JP5399001B2 - 研磨装置の保持テーブル機構 - Google Patents
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Description
10 研磨ユニット
18 研磨ユニット移動機構
26 研磨パッド
28 保持テーブル機構
50 保持テーブルベース
54 自在継ぎ手
56 保持テーブル
62 弾性部材
64 環状部材
66 保持パッド
68 細孔
70 環状空間
72 第1流体路
74 第2流体路
76,82 ロータリジョイント
80 吸引源
88 給水源
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持テーブル機構と、該保持テーブル機構に対峙して該保持テーブル機構の上方に配設され被加工物を研磨する被加工物より大径の研磨パッドを有する研磨手段と、を備えた研磨装置の保持テーブル機構であって、
回転駆動されるように適合した保持テーブルベースと、
該保持テーブルベース上に自在継ぎ手を介して傾動可能に連結され、支持面に形成された複数の分岐路及び開口を有する保持テーブルと、
該保持テーブル上に配設され、被加工物を保持する保持面を上面に有し、該保持面から前記支持面に連通する複数の細孔を有する被加工物を保持する保持パッドと、
該保持パッドの外周との間に所定の環状空間を画成するように前記保持テーブル上に弾性部材を介して配設され、被加工物とともに研磨パッドによって研磨されることで被加工物外周に発生するダレを防止する被加工物と同質の材料によって形成された環状部材と、
一端が前記開口及び前記分岐路を介して前記複数の細孔に連通され、他端が第1開閉弁を介して吸引源に接続された第1流体路と、
一端が該保持テーブルの側壁を貫通して前記環状空間に連通し、他端が第2及び第3開閉弁を介してそれぞれ前記吸引源及び給水源に選択的に接続された第2流体路と、
を具備したことを特徴とする研磨装置の保持テーブル機構。 - 前記保持パッドは弾性発砲体層を有する請求項1記載の研磨装置の保持テーブル機構。
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