JP2012060006A - 半導体ウエハを支持する支持具 - Google Patents
半導体ウエハを支持する支持具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012060006A JP2012060006A JP2010203136A JP2010203136A JP2012060006A JP 2012060006 A JP2012060006 A JP 2012060006A JP 2010203136 A JP2010203136 A JP 2010203136A JP 2010203136 A JP2010203136 A JP 2010203136A JP 2012060006 A JP2012060006 A JP 2012060006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- support
- frame body
- inner hole
- drive ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】 半導体ウエハを支持する支持具10であって、枠体12と、枠体12に設けられており、枠体12の内孔14の中心に向かう方向に進退動可能であり、内孔14の中心軸回りに均等角度間隔で設けられた少なくとも3つの可動部30を有しており、各可動部30は、枠体12の内孔14の中心軸が伸びる方向に隙間30dを空けて配置された一対の支持部を有している。
【選択図】図1
Description
(特徴1)枠体の内孔の直径は、半導体ウエハの直径より大きい。内孔の中心軸方向の長さは半導体ウエハの厚みより大きい。
(特徴2)可動部は、枠体の内孔の内周面に設けられている。
(特徴3)支持具は、全ての可動部を同時に進退動させる機構を備えている。
(特徴4)全ての可動部を内孔の中心側に移動させたときに、各接続部を繋いで得られる円の直径が、半導体ウエハの直径より大きい。
(特徴5)全ての可動部の支持部の間の隙間が、内孔の軸方向において同一の位置に存在している。隙間の幅は、半導体ウエハの厚さより大きい。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
12:枠体
14:貫通孔
20:駆動リング
22:凸部
26:駆動ギヤ
30:可動部
30a:基部
30b:突出部
30c:突出部
30d:凹部
38:引張バネ
70:半導体ウエハ
Claims (2)
- 半導体ウエハを支持する支持具であって、
枠体と、
枠体に設けられており、枠体の内孔の中心に向かう方向に進退動可能であり、内孔の中心軸回りに均等角度間隔で設けられた少なくとも3つの可動部、
を有しており、
各可動部は、枠体の内孔の中心軸が伸びる方向に隙間を空けて配置された一対の支持部を有している、
ことを特徴とする支持具。 - 枠体の内孔の周囲に伸びており、枠体の内孔の周りに枠体に対して相対回転可能な駆動リングをさらに有しており、
駆動リングの回転に連動して、各可動部が進退動し、
駆動リングが第1角度にあるときに、全ての可動部が第1位置に位置し、
駆動リングが第2角度にあるときに、全ての可動部が第1位置よりも枠体の内孔の中心に近い第2位置に位置する、
ことを特徴とする請求項1に記載の支持具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010203136A JP5581923B2 (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | 半導体ウエハを支持する支持具及び支持具を用いて半導体ウエハを支持する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010203136A JP5581923B2 (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | 半導体ウエハを支持する支持具及び支持具を用いて半導体ウエハを支持する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012060006A true JP2012060006A (ja) | 2012-03-22 |
JP5581923B2 JP5581923B2 (ja) | 2014-09-03 |
Family
ID=46056718
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010203136A Expired - Fee Related JP5581923B2 (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | 半導体ウエハを支持する支持具及び支持具を用いて半導体ウエハを支持する方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5581923B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0521582A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-29 | Fujitsu Ltd | ウエハーホルダ |
JPH05109879A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-04-30 | Seiko Epson Corp | 導電性収納容器及び搬送容器 |
JPH10144774A (ja) * | 1996-11-13 | 1998-05-29 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持装置 |
JP2008519443A (ja) * | 2004-11-03 | 2008-06-05 | アクリオン テクノロジーズ インク | 単一基板の処理中に、基板から僅量の液体を除去する装置及び方法 |
JP2009272464A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Techno Fine:Kk | サンプル保持機構 |
JP2010189745A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Sumco Corp | 半導体ウェーハの製造方法 |
-
2010
- 2010-09-10 JP JP2010203136A patent/JP5581923B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0521582A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-29 | Fujitsu Ltd | ウエハーホルダ |
JPH05109879A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-04-30 | Seiko Epson Corp | 導電性収納容器及び搬送容器 |
JPH10144774A (ja) * | 1996-11-13 | 1998-05-29 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持装置 |
JP2008519443A (ja) * | 2004-11-03 | 2008-06-05 | アクリオン テクノロジーズ インク | 単一基板の処理中に、基板から僅量の液体を除去する装置及び方法 |
JP2009272464A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Techno Fine:Kk | サンプル保持機構 |
JP2010189745A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Sumco Corp | 半導体ウェーハの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5581923B2 (ja) | 2014-09-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5525339B2 (ja) | ロボットアーム | |
KR101842504B1 (ko) | 반송 장치, 기판 처리 시스템 및 자세 제어 기구 | |
KR20130062997A (ko) | 산업용 로봇 | |
JP2009083031A (ja) | 産業用ロボット | |
US20070065267A1 (en) | Workpiece transfer device | |
US9561586B2 (en) | Articulated robot, and conveying device | |
JP2008306163A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP5895930B2 (ja) | ダミーシャフトを用いるデファレンシャルユニットの組立装置並びにデファレンシャルユニットの製造方法 | |
US9221180B2 (en) | Extended wrist assembly for robotic arm | |
JP2018064003A (ja) | ワーク搬送ロボット | |
JP5581923B2 (ja) | 半導体ウエハを支持する支持具及び支持具を用いて半導体ウエハを支持する方法 | |
TWI519373B (zh) | 基底支撐模組 | |
CN107611069B (zh) | 机械手及半导体加工设备 | |
CN211320066U (zh) | 晶圆转移装置 | |
JP7195111B2 (ja) | 産業用ロボット | |
KR101323231B1 (ko) | 기판이송장치 | |
WO2019004201A1 (ja) | プロセスチャンバ | |
JP5124677B2 (ja) | 基板搬送ロボット | |
JP7131334B2 (ja) | 基板支持装置、基板搬送ロボットおよびアライナ装置 | |
KR20190018501A (ko) | 산업용 로봇 | |
US9373534B2 (en) | Rotary positioning apparatus with dome carrier, automatic pick-and-place system, and operating method thereof | |
JP6276090B2 (ja) | 搬送装置、搬送システム | |
KR101209882B1 (ko) | 기판 움직임을 방지하는 엔드 이펙터를 가지는 로봇암 | |
JP2020113574A (ja) | ウエハ搬送用トレイ | |
JP2009170567A (ja) | 搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120920 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130918 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130924 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140218 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140318 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140617 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140630 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |