JP2012074471A - ポットおよびこのポットを備えた基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】処理液を含む雰囲気の漏洩を抑制または防止するとともに、排気量を低減することができるポットおよびこのポットを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、薬液を吐出する薬液吐出口３ａを有する薬液ノズル３と、待機位置Ｐ１３に配置された薬液ポット５とを含む。薬液ポット５は、薬液吐出口３ａが配置される内部空間Ｓ１を区画するハウジング２５と、内部空間Ｓ１を仕切る仕切部材２６とを含む。ハウジング２５は、薬液ノズル３が挿入される挿入口２７と、挿入口２７より下方に配置された排出口２８とを有している。また、仕切部材２６は、挿入口２７と排出口２８との間の高さで内部空間Ｓ１を上方空間Ｓ２と下方空間Ｓ３とに仕切っている。仕切部材２６は、上方空間Ｓ２と下方空間Ｓ３とを接続する接続口３０を有している。
【選択図】図４

Description

この発明は、ノズルの処理液吐出口から吐出された処理液を受け止めるポット、および基板を処理する基板処理装置に関する。処理対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などが含まれる。

半導体装置や液晶表示装置などの製造工程では、半導体ウエハや液晶表示装置用ガラス基板などの基板に対して処理液を用いた処理が行われる。基板を１枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置は、たとえば、基板を水平に保持して回転させるスピンチャックと、このスピンチャックに保持された基板に薬液を供給するための薬液ノズルと備えている。特許文献１記載の基板処理装置は、処理位置と待機位置との間で薬液ノズルを移動させるノズル移動機構と、待機位置の近傍に配置されたポットと、ポット内を排気するための排気管とをさらに備えている。

特許文献１記載の基板処理装置において、基板が薬液によって処理されるときには、薬液ノズルが処理位置に配置され、薬液ノズルからスピンチャックに保持された基板に向けて薬液が吐出される。一方、薬液ノズルが基板の処理に使用されないときには、スピンチャックの側方に設けられた待機位置に薬液ノズルが配置される。そして、薬液ノズルが基板の処理に使用される前に、待機位置で薬液ノズルから薬液が吐出され、薬液ノズル内に残留している薬液がポット内に排出される（プリディスペンス）。これにより、薬液ノズル内に残留している劣化した薬液が基板に供給されることが抑制または防止される。

特開２００７−２５８４６２号公報

待機位置で薬液ノズルから薬液を吐出させると、この薬液は、ポットによって受け止められる。そのため、薬液を含む雰囲気がポット内に発生する。また、揮発性の薬液がポットの内壁面に付着している場合には、この薬液が蒸発して、薬液を含む雰囲気がポット内に発生する。薬液を含む雰囲気がポットから漏れると、薬液を含む雰囲気が基板に付着して基板が汚染されるおそれがある。したがって、ポットからの薬液を含む雰囲気の漏洩を確実に防止しなければならない。すなわち、ポット内を排気する構成では、十分な排気量を確保しなければならない。そのため、排気量の低減が困難である。また、基板処理装置は、ポット内以外にも排気が必要な部分を有しており、さらに、複数のポットを備えている場合もある。したがって、基板処理装置全体として相当な排気量が必要である。

そこで、この発明の目的は、処理液を含む雰囲気の漏洩を抑制または防止するとともに、排気量を低減することができるポットおよびこのポットを備えた基板処理装置を提供することである。

前記目的を達成するための請求項１記載の発明は、ノズル（３）の処理液吐出口（３ａ）から吐出された処理液を受け止めるポットであって、前記ノズルの処理液吐出口が配置される内部空間（Ｓ１）を区画し、前記ノズルが挿入される挿入口（２７）と、前記挿入口より下方に配置された処理液排出口（２８）とを有するハウジング（２５、２２５、３２５）と、前記挿入口と前記処理液排出口との間の高さで前記ハウジングの内部空間を上方空間（Ｓ２）と下方空間（Ｓ３）とに仕切っており、前記上方空間と前記下方空間とを接続する接続口（３０）を有する仕切部材（２６）と、を含む、ポット（５、２０５、３０５）である。なお、この項において、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素の参照符号を表すものであるが、これらの参照符号により特許請求の範囲を限定する趣旨ではない。

この発明によれば、ハウジングが、ノズルが挿入される挿入口と、処理液が排出される処理液排出口とを有している。処理液排出口は、挿入口より下方に配置されている。仕切部材は、挿入口と処理液排出口との間の高さでハウジングの内部空間を上方空間と下方空間とに仕切っている。さらに、仕切部材は、上方空間と下方空間と接続する接続口を有している。ノズルに供給された処理液は、処理液吐出口が上方空間に位置する状態で処理液吐出口から吐出されてもよいし、処理液吐出口が下方空間に位置する状態で処理液吐出口から吐出されてもよい。いずれの場合においても、処理液吐出口から吐出された処理液は、ポットによって受け止められ、処理液排出口を通ってポットから排出される。

