KR20100009279A - 태양전지용 기판 이송장치 - Google Patents

태양전지용 기판 이송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20100009279A
KR20100009279A KR1020080070108A KR20080070108A KR20100009279A KR 20100009279 A KR20100009279 A KR 20100009279A KR 1020080070108 A KR1020080070108 A KR 1020080070108A KR 20080070108 A KR20080070108 A KR 20080070108A KR 20100009279 A KR20100009279 A KR 20100009279A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
solar cell
cell substrate
substrate
transfer
injection
Prior art date
Application number
KR1020080070108A
Other languages
English (en)
Inventor
박성학
Original Assignee
세크론 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세크론 주식회사 filed Critical 세크론 주식회사
Priority to KR1020080070108A priority Critical patent/KR20100009279A/ko
Publication of KR20100009279A publication Critical patent/KR20100009279A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 태양전지용 기판 이송장치에 관한 것으로서, 태양전지용 기판의 이송방향에 대응하는 경사 방향으로 기체를 공급하기 위한 복수의 분사홀 또는 복수의 분사관이 상면에 구비되는 이송부; 상기 복수의 분사홀 또는 상기 복수의 분사관에 기체를 공급하는 기체 공급부; 및 상기 이송부의 양측 상면에 각각 형성되어 상기 태양전지용 기판의 이송을 가이드하는 복수의 가이드부;를 포함하되, 상기 복수의 분사홀 또는 상기 복수의 분사관에 공급되는 기체가 상측 방향으로 분사됨으로써 상기 태양전지용 기판이 부양 이송된다.
본 발명에 의하면, 태양전지용 기판을 연속적으로 대량 이송할 수 있고, 충격에 의해 쉽게 파손될 수 있는 태양전지용 기판을 안전하고 신속하게 이송할 수 있다.
태양전지, 기판, 웨이퍼, 이송장치

Description

태양전지용 기판 이송장치 {Substrate transferring apparatus for solar cell}
본 발명은 태양전지용 기판 이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 다수의 태양전지용 기판을 안전하고 신속하게 이송할 수 있는 태양전지용 기판 이송장치에 관한 것이다.
최근 환경문제와 에너지 고갈에 대한 관심이 높아지면서, 환경오염에 대한 문제가 없고 무한에 가까운 자원량을 가지며, 에너지 효율이 높은 대체 에너지인 태양에너지를 활용하는 방안에 대한 관심이 높아지고 있다.
이러한 태양에너지를 활용하는 태양전지는, 태양열을 이용하여 터빈을 회전시키는데 필요한 증기를 발생시키는 태양열 전지와 반도체의 성질을 이용하여 태양빛(photons)을 전기에너지로 변환시키는 태양광 전지로 나눌 수 있다. 그 중에서도 빛을 흡수하여 전자와 정공을 생성함으로써 광 에너지를 전기 에너지로 변환하는 태양광 전지(이하, '태양전지'라고 한다)에 대한 연구가 활발히 행해지고 있다.
일반적으로 이러한 태양전지는, 크게 실리콘 웨이퍼와 같은 태양전지용 기판을 제조하는 과정, 태양전지용 기판을 에칭하여 표면 처리하고 p-n 접합을 형성하 는 공정, 후면 접합을 형성하고 반사방지막 코팅을 하는 공정, 전극을 형성하고 전극을 열처리하는 공정, 그리고 제조된 태양전지의 양부 및 성능을 검사하는 테스트 공정을 거쳐 완성된다.
여기서, 제조된 태양전지용 기판 또는 p-n 접합이 형성된 태양전지용 기판 등의 태양전지용 기판을 후속 공정을 위해 이송할 때, 태양전지용 기판 이송장치가 이용된다.
그런데, 종래의 태양전지용 기판 이송장치는, 벨트의 상면에 0.5mm 미만의 두께로 제작된 태양전지용 기판을 안착시킨 상태로 복수의 바퀴로 벨트를 걸어 돌림으로써 태양전지용 기판을 이송하는 컨베이어 벨트(Conveyer belt)를 이용하는 방식으로 주로 구현된다.
그러나, 이와 같은 종래의 태양전지용 기판 이송장치는, 약한 충격에도 쉽게 파손될 수 있는 태양전지용 기판이 벨트와 접촉된 상태로 이송되므로, 바퀴를 통해 전달되는 진동 등에 의해 태양전지용 기판이 파손되는 일이 자주 발생되는 문제점이 있다.
