JP2012068249A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 基板と、
   前記基板上に形成された少なくとも１つの微細ばねと、
   前記基板上に形成された複数の層を備える積層構造とを含み、前記微細ばねが前記積層構造内に少なくとも部分的に埋設されている、微細ばね構造。
2. 前記微細ばねは、固定部分および遊離部分を含み、前記固定部分は、前記基板上に貼り付けられており、さらに、前記固定部分は、前記積層構造内に埋設されており、前記遊離部分の少なくとも一部が、前記積層構造から伸びており、前記基板上で自由にたわむことができる、請求項１に記載の微細ばね構造。
3. 前記微細ばねは、前記積層構造内に完全に埋設されている、請求項１に記載の微細ばね構造。
4. 前記微細ばねは、先端部分を含んでおり、少なくとも、はんだを有する前記先端部分は、前記微細ばねに設けられており、前記積層構造内に埋設された前記微細ばねの前記部分は、はんだを含んでいない、請求項１に記載の微細ばね構造。
5. 前記積層構造は、フォトリソグラフィによってパターン形成可能な材料の少なくとも一部を含んでいる、請求項１に記載の微細ばね構造。