また、処理液吐出口が上方空間および下方空間のいずれの空間に位置する状態で処理液吐出口から処理液が吐出されても、下方空間で発生した処理液を含む雰囲気は、仕切部材によって上方空間への移動が抑制または防止される。さらに、上方空間で発生した処理液を含む雰囲気や、接続口を通って下方空間から上方空間に移動した処理液を含む雰囲気は、ハウジングによって外部への漏洩が抑制または防止される。このように、ハウジングおよび仕切部材によって処理液を含む雰囲気の漏洩が抑制または防止されるから、処理液を含む雰囲気の漏洩を防止するために、ポット内を排気しなくてもよい。また、ポット内を排気したとしても、排気量を低減しつつ、処理液を含む雰囲気の漏洩を抑制または防止することができる。

請求項２記載の発明は、前記ポットは、前記上方空間に水を供給する水供給手段（３２）をさらに含み、前記仕切部材は、前記水供給手段から供給された水を前記上方空間で保持する貯水部（３３）を含む、請求項１記載のポットである。
この発明によれば、水供給手段から供給された水が、仕切部材に設けられた貯水部によって上方空間で保持される。したがって、処理液が水溶性の場合、上方空間を漂う処理液を含む雰囲気は、貯水部に保持された水に溶け込む。これにより、ハウジングの外への処理液を含む雰囲気の漏洩が一層抑制または防止される。

請求項３記載の発明は、前記貯水部は、前記貯水部に保持された水が前記接続口を通って前記下方空間に排出されるように構成されている、請求項２記載のポットである。
この発明によれば、貯水部に保持された水が接続口を通って下方空間に排出される。したがって、水供給手段から上方空間に水を供給し続けることにより、貯水部に保持された水を後続の水によって置換することができる。そのため、貯水部に保持された水が処理液によって飽和することが抑制または防止される。よって、処理液を含む雰囲気が貯水部に保持された水に溶け込み易い状態が維持される。これにより、上方空間を漂う処理液を含む雰囲気が、貯水部に保持された水に確実に溶け込み、ハウジングの外への処理液を含む雰囲気の漏洩が確実に抑制または防止される。

請求項４記載の発明は、前記ポットは、前記下方空間に配置されており、前記処理液排出口に沿って設けられた筒状の分離部（２３６）をさらに含み、前記ハウジングは、前記分離部の周囲に配置された第２処理液排出口（２３７）をさらに有し、前記接続口は、平面視において前記分離部を取り囲むように形成されている、請求項３記載のポットである。

貯水部に保持された水は、接続口を通って上方空間から下方空間に排出される。この発明によれば、接続口が、平面視において分離部を取り囲むように形成されているから、貯水部に保持された水は、分離部の周囲に落下する。そして、分離部の周囲に落下した水は、第２処理液排出口を通ってポットから排出される。したがって、水供給手段から供給された水が処理液排出口に進入することが抑制または防止される。これにより、ノズルから吐出された処理液を、水供給手段から供給された水とは分離することができる。したがって、処理液排出口に排出される処理液に、水が混入することを抑制または防止することができる。

請求項５記載の発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載のポットと、基板（Ｗ）を保持する基板保持手段（２）と、処理液を吐出する処理液吐出口（３ａ）を有するノズル（３）と、前記ノズルから吐出された処理液が前記基板保持手段に保持された基板に供給される処理位置（Ｐ１１）と、前記処理液吐出口が前記ポット内に配置される待機位置（Ｐ１３）との間で、前記ノズルを移動させるノズル移動手段（１２）と、を含む、基板処理装置（１）である。

この発明によれば、ノズル移動手段によって、処理位置と待機位置との間でノズルを移動させることができる。ノズルを処理位置に位置させた状態で、ノズルの処理液吐出口から処理液を吐出させることにより、基板保持手段に保持された基板に処理液を供給することができる。また、ノズルを待機位置に位置させた状態で、ノズルの処理液吐出口から処理液を吐出させることにより、ポット内に処理液を排出することができる。したがって、処理位置で処理液吐出口から処理液を吐出させる前に、待機位置で処理液吐出口から処理液を吐出させることにより、ノズル内に残留している処理液を排出することができる。これにより、ノズル内に残留している劣化した処理液が基板に供給されることを抑制または防止することができる。また、前述のように、排気量を低減しつつ、ポットからの処理液を含む雰囲気の漏洩を抑制または防止することができる。

本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す側面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。 本発明の第１実施形態に係る薬液ポットの概略構成を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る薬液ポットの概略構成を示す断面図である。 本発明の第２実施形態に係る薬液ポットの概略構成を示す断面図である。 図５におけるＶＩ−ＶＩ線に沿う薬液ポットの断面図である。 本発明の第３実施形態に係る薬液ポットの概略構成を示す断面図である。

以下では、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板処理装置１の概略構成を示す側面図である。また、図２は、本発明の第１実施形態に係る基板処理装置１の概略構成を示す平面図である。
この基板処理装置１は、半導体ウエハなどの円形の基板Ｗを１枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置である。基板処理装置１は、基板Ｗを水平に保持して回転させるスピンチャック２（基板保持手段）と、スピンチャック２に保持された基板Ｗに薬液を供給するための薬液ノズル３（ノズル）と、スピンチャック２に保持された基板Ｗに純水（脱イオン水）を供給するための純水ノズル４と、スピンチャック２の側方に配置された薬液ポット５（ポット）および純水ポット６と、スピンチャック２などの基板処理装置１に備えられた装置の動作やバルブの開閉を制御する制御する制御部７とを含む。

スピンチャック２は、基板Ｗを水平に保持して当該基板Ｗの中心を通る鉛直軸線まわりに回転可能なスピンベース８と、このスピンベース８を鉛直軸線まわりに回転させるスピンモータ９とを含む。スピンチャック２は、基板Ｗを水平方向に挟むことにより当該基板Ｗを水平に保持する挟持式のチャックであってもよいし、基板Ｗの下面（裏面）を吸着することにより当該基板Ｗを水平に保持するバキューム式のチャックであってもよい。第１実施形態では、スピンチャック２は、挟持式のチャックである。スピンモータ９は、制御部７によって制御される。

また、基板処理装置１は、第１ノズルアーム１０と、第１回動軸１１と、薬液ノズル移動機構１２（ノズル移動手段）とを含む。薬液ノズル３は、第１ノズルアーム１０に連結されている。第１ノズルアーム１０は、水平方向に延びている。薬液ノズル３は、第１ノズルアーム１０の一端部に連結されており、第１回動軸１１は、第１ノズルアーム１０の他端部に連結されている。第１回動軸１１は、鉛直方向に延びている。薬液ノズル移動機構１２は、第１回動軸１１の下端部に連結されている。薬液ノズル移動機構１２は、薬液ノズル回動機構１３と、薬液ノズル昇降機構１４とを含む。

薬液ノズル回動機構１３は、たとえば、モータを含む。薬液ノズル回動機構１３は、第１回動軸１１の中心軸線まわりに薬液ノズル昇降機構１４を回動させる。薬液ノズル３、第１ノズルアーム１０、および第１回動軸１１は、薬液ノズル昇降機構１４と共に、第１回動軸１１の中心軸線まわりに回動する。薬液ノズル回動機構１３は、薬液ノズル３を回動させることにより、スピンチャック２の上方に設けられた処理位置Ｐ１１と、処理位置Ｐ１１から水平方向に離れた中間位置Ｐ１２との間で、薬液ノズル３を円弧状の軌跡（図２参照）に沿って移動させる。

また、薬液ノズル昇降機構１４は、たとえば、エアシリンダを含む。薬液ノズル昇降機構１４は、第１回動軸１１を昇降させる。薬液ノズル３および第１ノズルアーム１０は、第１回動軸１１と共に昇降する。薬液ノズル昇降機構１４は、薬液ノズル３を昇降させることにより、中間位置Ｐ１２と、中間位置Ｐ１２の下方に設けられた待機位置Ｐ１３との間で、薬液ノズル３を移動させる。薬液ノズル３が基板Ｗの処理に使用されないときには、制御部７は、薬液ノズル回動機構１３および薬液ノズル昇降機構１４を制御して、薬液ノズル３を待機位置Ｐ１３で待機させる。

また、基板処理装置１は、薬液供給配管１５と、薬液バルブ１６とを含む。薬液供給配管１５は、薬液ノズル３に接続されている。薬液バルブ１６は、薬液供給配管１５に介装されている。薬液バルブ１６が開かれると、薬液供給配管１５から薬液ノズル３に薬液が供給される。また、薬液バルブ１６が閉じられると、薬液供給配管１５から薬液ノズル３への薬液の供給が停止される。薬液ノズル３に供給された薬液は、薬液ノズル３の薬液吐出口３ａ（処理液吐出口）から下方に吐出される。薬液ノズル３の薬液吐出口３ａから吐出される薬液は、たとえば、水溶性および揮発性を有する薬液である。第１実施形態では、薬液は、高濃度のＳＣ１（アンモニア水と過酸化水素水の混合液）である。揮発性を有する薬液とは、室温（２０℃〜３０℃程度）で気化する薬液である。

