JP2013201843A - 駆動装置とその製造方法、レンズ鏡筒及びカメラ - Google Patents

Abstract

【課題】被駆動体への駆動特性に悪影響を及ぼすことを抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】第１の方向に振動をする第１振動素子６１と、第１の方向とは異なる第２の方向に沿って振動をする第２振動素子７１と、第１振動素子及び第２振動素子の振動により駆動面に振動波を生じさせる第１弾性体３１ａとを有する第１振動部３１と、第３の方向に振動をする第３振動素子６２と、第３の方向とは異なる第４の方向に沿って振動をする第４振動素子７２と、第３振動素子及び第４振動素子の振動により駆動面に振動波を生じさせる第２弾性体３２ａとを有する第２振動部３２と、第１振動部を保持する第１保持部２ａと、第２振動部を保持する第２保持部２ａと、第１振動部と第２振動部との間に備えられたスリット部ＳＬとを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、駆動装置とその製造方法、レンズ鏡筒及びカメラに関するものである。

従来、圧電素子を用いた駆動装置が知られている。このような駆動装置においては、複数の圧電素子を駆動させ、被駆動体に接触する部分を楕円運動させることで、被駆動体を駆動させるものがある。

例えば、特許文献１の駆動装置では、被駆動体を支持する弾性体の先端部と、一対の第１圧電素子に挟み込まれた弾性体の基部と、先端部と基部との間に設けられた第２圧電素子と、からなる駆動駒を備え、駆動駒の先端部の楕円運動を、それぞれ独立した異なる２方向の振動により実現している。複数の駆動駒は円環状に配置されており、複数の駆動駒を円周方向から挟んで保持する複数の突起を有するベース部が設けられている。

特開２０１０−２８８３５５号公報

しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
上記のベース部には、２方向に振動する弾性体の組が周方向に複数設けられるため、各組の弾性体の影響を他の組の弾性体が受けることにより、振動のばらつきや低減、異モードの混入等の問題が生じ、被駆動体への駆動特性に悪影響を及ぼす可能性がある。

本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、被駆動体への駆動特性に悪影響を及ぼすことを抑制できる駆動装置とその製造方法、レンズ鏡筒及びカメラ駆動装置とその製造方法、レンズ鏡筒及びカメラを提供することを目的とする。

本発明の第１の態様に従えば、第１の方向に振動をする第１振動素子と、第１の方向とは異なる第２の方向に沿って振動をする第２振動素子と、第１振動素子及び第２振動素子の振動により駆動面に振動波を生じさせる第１弾性体とを有する第１振動部と、第３の方向に振動をする第３振動素子と、第３の方向とは異なる第４の方向に沿って振動をする第４振動素子と、第３振動素子及び第４振動素子の振動により駆動面に振動波を生じさせる第２弾性体とを有する第２振動部と、第１振動部を保持する第１保持部と、第２振動部を保持する第２保持部と、第１振動部と第２振動部との間に備えられたスリット部とを有することを特徴とする駆動装置が提供される。

本発明の第２の態様に従えば、第１の方向に厚みすべり振動をする第１圧電素子と、第１の方向とは異なる第２の方向に沿って厚みすべり振動をする第２圧電素子と、第１圧電素子及び第２圧電素子の作動により、駆動面に振動波を生じさせる弾性体と、駆動面に加圧接触されて駆動される被駆動体と、弾性体を複数保持するとともに、複数の弾性体を振動的に互いに独立させるように、隣り合う弾性体を分離するスリット部を有するベース部と、を備える駆動装置が提供される。

本発明の第３の態様に従えば、第１の方向に厚みすべり振動をする第１圧電素子と、第１の方向とは異なる第２の方向に沿って厚みすべり振動をする第２圧電素子と、第１圧電素子及び第２圧電素子の作動により、駆動面に振動波を生じさせる弾性体と、駆動面に加圧接触されて駆動される被駆動体と、弾性体を複数保持するベース部とを備える駆動装置の製造方法であって、複数の弾性体を振動的に互いに独立させるように、隣り合う弾性体を分離するスリット部をベース部に形成する工程を含むことを特徴とする駆動装置の製造方法が提供される。

