JP2012058024A5 - - Google Patents

Description

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
本発明のある実施形態に係る圧力センサーは、容器と、前記容器の一部を形成し、力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記受圧手段の周縁部から前記受圧手段の変位方向に沿って延出し、端部が前記受圧手段の中央部側にある支持手段と、感圧部と前記感圧部の両端の各々に配置される第１及び第２の基部とを有し、前記第１及び第２の基部との並ぶ方向が前記受圧手段の変位方向に沿っていて、前記第１の基部が前記受圧手段の中央部に接続していて、前記第２の基部が前記支持手段に接続している感圧素子と、を備え、前記支持手段は、材質と長さともが異なる２以上の部材が前記支持手段の延出している方向に接続していることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る圧力センサーは、前記２以上の部材は、一方は前記受圧手段と同質の材質を含み、他方は前記受圧手段の材質の熱膨張係数が前記感圧素子の材質の熱膨張係数よりも大きい場合には、前記感圧素子よりも熱膨張係数が小さい材質を含み、前記受圧手段の材質の熱膨張係数が前記感圧素子の材質の熱膨張係数よりも小さい場合には、前記感圧素子よりも熱膨張係数が大きい材質を含むことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る圧力センサーは、前記感圧素子は圧電材料を含む、前記受圧手段は金属を含むことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る圧力センサーは、容器と、前記容器の一部を形成し、力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記受圧手段の周縁部から前記受圧手段の変位方向に沿って延出し、端部が前記受圧手段の中央部側にある支持手段と、感圧部と前記感圧部の両端の各々に配置される第１及び第２の基部とを有し、前記第１及び第２の基部との並ぶ方向が前記受圧手段の変位方向に沿っていて、前記第１の基部が前記受圧手段の支持台に接続していて、前記第２の基部が前記支持手段に接続している感圧素子と、を備え、前記支持手段及び前記支持台は、材質と長さともが異なる２以上の部材が接続していることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る圧力センサーは、前記受圧手段、前記感圧素子、および前記支持手段が、二組配設されていることを特徴とする。
［適用例１］容器と、前記容器の一部を形成し、力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記受圧手段の周縁部から前記受圧手段の変位方向と平行に延出し、端部を前記受圧手段の中央部側へ屈曲した支持手段と、感圧部と前記感圧部の両端の各々に接続される第１及び第２の基部とを有し、前記第１及び第２の基部との並ぶ方向が前記受圧手段の変位方向と平行であって、前記第１の基部を前記受圧手段の中央部に固定し、前記第２の基部を前記支持手段に固定した感圧素子と、を備え、前記支持手段は、材質の異なる部材を２以上の部材を前記変位方向に接続し、前記支持手段の熱膨張係数と前記感圧素子の熱膨張係数が同等となるように前記部材の長さの比率を調整したことを特徴としている。

Claims (5)

1. 容器と、
   前記容器の一部を形成し、力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、
   前記受圧手段の周縁部から前記受圧手段の変位方向に沿って延出し、端部が前記受圧手段の中央部側にある支持手段と、
   感圧部と前記感圧部の両端の各々に配置される第１及び第２の基部とを有し、前記第１及び第２の基部との並ぶ方向が前記受圧手段の変位方向に沿っていて、前記第１の基部が前記受圧手段の中央部に接続していて、前記第２の基部が前記支持手段に接続している感圧素子と、
   を備え、
   前記支持手段は、材質と長さともが異なる２以上の部材が前記支持手段の延出している方向に接続していることを特徴とする圧力センサー。
2. 前記２以上の部材は、
   一方は前記受圧手段と同質の材質を含み、
   他方は前記受圧手段の材質の熱膨張係数が前記感圧素子の材質の熱膨張係数よりも大きい場合には、前記感圧素子よりも熱膨張係数が小さい材質を含み、前記受圧手段の材質の熱膨張係数が前記感圧素子の材質の熱膨張係数よりも小さい場合には、前記感圧素子よりも熱膨張係数が大きい材質を含むことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサー。
3. 前記感圧素子は圧電材料を含み、前記受圧手段は金属を含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧力センサー。
4. 容器と、
   前記容器の一部を形成し、力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、
   前記受圧手段の周縁部から前記受圧手段の変位方向に沿って延出し、端部が前記受圧手段の中央部側にある支持手段と、
   感圧部と前記感圧部の両端の各々に配置される第１及び第２の基部とを有し、前記第１及び第２の基部との並ぶ方向が前記受圧手段の変位方向に沿っていて、前記第１の基部が前記受圧手段の支持台に接続していて、前記第２の基部が前記支持手段に接続している感圧素子と、
   を備え、
   前記支持手段及び前記支持台は、材質と長さともが異なる２以上の部材が接続していることを特徴とする圧力センサー。
5. 前記受圧手段、前記感圧素子、および前記支持手段が、二組配設されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧力センサー。