JP2012078398A - 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ - Google Patents

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Abstract

【課題】圧電素子によって駆動される部材の、異なる2つの方向への振動を、独立して制御することができる駆動装置を提供する。また、圧電素子によって駆動される部材を、異なる2つの方向へ効率よく振動させる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置(1)は、第1の方向に沿って厚みすべり振動をする第1圧電素子(6)と、第1圧電素子(6)により駆動され、第1の方向に沿って振動する第1部材(3b)と、第1部材(3b)に支持され、第2の方向に沿って厚みすべり振動をする第2圧電素子(7)と、第2圧電素子(7)により駆動され、第2の方向に沿って振動する第2部材(3a)と、を備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラに関する。
従来から、圧電素子を用いた駆動装置が知られている。このような駆動装置として、複数の圧電素子を駆動させ、被駆動体に接触させるチップ部材を楕円運動させることで、被駆動体を駆動させるものが開示されている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1では、XYZ直交座標系を設定した場合に、チップ部材のXZ平面に平行な楕円運動により被駆動体をX軸方向に駆動する。
特開2007−236138号公報
しかしながら、上記従来の駆動装置は、チップ部材とベース部材との距離が変化する持ち上げ方向の振動と、チップ部材とベース部材との距離が変化しない送り方向の振動を、それぞれ独立して制御できないという課題がある。また、チップ部材を、持ち上げ方向と送り方向とにそれぞれ効率よく振動させることが困難であるという課題がある。
そこで、本発明は、圧電素子によって駆動される部材の、異なる2つの方向への振動を、独立して制御することができる駆動装置を提供する。また、圧電素子によって駆動される部材を、異なる2つの方向へ効率よく振動させる駆動装置を提供する。さらに、この駆動装置を備えたレンズ鏡筒及びカメラを提供する。
上記の課題を解決するために、本発明は実施の形態に示す図1〜図5に対応付けした以下の構成を採用している。なお、本発明を分かり易く説明するために、一実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明するが、本発明は実施形態に限定されるものではない。
本発明の駆動装置(1)は、第1の方向に沿って厚みすべり振動をする第1圧電素子(6)と、第1圧電素子(6)により駆動され、第1の方向に沿って振動する第1部材(3b)と、第1部材(3b)に支持され、第2の方向に沿って厚みすべり振動をする第2圧電素子(7)と、第2圧電素子(7)により駆動され、第2の方向に沿って振動する第2部材(3a)と、を備える。
本発明のレンズ鏡筒(103)及びカメラ(101)は、駆動装置(1)を備える。
本発明の駆動装置によれば、圧電素子によって駆動される部材の異なる2つの方向への振動を、独立して制御することができる。また、圧電素子によって駆動される部材を、異なる2つの方向へ効率よく振動させることができる。また、本発明によれば、この駆動装置を備えたレンズ鏡筒及びカメラが提供される。
本発明の実施の形態における駆動装置の正面図である。 図1に示す駆動装置の回路図である。 図1に示す駆動装置の第1の変形例を示す部分拡大図である。 図1に示す駆動装置の第2の変形例を示す部分拡大図である。 図1に示す駆動装置を備えたレンズ鏡筒及びカメラの概略構成図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
本実施形態の駆動装置は、ベース部に対してロータを相対的に変位させる相対駆動を行い、ロータによってカメラのレンズ鏡筒等の光学機器や電子機器を駆動する。
図1に示すように、駆動装置1は、ベース部2と、駆動駒3と、ロータ4と、支持軸5と、第1圧電素子6と、第2圧電素子7と、を備えている。
ベース部2は、導電性を有し、弾性体とみなせる例えばステンレス鋼を含む材料によって設けられている。ベース部2は、中央部に軸方向の貫通穴を有する中空円筒状の形状に形成されている。ベース部2の表面には絶縁処理が施され、例えば絶縁膜が成膜されている。ベース部2の貫通穴には、支持軸5が挿通されている。