本発明の第４の態様に従えば、本発明の第１の態様の駆動装置と、駆動装置によって駆動されるカム筒と、カム筒に移動可能に保持されて焦点調整を行うレンズと、を備えたレンズ鏡筒が提供される。

本発明の第５の態様に従えば、本発明の第３の態様のレンズ鏡筒と、レンズ鏡筒に設けられたレンズによって撮像面に被写体像が結像される撮像素子と、を備えたカメラが提供される。

本発明では、被駆動体への駆動特性に悪影響を及ぼすことを抑制でき、安定して被駆動体を駆動することが可能になる。

本発明に係る一実施形態の駆動装置１の正面図である。 駆動装置１の平面図である。 駆動装置１の斜視図である。 駆動装置１の回路図である。 第２実施形態に係る駆動装置１の正面図である。 ロータ４を除いた駆動装置１の外観斜視図である。 駆動装置１を備えたレンズ鏡筒及びカメラの概略構成図である。

以下、本発明の駆動装置とその製造方法、レンズ鏡筒及びカメラの実施の形態を、図１ないし図７を参照して説明する。
かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。

（第１実施形態）
本実施形態の駆動装置は、ベース部に対してロータを相対的に変位させる相対駆動を行い、ロータによってカメラのレンズ鏡筒等の光学機器や電子機器を駆動する。

図１は、本発明に係る一実施形態の駆動装置１の正面図である。図２は、駆動装置１の平面図である。図３は、駆動装置１の斜視図である。なお、図２及び図３においては便宜上ロータ４の図示を省略している。

図１に示すように、駆動装置１は、ベース部２と、駆動駒３と、ロータ（被駆動体）４と、支持軸５と、を備えている。

ベース部２は、導電性を有する弾性体であり、例えばステンレス鋼を含む材料によって形成されている。ベース部２は、中央部に軸方向の貫通穴を有する中空円筒形状に形成されている。ベース部２の表面には、例えば絶縁膜（図示略）が形成されることにより絶縁処理が施されている。ベース部２の貫通穴には、支持軸５が挿通されている。

ベース部２の一方の端部（上端部）には、ロータ４の回転軸線（支持軸５３の軸線；図１では上下方向に延びる軸線、以下、単に回転軸線と称する）周りに複数（ここでは６つ）の保持部（第１保持部、第２保持部）２ａがベース部２の周方向に間隔をあけて設けられている。保持部２ａは、凹形状に形成されている。保持部２ａは、駆動駒３をベース部２の周方向の両側から挟み込むように保持する。

ベース部２は、他方の端部（下端部）において、回転軸線周りの周方向に連続する溝部２ｄによって形成された小径部８０を介してハウジング部Ｈに支持されることで、ハウジング部Ｈとは振動的に略独立した構成となっている。ハウジング部Ｈは、例えばボルト等の締結部材（図示略）により、取付部１０１ａに固定されている。

また、ベース部２は、図３に示すように、周方向で隣り合う保持部２ａの中間位置にて、回転軸線を含む径方向及び回転軸線方向を含む平面と平行に形成されたスリット部ＳＬによって、周方向に６つに分割されている。スリット部ＳＬは、下端部において溝部２ｄに連通して形成されている。スリット部ＳＬの幅は、駆動駒（弾性体）３（先端部３ａ）の振動時の周方向の最大振幅の二倍以上（例えば、駆動駒３の最大振幅が２０μｍ程度の場合は、スリット部ＳＬの幅は５０μｍ）に設定されている。
従って、ベース部２は、それぞれが保持部２ａに駆動駒３を保持した状態で周方向に互いに分離され、下端部で小径部８０を介してハウジング部Ｈに支持される。

駆動装置１は、所定の位相差で駆動する３つの駆動駒３の組を２組有している。本実施形態では、ベース部２の周方向に等間隔に配置された６つの駆動駒３のうち、３つの駆動駒（第１振動部）３１が第１組に属し、３つの駆動駒（第２振動部）３２が第２組に属している。各組の駆動駒３１と駆動駒３２とは、ベース部２の周方向、すなわちロータ４の回転方向Ｒに交互に配置されている。

各々の駆動駒３は、基部３ｂと、先端部３ａと、第１の方向（ここでは、ほぼ鉛直方向）に沿って厚みすべり振動をする第１圧電素子６と、第１の方向とは異なる第２の方向（ここでは水平方向）に沿って厚みすべり振動をする第２圧電素子７と、それぞれ組をなして備えている。

各々の駆動駒３は、第１の方向（ここでは、ほぼ鉛直方向）に沿って厚みすべり振動をする第１圧電素子６と、基部（第１部材）３ｂと先端部（第２部材）３ａと第１の方向とは異なる第２の方向（ここでは水平方向）に沿って厚みすべり振動をする第２圧電素子７とが組をなす構造体３Ｇと、を備えている。

基部３ｂは、導電性を有しており、例えば軽金属合金により形成されている。基部３ｂは、ベース部２の周方向に位置する一対の側面３ｆ１、３ｆ３が下方に向かうに従って互いに接近するようにやや傾斜した略直方体形状に形成されている。基部３ｂは、保持部２ａによって支持軸５と平行な方向に駆動可能に支持されている。基部３ｂは、第１圧電素子６によって駆動され、支持軸５と平行な方向に振動する。

基部３ｂには複数（４つ）の第１圧電素子６が設けられている。基部３ｂは、２つの第１圧電素子６を第１の面３ｆ１で支持するとともに残りの２つの第１圧電素子６を第１の面３ｆ１と対向する第３の面（側面）３ｆ３で支持している。

先端部３ａは、導電性を有しており、例えばステンレス鋼により形成されている。先端部３ａは、断面視において山形の六角形形状に形成されている。先端部３ａは、基部３ｂとロータ４との間に配置されている。先端部３ａは、保持部２ａから突出し、上面３５でロータ４を接触支持している。先端部３ａは、第２圧電素子７によって駆動され、第２の方向に沿って振動する。

ロータ４は、ベアリング（図示略）を介して支持軸５に取り付けられている。ロータ４は、支持軸５を中心として、回転方向Ｒの前方又は後方に回転可能に設けられている。ロータ４の外周面には、例えばカメラのレンズ鏡筒等を駆動するための歯車４ａが形成されている。ロータ４のベース部２に対向する面は、複数の駆動駒３によって支持されている。

支持軸５は、中心軸線がロータ４の回転軸と一致するように配置された丸棒状の部材である。支持軸５は、一方の端部（下端部）が取付部１０１ａに固定されている。支持軸５は、ベース部２とロータ４を貫通している。支持軸５は、ロータ４の回転方向Ｒに沿って配置された複数の駆動駒３の中心に配置されている。

第１圧電素子６は、例えばジルコン酸チタン酸塩（ＰＺＴ）を含む材料により形成されている。第１圧電素子６は、ベース部２の保持部２ａの内側の面と、駆動駒３の基部３ｂの側面との間に配置されている。第１圧電素子６は、駆動駒３の基部３ｂをロータ４の回転方向Ｒの前方及び後方（周方向の両側）から挟みこむように配置されている。
第１圧電素子６は、支持軸５のほぼ軸方向に長手を有して形成されている。複数（４つ）の第１圧電素子６は、それぞれ基部３ｂの側面３ｆ１，３ｆ３に沿って第１の方向に厚みすべり振動をする。各第１圧電素子６は、支持軸５のほぼ軸方向に沿う長手方向に厚みすべり振動をするように設けられている。各第１圧電素子６は、導電性を有する接着剤により、ベース部２の保持部２ａの内側の面と、駆動駒３の基部３ｂの側面３ｆ１，３ｆ３との双方に接着されている。

第２圧電素子７は、例えばジルコン酸チタン酸塩（ＰＺＴ）を含む材料により形成されている。第２圧電素子７は、各駆動駒３の中心を通る中心円の接線方向、すなわち各駆動駒３の中心におけるロータ４の回転円の接線方向に長手を有して形成されている。第２圧電素子７は、基部３ｂの上面３ｆ２沿って第２の方向に厚みすべり振動をする。第２圧電素子７は、各駆動駒３の中心を通る中心円の接線方向に厚みすべり振動をするように設けられている。すなわち、第２圧電素子７は、各駆動駒３の中心におけるロータ４の回転円の接線方向に沿って厚みすべり振動をするように設けられている。第２圧電素子７は、導電性を有する接着剤により、駆動駒３の先端部３ａの底面と基部３ｂの上面３ｆ２との双方に接着されている。

図２に示すように、ベース部２は、円周方向（ロータ４の回転方向Ｒ）に配置された各駆動駒３の一方を第１の支持面２ｆ１で支持するとともに、他方を第２の支持面２ｆ２で支持している。具体的には、ベース部２は、円周方向に配置された各駆動駒３の基部３ｂの側面３ｆ３を第１圧電素子６を挟んで第１の支持面２ｆ１で支持するとともに、基部３ｂの側面３ｆ１を第１圧電素子６を挟んで第２の支持面２ｆ２で支持している。

図４は、駆動装置１の回路図である。図４（ａ）は第１圧電素子６と電源部（印加装置）１０との接続状態を示す図であり、図４（ｂ）は第２圧電素子７と電源部１０との接続状態を示す図である。なお、便宜上、図４（ａ）においては第２圧電素子７の図示を省略し、図４（ｂ）においては第１圧電素子６の図示を省略している。

図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、駆動装置１は、第１圧電素子６及び第２圧電素子７の各々に電圧を供給する電源部１０を備えている。電源部１０は、第１端子Ｔ１、第２端子Ｔ２、第３端子Ｔ３及び第４端子Ｔ４を備えている。端子Ｔ１〜Ｔ４は、それぞれ所定の周波数の正弦波状の電圧を各圧電素子に供給する。電源部１０は、第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２の各端子間、並びに、第３端子Ｔ３及び第４端子Ｔ４の各端子間で、所定の位相差を有する同一波形の正弦波状の電圧を各圧電素子に供給する。

図１及び図４（ａ）に示すように、複数の第１圧電素子６のうち、第１組に属する３つの駆動駒３１とベース部２との間に配置された１２の第１圧電素子（第１振動素子）６１は、配線１１を介して第１端子Ｔ１に電気的に接続されている。複数の第１圧電素子６のうち、第２組に属する３つの駆動駒３２とベース部２との間に配置された１２の第１圧電素子（第３振動素子）６２は、配線１２を介して第２端子Ｔ２に電気的に接続されている。

上記構成の駆動装置１は、例えばベース部２に保持部２ａを形成した後に、スリット部ＳＬを順次形成する。スリット部ＳＬを形成した後に保持部２ａを形成することも可能であるが、スリット部ＳＬが形成され立設された保持部２ａを切削や研削等で形成する場合には、強度上の問題が生じる可能性があるため保持部２ａを先に形成することが好ましい。保持部２ａが形成されると、第１、第２圧電素子６、７、基部３ｂ及び先端部３ａを当該保持部２ａに装着する。

このとき、各保持部２ａは、周方向で隣り合う保持部２ａとの間にスリット部ＳＬが形成されて分離されているため、第１圧電素子６１及び基部３ｂを装着した際に、ベース部２の先端部が周方向に膨らんでも、接触して振動特性に悪影響を及ぼすことを回避できる。

そして、駆動装置１においては、駆動駒３を動作させてロータ４を回転させる。
駆動駒３によりロータ４を回転させる際には、第１組の３つの駆動駒３１を同期して駆動させる。そして、第１組の駆動駒３１と所定の位相差を有して、第２組の３つの駆動駒３２を、第１組の３つの駆動駒３１と同様に同期して駆動させる。これにより、第１組の３つの駆動駒３１と第２組の３つの駆動駒３２とが、ロータ４を交互に支持して回転させる。

具体的には、電源部１０の第１端子Ｔ１は、第１圧電素子６１に正弦波状の電圧を供給する。すると、第１圧電素子６１は、支持軸５の軸方向に沿う第１の方向に厚みすべり振動を開始する。駆動駒３１は、第１圧電素子６１の変形によって駆動され、ベース部２から離間する方向へ移動する。

このとき、電源部１０の第３端子Ｔ３は、第２圧電素子（第２振動素子）７１に正弦波状の電圧を供給している。すると、第２圧電素子７１は、各駆動駒３の中心を通る中心円の接線方向、すなわち各駆動駒３の中心におけるロータ４の回転円の接線方向（第２の方向）において、ロータ４の回転方向Ｒの前方向へ厚みすべり振動を開始する。駆動駒３１の先端部（第１弾性体）３１ａは、第２圧電素子７１の変形によって第２の方向に駆動される。このとき、駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４との間に作用する摩擦力によってロータ４を回転方向Ｒの前方へ回転させる。

