JP2012057630A - 真空ポンプ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ケーシング5内を吸込み流路3に連通した第1室7と吸込み流路と隔離された第2室8とに仕切る仕切り壁6と、仕切り壁を貫通するピストンロッド9と、ピストンロッドの一端に設けられ第1室に収容された弁体10と、ピストンロッドの他端に設けられ第2室に収容されたピストン11と、弁体10を真空ポンプ2の吸込み口を閉鎖する方向に付勢する弾性体13と、ケーシング内面に形成された弁座21とからなり、ピストン11によって第2室8を第1空間14と第2空間15に分離され、真空ポンプの作動時第2空間15を真空ポンプの吸込部24と連通させて吸込み流路3を開放し、真空ポンプの停止時第2空間15を大気又は真空ポンプの吐出域と連通させて吸込み流路3を閉鎖するバルブ機構を備える。
【選択図】図1
Description
真空タンク01内を真空にする作動開始直後は、高い圧力を圧縮して排気を行うために動力(電流値)を必要とするが、負圧が進むにつれて排気する空気がなくなり仕事をしなくなるため、動力を必要とせず、102Pa〜103Pa以下ではほぼ一定値に収束する。
すなわち、真空ポンプの使用時間が長くなるにつれて、回転、摺動部材の当たりが馴染むことによって真空ポンプの負荷が低下していくため、負圧判断点Sへの到達を判断する所定の電流範囲を運転時間の経過とともに低下させていくことによって、運転時間を考慮したことにより正確な真空到達を判断することができる。
密閉室を吸込み流路を介して真空状態にする真空ポンプ装置において、
該吸込み流路に介設されたケーシングと、
該ケーシング内の空間を該吸込み流路に連通した第1室と該吸込み流路と隔離された第2室とに仕切る仕切り壁と、
該仕切り壁を貫通するピストンロッド、該ピストンロッドの一端に取り付けられ該第1室に収容された弁体、及び該ピストンロッドの他端に設けられ該第2室に収容されたピストンからなる摺動体と、
該仕切り壁と該弁体との間に挿入され該弁体を真空ポンプの吸込み口を閉鎖する方向に付勢する弾性体と、該弾性体によって付勢された弁体に対向して前記第1室の内面に形成されるとともに前記真空ポンプの吸込み口に接続する開口に形成された弁座と、からなり、
該ピストンによって分離された該第2室の2つの空間のうち該仕切り壁と該ピストンとに囲まれた第1空間を大気と連通した大気圧空間とし、
該真空ポンプの作動時には該第2室の他方の第2空間を該真空ポンプの吸込域と連通させることにより該吸込み流路を開放し、該真空ポンプの停止時には該第2空間を大気又は該真空ポンプの吐出域と連通させることにより、該吸込み流路を閉鎖するように構成したバルブ機構を備えたものである。
このように、3方電磁弁を設けることにより、第2空間の負圧又は大気圧への切り替えを確実かつ迅速に行うことができる。
これによって、密閉室内の圧力が真空到達圧力になった時点で、真空ポンプの停止及び3方電磁弁の作動を確実に行なうことができる。また真空ポンプを停止させる真空到達圧力値の設定値を変更することにより、密閉室内の圧力状態に対応した運転を行なうことができる。
次に本発明をスクロール型圧縮機に適用した第1実施形態を図1及び図2に基づいて説明する。図1は本実施形態を示す全体構成図であり、(a)はバルブ機構の開放時を示し、(b)はバルブ機構の閉鎖時を示す。図2は本実施形態の運転状態を時系列で示す線図である。図1において、内部気体を排気され真空状態とされるべき密閉容器1と真空ポンプ2とは排気時に吸込み流路3で接続される。吸込み流路3にはバルブ機構4が介設されている。以下バルブ機構4の構成を説明する。
また、本実施形態のバルブ機構4の開閉機構は、複数台の真空ポンプを用い、各真空ポンプの作動、停止を個別に制御しながら密閉室を排気する真空排気装置に適用してもよい。
次に本発明の第2実施形態を図3及び図4に基づいて説明する。本実施形態は、密閉容器に吸込み流路を介して複数台の真空ポンプを接続し、該複数台の真空ポンプを用いて該密閉容器を真空状態にする真空排気装置に本発明を適用した実施形態である。図3は本実施形態を示す全体構成図であり、図4は本実施形態の運転状態を時系列で示す線図である。
次に本発明の第3実施形態を図5及び図6に基づいて説明する。本実施形態は、前記第2実施形態と同様に、複数台の真空ポンプを用いて真空容器の排気運転を行なう場合の実施形態である。図5は本実施形態を示す全体構成図であり、図6は本実施形態の運転状態を時系列で示す線図である。
2、A、B 真空ポンプ
3、3a、3b 吸込み流路
4、4a、4b バルブ機構
5、5a、5b ケーシング
6、6a、6b 仕切り壁
7、7a、7b 第1室
8、8a、8b 第2室
9、9a、9b ピストンロッド
10、10a、10b 弁体
11、11a、11b ピストン
12、12a、12b 摺動体
13、13a、13b 弾性体
14、14a、14b 第1空間
15、15a、15b 第2空間
16、16a、16b 開口
17、17a、17b、31a、31b、42a、42b 連通管(連通路)
18、18a、18b 大気導入管
19、41a、41b 3方電磁弁
32a、32b 2方電磁弁
22 圧力計
23 コントローラ
Claims (3)
- 密閉室を吸込み流路を介して真空状態にする真空ポンプ装置において、
該吸込み流路に介設されたケーシングと、
該ケーシング内の空間を該吸込み流路に連通した第1室と該吸込み流路と隔離された第2室とに仕切る仕切り壁と、
該仕切り壁を貫通するピストンロッド、該ピストンロッドの一端に取り付けられ該第1室に収容された弁体、及び該ピストンロッドの他端に設けられ該第2室に収容されたピストンからなる摺動体と、
該仕切り壁と該弁体との間に挿入され該弁体を真空ポンプの吸込み口を閉鎖する方向に付勢する弾性体と、該弾性体によって付勢された弁体に対向して前記第1室の内面に形成されるとともに前記真空ポンプの吸込み口に接続する開口に形成された弁座と、からなり、
該ピストンによって分離された該第2室の2つの空間のうち該仕切り壁と該ピストンとに囲まれた第1空間を大気と連通した大気圧空間とし、
該真空ポンプの作動時には該第2室の他方の第2空間を該真空ポンプの吸込部と連通させることにより該吸込み流路を開放し、該真空ポンプの停止時には該第2空間を大気又は該真空ポンプの吐出域と連通させることにより、該吸込み流路を閉鎖するように構成したバルブ機構を備えたことを特徴とする真空ポンプ装置。 - 前記第2空間に大気導入管を設けるとともに、該大気導入管に、3方電磁弁を介して前記真空ポンプの吸込部とを連通する連通路を設け、
該真空ポンプの作動時に前記大気導入管を遮蔽し、該真空ポンプの停止時に該大気導入管を開放するように構成したことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。 - 前記密閉室内の圧力を検出するセンサを設け、該圧力が真空到達圧力となったときに該センサの検出信号を受け真空ポンプを停止させるとともに、該真空ポンプの停止に同期して前記電磁弁を作動させ前記大気導入管を開放させるコントローラを設けたことを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ装置。
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