ベース部2の一方の端部には、複数の保持部2aがベース部2の周方向に隣接して設けられている。保持部2aは、駆動駒3をベース部2の周方向の両側から挟みこむように保持する凹状の形状に形成されている。ベース部2の他方の端部は、例えばボルト等の不図示の締結部材により、取付部101aに固定されている。ベース部2の中央部よりも取付部101aに近い部分には、周方向に連続する溝部2dが設けられている。
駆動装置1は、所定の位相差で駆動する3つの駆動駒3の組を2組有している。本実施形態では、ベース部2の周方向に等間隔に配置された6つの駆動駒3のうち、3つの駆動駒31が第1組に属し、3つの駆動駒32が第2組に属している。各組の駆動駒31と駆動駒32とは、ベース部2の周方向、すなわちロータ4の回転方向Rに交互に配置されている。
各々の駆動駒3は、基部(第1部材)3bと先端部(第2部材)3aとを有している。
基部3bは、周方向に交差する一対の側面がやや傾斜したほぼ直方体形状を有している。基部3bは例えば軽金属合金等により形成され、導電性を有している。基部3bは保持部2aによって支持軸5と平行な方向に駆動可能に支持されている。
先端部3aは、断面が山形の六角柱形状を有している。先端部3aは例えばステンレス鋼等により形成され、導電性を有している。先端部3aは、基部3bとロータ4との間に配置され、保持部2aから突出してロータ4を支持している。
ロータ4は、不図示のベアリングを介して支持軸5に取り付けられ、支持軸5を中心として、回転方向Rの前方又は後方に回転可能に設けられている。ロータ4の外周面には、例えばカメラのレンズ鏡筒等を駆動するための歯車4aが形成されている。ロータ4のベース部2に対向する面は、複数の駆動駒3によって支持されている。
支持軸5は、中心線がロータ4の回転軸と一致するように配置された丸棒状の部材である。支持軸5は、一方の端部が取付部101aに固定されている。支持軸5は、ベース部2とロータ4を貫通している。支持軸5は、ロータ4の回転方向Rに沿って配置された複数の駆動駒3の中心に配置されている。
第1圧電素子6は、例えばジルコン酸チタン酸塩(PZT)を含む材料により形成されている。第1圧電素子6は、ベース部2の保持部2aの内側の面と、駆動駒3の基部3bの側面との間に配置されている。第1圧電素子6は、駆動駒3の基部3bをロータ4の回転方向Rの前方及び後方から挟みこむように配置されている。第1圧電素子6は、駆動駒3の基部3bの、ロータ4の回転方向Rにおける前方及び後方の各側面に、2つずつ配置されている。各側面の2つの第1圧電素子6は、それぞれベース部2の径方向、すなわちロータ4の径方向に、隣接して配置されている。
各々の第1圧電素子6は、支持軸5の軸方向に長い短冊状の形状を有している。第1圧電素子6は、支持軸5の軸方向(第1の方向)に沿う長手方向に厚みすべり振動をするように設けられている。各々の第1圧電素子6は、導電性を有する接着剤により、ベース部2の保持部2aの内側の面と、駆動駒3の基部3bの側面との双方に接着されている。
ここで、第1圧電素子6の厚み方向を、各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向、すなわち各駆動駒3の中心を通る中心円の接線方向とする。このとき、第1圧電素子6の厚み方向における縦弾性係数は、長手方向における横弾性係数よりも大きい。例えば、第1圧電素子6の振動モードが縦効果厚みすべり振動である場合、第1圧電素子6の縦弾性係数は約167GPaであり、横弾性係数は約25GPaである。すなわち、第1圧電素子6の横弾性係数は、縦弾性係数の約1/6程度である。
同様に、ベース部2も、縦弾性係数が横弾性係数よりも大きい。例えば、ベース部2がSUS304を主体として形成されている場合、縦弾性係数は約193GPaであり、横弾性係数は約69GPaである。ここで、第1圧電素子6の横弾性係数は、ベース部2の縦弾性係数の約1/8程度である。例えば、第1圧電素子6の長手方向における横弾性係数をk1とし、ベース部2の縦弾性係数をkbとする。この場合、第1圧電素子6の横弾性係数k1とベース部2の縦弾性係数kbとの比k1/kbは、1以下であればよい。また、比k1/kbは、0.2未満としてもよい。
また、第1圧電素子6の厚み方向における縦弾性係数は、ベース部2の縦弾性係数と等しいかそれよりも小さい。
第2圧電素子7は、例えばジルコン酸チタン酸塩を含む材料により形成されている。第2圧電素子7は、駆動駒3の先端部3aと基部3bとの間に配置されている。すなわち、第2圧電素子7は、駆動駒3の基部3bに支持されるとともに、基部3b上で先端部3aを支持している。第2圧電素子7は、ベース部2の径方向に隣接して2つ配置されている。