その後、第１圧電素子６１は、電源部１０の第１端子Ｔ１によって供給された正弦波状の電圧により、ロータ４から離れる逆方向の変形を開始する。第１組の駆動駒３１は、第１圧電素子６１の逆方向の変形により、ロータ４から離間する方向に移動する。

このとき、第２圧電素子７１は、電源部１０の第３端子Ｔ３によって供給された正弦波状の電圧により、ロータ４の回転方向Ｒの後方側への逆方向の変形を開始する。第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４から離れた状態で、第２圧電素子７１の逆方向の変形により、ロータ４の回転方向Ｒの後方側へ向けて移動する。

その後、第１組の駆動駒３１は、ロータ４への先端部３１ａの接触、ロータ４の回転方向Ｒの前方側への先端部３１ａの移動、ロータ４からの先端部３１ａの離間、ロータ４の回転方向Ｒの後方側への先端部３１ａの駆動、を繰り返す。すなわち、駆動駒３１の基部３１ｂ、第２圧電素子７１、及び先端部３１ａは、第１圧電素子６１により駆動され、支持軸５の軸方向に沿って振動する。また、駆動駒３１の先端部３１ａは、第２圧電素子７１により駆動され、基部３１ｂ及びベース部２に対して、各駆動駒３の中心におけるロータ４の回転円の接線方向（第２の方向）に沿って振動する。これにより、第１組の駆動駒３１は、先端部３１ａが円軌道または楕円軌道を描くように駆動する。

第２の駆動駒３２は、第１組の駆動駒３１と所定の位相差を有しており、第１組の駆動駒３１と同様に駆動する。すなわち、電源部１０の第２端子Ｔ２は、第１端子Ｔ１が供給する電圧と同様の波形を有し、第１端子Ｔ１が供給する電圧と所定の位相差を有する正弦波状の電圧を、第１圧電素子６２に供給する。また、電源部１０の第４端子Ｔ４は、第３端子Ｔ３が供給する電圧と同様の波形を有し、第３端子Ｔ３が供給する電圧と所定の位相差を有する正弦波状の電圧を、第２圧電素子（第４振動素子）７２に供給する。

第２組の３つの駆動駒３２の先端部（第２弾性体）３２ａは、第１組の３つの駆動駒３１の先端部３１ａがロータ４から離間する前にロータ４に接触し、第１組の３つの駆動駒３１の先端部３１ａがロータ４に接触した後にロータ４から離間する。したがって、ロータ４は、第１組の３つの駆動駒３１と第２組の３つの駆動駒３２とにより交互に支持されて駆動され、支持軸５の軸方向における位置をほぼ一定に保った状態で所定の回転速度で回転方向Ｒの前方又は後方へ回転する。

上記駆動駒３１、３２にの駆動時には、各駆動駒３１、３２を保持するベース部２が隣り合う保持部２ａの間にスリット部ＳＬが介在することで、各駆動駒３１、３２が振動的に互いに独立しているため、隣り合う駆動駒３２、３１の振動の悪影響を受けることなく所定の振動特性で振動する。

以上説明したように、本実施形態では、各駆動駒３１、３２が振動的に互いに独立するようにベース部２をスリット部ＳＬで分離しているため、他の駆動駒の振動に伴って生じる悪影響を受けることなく各駆動駒３１、３２を振動させることが可能となり、ロータ４を所定の駆動特性で駆動することができる。また、本実施形態では、スリット部ＳＬが各駆動駒３１、３２の振動時の最大振幅の二倍以上の幅で形成されているため、駆動駒３１、３２が最大振幅で同期して振動した場合でも、ベース部２同士が接触してしまうことを防止でき、ロータ４の駆動に悪影響が及ぶことを防止できる。さらに、本実施形態では、スリット部ＳＬが溝部２ｄに連通して形成されているため、駆動駒３１、３２の振動的独立性をより高めることが可能になる。

（第２実施形態）
次に、駆動装置１の第２実施形態について、図５及び図６を参照して説明する。
上記第１実施形態では、ベース部２を保持部２ａ毎にスリット部ＳＬで分離し、小径部８０及びハウジング部Ｈで一括的に支持させる構成としたが、本実施形態では小径部８０及びハウジング部Ｈについても分離する構成について説明する。
この図において、図１乃至図４に示す第１実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。

図５は、第２実施形態に係る駆動装置１の正面図であり、図６はロータ４を除いた駆動装置１の外観斜視図である。
これらの図に示すように、本実施形態における駆動装置１では、小径部８０及びハウジング部Ｈはスリット部ＳＬに含まれる分割面ＤＦを結合部として周方向に分割され、ハウジング部Ｈにおいて接着剤や締結ねじ等で連結されている。

すなわち、本実施形態では、周方向に分割された複数（ここでは６つ）の駆動装置構成体１Ｄが結合部ＤＦで一体的に結合されて駆動装置１が構成される。各駆動装置構成体１Ｄは、分割されたベース部２に駆動駒３１または駆動駒３２が保持され、ハウジング部Ｈで周方向に一体的に連結したときに周方向で隣り合うベース部２の間にスリット部ＳＬが介在する。

本実施形態では、上記第１実施形態と同様の作用・効果が得られることに加えて、例えば、複数の駆動装置構成体１Ｄを固有振動数等の駆動特性で管理しておき、当該駆動特性の差が小さい駆動装置構成体１Ｄを６つ選択して一体的に連結することにより、振動特性の差が小さく高精度でロータ４を駆動できる高性能の駆動装置１を得ることができる。

（レンズ鏡筒及びカメラ）
次に、本実施形態の駆動装置１を備えたレンズ鏡筒及びカメラの一例について説明する。本実施形態の交換レンズは、カメラボディとともにカメラシステムを形成するものである。交換レンズは、公知のＡＦ（オートフォーカス）制御に応じて合焦動作を行うＡＦモードと、撮影者からの手動入力に応じて合焦動作を行うＭＦ（マニュアルフォーカス）モードとが切り替え可能になっている。

図７は、図１に示す駆動装置１を備えたレンズ鏡筒及びカメラの概略構成図である。図７に示すように、カメラ１０１は、撮像素子１０８が内蔵されたカメラボディ１０２と、レンズ１０７を有するレンズ鏡筒１０３とを備えている。

レンズ鏡筒１０３は、カメラボディ１０２に着脱可能な交換レンズである。レンズ鏡筒１０３は、レンズ１０７、カム筒１０６、駆動装置１等を備えている。駆動装置１は、カメラ１０１のフォーカス動作時にレンズ１０７を駆動する駆動源として用いられている。駆動装置１のロータ４から得られた駆動力は、直接、カム筒１０６に伝えられる。レンズ１０７は、カム筒１０６に保持されており、駆動装置１の駆動力により、光軸方向Ｌに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。

カメラ１０１の使用時には、レンズ鏡筒１０３内に設けられたレンズ群（レンズ１０７を含む）によって、撮像素子１０８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子１０８によって、結像された被写体像は電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。

以上説明したように、カメラ１０１及びレンズ鏡筒１０３は、上述の駆動装置１を備えているため、高精度で、且つ安定してフォーカス動作を実行できる。

なお、本実施形態では、レンズ鏡筒１０３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

例えば、上記実施形態では、ロータ４が回転軸線周りに回転し、複数の駆動駒３がベース部２に当該回転軸線周りに配置される構成を例示したが、これに限定されるものではなく、例えば複数の駆動駒が直線上に配置され、被駆動体が直線移動（往復移動）する構成であっても適用可能である。

また、上記実施形態で示した駆動駒の個数は一例であり、他の個数であっても適用可能であることは言うまでもない。

１…駆動装置、 ３…駆動駒（弾性体）、 ３ａ…先端部（弾性体）、 ３ｂ…基部（第１部材）、 ４…ロータ（被駆動体）、 ６…第１圧電素子、 ７…第２圧電素子、 ３２…駆動駒（第１振動部）、 ３１ａ…先端部（第１弾性体）、 ３２…駆動駒（第２振動部）、 ３２ａ…先端部（第２弾性体）、 ６１…第１圧電素子（第１振動素子）、 ６２…第１圧電素子（第３振動素子）、 ７１…第２圧電素子（第２振動素子）、 ７２…第２圧電素子（第４振動素子）、 １０１…カメラ、 １０３…レンズ鏡筒、 １０６…カム筒、 １０７…レンズ、 １０８…撮像素子、 ＤＦ…結合部、 Ｈ…ハウジング部

Claims (13)

1. 第１の方向に振動をする第１振動素子と、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って振動をする第２振動素子と、前記第１振動素子及び前記第２振動素子の振動により駆動面に振動波を生じさせる第１弾性体とを有する第１振動部と、
   第３の方向に振動をする第３振動素子と、前記第３の方向とは異なる第４の方向に沿って振動をする第４振動素子と、前記第３振動素子及び前記第４振動素子の振動により駆動面に振動波を生じさせる第２弾性体とを有する第２振動部と、
   前記第１振動部を保持する第１保持部と、前記第２振動部を保持する第２保持部と、前記第１振動部と前記第２振動部との間に備えられたスリット部とを有することを特徴とする駆動装置。
2. 前記第１保持部と前記第２保持部とを結合させる結合部を有することを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
3. 前記結合部は、接着剤又はねじであることを特徴とする請求項２記載の駆動装置。
4. 第１の方向に厚みすべり振動をする第１圧電素子と、
   前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って厚みすべり振動をする第２圧電素子と、
   前記第１圧電素子及び前記第２圧電素子の作動により、駆動面に振動波を生じさせる弾性体と、
   前記駆動面に加圧接触されて駆動される被駆動体と、
   前記弾性体を複数保持するとともに、前記複数の弾性体を振動的に互いに独立させるように、隣り合う弾性体を分離するスリット部を有するベース部と、
   を備えることを特徴とする駆動装置。
5. 前記複数の弾性体は、前記ベース部に所定の回転軸線周りに配置され、
   前記ベース部は、前記所定の回転軸線周りに形成された溝部を介してハウジング部に支持されるとを特徴とする請求項４記載の駆動装置。
6. 前記ベース部及び前記ハウジング部は、前記複数の弾性体のそれぞれに対応して、前記スリット部に含まれる分割面で複数に分割され、
   複数に分割された前記ベース部は、前記ハウジング部で一体的に連結されることを特徴とする請求項５記載の駆動装置。
7. 前記複数のハウジング部は、接着によって一体的に連結されることを特徴とする請求項６記載の駆動装置。
8. 前記スリット部は、前記溝部に連通して形成されることを特徴とする請求項５から７のいずれか一項に記載の駆動装置。
9. 前記スリット部の幅は、前記弾性体の最大振幅の二倍以上の値であることを特徴とする請求項４から８のいずれか一項に記載の駆動装置。
10. 第１の方向に厚みすべり振動をする第１圧電素子と、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って厚みすべり振動をする第２圧電素子と、前記第１圧電素子及び前記第２圧電素子の作動により、駆動面に振動波を生じさせる弾性体と、前記駆動面に加圧接触されて駆動される被駆動体と、前記弾性体を複数保持するベース部とを備える駆動装置の製造方法であって、
    前記複数の弾性体を振動的に互いに独立させるように、隣り合う弾性体を分離するスリット部を前記ベース部に形成する工程を含むことを特徴とする駆動装置の製造方法。
11. 前記ベース部は、前記所定の回転軸線周りに形成された溝部を介してハウジング部に支持され、
    前記複数の弾性体のそれぞれに対応して、前記スリット部に含まれる分割面で複数に分割した前記ベース部及び前記ハウジング部を、該ハウジング部で一体的に連結する工程を含むことを特徴とする請求項１０記載の駆動装置の製造方法。
12. 請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の駆動装置と、
    前記駆動装置によって駆動されるカム筒と、
    前記カム筒に移動可能に保持されて焦点調整を行うレンズと、
    を備えたレンズ鏡筒。
13. 請求項１２に記載のレンズ鏡筒と、
    前記レンズ鏡筒に設けられた前記レンズによって撮像面に被写体像が結像される撮像素子と、
    を備えたカメラ。

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