KR101323231B1 - 기판이송장치 - Google Patents

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Abstract

챔버, 상기 챔버 내에 제공되는 기판, 상기 기판 상에 박막형성물질을 공급하는 증착장비를 구비하는 기판이송장치에 있어서, 상기 기판 양 단부에 구비되고, 상기 기판을 지지하는 기판지지부재; 상기 기판지지부재 일부에 접하여 상기 기판지지부재를 거치하며, 회전함과 동시에 상기 기판지지부재를 이동시키는 기판이송부재; 및 상기 챔버 외부 하부에 구비되고, 상기 기판이송부재와 연결되어 상기 기판이송부재를 회전 운동시키는 모터;를 포함하는 기판이송장치가 개시된다. 상기와 같이 모터가 챔버 외부 하부에 구비됨으로써, 챔버 외측에 별도의 장치를 구비하지 않아도 기판을 이동시킬 수 있기 때문에 기판이송장치의 공간 활용성이 증가하게 된다. 또한, 기판지지지부재에 의하여 챔버 내에서 기판의 지지 안정성이 증가함으로써, 보다 안전하고 정확하게 기판을 이동할 수 있다.

Description

기판이송장치{SUBSTRATE TRANSPORTER}
본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로 보다 자세하게는 기판이송장치의 공간활용성을 향상시키고, 기판이송장치의 챔버 내에서 기판이 보다 안정적으로 거치될 수 있는 기판이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, LCD(Liquid Crystal Display) 및 OLED(Organic Light Emitting Diode) 등을 제조하기 위해서 저진공, 고진공 및 초고진동 상태를 유지할 수 있는 챔버에 반도체 기판을 투입하고 투입된 기판은 다양한 공정을 거처 제조된다.
즉, 도 1을 참고하면, 기판이송장치(10)는 챔버(16), 챔버(16) 내에 제공되는 기판(12), 기판(12) 상에 박막형성물질을 공급하는 증착장비 및 기판(12)을 이동시키는 기판이송부재(13, 14) 등이 구비된다.
상기 기판이송부재(13, 14)는 복수개의 회전축(13)과 챔버(16) 외측에 구비되고 회전축(13)과 연결되어 회전축(13)을 회전 운동시키는 모터(14)를 포함한다. 상기 회전축(13)은 소정 간격 이격되어 있으며, 회전을 통해 기판을 이동시킨다.
예시적으로, 챔버(16)에 공급된 기판(12)은 상부에 위치한 증착장비에서 공급하는 증착물질이 적층되며, 기판(12)은 기판이송부재(13, 14)를 따라 움직이기 때문에 적층물질이 기판(12)에 균일하게 적층된다.
이때, 기판(12)은 회전축(13) 상에서 이동되는데 기판이 이동되는 과정에서 기판(12)의 정렬 상태가 흐트러질 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 기판(12)을 이동시키는 각각의 회전축(13)은 소정 간격 이격되어 있기 때문에 이격된 간격에 기판(12)이 걸려 기판(12) 정렬 상태가 흐트러지게 된다. 기판(12)의 정렬 상태가 흐트러지게 되면, 작업자가 기판(12) 정렬 상태를 재 조정하여야 하기 때문에 작업 효율이 떨어지게 된다.
또한, 챔버(16)는 작업자의 작업 효율을 위하여 지면에서 일정 높이 상에 구비된다. 이러한 높이를 작업높이(h1)라고 하며, 작업높이(h1)와 챔버(16) 사이의 공간은 빈 공간이 된다. 상기와 같이 빈 공간을 활용하지 못하기 때문에 장치의 공간 활용성이 저하된다.