各々の第2圧電素子7は、各駆動駒3の中心を通る中心円の接線方向、すなわち各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向に長い短冊状の形状を有している。第2圧電素子7は、各駆動駒3の中心を通る中心円の接線方向、すなわち各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向(第2の方向)に沿って、厚みすべり振動をするように設けられている。各々の第2圧電素子7は、導電性を有する接着剤により、駆動駒3の先端部3aと基部3bとの双方に接着されている。
ここで、第2圧電素子7の厚み方向を、支持軸5の軸方向に平行な方向とする。このとき、第2圧電素子7の厚み方向における縦弾性係数は、長手方向における横弾性係数よりも大きい。例えば、第2圧電素子7の振動モードが縦効果厚みすべり振動である場合、第2圧電素子7の縦弾性係数は約167GPaであり、横弾性係数は約25GPaである。すなわち、第2圧電素子7の横弾性係数は、縦弾性係数の約1/6程度である。
図2(a)及び図2(b)に示すように、駆動装置1は、第1圧電素子6及び第2圧電素子7の各々に電圧を供給する電源部10を備えている。電源部10は、第1端子T1から第4端子T4を備えている。第1端子T1から第4端子T4は、それぞれ所定の周波数のサイン波状の電圧を供給する。また、電源部10は、第1端子T1及び第2端子T2の各端子間、並びに、第3端子T3及び第4端子T4の各端子間で、所定の位相差を有する同一波形のサイン波状の電圧を供給する。
図1及び図2(a)に示すように、第1圧電素子6のうち、第1組に属する3つの駆動駒31とベース部2との間に配置された12の第1圧電素子61は、配線11を介して第1端子T1に電気的に接続されている。第1圧電素子6のうち、第2組に属する3つの駆動駒32とベース部2との間に配置された12の第1圧電素子62は、配線12を介して第2端子T2に電気的に接続されている。
図1及び図2(b)に示すように、第2圧電素子7のうち、第1組に属する3つの駆動駒31の先端部31aと基部31bとの間に配置された6つの第2圧電素子71は、配線13を介して第3端子T3に電気的に接続されている。第2圧電素子7のうち、第2組に属する3つの駆動駒32の先端部32aと基部32bとの間に配置された6つの第2圧電素子72は、配線14を介して第4端子T4に電気的に接続されている。
駆動装置1において駆動駒3によりロータ4を回転させる際には、第1組の3つの駆動駒31を同期して駆動させる。そして、第1組の駆動駒31と所定の位相差を有して、第2組の3つの駆動駒32を、第1組と同様に同期して駆動させる。これにより、第1組の3つの駆動駒31と第2組の3つの駆動駒32とが、ロータ4を交互に支持して回転させる。
具体的には、電源部10の第1端子T1は、第1圧電素子61にサイン波状の電圧を供給する。すると、第1圧電素子61は、支持軸5に沿う第1の方向の厚みすべり振動を開始する。駆動駒31は、第1圧電素子61の変形によって駆動され、ベース部2から離間する方向へ移動する。
このとき、電源部10の第3端子T3は、第2圧電素子71に、サイン波状の電圧を供給している。すると、第2圧電素子71は、各駆動駒3の中心を通る中心円の接線方向、すなわち各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向において、ロータ4の回転方向Rの前方側への厚みすべり振動を開始する。駆動駒31の先端部31aは、第2圧電素子71の変形によって各駆動駒3の中心を通る中心円の接線方向、すなわち支持軸5の軸方向と直交する第2の方向に駆動される。このとき、駆動駒31の先端部31aは、ロータ4との間に作用する摩擦力によってロータ4を回転方向Rの前方へ回転させる。
その後、第1圧電素子61は、電源部10の第1端子T1によって供給されたサイン波状の電圧により、ロータ4から離れる逆方向の変形を開始する。第1組の駆動駒31は、第1圧電素子61の逆方向の変形により、ロータ4から離間する方向に移動する。
このとき、第2圧電素子71は、電源部10の第3端子T3によって供給されたサイン波状の電圧により、ロータ4の回転方向Rの後方側への逆方向の変形を開始する。第1組の駆動駒31の先端部31aは、ロータ4から離れた状態で、第2圧電素子71の逆方向の変形により、ロータ4の回転方向Rの後方側へ向けて移動する。
