JP2012076213A - ワーク保持ヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】スループットと操作性とを向上させながら、加工処理対象のワークを保持させるためのワーク保持ヘッドを提供する。
【解決手段】ワーク保持ヘッド10は、ワーク保持部11及びアーム取付部12から構成されている。ワーク保持部11は、ワークを吸着させる多孔体部111を備えている。この多孔体部111は、バッファ部112、接続口113を介して、内部空間部121に接続される。この内部空間部121には、球状体131、封止弁144が設けられている。加工対象のワークを吸着させる場合には、開口部134からバキュームすることにより、球状体131がシール部材153から離れて、ワーク保持ヘッド10の内部空間を減圧状態にする。バキュームを停止した場合には、球状体131がシール部材153に密着して減圧状態を保持する。ワークを取り外す場合には、封止弁144を開放することにより、内部空間を大気圧にする。
【選択図】図2
【解決手段】ワーク保持ヘッド10は、ワーク保持部11及びアーム取付部12から構成されている。ワーク保持部11は、ワークを吸着させる多孔体部111を備えている。この多孔体部111は、バッファ部112、接続口113を介して、内部空間部121に接続される。この内部空間部121には、球状体131、封止弁144が設けられている。加工対象のワークを吸着させる場合には、開口部134からバキュームすることにより、球状体131がシール部材153から離れて、ワーク保持ヘッド10の内部空間を減圧状態にする。バキュームを停止した場合には、球状体131がシール部材153に密着して減圧状態を保持する。ワークを取り外す場合には、封止弁144を開放することにより、内部空間を大気圧にする。
【選択図】図2
Description
本発明は、加工対象のワークを保持するためのワーク保持ヘッドに関する。
半導体ウェハ等を製造したり、半導体ウェハを所定の厚さに削ったりする場合には、研磨装置が用いられる。この装置においては、ダイヤモンド砥石による粗研削、仕上げ研削、鏡面研磨等が行なわれる。最近では、拡径化する半導体ウェハにおいて極薄化が望まれるとともに、生産性の観点から、複数枚のワークを挟圧させて同時に研磨する場合もある。この場合、加工前後の定盤への着脱時や研削研磨の処理中にウェハを破壊してしまうこともある。更に、研削研磨処理中には、ウェハに大きな力が印加されるため、反りが生じることもある。このため、加工後の平坦精度にバラツキが発生する場合もある。
そこで、研削研磨処理時には、半導体ウェハを加工ヘッドに固定して処理を行なう場合もある。このような加工ヘッドに半導体ウェハを固定する場合、保護粘着テープ等が利用されている場合もある(例えば、特許文献1参照。)。この文献に記載された技術においては、温水溶解性粘着剤を用いる。
しかし、特許文献に記載されているような粘着テープを用いた場合、取り外しに手間がかかるため、スループットを高くすることができない。更に、特殊な粘着剤を用いる必要があり、コスト的にも負担がかかっていた。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、スループットと操作性とを向上させながら、加工処理対象のワークを保持させるためのワーク保持ヘッドを提供することにある。
上記問題点を解決するために、請求項1に記載の発明は、加工対象のワークを保持するためのワーク保持ヘッドであって、表面加工装置に脱着可能な装置接続部と、ワークを吸着して固定するワーク保持部と、ワークを吸着力させるために前記ワーク保持部の内部を減圧状態にする配管部と、前記配管部において減圧状態を維持するための減圧封止弁と、前記ワーク保持部の内部の減圧状態を常圧状態に戻す開放機構部とを設けたことを要旨とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のワーク保持ヘッドにおいて、前記ワーク保持部と配管部との間に、減圧状態を維持するバッファ部を設けたことを要旨とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載のワーク保持ヘッドにおいて、前記ワーク保持部を多孔質材料、多細孔を備えた部材、又は溝部を備えた部材により構成したことを要旨とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載のワーク保持ヘッドにおいて、前記ワーク保持部を多孔質材料、多細孔を備えた部材、又は溝部を備えた部材により構成したことを要旨とする。