一方、基板処理装置１は、第２ノズルアーム１７と、第２回動軸１８と、純水ノズル移動機構１９とを含む。純水ノズル４は、第２ノズルアーム１７に連結されている。第２ノズルアーム１７は、水平方向に延びている。純水ノズル４は、第２ノズルアーム１７の一端部に連結されており、第２回動軸１８は、第２ノズルアーム１７の他端部に連結されている。第２回動軸１８は、鉛直方向に延びている。純水ノズル移動機構１９は、第２回動軸１８の下端部に連結されている。純水ノズル移動機構１９は、純水ノズル回動機構２０と、純水ノズル昇降機構２１とを含む。

純水ノズル回動機構２０は、たとえば、モータを含む。純水ノズル回動機構２０は、第２回動軸１８の中心軸線まわりに純水ノズル昇降機構２１を回動させる。純水ノズル４、第２ノズルアーム１７、および第２回動軸１８は、純水ノズル昇降機構２１と共に、第２回動軸１８の中心軸線まわりに回動する。純水ノズル回動機構２０は、純水ノズル４を回動させることにより、スピンチャック２の上方に設けられた処理位置Ｐ２１と、処理位置Ｐ２１から水平方向に離れた中間位置Ｐ２２との間で、純水ノズル４を円弧状の軌跡（図２参照）に沿って移動させる。

また、純水ノズル昇降機構２１は、たとえば、エアシリンダを含む。純水ノズル昇降機構２１は、第２回動軸１８を昇降させる。純水ノズル４および第２ノズルアーム１７は、第２回動軸１８と共に昇降する。純水ノズル昇降機構２１は、純水ノズル４を昇降させることにより、中間位置Ｐ２２と、中間位置Ｐ２２の下方に設けられた待機位置Ｐ２３との間で、純水ノズル４を移動させる。純水ノズル４が基板Ｗの処理に使用されないときには、制御部７は、純水ノズル回動機構２０および純水ノズル昇降機構２１を制御して、純水ノズル４を待機位置Ｐ２３で待機させる。

また、基板処理装置１は、純水供給配管２２と、純水バルブ２３と、スローリークバルブ２４とを含む。純水供給配管２２は、純水ノズル４に接続されている。純水バルブ２３およびスローリークバルブ２４は、純水供給配管２２に介装されている。純水バルブ２３およびスローリークバルブ２４が開かれると、純水供給配管２２から純水ノズル４に純水が供給される。また、純水バルブ２３が閉じられると、純水供給配管２２から純水ノズル４への純水の供給が停止される。さらに、純水バルブ２３が開かれ、スローリークバルブ２４が閉じられると、純水バルブ２３およびスローリークバルブ２４が開かれているときよりも小さい微小流量で、純水供給配管２２から純水ノズル４に純水が供給される。純水ノズル４に供給された純水は、純水ノズル４の純水吐出口から下方に吐出される。

制御部７は、スピンチャック２によって基板Ｗを回転させながら、薬液ノズル３から薬液を吐出させて、当該基板Ｗの上面に薬液を供給させる。具体的には、制御部７は、スピンモータ９を制御して、スピンチャック２に保持された基板Ｗを回転させる。そして、制御部７は、薬液ノズル回動機構１３および薬液ノズル昇降機構１４を制御して、薬液ノズル３を待機位置Ｐ１３から中間位置Ｐ１２を経て処理位置Ｐ１１に移動させる。その後、制御部７は、薬液バルブ１６を開いて、薬液ノズル３から薬液を吐出させる。これにより、基板Ｗの上面全域に薬液が供給される。

同様に、制御部７は、スピンチャック２によって基板Ｗを回転させながら、純水ノズル４から純水を吐出させて、当該基板Ｗの上面に純水を供給させる。具体的には、制御部７は、スピンモータ９を制御して、スピンチャック２に保持された基板Ｗを回転させる。そして、制御部７は、純水ノズル回動機構２０および純水ノズル昇降機構２１を制御して、純水ノズル４を待機位置Ｐ２３から中間位置Ｐ２２を経て処理位置Ｐ２１に移動させる。その後、制御部７は、純水バルブ２３およびスローリークバルブ２４を開いて、純水ノズル４から純水を吐出させる。これにより、基板Ｗの上面全域に純水が供給される。

また、制御部７は、薬液ノズル３から基板Ｗに向けて薬液を吐出させた後、薬液ノズル回動機構１３および薬液ノズル昇降機構１４を制御して、薬液ノズル３からの薬液の吐出を停止させた状態で、薬液ノズル３を処理位置Ｐ１１から中間位置Ｐ１２を経て待機位置Ｐ１３に移動させる。これにより、薬液ノズル３の下端部が薬液ポット５内に差し込まれ、薬液ノズル３の薬液吐出口３ａが、薬液ポット５内に配置される。薬液ノズル３から基板Ｗに向けて薬液を吐出させる前には、制御部７は、待機位置Ｐ１３で薬液ノズル３から薬液を吐出させて、薬液ノズル３内に残留している薬液を薬液ポット５内に排出させる（プリディスペンス）。これにより、薬液ノズル３内に残留している劣化した薬液が基板Ｗに供給されることが抑制または防止される。