각 회전축(13)과 연결된 모터(14)는 챔버(16) 외측에 구비됨으로써, 기판이송장치(10)는 모터(14)가 구비되는 영역까지 확보해야 한다. 이로 인하여 기판이송장치(10)의 크기가 증가하게 된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 크기가 작아지고, 공간 활용성이 증가한 기판이송장치가 제공된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판 지지 안정성이 증가한 기판이송장치가 제공된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 챔버, 상기 챔버 내에 제공되는 기판, 상기 기판 상에 박막형성물질을 공급하는 증착장비를 구비하는 기판이송장치에 있어서, 상기 기판 양 단부에 구비되고, 상기 기판을 지지하는 기판지지부재; 상기 기판지지부재 일부에 접하여 상기 기판지지부재를 거치하며, 회전함과 동시에 상기 기판지지부재를 이동시키는 기판이송부재; 및 상기 챔버 외부 하부에 구비되고, 상기 기판이송부재와 연결되어 상기 기판이송부재를 회전 운동시키는 모터;를 포함한다.
상기와 같이 모터가 챔버 외부 하부에 구비됨으로써, 챔버 외측에 별도의 장치를 구비하지 않아도 기판을 이동시킬 수 있기 때문에 기판이송장치의 공간 활용성이 증가하게 된다. 또한, 기판지지지부재에 의하여 챔버 내에서 기판의 지지 안정성이 증가함으로써, 보다 안전하고 정확하게 기판을 이동할 수 있다.
이때, 모터는 챔버 외부 하부에 복수개로 구비될 수 있다. 즉, 기판이송부재가 복수개 구비됨으로써, 기판을 보다 안전하고 정확하게 이동시킬 수 있다.
또한, 챔버는 기판이송부재 및 기판지지부재 상부에 제공되며, 증착장비에서 제공되는 증착물질이 기판이송부재 및 기판지지부재에 도달하는 것을 차단하는 차단막을 더 포함한다. 상기 차단막에 의하여 기판이송부재와 기판지지부재가 증착물질에 의하여 오염되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 차단막은 기판이송부재와 기판지지부재 상부를 차단하며, 기판 상부를 덮지 않을 만큼의 너비로 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 기판이송부재는 외면에 구비되어 기판지지부재가 거치되는 거치부를 구비하고, 기판지지부재는 거치부에 연접(連接)하는 연접부를 구비한다. 상기 거치부와 연접부는 면접촉 또는 점접촉을 통해 접촉될 수 있으며, 보다 상세하게는 연접부가 거치부에 거치된 상태라고 할 수 있다.
상기 기판지지부재는, 기판이 기판지지부재에서 이탈되는 것을 방지하기 위하여 거치홈이 구비되거나 기판을 기판지지부재에 고정시키는 클램프를 구비한다. 상기와 같이 거치홈 또는 클램프 등을 이용하여 기판이 기판지지부재에 고정됨으로써, 기판이 보다 안전하게 이송될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 기판은 대면적 유기 기판일 수 있다. 상기의 구성에 의하여 대면적 유리 기판의 파손을 최소화하며 이동할 수 있다. 또한, 기판이 보다 안전하게 이동됨에 따라 기판 상에 증착되는 증착물질 보다 고루 증착될 수 있기 때문에 반도체 기판 형성을 위한 작업 효율이 향상될 수 있다. 더불어, 기판을 이송하기 위한 모터가 챔버 외부에 구비됨에 따라 챔버가 설치되는 공간을 줄이고, 챔버 주변의 공간 활용성이 증가하게 된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판이송장치에서 기판을 이송시키는 기판이송부재의 모터가 기판이송장치의 챔버 하부에 위치함으로써, 모터가 위치하는 공간을 별도로 형성하지 않아도 된다. 이로 인하여 기판이송장치의 크기가 작아질 수 있으며, 챔버 외부 하부에 형성된 공간을 활용하기 때문에 기판이송장치의 공간 활용성이 증가하게 된다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 기판이송장치가 기판을 지지하는 기판지지부재를 구비함으로써, 기판이 이동하는 동안 기판을 보다 안전하게 지지하게 되어 기판의 파손을 방지하게 된다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 기판이송부재와 기판지지부재 상부에 구비된 차단막의 크기가 작아지게 된다. 즉, 기판을 이송하기 위한 별도의 회전축 등이 요구되지 않기 때문에 차단막은 기판지지부재 상부의 끝단까지만 제공되어도 기판지지부재와 기판이송부재가 박막증착물질에 의하여 오염되는 것을 방지할 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 종래기술의 기판이송장치에 관한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 도 2의 기판이송장치의 챔버 내부의 구성을 도시한 도면이다.