(作用)
請求項1に記載の発明によれば、バキュームチャックにより、ワークをワーク保持ヘッ
ドに固定して、加工処理を行なうことができる。従って、ワークの取扱時の損壊等を防止することができる。
請求項1に記載の発明によれば、バキュームチャックにより、ワークをワーク保持ヘッ
ドに固定して、加工処理を行なうことができる。従って、ワークの取扱時の損壊等を防止することができる。
請求項2に記載の発明によれば、ワーク保持ヘッドの搬送時等において、バキュームが困難な状態においても、比較的長い時間、ワーク保持ヘッドの内部の減圧状態を維持することができる。
請求項3に記載の発明によれば、多孔質材料、多細孔を備えた部材、又は溝部を備えた部材により、ワークのバキュームチャックを行なうことができる。
本発明によれば、スループットと操作性とを向上させながら、加工処理対象のワークを保持させるためのワーク保持ヘッドを提供することができる。
以下、図1〜図3を用いて、本発明のワーク保持ヘッドについて説明する。本実施形態では、ワーク保持ヘッド10に、半導体ウェハ(ワーク)を吸着させて、複数の加工処理(切削、研磨)を行なう場合を想定する。この場合、ワークをワーク保持ヘッド10に吸着させた状態を維持しながら、各加工処理、加工処理間の搬送を行なう。
(ワーク保持ヘッドの構造)
図1は、ワーク保持ヘッド10の平面図、図2(a)はワーク保持ヘッド10の中央断面図である。ここで、図1は、ワークを吸着面の反対側から見た図面である。
図1は、ワーク保持ヘッド10の平面図、図2(a)はワーク保持ヘッド10の中央断面図である。ここで、図1は、ワークを吸着面の反対側から見た図面である。
図2(a)に示すように、ワーク保持ヘッド10は、ワーク保持部11及びアーム取付部12の二つの円盤状の金属製ブロックから構成されており、両者はネジ留めにより一体化される。
ワーク保持部11は、ワークを吸着させるためのブロックである。一方、アーム取付部12は、装置側に取り付けるためのブロックである。更に、このアーム取付部12には、ワーク保持ヘッド10内の圧力を調整したり、洗浄液を流したりするための配管が設けられている。ワーク保持部11には、シール部材151を介してアーム取付部12に接続される。本実施形態においてシール部材としてはOリングを用いる。
ワーク保持部11は、多孔体部111、バッファ部112、接続口113を備えている。
多孔体部111は、ワークをバキュームチャックする部材であり、本実施形態では、多くの貫通孔を有する多孔質材料により構成されている。
多孔体部111は、ワークをバキュームチャックする部材であり、本実施形態では、多くの貫通孔を有する多孔質材料により構成されている。
バッファ部112は、減圧状態を保持するためのバッファ空間であり、多孔体部111の裏面に配置されている。
接続口113は、バッファ部112をアーム取付部12の内部空間部121に接続され
るための開口部である。この内部空間部121の周囲は、シール部材151により囲まれている。
接続口113は、バッファ部112をアーム取付部12の内部空間部121に接続され
るための開口部である。この内部空間部121の周囲は、シール部材151により囲まれている。
アーム取付部12には、2箇所の貫通孔が形成されており、それぞれに吸着機構部13、開放機構部14が、ネジ留めにより取り付けられている。そして、吸着機構部13は、シール部材152によりシールドされてアーム取付部12の内部空間部121に接続されている。又、開放機構部14は、シール部材154によりシールドされてアーム取付部12の内部空間部121に接続される。
吸着機構部13は、ワーク保持部11の表面に載置されたワークを吸着するために、ワーク保持ヘッド10内の空間を、外側からバキュームするための機構部である。
この吸着機構部13は、内部空間部121に接続されている貫通孔が設けられており、この貫通孔内に、減圧封止弁としての球状体131を備えている。この球状体131は、固定具133に固定されたバネ部材132(コイルばね)により、内部空間部121側に配置されたシール部材153に押し付けられている。この球状体131とシール部材153との密着により、開口部134と内部空間部121とが分離される。