또한, 이러한 진동 등을 최소화하여 태양전지용 기판이 파손되는 현상을 감소시키기 위해, 컨베이어 벨트를 저속으로 구동하게 되어, 태양전지용 기판을 신속하게 이송할 수 없는 단점이 있다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은, 이송 중 파손을 방지하기 위해 태양전지용 기판을 비접촉식으로 안전하게 이송하고, 연속적이며 신속하게 대량 이송할 수 있는 태양전지용 기판 이송장치를 제공하고자 한다.
상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 태양전지용 기판 이송장치는, 태양전지용 기판의 이송방향에 대응하는 경사 방향으로 기체를 공급하기 위한 복수의 분사홀 또는 복수의 분사관이 상면에 구비되는 이송부; 상기 복수의 분사홀 또는 상기 복수의 분사관에 기체를 공급하는 기체 공급부; 및 상기 이송부의 양측 상면에 각각 형성되어 상기 태양전지용 기판의 이송을 가이드하는 복수의 가이드부;를 포함하되, 상기 복수의 분사홀 또는 상기 복수의 분사관에 공급되는 기체가 상측 방향으로 분사됨으로써 상기 태양전지용 기판이 부양 이송된다.
상기 복수의 가이드부는, 그 내측면이 낮은 마찰계수를 갖도록 15㎛ 이하의 표면 거칠기로 구비될 수 있다.
상기 복수의 분사관은, 그 경사가 조절될 수 있도록 구비될 수 있다.
상기 태양전지용 기판 이송장치는, 상기 태양전지용 기판과 접촉될 때, 상기 태양전지용 기판에 전달되는 충격을 완화하도록 상기 가이드부의 내측면에 구비되는 완충부;를 더 포함할 수 있다.
상기 완충부는, 상기 가이드부의 내면과 이격된 상태로 상기 가이드부를 따 라 설치되는 박판부재;를 포함할 수 있다.
상기 박판부재는, 15㎛ 이하의 표면 거칠기를 갖는 금속 박판으로 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 태양전지용 기판 이송장치는, 상기 태양전지용 기판의 이송방향을 따라 평평한 저면을 갖는 이송홈이 상면에 형성되고, 상기 이송홈의 저면에 상기 태양전지용 기판의 이송방향에 대응되는 경사 방향으로 기체를 공급하기 위한 복수의 분사홀 또는 복수의 분사관이 구비되는 이송부; 및 상기 복수의 분사홀 또는 상기 복수의 분사관에 기체를 공급하는 기체 공급부;를 포함하되, 상기 복수의 분사홀 또는 상기 복수의 분사관에 공급된 기체가 상측 방향으로 분사됨으로써 상기 태양전지용 기판이 상기 이송홈 내에서 부양 이송된다.
상기 태양전지용 기판 이송장치는, 상기 태양전지용 기판과 접촉될 때, 상기 태양전지용 기판에 전달되는 충격을 완화하도록 상기 이송홈의 양 내측면에 각각 구비되는 한 쌍의 완충부;를 더 포함할 수 있다.
이러한 본 발명의 태양전지용 기판 이송장치에 의하면, 태양전지용 기판의 이송방향을 따라 경사지게 형성된 복수의 분사홀로부터 상측으로 분사되는 기체에 의해, 태양전지용 기판이 부양되어 비접촉 상태로 이송되므로, 태양전지용 기판에 충격이 가해지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 충격에 의해 쉽게 파손될 수 있는 태양전지용 기판을 안전하게 이송할 수 있다.
그리고, 본 발명의 태양전지용 기판 이송장치에 태양전지용 기판을 일정 간 격의 시간 차를 두고 순차적으로 공급하면, 공급된 태양 전지용 기판을 소정의 거리만큼 이격된 상태로 연속적으로 대량 이송할 수 있다.
또한, 태양전지용 기판이 부양되어 이송되는 과정에서, 그 측면이 이송홈의 양 내측면 또는 가이드부의 내측면에 부딪히더라도 그 충격을 완화하는 완충부가 설치되어, 태양전지용 기판을 더욱 안전하게 이송할 수 있다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 그 범위가 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명에 따른 태양전지용 기판 이송장치는, 실리콘 웨이퍼와 같은 태양전지용 기판 또는 p-n 접합이 형성된 태양전지용 기판 등의 각 공정을 거친 태양전지용 기판을 후속 공정을 위해 이송할 때 사용되는 장치이다.
이하, 첨부된 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치의 구성 및 작용효과를 구체적으로 설명한다. 본 발명의 제1실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치는 이송부(100) 및 기체 공급부(200)를 포함한다.
상기 이송부(100)는, 그 상면에 태양전지용 기판(10)의 이송방향을 따라 평평한 저면을 갖도록 형성되는 이송홈(110)이 구비되고, 상기 이송홈(110)의 내부에는 태양전지용 기판(10)이 위치된다.
상기 이송홈(110)의 저면에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상측이 개방되고 태양전지용 기판(10)의 이송방향을 따라 경사지게 복수의 분사홀(120)이 형성된다. 복수의 분사홀(120)은 기체 공급부(200)와 연결되어, 기체 공급부(200)로부터 공급받은 기체를 상측으로 분사한다.
그러면, 상기 이송홈(110)의 저면에 위치된 태양전지용 기판(10)이 복수의 분사홀(120)로부터 분사되는 기체에 의해 부양된다. 이때, 복수의 분사홀(120)은 태양전지용 기판(10)의 이송방향을 따라 경사지게 형성되어 있으므로, 복수의 분사홀(120)로부터 분사되는 기체는, 태양전지용 기판(10)을 상승시키는 힘(부양력)과 함께 태양전지용 기판(10)을 이송방향으로 이송하는 힘(이송력)을 태양전지용 기판(10)에 전달한다.
따라서, 상기 태양전지용 기판(10)은 복수의 분사홀(120)로부터 분사되는 기체에 의해 이송홈(110)의 내부에서 부양됨과 동시에, 이송방향으로 이송된다.
여기서, 복수의 분사홀(120)이 태양전지용 기판(10)의 이송방향을 따라 경사진 각도는, 복수의 분사홀(120)의 직경, 태양전지용 기판(10)의 크기 및 무게, 태양전지용 기판의 목적하는 이송 속도 등을 고려하여 설계 및 결정된다.
복수의 분사홀(120)의 경사진 각도가 작게 구비되어 수직에 가깝게 형성될 경우, 태양전지용 기판(10)에 대한 이송력에 비해 부양력이 과대해져, 태양전지용 기판(10)이 과도하게 부양되어 이송홈(110)을 이탈하지 않도록 하기 위해서는 태양전지용 기판(10)의 이송 속도가 지나치게 느린 문제점이 발생된다.
반대로, 복수의 분사홀(120)의 경사진 각도가 크게 구비되는 경우, 태양전 지용 기판(10)에 대한 부양력에 비해 이송력이 과대해져, 태양전지용 기판(10)이 이송홈(110)의 저면으로부터 안전하게 부양되기 위해서는 태양전지용 기판(10)의 이송 속도가 지나치게 빠른 문제점이 발생된다.
따라서, 복수의 분사홀(120)의 경사진 각도는 태양전지용 기판(10)의 안정된 부양 상태가 확보됨과 동시에, 태양전지용 기판(10)이 적절한 속도로 이송될 수 있는 각도로 결정된다. 이러한, 복수의 분사홀(120)의 경사진 각도는 부양력 및 이송력에 대한 벡터(vector) 설계 또는 실험에 따른 데이터 분석을 통해 결정될 수 있다.
본 발명의 제1실시예에 있어서, 기체를 분사하는 구성요소는 복수의 분사홀(120)로 구비되었으나, 이에 한정되지 않고 복수의 분사관(미도시)으로 구비될 수도 있다. 이 경우, 이러한 복수의 분사관도 상술한 복수의 분사홀(120)과 같이 태양전지용 기판(10)의 이송방향에 대응하도록 경사지게 구비된다. 이때, 복수의 분사관의 경사를 조절하는 별도의 안내부 및 구동부가 구비될 수도 있다.
또한, 기체를 분사하는 구성요소가 복수의 분사관으로 구비될 경우, 분사관을 통해 분사되는 기체의 압력이 조절될 수 있도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 상술한 바와 같은 복수의 분사관의 구성에 분사관의 경사를 조절하는 별도의 안내부 및 구동부의 구성을 추가하는 것은, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 용이한 것이므로, 자세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 상기 이송홈(110)의 양 내측면은 낮은 마찰계수를 갖도록 15㎛ 이하의 표면 거칠기를 갖도록 형성될 수 있다. 상기 태양전지용 기판(10)은 이송홈(110)을 따라 부양 이송될 때, 양측면이 이송홈(110)의 양 내측면과 가볍게 접촉될 수 있는데, 이송홈(110)의 양 내측면이 15㎛ 이하의 경면(鏡面)으로 형성되면, 태양전지용 기판(10)이 접촉될 때 부드럽게 미끄러짐으로써 태양전지용 기판(10)에 전달되는 충격이 저감된다.
여기서, 15㎛ 이하의 표면 거칠기는 중다듬질 이상의 상다듬질과 정밀다듬질에 의해 형성되는 표면 거칠기이다. 만약, 이송홈(110)의 양 내측면이 15㎛ 초과의 거친 면으로 형성될 경우, 태양전지용 기판(10)이 접촉될 때의 충격으로 인해 태양전지용 기판(10)이 파손될 수 있다. 따라서, 상기 이송홈(110)의 양 내측면은 15㎛ 이하의 표면 거칠기를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 기체 공급부(200)는 복수의 분사홀(120)과 연통되어 복수의 분사홀(120)에 기체를 공급한다. 이를 위해 기체 공급부(200)는 공기를 압력을 가해 공급하는 공기 압축기(Air compressor)로 구비될 수 있다. 그러나, 상기 기체 공급부(200)가 복수의 분사홀(120)에 공급하는 기체의 종류는 공기로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 질소 기체를 공급하도록 구비될 수도 있다.
그리고, 상기 기체 공급부(200)는 복수의 분사홀(120)이 각각 균일한 압력으로 기체를 분사할 수 있도록 복수로 구비될 수 있다.
상기 기체 공급부(200)가 복수의 분사홀(120)에 공급하는 기체의 압력은 복수의 분사홀(120)의 직경, 태양전지용 기판(10)의 크기 및 무게, 태양전지용 기판의 목적하는 이송 속도 등을 고려하여 결정된다. 바람직하게는, 상기 기체 공급 부(200)는, 태양전지용 기판(10)이 이송 중에 이송홈(110)을 이탈할 정도로 강하지 않고, 충분히 부양되지 않을 정도로 약하지 않은 적당한 압력의 기체를 복수의 분사홀(120)에 공급한다.
이러한, 기체 공급부(200)가 복수의 분사홀(120)에 공급하는 기체의 압력에 대한 설계는, 복수의 분사홀(120)의 경사 각도 설계와 함께 실험 데이터 분석에 의해 이루어질 수 있다.
이하, 도 4 및 도 5를 참조하여, 본 발명의 제2실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치의 구성 및 작용효과를 구체적으로 설명한다. 본 발명의 제2실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치는 완충부(300)를 제외하고는 본 발명의 제1실시예의 구성과 유사하다. 따라서, 이하 상기 완충부(300)를 중심으로 설명하고, 본 발명의 제1실시예의 구성과 유사한 이송부(100') 및 기체 공급부(200')에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 완충부(300)는 상기 이송홈(110')의 양 내측면에 각각 형성되어, 태양전지용 기판(10)이 이송되며 접촉될 때, 태양전지용 기판(10)에 전달되는 충격을 완화한다. 이를 위해, 상기 완충부(300)는 박판부재(310) 및 고정부재(320)를 포함한다.
상기 박판부재(310)는 이송홈(110')의 내측면과 일정 간격 이격된 상태로 이송홈(110')의 양 내측면을 따라 한 쌍이 설치된다. 이때, 상기 박판부재(310)는 도 4에 도시된 바와 같이, 소정의 간격을 두고 위치된 고정부재(320)에 의해 이송홈(110')의 내측면에 설치된다. 그리고, 바람직하게는 상기 박판부재(310)는 탄성 을 갖는 금속 박판으로 구비된다.
따라서, 태양전지용 기판(10)이 이송 중에 상기 박판부재(310)에 접촉되면, 박판부재(310)가 휘어지면서 태양전지용 기판(10)에 전달되는 충격을 감소시킨다. 이후, 박판부재(310)는 탄성력에 의해 원래의 위치로 복귀된다.
이러한 박판부재(310)의 충격 감소 효과를 극대화시키기 위해, 도 4에 도시된 바와 같이, 고정부재(320)는 좌ㆍ우측의 박판부재(310)에 대해 지그재그 형태로 위치된다. 구체적으로 설명하면, 박판부재(310)에 있어서 고정부재(320)가 설치된 곳은 태양전지용 기판(10)과 접촉되더라도 휘어지지 않는데, 좌ㆍ우측 중 어느 한 쪽은 용이하게 휘어져 태양전지용 기판(10)에 전달되는 충격을 감소시킬 수 있도록 하기 위해 고정부재(320)가 한 쌍의 박판부재(310)에 대해 지그재그 형태로 위치되는 것이 바람직하다.
그리고, 바람직하게는 상기 박판부재(310)는 15㎛ 이하의 표면 거칠기를 갖도록 구비된다. 따라서, 태양전지용 기판(10)이 이송 중에 상기 박판부재(310)에 접촉될 때 부드럽게 미끄러짐으로써 태양전지용 기판(10)에 전달되는 충격이 절감된다.
본 발명의 제2실시예에 있어서, 상기 완충부(300)는 박판부재(310) 및 고정부재(320)로 구현되었으나, 그 구성이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 태양전지용 기판(10)이 접촉될 때, 탄성 변형과 동시에 용이한 미끄러짐을 제공할 수 있는 별도의 탄성체가 이송홈(110')의 양 내측면에 구비될 수도 있다.
이하, 도 6을 참조하여, 본 발명의 제3실시예에 따른 태양전지용 기판 이송 장치의 구성 및 작용효과를 구체적으로 설명한다. 본 발명의 제3실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치는 이송부(100'')의 형상 및 가이드부(400)의 구성을 제외하고는 본 발명의 제1실시예의 구성과 유사하다. 따라서, 이하 이송부(100'')의 형상 및 가이드부(400)를 중심으로 설명한다.
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치를 제1실시예와 비교되도록 도시한, 제1실시예의 도 3에 대응되는 단면도이다.
상기 이송부(100'')는 그 상면에 복수의 분사홀(120'')이 태양전지용 기판(10)의 이송방향을 따라 경사지게 형성된다. 그리고, 상기 이송부(100'')의 양측 상면에는 태양전지용 기판(10)의 이송방향을 따라 한 쌍의 가이드부(400)가 형성된다.
상기 한 쌍의 가이드부(400)는, 본 발명의 제1실시예에 있어서 이송홈(110)의 양 내측면의 역할을 수행하는 것으로서, 태양전지용 기판(10)이 이탈되지 않도록 그 이송을 안내하는 별도의 구성요소이다.
한편, 상기 가이드부(400)의 내측면은, 제1실시예에서 설명한 이송홈(110)의 양 내측면과 같이, 낮은 마찰계수를 갖도록 15㎛ 이하의 표면 거칠기로 구비될 수 있다. 그리고, 상기 가이드부(400)의 내측면에는, 본 발명의 제2실시예에서 설명한 완충부(300)가 구비될 수도 있다.
본 발명의 제3실시예에 있어서, 상기 가이드부(400)는 이송부(100'')의 양측 상면에 한 쌍이 구비되었으나, 그 개수가 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 복수의 가이드부(400)가 연결된 형태로 구비될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 태양전지용 기판 이송장치는, 충격에 따른 파손 위험이 큰 태양전지용 기판(10)을 기체 분사에 의해 부양 이송될 수 있도록 구현됨으로써, 태양전지용 기판을 안전하고 신속하게 이송할 수 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부되어 있는 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치의 개략적인 평면도,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치의 도 1에 도시된 A-A에 대한 개략적인 단면도,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치의 도 1에 도시된 B-B에 대한 개략적인 단면도,
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치의 개략적인 평면도,
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치의 도 5에 도시된 C-C에 대한 개략적인 단면도,
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 태양전지용 기판 이송장치의 도 3에 대응되는 개략적인 단면도이다.
＊ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ＊
10 : 태양전지용 기판 100, 100', 100'' : 이송부
110, 110' : 이송홈 120, 120', 120'' : 분사홀
200 : 기체 공급부 300 : 완충부
310 : 박판부재 320 : 고정부재
400 : 가이드부

Claims (8)

  1. 태양전지용 기판을 수평 방향으로 이송하는 장치에 있어서,
    상기 태양전지용 기판의 이송방향에 대응하는 경사 방향으로 기체를 공급하기 위한 복수의 분사홀 또는 복수의 분사관이 상면에 구비되는 이송부;
    상기 복수의 분사홀 또는 상기 복수의 분사관에 기체를 공급하는 기체 공급부; 및
    상기 이송부의 양측 상면에 각각 형성되어 상기 태양전지용 기판의 이송을 가이드하는 복수의 가이드부;를 포함하되,
    상기 복수의 분사홀 또는 상기 복수의 분사관에 공급되는 기체가 상측 방향으로 분사됨으로써 상기 태양전지용 기판이 부양 이송되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 가이드부는,
    그 내측면이 낮은 마찰계수를 갖도록 15㎛ 이하의 표면 거칠기를 갖는 것을 특징으로 하는 상기 태양전지용 기판 이송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 분사관은,
    그 경사가 조절될 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 상기 태양전지용 기판 이송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 태양전지용 기판과 접촉될 때, 상기 태양전지용 기판에 전달되는 충격을 완화하도록 상기 가이드부의 내측면에 구비되는 완충부;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 태양전지용 기판 이송장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 완충부는,
    상기 가이드부의 내면과 이격된 상태로 상기 가이드부를 따라 설치되는 박판부재;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 태양전지용 기판 이송장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 박판부재는,
    15㎛ 이하의 표면 거칠기를 갖는 금속 박판인 것을 특징으로 하는 상기 태양전지용 기판 이송장치.
