KR20130044923A - 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로서, 이송부와, 간격 조정부를 포함한다. 이송부는 복수의 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼 캐리어로부터 인출된 웨이퍼 또는 웨이퍼 캐리어로 인입될 웨이퍼를 이송하며, 웨이퍼가 이송되는 제1방향을 따라 평행하게 배치되고 제1방향과 교차하는 제2방향에 대하여 이격되게 배치된 제1이송레일과 제2이송레일을 구비한다. 조정부는 이송부를 통해 이송되는 웨이퍼의 크기 변경에 대응하기 위하여, 제2방향을 따라 제1이송레일과 제2이송레일 간의 간격을 조정한다.

Description

웨이퍼 이송장치{Apparatus for Conveying Wafer}
본 발명은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 태양전지용 웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼 캐리어로부터 인출된 태양전지용 웨이퍼 또는 웨이퍼 캐리어로 인입될 태양전지용 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.
최근 환경문제와 에너지 고갈에 대한 관심이 높아지면서, 환경오염에 대한 문제가 없고 무한에 가까운 자원량을 가지며, 에너지 효율이 높은 대체 에너지인 태양에너지를 활용하는 방안에 대한 관심이 높아지고 있다.
이러한 태양에너지를 활용하는 태양전지는, 태양열을 이용하여 터빈을 회전시키는데 필요한 증기를 발생시키는 태양열 전지와, 반도체의 성질을 이용하여 태양빛(photons)을 전기에너지로 변환시키는 태양광 전지로 나눌 수 있다. 그 중에서도 빛을 흡수하여 전자와 정공을 생성함으로써 광 에너지를 전기 에너지로 변환하는 태양광 전지(이하, '태양전지'라고 한다)에 대한 연구가 활발히 행해지고 있다.
일반적으로 이러한 태양전지는, 크게 실리콘 웨이퍼와 같은 태양전지용 웨이퍼를 제조하는 과정, 태양전지용 웨이퍼를 에칭하여 표면 처리하고 p-n 접합을 형성하는 공정, 후면 접합을 형성하고 반사방지막 코팅을 하는 공정, 전극을 형성하고 전극을 열처리하는 공정, 그리고 제조된 태양전지의 양부 및 성능을 검사하는 테스트 공정을 거쳐 완성된다.
여기서, 이전 공정에서 제조된 태양전지용 웨이퍼를 후속 공정을 위해 이송할 때, 태양전지용 웨이퍼 이송장치가 이용된다. 종래의 태양전지용 기판 이송장치는, 벨트의 상면에 얇은 두께로 제작된 태양전지용 웨이퍼를 안착시킨 상태로 복수의 풀리에 벨트를 걸어 돌림으로써 태양전지용 웨이퍼를 이송하는 컨베이어 벨트(Conveyer belt)를 이용하는 방식으로 주로 구현된다.
그러나, 이와 같은 종래의 태양전지용 웨이퍼 이송장치는, 웨이퍼를 이송하는 레일의 폭이 고정되어 있어서 생산되는 웨이퍼의 크기가 변경되는 경우에 웨이퍼를 불안정하게 이송하는 문제가 있다. 웨이퍼를 안정적으로 이송하기 위해서 웨이퍼의 크기에 따른 개별적인 웨이퍼 이송장치를 마련하는 방법도 있으나, 이는 추가적인 장치의 구매로 인한 비용 증가와 제조 공장 내에서 많은 면적을 차지하게 되는 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 마주보며 평행하게 배치되어 태양전지용 웨이퍼를 이송하는 한 쌍의 이송레일의 간격을 조정함으로써, 생산되는 웨이퍼의 크기가 변경되는 경우에도 웨이퍼를 안정적으로 이송할 수 있고, 웨이퍼의 크기에 따른 개별적인 웨이퍼 이송장치를 추가적으로 구매할 필요가 없어 비용을 절감하고 공장 내에서의 설치면적을 줄일 수 있는 웨이퍼 이송장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 웨이퍼 이송장치는, 복수의 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼 캐리어로부터 인출된 웨이퍼 또는 상기 웨이퍼 캐리어로 인입될 웨이퍼를 이송하며, 웨이퍼가 이송되는 제1방향을 따라 평행하게 배치되고 상기 제1방향과 교차하는 제2방향에 대하여 이격되게 배치된 제1이송레일과 제2이송레일을 구비하는 이송부; 및 상기 이송부를 통해 이송되는 웨이퍼의 크기 변경에 대응하기 위하여, 상기 제2방향을 따라 상기 제1이송레일과 상기 제2이송레일 간의 간격을 조정하는 간격 조정부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 이송부는, 상기 제1이송레일의 단부 및 상기 제2이송레일의 단부에서 회전하는 한 쌍의 풀리; 상기 한 쌍의 풀리에 양단부가 각각 결합하여 함께 회전하는 회전축; 상기 회전축에 연결되어 상기 회전축으로부터 회전구동력을 전달받고, 웨이퍼 캐리어와 상기 제1,2이송레일 사이에 배치되는 보조 이송부;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 보조 이송부는, 상면에 웨이퍼의 존재 여부를 감지하기 위한 웨이퍼 감지 센서;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 보조 이송부와 상기 제1,2이송레일 사이에 설치되며, 웨이퍼 캐리어로부터 인출되어 상기 제1,2이송레일로 이송되는 웨이퍼를 정렬하기 위한 또는 상기 제1,2이송레일을 통해 이송되어 상기 웨이퍼 캐리어로 인입되는 웨이퍼를 정렬하기 위한 한 쌍의 웨이퍼 정렬부;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 웨이퍼 정렬부를 구동하는 정렬부 구동유닛을 더 포함하고, 상기 정렬부 구동유닛은, 상기 웨이퍼 정렬부 중 하나를 구동하는 모터에 연결되는 구동풀리; 상기 웨이퍼 정렬부 중 다른 하나에 연결되고, 상기 구동풀리와 벨트로 연결되며, 상기 간격 조정부에 의해 상기 제2방향을 따라 이동되는 종동풀리; 상기 구동풀리 및 상기 종동풀리와 벨트로 연결되고, 고정되어 설치된 고정풀리;를 포함한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1이송레일 및 상기 제2이송레일 각각은, 상기 제1방향을 따라 일렬로 배치되고, 일정 부피의 내부공간으로 구획되며, 진공 펌프에 연결된 복수의 챔버; 이송되는 웨이퍼를 흡착하기 위해 상기 챔버 상면에 형성된 다수의 관통공;을 포함한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 있어서, 바람직하게는, 각각의 챔버 내의 진공 상태를 개별적으로 유지 또는 해제시키기 위하여, 각각의 챔버와 상기 진공펌프 사이에 설치되며, 상기 챔버와 상기 진공 펌프의 연결을 유지 또는 해제시키는 복수의 유량제어부재;를 더 포함한다.
본 발명의 웨이퍼 이송장치에 따르면, 웨이퍼의 크기에 따른 개별적인 웨이퍼 이송장치를 추가적으로 구매할 필요가 없어 비용을 절감하고 공장 내에서의 설치면적을 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 웨이퍼 이송장치에 따르면, 웨이퍼 캐리어 내부로 보조 이송부를 진입시켜 웨이퍼 인출 초기 과정에서의 불안정한 이송 위험을 현저하게 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 웨이퍼 이송장치에 따르면, 웨이퍼를 인출하는 과정에서는 웨이퍼를 안정되게 이송할 수 있고, 웨이퍼를 인입하는 과정에서는 웨이퍼 에지(edge)의 손상 없이 웨이퍼 캐리어 내부로 안정되게 인입할 수 있는 있다.
또한, 본 발명의 웨이퍼 이송장치에 따르면, 각각의 챔버 내의 진공 상태를 개별적으로 유지 또는 해제시킴으로써, 레일 상에서 이송되는 웨이퍼의 안정성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송장치를 도시한 도면이고,
도 2는 도 1의 웨이퍼 이송장치의 보조 이송부, 웨이퍼 정렬부 및 정렬부 구동유닛을 확대한 도면이고,
도 3은 도 1의 웨이퍼 이송장치의 좌측면도이다.
도 4는 도 1의 웨이퍼 이송장치의 제1이송레일을 확대한 도면이고,
도 5는 도 1의 웨이퍼 이송장치를 이용하여 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼를 인출하는 과정을 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송장치를 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 웨이퍼 이송장치의 보조 이송부, 웨이퍼 정렬부 및 정렬부 구동유닛을 확대한 도면이고, 도 3은 도 1의 웨이퍼 이송장치의 좌측면도이고, 도 4는 도 1의 웨이퍼 이송장치의 제1이송레일을 확대한 도면이고, 도 5는 도 1의 웨이퍼 이송장치를 이용하여 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼를 인출하는 과정을 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 웨이퍼 이송장치(100)는 태양전지용 웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼 캐리어로부터 인출된 태양전지용 웨이퍼 또는 웨이퍼 캐리어로 인입될 태양전지용 웨이퍼를 이송하기 위한 것으로서, 이송부(110)와, 간격 조정부(140)와, 웨이퍼 정렬부(160)와, 정렬부 구동유닛과, 유량제어부재(170)를 포함한다.
상기 이송부(110)는, 복수의 웨이퍼(w)를 수용하는 웨이퍼 캐리어(10)로부터 인출된 웨이퍼(w) 또는 웨이퍼 캐리어(10)로 인입될 웨이퍼(w)를 이송하며, 제1이송레일(120)과, 제2이송레일(130)과, 풀리(121,131), 회전축(111), 보조 이송부(150)를 포함한다.
상기 제1이송레일(120) 및 상기 제2이송레일(130)은, 웨이퍼(w)가 이송되는 제1방향(L1)을 따라 평행하게 배치되면서, 제1방향(L1)과 교차하는 제2방향(L2)에 대하여 서로 일정 거리 이격되게 배치된다. 제1이송레일(120)과 제2이송레일(130)이 이격되는 간격은 웨이퍼(w)의 크기에 비례한다.
제1이송레일(120) 및 제2이송레일(130) 각각에는, 일정 부피의 내부공간으로 구획되는 복수의 챔버(122)가 마련되어 있다. 복수의 챔버(122)는 제1방향(L1)을 따라 일렬로 배치되어 있고, 외부에 설치된 진공 펌프(20)에 연결된다. 진공 펌프(20)가 가동되면 챔버(122) 내부는 대기압보다 낮은 기압의 진공 상태가 유지된다.
챔버(122)의 상면에는 이송되는 웨이퍼(w)를 흡착하기 위한 다수의 관통공(124)이 형성된다. 또한, 풀리(121)에 감겨 회전하면서 이송되는 웨이퍼(w)에 접촉되는 벨트(123)가 복수의 챔버(122)를 감싸면서 설치되는데, 벨트(123)에도 다수의 관통공(125)이 형성된다. 진공 펌프(20)의 가동시 챔버(122)와, 벨트(123)에 형성된 관통공(125) 및 챔버에 형성된 관통공(124)이 연통되어 웨이퍼(w)와 벨트(123) 사이에서 진공 상태가 형성됨으로써, 웨이퍼(w)가 흡착될 수 있다.
상기 풀리(121,131)는, 제1이송레일(120)의 일단부 및 제2이송레일(130)의 일단부에서 각각 회전하며, 웨이퍼(w)를 이송하는 벨트(123)가 감겨 있다. 본 실시예에서는 제1이송레일(120)의 타단부 및 제2이송레일(130)의 타단부에 설치된 별도의 풀리(129,139)가 모터(112)에 연결되어 회전되며, 제1이송레일(120)의 일단부 및 제2이송레일의 일단부(130)에 설치된 풀리(121,131)는 종동풀리 기능을 수행한다.
상기 회전축(111)은, 제1이송레일(120)의 일단부 및 제2이송레일(130)의 일단부에 설치된 한 쌍의 풀리(121,131)에 양단부가 각각 결합하며 풀리(121,131)로부터 회전구동력을 전달받아 함께 회전한다.
상기 보조 이송부(150)는, 회전축(111)에 연결되어 회전축(111)으로부터 회전구동력을 전달받고, 웨이퍼 캐리어(10)와 제1,2이송레일(120,130) 사이에 배치된다. 보조 이송부(150)는 웨이퍼 캐리어(10)에 형성된 홈부(11)로 진입될 수 있도록 단일의 레일로 구성됨으로써, 웨이퍼 캐리어(10)로부터 웨이퍼(w)를 안정적으로 인출할 수 있다.