この吸着機構部13は、内部空間部121に接続されている貫通孔が設けられており、この貫通孔内に、減圧封止弁としての球状体131を備えている。この球状体131は、固定具133に固定されたバネ部材132(コイルばね)により、内部空間部121側に配置されたシール部材153に押し付けられている。この球状体131とシール部材153との密着により、開口部134と内部空間部121とが分離される。
開放機構部14は、ワーク保持部11の表面に載置されたワークを取り外すための機能を有する。この開放機構部14は、ワーク保持ヘッド10内の空間の圧力を戻すために、ワーク保持ヘッド10内を外部に開放する。また、開放機構部14は、ワーク保持ヘッド10内の配管や内部空間を開放することにより、外部から、これらに洗浄液を導入することも可能である。
この開放機構部14には、外部に繋がる配管部122に連通している配管部145に接続された封止機構部140が設けられている。この封止機構部140は、図2(b)に示すように、軸部141を中心軸として回動可能になっている。そして、封止機構部140の一端にはバネ部材143(コイルばね)が接続されており、他端には、接続部142を介して封止弁144が接続されている。通常は、バネ部材143により、封止機構部140の一端が押し上げられている。このため、封止弁144は、シール部材155に押し付けられている。この封止弁144とシール部材155との密着により、内部空間部121と配管部145とが分離される。
一方、図2(c)に示すように、封止機構部140のバネ部材143が押下された場合、軸部141を中心軸として、封止機構部140が回動して封止弁144を引き上げ、シール部材155から離れる。この場合には、内部空間部121と配管部145とが連通される。
更に、図1に示すように、ワーク保持ヘッド10には、装置接続部20が設けられている。本実施形態では、この装置接続部20は、凹凸が切り込みにより構成する。そして、ワーク保持ヘッド10の取り付け先である表面加工装置側のハンドリングアームには、この装置接続部20に対応する形状の接続部を設けておく。これにより、ワーク保持ヘッド10が、ハンドリングアームに対して脱着可能にしてある。そして、加工対象のワークは、ワーク保持ヘッド10と一体となり、表面加工装置のハンドリングアームに取り付けられて、各種加工処理が行なわれる。
(ワーク保持ヘッドの使用方法)
次に、図3を用いて、ワーク保持ヘッド10の使用方法を説明する。
まず、図3(a)に示すように、ワークWを多孔体部111に密着させる。そして、開口部134に接続された配管からバキュームする。この場合、開口部134内が減圧されることにより、球状体131は開口部134側に吸引されて、シール部材153から離脱
する。このときには、封止弁144はバネ部材143の押力によりシール部材155に密着しているため、閉空間となっている開口部134、内部空間部121、接続口113、バッファ部112、多孔体部111の各領域が減圧される。
次に、図3を用いて、ワーク保持ヘッド10の使用方法を説明する。
まず、図3(a)に示すように、ワークWを多孔体部111に密着させる。そして、開口部134に接続された配管からバキュームする。この場合、開口部134内が減圧されることにより、球状体131は開口部134側に吸引されて、シール部材153から離脱
する。このときには、封止弁144はバネ部材143の押力によりシール部材155に密着しているため、閉空間となっている開口部134、内部空間部121、接続口113、バッファ部112、多孔体部111の各領域が減圧される。
そして、十分に減圧できた場合には、開口部134からのバキュームを停止する。この場合、図3(b)に示すように、球状体131は、ワーク保持ヘッド10の内部空間の減圧吸引力及びバネ部材132の押力によってシール部材153に密着する。これにより、ワークW、球状体131、封止弁144により、外気から遮断された空間(121、113、112、111)は減圧状態を維持する。この結果、ワークWは多孔体部111に吸引されて固定されるので(バキュームチャック)、ワーク保持ヘッド10と一体で取り扱うことができる。このワーク保持ヘッド10は、表面加工装置のハンドリングアームに取り付けられて、各種加工処理が行なうことができる。