その後、第1組の駆動駒31は、ロータ4への先端部31aの接触、ロータ4の回転方向Rの前方側への先端部31aの駆動、ロータ4からの先端部31aの離間、ロータ4の回転方向Rの後方側への先端部31aの駆動、を繰り返す。すなわち、駆動駒31の基部31b及び先端部31aは、第1圧電素子61により駆動され、支持軸5の軸方向である第1の方向に沿って振動する。また、駆動駒31の先端部31aは、第2圧電素子71により駆動され、基部31b及びベース部2に対して、各駆動駒3の中心を通る中心円の接線方向、すなわち各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向に沿って振動する。これにより、第1組の駆動駒31は、先端部31aが円軌道または楕円軌道を描くように駆動する。
第2組の駆動駒32は、第1組の駆動駒31と所定の位相差を有して、第1組の駆動駒31と同様に駆動する。すなわち、電源部10の第2端子T2は、第1端子T1が供給する電圧と同様の波形を有し、第1端子T1が供給する電圧と所定の位相差を有するサイン波状の電圧を、第1圧電素子62に供給する。また、電源部10の第4端子T4は、第3端子T3が供給する電圧と同様の波形を有し、第3端子T3が供給する電圧と所定の位相差を有するサイン波状の電圧を、第2圧電素子72に供給する。
第2組の3つの駆動駒32の先端部32aは、第1組の3つの駆動駒31の先端部31aがロータ4から離間する前にロータ4に接触し、第1組の3つの駆動駒31の先端部31aがロータ4に接触した後にロータ4から離間する。したがって、ロータ4は、第1組の3つの駆動駒31と第2組の3つの駆動駒32とにより交互に支持されて駆動され、支持軸5の軸方向における位置をほぼ一定に保った状態で所定の回転速度で回転方向Rの前方又は後方へ回転する。
以上のように、駆動装置1は、支持軸5に沿う第1の方向に厚みすべり振動をする第1圧電素子6と、各駆動駒3の中心を通る中心円の接線方向、すなわち各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向に厚みすべり振動をする第2圧電素子7とを備えている。
そのため、第1圧電素子6によって、駆動駒3の基部3b及び先端部3aを、ベース部2に対して支持軸5と平行な方向へ振動させることができる。また、第2圧電素子7によって、駆動駒3の先端部3aを、ベース部2及び駆動駒3の基部3bに対して、各駆動駒3の中心を通る中心円の接線方向、すなわち各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向に振動させることができる。
したがって、本実施形態の駆動装置1によれば、第1圧電素子6と、第2圧電素子7とを独立して制御することで、駆動駒3の先端部3aの支持軸5と平行な方向への振動と、先端部3aの各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向への振動とを独立して制御することができる。そのため、従来よりも、駆動駒3の各方向への振動を効率よく行うことができ、ロータ4を効率よく回転させることができる。
駆動装置1においては、第1圧電素子6が、駆動駒3の基部3bが駆動する方向である支持軸5と平行な方向へ、厚みすべり振動する。すなわち、第1圧電素子6は、厚み方向の剛性を示す縦弾性係数が、振動方向の剛性を示す横弾性係数よりも大きい。換言すると、第1圧電素子6は、駆動駒3の基部3bが振動する方向の剛性が比較的低く、駆動駒3の基部3bが振動する方向と直交する方向の剛性が比較的高い。
駆動装置1においては、駆動駒3の基部3bの上で、先端部3aが、基部3bが振動する方向と直交する方向である各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向に振動する。しかし、第1圧電素子6は、駆動駒3の基部3bが振動する方向の剛性が比較的低く、駆動駒3の基部3bが振動する方向と直交する方向である先端部3aの振動方向の剛性が比較的高い。第1圧電素子6は、駆動駒3の基部3bを先端部3aの振動方向の両側から挟みこむように配置されている。そのため、第1圧電素子6から駆動駒3の基部3bへ、駆動駒3の先端部3aの振動による慣性力に対向する抗力が十分に作用する。これにより、駆動駒3の先端部3aが各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向に振動しても、基部3bがその方向へ振動しにくくなる。