도 4는 도 2의 기판이송장치의 기판지지부재를 도시한 도면이다.
도 5는 도 2의 기판이송부재를 도시한 도면이다.
도 6a 내지 도 6c는 기판지지부재의 변형예를 도시한 도면이다.
도 7a 및 도 7b는 기판이송부재의 변형예를 도시한 도면이다.
이하에서, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 기판이송장치의 챔버 내부의 구성을 도시한 도면이고, 도 4는 도 2의 기판이송장치의 기판지지부재를 도시한 도면이며, 도 5는 도 2의 기판이송부재를 도시한 도면이다.
도면을 참고하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치(100)는 챔버(120), 챔버(120) 내에 제공되는 기판(12), 증착장비(130)를 포함한다.
상기 챔버(120)는 출입구(미도시)를 통해 공급되는 기판(12)에 박막이 형성되도록 진공상태를 유지할 수 있다. 또한, 기판(12)은 챔버(120) 측면에서 공급될 수 있으며, 공급된 기판(12)은 기판이송부재(140a, 140b)와 기판지지부재(50a, 50b)에 의하여 출입구 반대편으로 이동하게 되고, 기판(12) 상부에는 박막물질이 증착된다.
챔버(120) 내에는 기판(12) 상부에 박막형성물질을 공급하는 증착장비(130)가 구비된다. 증착장비(130)는 기판(12) 상부에 박막물질을 공급하기 용이하도록 챔버(120) 상부에 장착되는 것이 바람직하지만 발명에서 요구되는 조건에 따라 챔버(120) 측면에 구비될 수도 있다.
한편, 챔버(120) 내에는 출입구를 통해 공급된 기판(12)을 지지하는 기판지지부재(50a, 50b), 기판(12)을 출입구 반대편으로 이동시킬 수 있는 기판이송부재(140a, 140b) 및 기판이송부재(140a, 140b)에 동력을 공급하는 모터(170a, 170b)가 구비된다.
상기 기판지지부재(50a, 50b) 상에는 기판(12)이 거치되며, 기판지지부재(50a, 50b)는 기판(12)을 보다 안정적으로 거치하기 위하여 기판(12)의 양 단부에 구비된다. 또한, 본 발명의 실시예의 기판지지부재(50a, 50b)는 기판(12)을 거치하는 바닥면이 기판(12) 바닥 전체를 지지하는 예를 들어 설명하지만, 경우에 따라서는 기판(12) 양 단부에 각각 구비되고, 기판(12)의 바닥면을 거치하지 형태의 기판지지부재로도 구비될 수 있다.
상기 기판이송부재(140a, 140b) 일부는 경사면이 형성될 수 있다. 경사면은 기판지지부재(50a, 50b)가 거치되는 영역이라고 할 수 있으며, 본 발명의 실시예에 따른 기판이송부재(140a, 140b)는 상부에서 하부로 경사지도록 형성된 예를 들어 설명하기로 한다.
한편, 기판지지부재(50a, 50b)는 기판이송부재(140a, 140b)의 경사면과 맞닿을 수 있는 단차가 형성될 수 있다. 단차는 기판지지부재(50a, 50b)가 기판이송부재(140a, 140b)에 보다 안정적으로 거치될 수 있는 역할을 하며, 상기 경사면과 단차는 발명에서 요구되는 조건에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
즉, 도 4 및 도 5를 참고하면, 기판이송부재(140a, 140b)는, 기판이송부재(140a, 140b)의 외면을 따라 경사지게 형성된 거치부(146a)를 구비한다. 다시 말해, 거치부(146a)는 챔버(120) 상부에서 하부 방향으로 경사지게 형성된다. 이때, 거치부(146a)는 설명의 편의상 한 면에 형성된 거치부(146a)를 예를 들어 설명하지만, 거치부(146a)는 기판이송부재(140a, 140b) 모두에 형성되는 것이 바람직하며, 기판이송부재(140a, 140b)의 용이한 회전을 위하여 기판이송부재(140a, 140b) 외면 모두 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 기판지지부재(150)는 기판(12)이 거치될 수 있는 거치홈(52), 기판(12)의 양 단부를 지지하는 절곡면(54a, 54b)을 구비할 수 있다. 또한, 기판지지부재(150)는 거치부(146a)에 연접할 수 있는 연접부(56a, 56b)가 구비될 수 있으며, 본 도면의 실시예에 따른 연접부(56a, 56b)는 거치부(146a)에 맞닿을 수 있도록 형성되는 예를 들어 설명하지만, 연접부(56a, 56b)는 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
상기 기판이송부재(140a, 140b)는 기판지지부재(50a, 50b)의 양 단부에 구비된다. 즉, 기판지지부재(50a, 50b)가 기판(12)의 양 단부를 지지하고 있기 때문에 이를 지지하기 위하여 기판이송부재(140a, 140b) 또한 기판지지부재(50a, 50b) 양 단부에 구비되는 것이다.
더불어, 기판이송부재(140a, 140b)는 기판지지부재(50a, 50b)의 이동 방향을 따라 복수개 구비될 수 있다. 예시적으로 도 3을 참고하면, 기판(12)을 지지하고 있는 기판지지부재(50a, 50b)의 길이 방향으로 기판이송부재(140a, 140b)가 구비되며, 기판이송부재(140a, 140b)는 기판지지부재(50a, 50b)가 이동하는 방향을 따라 구비됨으로써, 안정적으로 기판(12)이 이동된다.
이때, 기판이송부재(140a, 140b)는 회전을 통해 기판지지부재(50a, 50b)를 이동시키게 된다. 도 3에 도시된 바와 같이 기판이송부재(140a)가 시계방향으로 회전하면, 맞은편의 기판이송부재(140b)는 시계반대 방향으로 회전하여 기판(12)이 전방으로 이동하거나 후방으로 이동하게 된다. 상기와 같이 기판이송부재(140a, 140b)가 회전하게 되면, 기판지지부재(50a, 50b)는 화살표 방향을 기준으로 전방을 향해 이동하게 된다. 한편, 기판이송부재(140a, 140b)의 회전 방향은 발명의 조건에 따라 변경될 수 있으며, 기판이송부재(140a, 140b)의 회전 방향에 의하여 본 발명이 제한되는 것은 아니다.
상기 기판지지부재(50a, 50b)는 별도의 장치를 사용하지 않고 기판(12)을 지지 및 이동시킬 수 있다. 즉, 기판(12)의 양 단부 또는 기판(12)의 바닥면이 기판지지부재(50a, 50b)에 거치됨에 따라 기판(12)은 별도의 장비를 사용하지 않고 기판지지부재(50a, 50b) 상에 구비되기 때문에 챔버(120) 내에 기판(12)을 거치하기 용이해질 수 있다. 더불어, 기판(12)이 기판지지부재(50a, 50b)에 거치되면, 기판이송부재(140a, 140b)가 기판지지부재(50a, 50b)를 이동시킴에 따라 기판(12)은 처음 정렬된 배치 상태를 유지하면서 증착물질이 증착되는 거리만큼 이동하게 된다. 이로 인하여 종래와 같이 작업 도중 기판(12)의 정렬 상태를 조정하는 시간이 필요하지 않게 됨에 따라 작업 효율이 향상될 수 있다. 더불어, 기판(12)의 정렬 상태가 처음 상태에서 유지되기 때문에 기판(12) 상에 증착물질이 고르게 증착될 수 있어 반도체 기판의 생산 효율이 증가할 수도 있다.
한편, 챔버(120) 외부에는 모터(170a, 170b)가 구비된다. 모터(170a, 170b)는 기판이송부재(140a, 140b)와 연결되며, 기판이송부재(140a, 140b)가 회전하도록 회전력을 공급하는 공급원이 된다. 이때 모터(170a, 170b)는 챔버(120) 외부 하부에 구비된다. 즉, 챔버(120)는 작업자의 작업 효율을 향상시키고자 지면에서 일정 높이 상에 구비된다. 이러한 높이를 작업높이(h2)라고 하며, 작업높이(h2)는 발명에서 요구되는 조건에 따라 달라 지지지만, 일반적으로 장치를 구성하기 전에 앞서 설정된 작업높이를 기준으로 장치를 구성하게 된다.
즉, 도 1과 도 2를 참고하면, 종래의 기판이송장치(100)는 모터(170a, 170b)가 챔버(120) 외측에 구비되기 때문에 챔버(120) 뿐만 아니라 모터(170a, 170b) 공간도 필요하다. 하지만, 본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치(100)는 챔버(120) 외부 하부에 모터(170a, 170b)가 구비되기 때문에 모터(170a, 170b)를 설치하는 별도의 공간이 필요하지 않는다. 이로 인하여 종래의 기판이송장치(10)의 크기(D1)에 비하여 본 발명의 기판이송장치(100)의 크기(D2)가 작아지게 된다.
한편, 모터(170a, 170b)는 챔버(120) 하부와 작업높이(h2)로 인하여 생긴 빈 공간에 구비되며, 이와 같이 빈 공간에 모터(170a, 170b)를 구비함으로써 빈 공간의 공간 활용성을 최대화하게 된다.
더불어, 모터(170a, 170b)는 복수개 구비될 수 있다. 즉, 앞서 설명한 바와 같이 기판지지부재(50a, 50b)가 이동하는 방향으로 기판이송부재(140a, 140b)가 복수개 구비되며, 모터(170a, 170b)는 각각의 기판이송부재(140a, 140b)에 구비되어 기판이송부재(140a, 140b)에 회전력을 공급하게 된다.
다시 도면을 참고하면, 챔버(120)는 기판이송부재(140a, 140b)와 기판지지부재(50a, 50b) 상부에 제공되는 차단막(160a, 160b)을 더 포함한다. 상기 차단막(160a, 160b)은 기판지지부재(50a, 50b) 상단부까지 연장 형성될 수 있다. 예시적으로, 기판지지부재(50a, 50b)는 기판(12)이 놓여지는 영역과 기판이송부재(140a, 140b)에 거치되는 영역으로 구분된다. 이때, 기판이송부재(140a, 140b)에 거치되는 영역은 외부로 노출될 수 있으며, 차단막(160a, 160b)은 외부로 노출된 기판지지부재(50a, 50b) 상부를 덮을 수 있는 위치까지 형성된다.
상기 차단막(160a, 160b)은 증착장비(130)에서 공급되는 증착물질이 기판이송부재(140a, 140b)와 기판지지부재(50a, 50b) 상에 도달하는 것을 방지할 수 있다. 이로 인하여 기판이송부재(140a, 140b)와 기판지지부재(50a, 50b)가 증착물질에 의하여 오염되는 것이 방지된다.
한편, 상기 기판이송부재(140a, 140b)를 이용하여 기판(12)을 공정하는 방법을 계략적으로 살펴보기로 한다.
일차적으로 증착물질이 증착되기 위한 기판(12)이 로딩되는 기판 로딩장치(미도시) 내에 기판(12)이 로딩되어 있으며, 이때, 기판(12)은 기판지지부재(50a, 50b)에 장착되어 있다. 기판지지부재(50a, 50b)에 장착된 기판(12)은 기판이송부재(140a, 140b)에 의하여 챔버(120) 내부로 이송된다.
이때, 챔버(120) 내부에 구비된 증착장비(130)에 의해 기판(12) 상에는 박막물질이 형성되고, 형성된 박막물질을 식각하여 반도체 기판이 제조된다.
챔버(120) 내에서 반도체 기판이 제조되면, 공정된 기판을 제거하고 기판 로딩장치에 새로운 기판을 장착하여 앞서 나열한 공정에 따라 반도체 기판을 제조하게 된다.
또한, 다르게는 챔버(120) 내에서 반도체 기판이 제조되면, 공정된 기판을 제거하고 기판이송장치(140a, 140b)가 기판로딩장치 위치로 돌아가 새로운 기판을 로딩하여 새로운 반도체 기판을 제조할 수도 있다.
한편, 도 6a 내지 도 6c는 기판지지부재의 변형예를 도시한 도면이고, 도 7a 및 도 7b는 기판이송부재의 변형예를 도시한 도면이다.
도면의 자세한 설명에 앞서, 실시예 설명의 편의를 위하여 임의의 거치부와 연접부를 선택하여 각각 연접한 상태를 예를 들어 설명하지만, 설명되는 실시예에 본 발명이 제한되는 것은 아니며, 실시예의 조건은 다양하게 변경될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판이송장치에서 설명하는 전술한 구성과 동일 또는 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 6a를 참고하면, 기판지지부재(150)는 기판(12) 바닥면을 지지하는 지지면(152)을 구비한다. 지지면(152)는 기판(12)이 별도의 장치를 사용하지 않고 기판지지부재(150)에 안착된 상태를 유지할 수 있게 한다.
또한, 기판지지부재(150)는 기판(12)의 양 단부를 지지하는 절곡면(154a, 154b), 거치부(146a_도 5 참고)에 연접할 수 있는 연접부(156a, 156b)가 구비될 수 있으며, 본 도면의 실시예에 따른 연접부(156a, 156b)는 앞서 설명된 실시예에서 설명된 연접부와 동일한 예를 들어 설명하지만, 연접부(156a, 156b)는 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
다음으로 도 6b 및 도 7a의 거치부와 연접부에 따른 실시예를 살펴보기로 한다.
도면을 살펴보면, 기판이송부재(240a)에는 돌출면(246a)이 형성될 수 있으며, 돌출면(246a) 상에는 기판지지부재(245)가 거치될 수 있다.
이때, 기판지지부재(245)는 절곡부, 거치홈 등이 형성되지 않은 상태에서 기판(12)을 지지할 수 있다. 일 예로, 기판지지부재(250) 상에는 기판(12)이 놓여질 수 있으며, 기판지지부재(250)에서 기판(12)이 이탈되는 것을 방지하도록 기판지지부재(250)와 기판(12)을 클램프(252a, 252b)로 고정할 수 있다.
상기 클램프(252a, 252b)는 기판(12)의 일면에 적어도 하나가 구비되어 기판(12)과 기판지지부재(245)를 고정하게 된다. 본 발명의 실시예에서는 기판(12)의 장변에 한 쌍의 클램프(252a, 252b)가 구비되어 기판(12)과 기판지지부재(250) 간의 고정력을 향상시킨 예를 들지만 구비되는 클램프(252a, 252b)의 개수에 의하여 발명이 제한되는 것은 아니다.
다시 도면을 참고하면, 기판지지부재(245)에는 연접부(256a, 256b)가 형성될 수 있다. 상기 연접부(256a, 256b)가 기판이송부재(240a)에서 이탈되는 것을 방지하기 위하여 기판이송부재(240a)에 돌출면(246a)을 형성하고, 돌출면(246a) 상에 기판지지부재(245)를 거치하게 되면 기판지지부재(245)가 기판이송부재(240a)와 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
상기 돌출면(246a)은 기판이송부재(240a)에서 기판이송부재(240a) 외면 방향으로 돌출되게 형성될 수 있으며, 기판이송부재(240a)의 단면이 지지될 수 있을 높이 정도로 돌출되는 것이 바람직할 것이다. 또한, 돌출면(246a)은 기판이송부재(240a) 외면 방향으로 기판이송부재(240a) 일부가 돌출되기도 하지만, 기판이송부재(240a)가 기판이송부재(240a) 외면 방향으로 포물선 형상으로 형성될 수도 있다.
다음으로 도 6c 및 도 7b의 거치부와 연접부에 따른 실시예를 살펴보기로 한다.
도면을 참고하면, 기판지지부재(350)는 앞서 설명한 도 6c와 같이 연접부는 형성되지 않지만, 기판(12) 저면이 거치될 수 있도록 지지면(352)이 형성된 예를 들어 설명하기로 한다.
상기 기판지지부재(350)를 기판이송부재(340a)에 거치하기 위하여 거치부(346a)는 거치부(346a) 내면 방향으로 포물선 형상으로 형성될 수 있다. 즉, 기판지지부재(350)의 모서리가 거치부(346a)에 걸쳐질 수 있도록 거치부(a346)가 거치부(346a) 내면 방향으로 곡선으로 형성된다. 이때, 거치부(346a)의 곡선형상은 거치부(346a) 내면 방향으로 깊게 형성될수록 기판지지부재(350)의 모서리가 보다 견고하게 고정될 수 있으며, 거치부(346a)의 형상은 발명에서 요구되는 조건에 따라 변경될 수 있다.
상기와 같은 구성에 의하여 기판이송장치의 공간 활용성이 증가하게 된다. 또한, 기판을 지지하는 기판지지부재를 구비함으로써, 기판이 이동하는 동안 기판을 보다 안전하게 지지하고, 기판의 파손을 방지할 수 있다. 이때, 기판지지부재의 모서리와 기판지지부재를 지지하는 기판이송부재 간의 접촉 영역을 다양한 형상으로 형성하여 기판지지부재가 기판이송부재 상에 안전하게 거치될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
100: 기판이송장치 50a, 50b: 기판지지부재
120: 챔버 130: 증착장비
140a, 140b: 기판이송부재 160a, 160b: 차단막
170a, 170b: 모터

Claims (10)

  1. 챔버, 상기 챔버 내에 제공되는 기판, 상기 기판 상에 박막형성물질을 공급하는 증착장비를 구비하는 기판이송장치에 있어서,
    상기 기판 양 단부를 지지하며 양 외측 하단에 연접부가 형성되어 있는 기판지지부재;
    외면에 상기 기판지지부재의 연접부에 면접촉 또는 점접촉 하는 거치부를 가지고 상기 기판지지부재를 거치하며, 회전함과 동시에 상기 기판지지부재를 이동시키는 기판이송부재; 및
    상기 기판지지부재의 수평면 하측의 상기 챔버 외부 하부에 복수로 구비되고, 상기 기판이송부재와 연결되어 상기 기판이송부재를 회전 운동시키는 모터;
    상기 기판 이송부재 및 상기 기판 지지부재의 적어도 상부를 덮도록 마련되어 상기 증착장비에서 제공되는 증착물질이 상기 기판 이송부재 및 상기 기판 지지부재에 도달하는 것을 차단하는 차단막;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판지지부재는,
    상기 기판이 상기 기판지지부재에서 이탈되는 것을 방지하도록 거치홈이 형성된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기판 지지부재는,
    상기 기판을 상기 기판 지지부재에 고정시키는 클램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기판 지지부재는,
    상기 기판 바닥면을 지지하는 지지면을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
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