加工処理を終了し、ワークWをワーク保持ヘッド10から取り外す場合には、図3(c)に示すように、封止機構部140のバネ部材143側の端部を外側から押下する。この場合、封止弁144が引き上げられ、シール部材155から引き離される。この場合、外気が、配管部(122、145)を介して、内部空間部121、接続口113、バッファ部112、多孔体部111に流れ込み、ワーク保持部11とアーム取付部12の内部空間が常圧状態(大気圧)となる。これにより、ワーク保持ヘッド10の多孔体部111から、ワークWを取り外すことができる。
なお、ワーク保持ヘッド10の内部を洗浄する場合にも、図3(c)と同様に、封止機構部140のバネ部材143側の端部を外側から押下する。そして、配管部122から洗浄液を導入する。この洗浄液は、配管部(122、145)を介して、内部空間部121、接続口113、バッファ部112に流れ込み、多孔体部111から排出される。
本実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1) 本実施形態では、ワーク保持ヘッド10は、球状体131を備えている。そして、ワークWを多孔体部111に密着させて、開口部134からバキュームした場合、球状体131が吸引されるため、シール部材153から離脱する。そして、開口部134、内部空間部121、接続口113、バッファ部112、多孔体部111の各領域が減圧される。開口部134からのバキュームを停止した場合、球状体131はシール部材153に密着し、外気から遮断された空間(121、113、112、111)は減圧状態を維持する。これにより、ワークWは多孔体部111に吸引されて固定される。従って、ワークの薄膜化を行なった場合にも、反り等を抑制することができる。更に、複数の加工処理を行なう場合にも、ワークWをワーク保持ヘッド10と一体として取り扱うことができるので、ワークWの損壊等を抑制することができる。
(1) 本実施形態では、ワーク保持ヘッド10は、球状体131を備えている。そして、ワークWを多孔体部111に密着させて、開口部134からバキュームした場合、球状体131が吸引されるため、シール部材153から離脱する。そして、開口部134、内部空間部121、接続口113、バッファ部112、多孔体部111の各領域が減圧される。開口部134からのバキュームを停止した場合、球状体131はシール部材153に密着し、外気から遮断された空間(121、113、112、111)は減圧状態を維持する。これにより、ワークWは多孔体部111に吸引されて固定される。従って、ワークの薄膜化を行なった場合にも、反り等を抑制することができる。更に、複数の加工処理を行なう場合にも、ワークWをワーク保持ヘッド10と一体として取り扱うことができるので、ワークWの損壊等を抑制することができる。
(2) 本実施形態では、ワーク保持ヘッド10は、開放機構部14を備えている。この開放機構部14は、封止弁144に接続された封止機構部140を備えている。この封止機構部140のバネ部材143側の端部を外側から押下することにより、封止弁144がシール部材155から引き離される。そして、ワーク保持ヘッド10の内部空間が常圧状態に戻るので、ワークWをワーク保持ヘッド10から簡単に取り外すことができ、スルーブットや操作性を向上させることができる。また、バキュームチャックを用いるため、粘着剤等によるワークWの汚染を抑制することができる。
更に、封止弁144を開放し、配管部122から洗浄液を導入することにより、ワーク保持ヘッド10の内部空間を洗浄することができる。
更に、封止弁144を開放し、配管部122から洗浄液を導入することにより、ワーク保持ヘッド10の内部空間を洗浄することができる。
(3) 本実施形態では、アーム取付部12には、吸着機構部13、開放機構部14が、ネジ留めにより取り付けられている。これにより、可動部が含まれる吸着機構部13、
開放機構部14に不都合が生じた場合には、取り外して修理又は交換を行なうことができる。
開放機構部14に不都合が生じた場合には、取り外して修理又は交換を行なうことができる。
また、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・ 上記実施形態においては、多孔体部111は多孔質材料により構成したが、多孔体部111の構成はこれに限定されるものではない。例えば、バッファ部112に接続された複数の多細孔や溝部を設けた金属ブロックやセラミック体等のいずれかを用いたり、複数の部材を併用したりすることも可能である。