駆動装置1においては、第2圧電素子7が、駆動駒3の先端部3aが駆動する方向である支持軸5と直交する方向へ、厚みすべり振動する。すなわち、第2圧電素子7は、厚み方向の剛性を示す縦弾性係数が、振動方向の剛性を示す横弾性係数よりも大きい。換言すると、第2圧電素子7は、駆動駒3の先端部3aが振動する方向の剛性が比較的低く、駆動駒3の基部3bが振動する方向の剛性が比較的高い。そのため、支持軸5の軸方向と平行な第1圧電素子6による振動方向においては、駆動駒3の先端部3aは基部3bと一体的に振動する。一方、各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向に平行な第2圧電素子7による振動方向においては、駆動駒3の先端部3aは基部3bと独立して振動する。
したがって、本実施形態の駆動装置1によれば、駆動駒3の基部3bの振動が、その振動方向と直交する方向の振動と干渉することを防止できる。また、駆動駒3の先端部3aの振動が、その振動方向と直交する方向の振動と干渉することを防止できる。これにより、駆動駒3の先端部3aの支持軸5と平行な方向への振動と、駆動駒3先端部3aの支持軸5と直交する方向への振動とを独立して制御することが可能になる。
駆動装置1においては、第1圧電素子6の縦弾性係数よりも、ベース部2の縦弾性係数が大きい。そのため、第1圧電素子6を介してベース部2に作用する駆動駒3の先端部3aの振動による慣性力に対して、ベース部2の保持部2aの内側の面によって十分な抗力を作用させることができる。したがって、駆動駒3の基部3bが先端部3aの振動方向に振動することを防止できる。なお、第1圧電素子6の縦弾性係数とベース部2の縦弾性係数とは、等しくてもよい。
ここで、第1圧電素子6の横弾性係数k1と、ベース部2の縦弾性係数kbとの比k1/kbが、0.2以上であると仮定する。すると、駆動駒3の基部3bの振動方向における第1圧電素子6の剛性と、その振動方向に直交する方向における第1圧電素子6の剛性の差異が十分ではない場合がある。この場合、支持軸5の軸方向に平行な方向の駆動駒3の基部3bの振動と、各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向に平行な駆動駒3の先端部3aの振動とが干渉し、これらの振動を独立して制御できなくなるおそれがある。
駆動装置1は、比k1/kbが、0.2未満である。したがって、支持軸5の軸方向に平行な方向の駆動駒3の基部3bの振動と、各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向に平行な駆動駒3の先端部3aの振動とを独立させ、これらの振動を独立して制御することができる。
以上説明したように、本実施形態の駆動装置1によれば、第1圧電素子6及び第2圧電素子7によって駆動される駆動駒3の基部3b及び先端部3aの、異なる2つの方向への振動を、独立して制御することができる。また、第1圧電素子6及び第2圧電素子7によって駆動される駆動駒3の基部3b及び先端部3aを、異なる2つの方向へ効率よく振動させることができる。
次に、本実施形態の駆動装置1の変形例について、図1及び図2を援用し、図3及び図4を用いて説明する。
図3に示すように、駆動装置1の第1の変形例である駆動装置1Aは、第1圧電素子6が駆動駒3の基部3bの片方の側面とベース部2との間のみに配置されている。その他は、駆動装置1と同様である。
駆動装置1Aによれば、上述の駆動装置1と同様に、駆動駒3の先端部3aを円軌道又は楕円軌道で効率よく駆動させることができる。したがって、駆動装置1Aによれば、上述の駆動装置1と同様の効果が得られるだけでなく、第1圧電素子6の数を減少させ、構成を簡略化することができる。
図4に示すように、駆動装置1の第2の変形例である駆動装置1Bは、駆動駒3の基部3bの底面が第1圧電素子6を介してベース部2に固定されている。また、駆動駒3の基部3bの片方の側面に第2圧電素子7を介して先端部3aが固定されている。その他は、駆動装置1と同様である。
駆動装置1Bでは、第1圧電素子6が、各駆動駒3の中心を通る中心円の接線方向、すなわち各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向(第1の方向)に沿って厚みすべり振動をする。これにより、駆動駒3の基部3bと先端部3aとが第1圧電素子6に駆動され、各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向に沿って振動する。第2圧電素子7は、駆動駒3の基部3bの側面に支持され、支持軸5の軸方向と平行な方向(第2の方向)に沿って厚みすべり振動をする。駆動駒3の先端部3aは、第2圧電素子7によって駆動され、支持軸5の軸方向と平行な方向に沿って振動する。
そのため、駆動装置1Bによれば、上述の駆動装置1と同様に、駆動駒3の先端部3aを円軌道又は楕円軌道で効率よく駆動させることができる。
したがって、駆動装置1Bによれば、上述の駆動装置1と同様の効果が得られるだけでなく、第1圧電素子6の数を減少させ、構成を簡略化することができる。
次に、本実施形態の駆動装置1を備えたレンズ鏡筒及びカメラの一例について説明する。本実施形態の交換レンズは、カメラボディとともにカメラシステムを形成するものである。交換レンズは、公知のAF(オートフォーカス)制御に応じて合焦動作を行うAFモードと、撮影者からの手動入力に応じて合焦動作を行うMF(マニュアルフォーカス)モードとが切り替え可能になっている。
図5に示すように、カメラ101は、撮像素子108が内蔵されたカメラボディ102と、レンズ107を有するレンズ鏡筒103とを備えている。
レンズ鏡筒103は、カメラボディ102に着脱可能な交換レンズである。レンズ鏡筒103は、レンズ107、カム筒106、駆動装置1等を備えている。駆動装置1は、カメラ101のフォーカス動作時にレンズ107を駆動する駆動源として用いられている。駆動装置1のロータ4から得られた駆動力は、直接、カム筒106に伝えられる。レンズ107は、カム筒106に保持されており、駆動装置1の駆動力により、光軸方向Lに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。
カメラ101の使用時には、レンズ鏡筒103内に設けられたレンズ群(レンズ107を含む)によって、撮像素子108の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子108によって、結像された被写体像は電気信号に変換され、その信号をA/D変換することによって、画像データが得られる。
以上説明したように、カメラ101及びレンズ鏡筒103は、上述の駆動装置1を備えている。したがって、従来よりもロータ4を効率よく回転させ、レンズ107を効率よく駆動することができる。
本実施形態では、レンズ鏡筒103は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されることはない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。本発明は前述した説明によって限定されることはなく、添付のクレームの範囲によってのみ限定される。
1,1A,1B 駆動装置、2 ベース部、3a,31a,32a 先端部(第2部材)、3b,31b,32b 基部(第1部材)、6,61,62 第1圧電素子、7,71,72 第2圧電素子、101 カメラ、103 レンズ鏡筒

Claims (7)

  1. 第1の方向に沿って厚みすべり振動をする第1圧電素子と、
    前記第1圧電素子により駆動され、前記第1の方向に沿って振動する第1部材と、
    前記第1部材に支持され、第2の方向に沿って厚みすべり振動をする第2圧電素子と、
    前記第2圧電素子により駆動され、前記第2の方向に沿って振動する第2部材と、
    を備える駆動装置。
  2. 請求項1に記載の駆動装置において、
    前記第1圧電素子は、縦弾性係数が横弾性係数よりも大きく、
    前記第2圧電素子は、縦弾性係数が横弾性係数よりも大きい駆動装置。
  3. 請求項2に記載の駆動装置において、
    前記第1圧電素子を介して前記第1部材を前記第1の方向に振動可能に支持するベース部を備え、
    前記第1圧電素子の縦弾性係数と、前記ベース部の縦弾性係数とが等しいか、又は、前記第1圧電素子の縦弾性係数よりも、前記ベース部の縦弾性係数が大きい駆動装置。
  4. 請求項3に記載の駆動装置において、
    前記第1圧電素子の前記第1の方向における横弾性係数(k1)と、前記ベース部の縦弾性係数(kb)との比(k1/kb)が、0.2未満である駆動装置。
  5. 請求項3又は請求項4に記載の駆動装置において、
    前記第1圧電素子及び前記第2圧電素子は、ジルコン酸チタン酸塩を含み、
    前記ベース部は、ステンレス鋼を含む駆動装置。
  6. 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の駆動装置を備えたレンズ鏡筒。
  7. 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の駆動装置を備えたカメラ。
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