도 5를 참조하여 웨이퍼 캐리어(10)로부터 웨이퍼(w)를 인출하는 과정을 좀더 자세히 살펴보면, 우선 보조 이송부(150)를 웨이퍼 캐리어(10)의 홈부(11)에 대응되는 위치에 배치함과 동시에, 웨이퍼 캐리어(10)를 보조 이송부(150)의 상측에 배치한다. 이후, 웨이퍼 캐리어(10)를 단계적으로 하강시키면서 웨이퍼 캐리어(10)로부터 웨이퍼(w)를 인출한다. 인출되는 웨이퍼(w)는 보조 이송부(150)에 감겨진 벨트에 의해 1차적으로 이송되고, 제1방향(L1)을 따라 제1이송레일(120) 및 제2이송레일(130)을 통해 2차적으로 이송된다. 보조 이송부(150)를 웨이퍼 캐리어(10) 내부로 진입시킴으로써, 웨이퍼(w) 인출 초기 과정에서의 불안정한 이송 위험을 현저하게 줄일 수 있다.
웨이퍼 캐리어(10)로 웨이퍼(w)를 인입하는 과정은 인출하는 과정의 역순으로서 통상의 기술자에게 자명한 내용이므로, 더이상의 상세한 설명은 생략한다.
보조 이송부(150)에는 상면에 웨이퍼(w)의 존재 여부를 감지하기 위한 웨이퍼 감지 센서(151)가 설치된다.
상기 간격 조정부(140)는, 이송부(110)를 통해 이송되는 웨이퍼(w)의 크기가 변경되는 경우, 변경된 웨이퍼(w)의 크기에 따라 제1이송레일(120)과 제2이송레일(130) 간의 간격을 조정한다. 간격 조정부(140)는 모터(141)와, 모터(141)의 회전운동을 직선운동으로 변환하는 나사축 및 너트부재와, 너트부재에 결합되어 직선왕복운동하는 플레이트(142)로 구성된다. 본 실시예에서 플레이트(142)는 제1이송레일(120)에 결합되고, 간격 조정부(140)에 의해 제1이송레일(120)이 이송된다.
모터(141)의 정역 방향의 회전에 의해, 상대적으로 작은 웨이퍼(w)를 이송하는 경우에는 제1이송레일(120)이 제2방향(L2)을 따라 제2이송레일(130)로 가까워지고, 상대적으로 큰 웨이퍼(w)를 이송하는 경우에는 제1이송레일(120)이 제2방향(L2)을 따라 제2이송레일(130)로부터 멀어지면서, 제1이송레일(120)과 제2이송레일(130) 간의 간격이 조정된다.
상기 웨이퍼 정렬부(160)는, 웨이퍼 캐리어(10)로부터 인출되어 제1,2이송레일(120,130)로 이송되는 웨이퍼(w)를 정렬하거나 또는 제1,2이송레일(120,130)을 통해 이송되어 웨이퍼 캐리어(10)로 인입되는 웨이퍼(w)를 정렬하기 위한 것으로서, 웨이퍼(w)의 양측과 마주보는 위치에 각각 마련된다. 웨이퍼 정렬부(160)는 제1방향(L1)을 따라 보조 이송부(150)와 제1,2이송레일(120,130) 사이에 설치된다.
단일의 레일로 구성된 보조 이송부(150)를 통해 웨이퍼(w)가 인출되는 과정에서 웨이퍼(w)가 틀어져서 이송될 수 있다. 웨이퍼(w)의 양측과 마주보는 위치에 마련된 웨이퍼 정렬부(160)를 통해 틀어진 웨이퍼(w)를 바르게 정렬함으로써, 제1,2이송레일(120,130)상에서 안정되게 웨이퍼(w)를 이송할 수 있다.
웨이퍼 캐리어(10) 내부로 웨이퍼(w)를 인입하는 과정에서도 웨이퍼(w)가 틀어진 상태로 제1,2이송레일(120,130)을 통해 이송될 수 있다. 이때, 웨이퍼(w)가 틀어진 상태로 웨이퍼 캐리어(10) 내부로 인입되면 웨이퍼 에지(edge)가 손상될 위험이 있다. 따라서, 웨이퍼 정렬부(160)를 통해 틀어진 웨이퍼(w)를 바르게 정렬한 후 웨이퍼 캐리어(10) 내부로 안정되게 인입할 수 있다.
상기 정렬부 구동유닛은, 웨이퍼 정렬부(160)를 구동하여 회전시키며, 구동풀리(161)와, 종동풀리(162)와, 고정풀리(163)와, 장력조절풀리(164)를 포함한다.
상기 구동풀리(161)는, 일측은 모터(165)에 연결되고, 타측은 웨이퍼 정렬부(160) 중 하나에 결합된다. 모터(165)의 회전력을 웨이퍼 정렬부(160)에 전달하여 웨이퍼 정렬부(160) 중 하나를 회전시킨다.
상기 종동풀리(162)는, 웨이퍼 정렬부(160) 중 다른 하나에 연결되고, 구동풀리(161)와 벨트(166)로 연결된다. 구동풀리(161)의 회전력을 전달받아 회전함으로써, 웨이퍼 정렬부(160) 중 다른 하나를 회전시킨다. 이와 같이, 본 실시예에서는 하나의 모터(165)를 이용하여 한 쌍의 웨이퍼 정렬부(160)를 구동할 수 있다.
본 실시예에서 종동풀리(162)는 간격 조정부(140)에 의해 이동되는 제1이송레일(120)과 연결되어, 웨이퍼(w)의 크기가 변경되는 경우 간격 조정부(140)에 의해 제1이송레일(120)과 함께 제2방향(L2)을 따라 이동된다.
상기 고정풀리(163)는, 구동풀리(161) 및 종동풀리(162)와 벨트(166)로 연결되고, 장치 전체를 지지하는 프레임에 고정되어 설치된다.
상기 장력조절풀리(164)는 종동풀리(162)와 고정풀리(163) 사이에 설치되어 구동풀리(161), 종동풀리(162), 고정풀리(163)에 감겨진 벨트(166)의 장력을 조절한다. 장력조절풀리(164) 또한 간격 조정부(140)에 의해 이동되는 제1이송레일(120)에 연결되어, 웨이퍼(w)의 크기가 변경되는 경우 간격 조정부(140)에 의해 제1이송레일(120)과 함께 제2방향(L2)을 따라 이동된다.
상기 유량제어부재(170)는, 복수 개 마련되며, 각각의 챔버(122)와 진공 펌프(20) 사이에 설치되어, 각각의 챔버(122)와 진공 펌프(20)의 연결을 유지 또는 해제시킨다. 제1이송레일(120) 및 제2이송레일(130)을 통해 웨이퍼를 이송시키는 과정에서 제1이송레일 및 제2이송레일(120,130) 위에 있는 일부 웨이퍼(w)를 제거해야 하는 경우가 발생할 수 있다. 이때, 제1이송레일(120) 및 제2이송레일(130)의 전체적인 진공 상태를 해제하면, 제1,2이송레일(120,130) 상에 그대로 놓아도 되는 웨이퍼(w)가 자칫 낙하하여 파손되는 위험이 일어날 수 있다. 따라서, 각각의 챔버(122) 내의 진공 상태를 개별적으로 유지 또는 해제시키는 기능이 필요하다.
본 발명에서는 유량제어부재(170)를 이용하여 제거해야 하는 웨이퍼(w)가 놓여진 위치에 대응되는 챔버(122)만의 진공 상태를 해제시킴으로써, 제1,2이송레일(120,130) 상에 그대로 놓아도 되는 웨이퍼(w)를 안전하게 유지할 수 있다.
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 웨이퍼 이송장치는, 태양전지용 웨이퍼를 이송하는 한 쌍의 이송레일의 간격을 조정함으로써, 생산되는 웨이퍼의 크기가 변경되는 경우에도 웨이퍼를 안정적으로 이송할 수 있고, 웨이퍼의 크기에 따른 개별적인 웨이퍼 이송장치를 추가적으로 구매할 필요가 없어 비용을 절감하고 공장 내에서의 설치면적을 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 웨이퍼 이송장치는, 단일의 레일로 구성된 보조 이송부를 이송부에 추가함으로써, 웨이퍼 캐리어 내부로 보조 이송부를 진입시켜 웨이퍼 인출 초기 과정에서의 불안정한 이송 위험을 현저하게 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 웨이퍼 이송장치는, 틀어지게 이송되는 웨이퍼를 바르게 정렬하는 웨이퍼 정렬부를 구비함으로써, 웨이퍼를 인출하는 과정에서는 웨이퍼를 안정되게 이송할 수 있고, 웨이퍼를 인입하는 과정에서는 웨이퍼 에지(edge)의 손상 없이 웨이퍼 캐리어 내부로 안정되게 인입할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 웨이퍼 이송장치는, 각각의 이송레일을 복수 개의 분할된 챔버로 구성하여 각각의 챔버 내의 진공 상태를 개별적으로 유지 또는 해제시킴으로써, 레일 상에서 이송되는 웨이퍼의 안정성을 높일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100 : 웨이퍼 이송장치
110 : 이송부
120 : 제1이송레일
130 : 제2이송레일
140 : 간격 조정부
160 : 웨이퍼 정렬부

Claims (7)

  1. 복수의 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼 캐리어로부터 인출된 웨이퍼 또는 상기 웨이퍼 캐리어로 인입될 웨이퍼를 이송하며, 웨이퍼가 이송되는 제1방향을 따라 평행하게 배치되고 상기 제1방향과 교차하는 제2방향에 대하여 이격되게 배치된 제1이송레일과 제2이송레일을 구비하는 이송부;
    상기 이송부를 통해 이송되는 웨이퍼의 크기 변경에 대응하기 위하여, 상기 제2방향을 따라 상기 제1이송레일과 상기 제2이송레일 간의 간격을 조정하는 간격 조정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 제1이송레일의 단부 및 상기 제2이송레일의 단부에서 회전하는 한 쌍의 풀리;
    상기 한 쌍의 풀리에 양단부가 각각 결합하여 함께 회전하는 회전축;
    상기 회전축에 연결되어 상기 회전축으로부터 회전구동력을 전달받고, 웨이퍼 캐리어와 상기 제1,2이송레일 사이에 배치되는 보조 이송부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 보조 이송부는,
    상면에 웨이퍼의 존재 여부를 감지하기 위한 웨이퍼 감지 센서;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 보조 이송부와 상기 제1,2이송레일 사이에 설치되며, 웨이퍼 캐리어로부터 인출되어 상기 제1,2이송레일로 이송되는 웨이퍼를 정렬하기 위한 또는 상기 제1,2이송레일을 통해 이송되어 상기 웨이퍼 캐리어로 인입되는 웨이퍼를 정렬하기 위한 한 쌍의 웨이퍼 정렬부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 웨이퍼 정렬부를 구동하는 정렬부 구동유닛을 더 포함하고,
    상기 정렬부 구동유닛은,
    상기 웨이퍼 정렬부 중 하나를 구동하는 모터에 연결되는 구동풀리;
    상기 웨이퍼 정렬부 중 다른 하나에 연결되고, 상기 구동풀리와 벨트로 연결되며, 상기 간격 조정부에 의해 상기 제2방향을 따라 이동되는 종동풀리;
    상기 구동풀리 및 상기 종동풀리와 벨트로 연결되고, 고정되어 설치된 고정풀리;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1이송레일 및 상기 제2이송레일 각각은,
    상기 제1방향을 따라 일렬로 배치되고, 일정 부피의 내부공간으로 구획되며, 진공 펌프에 연결된 복수의 챔버;
    이송되는 웨이퍼를 흡착하기 위해 상기 챔버 상면에 형성된 다수의 관통공;을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
  7. 제6항에 있어서,
    각각의 챔버 내의 진공 상태를 개별적으로 유지 또는 해제시키기 위하여, 각각의 챔버와 상기 진공펌프 사이에 설치되며, 상기 챔버와 상기 진공 펌프의 연결을 유지 또는 해제시키는 복수의 유량제어부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
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