・ 上記実施形態においては、多孔体部111は多孔質材料により構成したが、多孔体部111の構成はこれに限定されるものではない。例えば、バッファ部112に接続された複数の多細孔や溝部を設けた金属ブロックやセラミック体等のいずれかを用いたり、複数の部材を併用したりすることも可能である。
・ 上記実施形態においては、開放機構部14においては、封止弁144をシール部材155に押し付けることにより、内部空間を密閉して減圧状態を保持する。そして、封止機構部140の一端を押し下げることにより内部空間を開放できるようにした。ワーク保持ヘッド10の内部空間の減圧状態の保持方法は、これに限定されるものではない。例えば、配管部122にボールバルブを設けておき、このボールバルブ等により封止するようにしてもよい。この場合には、ボールバルブを回転させることにより、内部空間を開放する。
・ 上記実施形態においては、アーム取付部12の外平面に、吸着機構部13、開放機構部14を取り付けた。吸着機構部13、開放機構部14の取付位置は、外平面に限定されるものではない。例えば、ワーク保持ヘッド10の側面に設けてもよい。
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について、それらの効果とともに以下に追記する。
(a)減圧封止弁は、外側からバネ部材により球状体をシール部材に押し付けた構造を有することを特徴とするワーク保持ヘッド。
(a)減圧封止弁は、外側からバネ部材により球状体をシール部材に押し付けた構造を有することを特徴とするワーク保持ヘッド。
従って、この(a)に記載の発明によれば、外側からバキュームすることにより、球状体がシール部材から離れて、ワーク保持ヘッドの内部空間を減圧状態にすることができる。また、バキュームを停止した場合には、球状体がシール部材153に密着して減圧状態を保持することができる。
(b)開放機構部は、回動可能な封止機構部を備え、一端にはバネ部材が接続されており、他端には封止弁が接続された構造を有することを特徴とするワーク保持ヘッド。
従って、この(b)に記載の発明によれば、一端を押下することにより、封止機構部を回動させて、封止弁を操作することができる。
従って、この(b)に記載の発明によれば、一端を押下することにより、封止機構部を回動させて、封止弁を操作することができる。
10…ワーク保持ヘッド、11…ワーク保持部、111…多孔体部、112…バッファ部、113…接続口、12…アーム取付部、122,145…配管部、13…吸着機構部、14…開放機構部、20…装置接続部、W…ワーク。
Claims (3)
- 加工対象のワークを保持するためのワーク保持ヘッドであって、
表面加工装置に脱着可能な装置接続部と、
ワークを吸着して固定するワーク保持部と、
ワークを吸着力させるために前記ワーク保持部の内部を減圧状態にする配管部と、
前記配管部において減圧状態を維持するための減圧封止弁と、
前記ワーク保持部の内部の減圧状態を常圧状態に戻す開放機構部と
を設けたことを特徴とするワーク保持ヘッド。 - 前記ワーク保持部と配管部との間に、減圧状態を維持するバッファ部を設けたことを特徴とする請求項1に記載のワーク保持ヘッド。
- 前記ワーク保持部を多孔質材料、多細孔を備えた部材、又は溝部を備えた部材により構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載のワーク保持ヘッド。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104290024A (zh) * | 2014-09-24 | 2015-01-21 | 上海空间推进研究所 | 浮动装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002036100A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-02-05 | Fujikoshi Mach Corp | ウェーハの研磨方法及びウェーハの研磨装置 |
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- 2010-10-06 JP JP2010226649A patent/JP2012076213A/ja active Pending
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