，６２１２…変形部、４２１３，５２１３，６２１３，７２１３…非変形部、４２１４，４２１５，５２１４，５２１５，６２１４，６２１５，７２１４，７２１５…接続部、Ｘ１，Ｘ２，Ｘ３，Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４…回動中心軸。

Claims (7)

1. 光反射面を有する光反射部材と、
   前記光反射部材を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、
   前記可動部から前記光反射面に沿って延在し、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って９０度間隔で設けられた４つの可動梁と、
   前記可動梁に連結される変位部と、
   前記変位部に連結される前記可動梁の延在方向と直交して前記光反射面の面方向に沿って前記変位部から延在する２つの駆動梁と、
   前記駆動梁が連結される固定部と、
   前記変位部に形成される内枠部と、
   前記内枠部に固定される永久磁石と、
   前記変位部を駆動する駆動部と、を備え、
   前記可動梁は、前記光反射面と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを特徴とする光スキャナー。
2. 請求項１に記載の光スキャナーにおいて、
   前記内枠部は、当該内枠部を有する変位部に連結される前記可動梁の延在方向へ開口していることを特徴とする光スキャナー。
3. 光反射面を有する光反射部材と、
   前記光反射部材を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、
   前記可動部から前記光反射面に沿って延在し、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って９０度間隔で設けられた４つの可動梁と、
   前記可動梁に連結される変位部と、
   前記変位部に連結される前記可動梁の延在方向と直交して前記光反射面の面方向に沿って前記変位部から延在する２つの駆動梁と、
   前記駆動梁が連結される固定部と、
   前記変位部に形成される内枠部と、
   前記内枠部に固定される永久磁石と、
   前記可動部、前記可動梁、前記変位部、前記駆動梁、および前記固定部を取り囲んで形成される支持部と、
   前記固定部と前記支持部とを切断可能に連結する分離部とを備え、
   前記可動梁は、前記光反射面と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを特徴とするミラーチップ。
4. 請求項３に記載のミラーチップにおいて、
   前記分離部は、前記固定部と前記支持部とが部分的に連結されていることを特徴とするミラーチップ。
5. 請求項３または４に記載のミラーチップにおいて、
   前記分離部は、前記固定部および前記支持部の厚さよりも小さい厚さを有することを特徴とするミラーチップ。
6. 光スキャナーの製造方法であって、
   光反射面を有する光反射部材と、
   前記光反射部材を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、
   前記可動部から前記光反射面に沿って延在し、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って９０度間隔で設けられた４つの可動梁と、
   前記可動梁に連結される変位部と、
   前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の面方向に延長する２つの駆動梁と、
   前記駆動梁が連結される固定部と、
   前記光反射部材、前記支持部材、前記可動部、前記可動梁、前記変位部、前記駆動梁、および前記固定部を取り囲んで形成される支持部と、
   前記固定部と前記支持部とを切断可能に連結する分離部と、を含み、
   前記可動梁は、前記光反射面と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有するミラーチップを形成する工程と、
   前記固定部を基台に固定する固定工程と、
   前記固定工程の後に、前記分離部において前記固定部と前記支持部とを分離する分離工程と、を備えることを特徴とする光スキャナーの製造方法。
7. 光源と、
   前記光源からの光を走査する光スキャナーと、を備え、
   前記光スキャナーは、
   光反射面を有する光反射部材と、
   前記光反射部材を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、
   前記可動部から前記光反射面に沿って延在し、かつ前記可動部の平面視にて前記可動部の周方向に沿って９０度間隔で設けられた４つの可動梁と、
   前記可動梁に連結される変位部と、
   前記変位部に連結される前記可動梁の延在方向と直交して前記光反射面の面方向に沿って前記変位部から延在する２つの駆動梁と、
   前記駆動梁が連結される固定部と、
   前記変位部に形成される内枠部と、
   前記内枠部に固定される永久磁石と、
   前記変位部を駆動する駆動部と、を備え、
   前記可動梁は、前記光反射面と垂直な方向に前記可動梁を屈曲変形させる屈曲部を有することを特徴とする画像形成装置。