同様に、制御部７は、純水ノズル４から基板Ｗに向けて純水を吐出させた後、純水ノズル回動機構２０および純水ノズル昇降機構２１を制御して、純水ノズル４からの純水の吐出を停止させた状態で、純水ノズル４を処理位置Ｐ２１から中間位置Ｐ２２を経て待機位置Ｐ２３に移動させる。これにより、純水ノズル４の下端部が純水ポット６内に差し込まれ、純水ノズル４の純水吐出口が、純水ポット６内に配置される。純水ノズル４が待機位置Ｐ２３に位置する状態では、純水バルブ２３が開かれ、スローリークバルブ２４が閉じられた状態が維持される。したがって、純水ノズル４が待機位置Ｐ２３に位置する状態では、純水ノズル４から微小流量で純水が吐出され、この純水が純水ポット６内に排出される。これにより、純水ノズル４内や純水供給配管２２内での純水の滞留が抑制または防止され、純水ノズル４内や純水供給配管２２内でのバクテリアの発生が抑制または防止される。したがって、バクテリアによって基板Ｗが汚染されることを抑制または防止することができる。

図３は、本発明の第１実施形態に係る薬液ポット５の概略構成を示す斜視図である。また、図４は、本発明の第１実施形態に係る薬液ポット５の概略構成を示す断面図である。図３および図４では、薬液ノズル３が待機位置Ｐ１３に位置する状態が示されている。
薬液ポット５は、内部空間Ｓ１を区画するハウジング２５と、ハウジング２５の内部を仕切る仕切部材２６とを含む。ハウジング２５は、たとえば、直方体である。ハウジング２５は、ハウジング２５の上壁２５ａに形成された挿入口２７と、ハウジング２５の下壁２５ｂに形成された排出口２８（処理液排出口）と、ハウジング２５の周壁２５ｃに形成された水供給口２９とを有している。仕切部材２６は、挿入口２７と排出口２８との間で、ハウジング２５の内部空間Ｓ１を上下に仕切っている。水供給口２９は、仕切部材２６より上方に位置している。ハウジング２５の内部空間Ｓ１は、仕切部材２６によって、仕切部材２６より上方の上方空間Ｓ２と、仕切部材２６より下方の下方空間Ｓ３とに仕切られている。

上壁２５ａ、下壁２５ｂ、および仕切部材２６は、平板状である。上壁２５ａ、下壁２５ｂ、および仕切部材２６は、水平面に沿って配置されている。したがって、上壁２５ａ、下壁２５ｂ、および仕切部材２６は、平行である。仕切部材２６は、仕切部材２６を上下に貫通する接続口３０を有している。上方空間Ｓ２と下方空間Ｓ３とは、接続口３０によって接続されている。接続口３０は、挿入口２７および排出口２８の間に位置している。すなわち、挿入口２７、排出口２８、および接続口３０は、平面視において重なり合うように配置されている。挿入口２７、排出口２８、および接続口３０は、それぞれ、上壁２５ａの中央部、下壁２５ｂの中央部、および仕切部材２６の中央部に形成されている。挿入口２７、排出口２８、および接続口３０は、たとえば、円形である。薬液ノズル３の下端部は、たとえば円筒状であり、挿入口２７の直径は、薬液ノズル３の下端部より大きい。

また、薬液ポット５は、排出配管３１と、純水供給配管３２（水供給手段）とを含む。排出配管３１は、排出口２８に接続されており、純水供給配管３２は、水供給口２９に接続されている。図示はしないが、純水供給配管３２には、純水バルブが介装されている。純水バルブが開かれると、純水供給配管３２から水供給口２９に室温（２０℃〜３０℃程度）の純水が供給される。また、純水バルブが閉じられると、純水供給配管３２から水供給口２９への純水の供給が停止される。純水供給配管３２から水供給口２９に供給される純水は、基板処理装置１の設置場所に設けられた純水供給源から供給される純水であってもよいし、純水ノズル４から純水ポット６内に排出された純水であってもよい。すなわち、図１に示すように、純水ノズル４から純水ポット６内に排出された純水が、回収配管４３を介して薬液ポット５に供給されることにより、純水ポット６内において純水ノズル４から吐出された純水が再利用されてもよい。純水ノズル４から吐出された純水を再利用することにより、純水の消費量を抑制することができる。

また、仕切部材２６は、純水供給配管３２から供給された純水を溜める貯水部３３を含む。貯水部３３は、接続口３０の周縁に沿って設けられた筒状の突起３４と、突起３４の周囲に配置された平坦部３５とを含む。突起３４および平坦部３５は、上方空間Ｓ２に配置されており、突起３４は、平坦部３５から上方に突出している。純水供給配管３２から水供給口２９に供給された純水は、水供給口２９から水平に吐出され、平坦部３５に沿って流れる。これにより、水供給口２９から吐出された純水が、貯水部３３に溜まり、貯水部３３が純水で満たされる。また、純水供給配管３２から水供給口２９に純水が供給され続けると、純水が貯水部３３から溢れ、貯水部３３に貯められた純水が突起３４の上方および接続口３０を通って下方空間Ｓ３に排出される。これにより、貯水部３３に貯められた純水が後続の純水に置換される。制御部７は、たとえば、薬液ノズル３が待機位置Ｐ１３に位置する間、純水供給配管３２から水供給口２９に純水を供給させ続ける。

制御部７が、薬液ノズル３を待機位置Ｐ１３に移動させると、薬液ノズル３の下端部が挿入口２７に対して上から挿入され、薬液ノズル３の薬液吐出口３ａが、上方空間Ｓ２に配置される。薬液ノズル３が待機位置Ｐ１３に位置する状態では、薬液吐出口３ａが接続口３０および排出口２８に対向している。制御部７は、薬液吐出口３ａを接続口３０および排出口２８に対向させた状態で、薬液吐出口３ａから下方に薬液を吐出させる。したがって、薬液吐出口３ａから吐出された薬液の大部分は、接続口３０を通って下方空間Ｓ３に排出される。また、薬液吐出口３ａから吐出され、薬液吐出口３ａの周囲に飛散した薬液（薬液の液滴）は、貯水部３３に保持された純水中に落下し、この純水に溶け込んだ状態で、接続口３０を通って下方空間Ｓ３に排出される。これにより、薬液吐出口３ａから吐出された薬液が、下方空間Ｓ３に排出される。そして、下方空間Ｓ３に排出された薬液および純水は、排出口２８を通って排出配管３１に排出される。

また、薬液ポット５内で薬液ノズル３の薬液吐出口３ａから薬液が吐出されると、上方空間Ｓ２および下方空間Ｓ３に薬液を含む雰囲気が発生する。下方空間Ｓ３を漂う薬液を含む雰囲気は、仕切部材２６によって上方空間Ｓ２への移動が抑制または防止される。また、上方空間Ｓ２を漂う薬液を含む雰囲気は、ハウジング２５の上壁２５ａによってハウジング２５の外への移動が抑制または防止される。さらに、貯水部３３に純水が保持されているので、上方空間Ｓ２で発生した薬液を含む雰囲気や、下方空間Ｓ３から上方空間Ｓ２に移動した薬液を含む雰囲気は、貯水部３３に保持された純水に溶け込む。これにより、ハウジング２５の外への薬液を含む雰囲気の漏洩が抑制または防止される。

特に、薬液ノズル３から吐出される薬液は、水溶性の薬液であるから、上方空間Ｓ２を漂う薬液を含む雰囲気は、貯水部３３に保持された純水に溶け込み易い。さらに、貯水部３３に保持された純水は、後続の純水によって置換されるから、貯水部３３に保持された純水が薬液によって飽和することが抑制または防止される。したがって、薬液を含む雰囲気が貯水部３３に保持された純水に溶け込み易い状態が維持される。これにより、上方空間Ｓ２を漂う薬液を含む雰囲気が、貯水部３３に保持された純水に溶け込み、ハウジング２５の外への薬液を含む雰囲気の漏洩が確実に抑制または防止される。

以上のように第１実施形態では、待機位置Ｐ１３で薬液吐出口３ａから吐出された薬液が、薬液ポット５によって受け止められる。このとき、下方空間Ｓ３で発生した薬液を含む雰囲気は、仕切部材２６によって上方空間Ｓ２への移動が抑制または防止される。さらに、上方空間Ｓ２で発生した薬液を含む雰囲気や、接続口３０を通って下方空間Ｓ３から上方空間Ｓ２に移動した薬液を含む雰囲気は、ハウジング２５によって外部への漏洩が抑制または防止される。さらにまた、上方空間Ｓ２を漂う薬液を含む雰囲気は、貯水部３３に保持された純水に溶け込む。これにより、ハウジング２５の外への薬液を含む雰囲気の漏洩が抑制または防止される。したがって、薬液を含む雰囲気の漏洩を防止するために、薬液ポット５内を排気しなくてもよい。また、薬液ポット５内を排気したとしても、排気量を低減しつつ、薬液を含む雰囲気の漏洩を抑制または防止することができる。これにより、基板処理装置１の排気量を低減することができる。

図５は、本発明の第２実施形態に係る薬液ポット２０５の概略構成を示す断面図である。また、図６は、図５におけるＶＩ−ＶＩ線に沿う薬液ポット２０５の断面図である。図５では、薬液ノズル３が待機位置Ｐ１３に位置する状態が示されている。この図５および図６において、前述の図１〜図４に示された各部と同等の構成部分については、図１等と同一の参照符号を付してその説明を省略する。

この第２実施形態と前述の第１実施形態との主要な相違点は、排出口２８の周縁に沿って筒状の分離部２３６が設けられており、この分離部２３６によって、薬液ノズル３から吐出された薬液と、上方空間Ｓ２から下方空間Ｓ３に排出された純水とが分離されることである。
具体的には、薬液ポット２０５（ポット）は、排出口２８の周縁に沿って設けられた筒状の分離部２３６と、ハウジング２２５の下壁２５ｂに形成された第２排出口２３７（第２処理液排出口）に接続された第２排出配管２３８とをさらに含む。分離部２３６は、下方空間Ｓ３に配置されている。分離部２３６は、たとえば、円筒状である。分離部２３６の外径は、接続口３０の直径より小さい。図６に示すように、分離部２３６は、平面視において接続口３０によって取り囲まれている。貯水部３３に保持された純水は、接続口３０の周縁から落下することにより、下方空間Ｓ３に排出される。分離部２３６の外径が接続口３０の直径より小さいから、貯水部３３に保持された純水は、分離部２３６の周囲に落下する。したがって、上方空間Ｓ２から下方空間Ｓ３に排出された純水は、分離部２３６の周囲に溜まり、第２排出口２３７を通って第２排出配管２３８に排出される。

一方、薬液ノズル３が待機位置Ｐ１３に位置する状態では、薬液吐出口３ａが接続口３０および排出口２８に対向している。制御部７（図１参照）は、薬液吐出口３ａを接続口３０および排出口２８に対向させた状態で、薬液吐出口３ａから下方に薬液を吐出させる。待機位置Ｐ１３に位置する薬液ノズル３から吐出された薬液の大部分は、分離部２３６の内側を通って排出口２８に排出される。したがって、薬液ノズル３から吐出された薬液と、上方空間Ｓ２から下方空間Ｓ３に排出された純水とは、下方空間Ｓ３において分離部２３６によって分離される。したがって、排出口２８には、純度の高い薬液が排出される。そのため、排出口２８から排出された薬液を再び基板Ｗに供給して、再利用することができる。これにより、薬液の消費量を低減することができる。

図７は、本発明の第３実施形態に係る薬液ポット３０５の概略構成を示す断面図である。図７では、薬液ノズル３が待機位置Ｐ１３に位置する状態が示されている。この図７において、前述の図１〜図６に示された各部と同等の構成部分については、図１等と同一の参照符号を付してその説明を省略する。
この第３実施形態と前述の第１実施形態との主要な相違点は、薬液ポット３０５内で薬液ノズル３を洗浄するための洗浄液供給配管３３９および洗浄液供給口３４１と、薬液ポット３０５内で薬液ノズル３を乾燥させるための気体供給配管３４０および気体供給口３４２とが設けられていることである。

具体的には、薬液ポット３０５（ポット）は、薬液ポット３０５に洗浄液を供給する洗浄液供給配管３３９と、薬液ポット３０５に気体を供給する気体供給配管３４０とを備えている。また、ハウジング３２５は、ハウジング３２５の周壁２５ｃに形成された洗浄液供給口３４１および気体供給口３４２を有している。洗浄液供給口３４１および気体供給口３４２は、仕切部材２６より上方に配置されている。洗浄液供給配管３３９は、洗浄液供給口３４１に接続されており、気体供給配管３４０は、気体供給口３４２に接続されている。図示はしないが、洗浄液供給配管３３９には、洗浄液バルブが介装されており、気体供給配管３４０には、気体バルブが介装されている。洗浄液バルブが開かれると、洗浄液供給配管３３９から洗浄液供給口３４１に洗浄液（たとえば、純水）が供給される。同様に、気体バルブが開かれると、気体供給配管３４０から気体供給口３４２に気体（たとえば、乾燥空気や、窒素ガスなどの不活性ガス）が供給される。

洗浄液供給配管３３９から洗浄液供給口３４１に供給された洗浄液は、待機位置Ｐ１３に位置する薬液ノズル３の下端部に向けて吐出される。これにより、薬液ノズル３の下端部に洗浄液が供給され、薬液ノズル３の下端部に付着している薬液やパーティクルが除去される。また、気体供給配管３４０から気体供給口３４２に供給された気体は、待機位置Ｐ１３に位置する薬液ノズル３の下端部に向けて吐出される。したがって、薬液ノズル３の下端部に洗浄液が供給された後に、気体供給口３４２から気体を吐出させることにより、薬液ノズル３の下端部に気体を供給して、薬液ノズル３の下端部に付着している洗浄液を除去することができる。これにより、薬液ノズル３の下端部を乾燥させることができる。

この発明の実施の形態の説明は以上であるが、この発明は、前述の第１〜第３実施形態の内容に限定されるものではなく、請求項記載の範囲内において種々の変更が可能である。
たとえば、前述の第１〜第３実施形態では、薬液吐出口３ａが上方空間Ｓ２に位置する状態で、薬液吐出口３ａから薬液が吐出される場合について説明した。しかし、薬液ノズル３の下端部を接続口３０に挿入して、薬液吐出口３ａが下方空間Ｓ３に位置する状態で、薬液吐出口３ａから薬液を吐出させてもよい。

また、前述の第１〜第３実施形態では、純水供給配管３２から上方空間Ｓ２に純水が供給される場合について説明した。しかし、純水供給配管３２から上方空間Ｓ２に供給される液体は、炭酸水や窒素水（窒素を含む水溶液）などの機能水であってもよい。
また、前述の第１〜第３実施形態では、室温（２０℃〜３０℃程度）の純水が、純水供給配管３２から上方空間Ｓ２に供給される場合について説明した。しかし、室温より低温の純水（冷水）が、純水供給配管３２から水供給口２９に供給されてもよい。この場合、貯水部３３に保持された純水の温度が低下するので、貯水部３３に保持された純水に対する薬液を含む雰囲気の溶け込み易さが向上する。

また、前述の第１〜第３実施形態では、純水供給配管３２から貯水部３３に純水が供給される場合について説明した。しかし、ハウジング２５の上壁２５ａの下面や、ハウジング２５の周壁２５ｃの内面に沿って純水が流れるように、純水が上方空間Ｓ２に供給されてもよい。
また、前述の第１〜第３実施形態では、貯水部３３に保持された純水が、後続の純水に置換される場合について説明した。しかし、貯水部３３に保持された純水は、置換されなくてもよい。

また、前述の第１〜第３実施形態では、薬液ポット５、２０５、３０５内を排気しない場合について説明した。しかし、薬液ポット５、２０５、３０５内を排気することにより、薬液を含む雰囲気の漏洩をより確実に防止してもよい。
また、前述の第１〜第３実施形態では、ハウジング２５、２２５、３２５が、直方体である場合について説明した。しかし、ハウジング２５、２２５、３２５の形状は、直方体に限らず、薬液ノズル３の下端部を差し込める形状であればよい。

その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。

１ 基板処理装置
２ スピンチャック（基板保持手段）
３ 薬液ノズル（ノズル）
３ａ 薬液吐出口（処理液吐出口）
５ 薬液ポット（ポット）
１２ 薬液ノズル移動機構（ノズル移動手段）
２５ ハウジング
２６ 仕切部材
２７ 挿入口
２８ 排出口（処理液排出口）
３０ 接続口
３２ 純水供給配管（水供給手段）
３３ 貯水部
２０５ 薬液ポット（ポット）
２２５ ハウジング
２３６ 分離部
２３７ 第２排出口（第２処理液排出口）
３０５ 薬液ポット（ポット）
３２５ ハウジング
Ｐ１１ 処理位置
Ｐ１３ 待機位置
Ｓ１ 内部空間
Ｓ２ 上方空間
Ｓ３ 下方空間
Ｗ 基板

Claims (5)

1. ノズルの処理液吐出口から吐出された処理液を受け止めるポットであって、
   前記ノズルの処理液吐出口が配置される内部空間を区画し、前記ノズルが挿入される挿入口と、前記挿入口より下方に配置された処理液排出口とを有するハウジングと、
   前記挿入口と前記処理液排出口との間の高さで前記ハウジングの内部空間を上方空間と下方空間とに仕切っており、前記上方空間と前記下方空間とを接続する接続口を有する仕切部材と、を含む、ポット。
2. 前記ポットは、前記上方空間に水を供給する水供給手段をさらに含み、
   前記仕切部材は、前記水供給手段から供給された水を前記上方空間で保持する貯水部を含む、請求項１記載のポット。
3. 前記貯水部は、前記貯水部に保持された水が前記接続口を通って前記下方空間に排出されるように構成されている、請求項２記載のポット。
4. 前記ポットは、前記下方空間に配置されており、前記処理液排出口に沿って設けられた筒状の分離部をさらに含み、
   前記ハウジングは、前記分離部の周囲に配置された第２処理液排出口をさらに有し、
   前記接続口は、平面視において前記分離部を取り囲むように形成されている、請求項３記載のポット。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載のポットと、
   基板を保持する基板保持手段と、
   処理液を吐出する処理液吐出口を有するノズルと、
   前記ノズルから吐出された処理液が前記基板保持手段に保持された基板に供給される処理位置と、前記処理液吐出口が前記ポット内に配置される待機位置との間で、前記ノズルを移動させるノズル移動手段と、を含む、基板処理装置。

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