  7. 태양전지용 기판을 수평으로 이송하는 장치에 있어서,
    상기 태양전지용 기판의 이송방향을 따라 평평한 저면을 갖는 이송홈이 상면에 형성되고, 상기 이송홈의 저면에 상기 태양전지용 기판의 이송방향에 대응되는 경사 방향으로 기체를 공급하기 위한 복수의 분사홀 또는 복수의 분사관이 구비되는 이송부; 및
    상기 복수의 분사홀 또는 상기 복수의 분사관에 기체를 공급하는 기체 공급부;를 포함하되,
    상기 복수의 분사홀 또는 상기 복수의 분사관에 공급된 기체가 상측 방향으로 분사됨으로써 상기 태양전지용 기판이 상기 이송홈 내에서 부양 이송되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판 이송장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 태양전지용 기판과 접촉될 때, 상기 태양전지용 기판에 전달되는 충격을 완화하도록 상기 이송홈의 양 내측면에 각각 구비되는 한 쌍의 완충부;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 태양전지용 기판 이송장치.
KR1020080070108A 2008-07-18 2008-07-18 태양전지용 기판 이송장치 KR20100009279A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080070108A KR20100009279A (ko) 2008-07-18 2008-07-18 태양전지용 기판 이송장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080070108A KR20100009279A (ko) 2008-07-18 2008-07-18 태양전지용 기판 이송장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20100009279A true KR20100009279A (ko) 2010-01-27

Family

ID=41817725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080070108A KR20100009279A (ko) 2008-07-18 2008-07-18 태양전지용 기판 이송장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20100009279A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101396151B1 (ko) * 2012-12-11 2014-05-21 주식회사 제우스 태빙장치
CN108639758A (zh) * 2018-07-04 2018-10-12 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 一种气浮过渡装置及液晶屏输送装置
CN110255130A (zh) * 2019-06-12 2019-09-20 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 太阳能电池传送纠偏装置及方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101396151B1 (ko) * 2012-12-11 2014-05-21 주식회사 제우스 태빙장치
CN108639758A (zh) * 2018-07-04 2018-10-12 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 一种气浮过渡装置及液晶屏输送装置
CN110255130A (zh) * 2019-06-12 2019-09-20 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 太阳能电池传送纠偏装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101046287B1 (ko) 기판 표면 처리 방법
US20110164955A1 (en) Processing chamber with translating wear plate for lift pin
US8142111B2 (en) Support platform of non-contact transfer apparatus
US4395165A (en) Chip shuttle track
CN107104071A (zh) 一种气浮基台及喷墨打印装置
KR101353587B1 (ko) 웨이퍼 이송장치
KR20090101219A (ko) 실리콘 웨이퍼들의 분리 방법 및 장치
CN102315148A (zh) 用于镀膜的基板传输装置和基板传输方法
KR101286283B1 (ko) 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법
TW200607038A (en) Contacts to semiconductor fin device and method for manufacturing the same
KR20100009279A (ko) 태양전지용 기판 이송장치
WO2011009007A2 (en) Improved lift pin guides
US20140332347A1 (en) Apparatus and method for treating plate-shaped process items
CN205023447U (zh) 一种下料装置
KR101096599B1 (ko) 레이저 스크라이버
JP3682396B2 (ja) 薄板状材の定点搬送装置
JP2012528058A (ja) 物品を搬送する搬送ローラ
CN103811386B (zh) 基底传送设备和基底加工设备
JP2010159164A (ja) 真空処理装置、真空処理システムおよび処理方法
JP2006193267A (ja) 基板搬送方法および基板搬送装置
CN214152864U (zh) 一种滚轮带液背腐蚀刻边装置
KR101232621B1 (ko) 유리기판 이송장치
CN110491815A (zh) 一种适用于大尺寸花篮传输及位置保持的传送装置
CN106548966A (zh) 晶圆的整列方法
JP2012101897A (ja) 搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination