CN109804190A - 涡轮泵排气组件和方法 - Google Patents

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Abstract

公开一种涡轮泵排气组件和方法。所述涡轮泵排气组件包括：可操作成将初始体积的空气输送到涡轮泵的初级手动致动器；以及可操作成将次级体积的空气输送到所述涡轮泵的次级手动致动器，其中所述次级体积的空气大于所述初始体积的空气。以此方式，提供不复杂且可靠的排气部，其可以输送初始体积的空气以最初使所述涡轮泵减速。此后，可以输送所述次级体积的空气以比仅使用另外的初始体积的空气可能的情况更迅速地使所述涡轮泵减速。具有可以输送不同体积的空气的设备使得所述涡轮泵能够比通过仅输送相同大小体积的空气可能的情况安全且更快速地减速。

Description

涡轮泵排气组件和方法
技术领域
本发明涉及一种涡轮泵排气组件和方法。
背景技术
在半导体制造步骤中在高真空处理腔室中实施的处理（例如干式蚀刻、化学气相沉积(CVD)等等）中，使用真空泵（例如涡轮分子泵）来通过从处理腔室排出气体而在处理腔室中产生高真空，如例如在日本未审查专利申请公开号2000-291586中所示。
发明内容
根据第一方面，提供一种涡轮泵排气组件，其包括：可操作成将初始体积的空气输送到涡轮泵的初级手动致动器；以及可操作成将次级体积的空气输送到涡轮泵的次级手动致动器，其中次级体积的空气大于初始体积的空气。第一方面认识到，使用涡轮泵的限制因素是形成和破坏真空所花费的时间。破坏由涡轮泵形成的真空的一个限制因素是使涡轮泵的转子减速所花费的时间。虽然存在通过破坏来使转子减速的布置结构，但是这些布置结构复杂，并且可能不可靠或者在其它方面有问题。较不复杂的方法涉及通过从泵的环境侧将空气引入到泵的真空侧来使涡轮泵排气。然而，第一方面还认识到，使用常规手动排气阀的严苛排气可能在主轴承或轴承罩中导致高应力和磨损，并且在常规固定轴承和磁悬浮涡轮泵中导致转子不稳定性。这样的排气可能减少涡轮泵的操作寿命，或者在更严重的情况下，由于应急轴承寿命到期或转子/定子部件碰损，可能导致涡轮泵卡住。
因此，可以提供用于涡轮泵的排气部。所述排气部可以包括初级、第一或初始致动器。所述致动器可以是手动或者用户激活或操作的。所述致动器可以将初级、第一或初始体积、量或数量的空气或其它气体输送或提供到涡轮泵。所述排气部还可以包括次级或另外的致动器。所述次级致动器可以是手动或者用户激活或操作的，以将第二或另外的体积或量的空气或其它气体输送或提供到涡轮泵。第二体积的空气可以大于或多于初始体积的空气的量。以此方式，提供不复杂且可靠的排气部，其可以输送初始体积的空气以最初使所述涡轮泵减速。此后，可以输送所述次级体积的空气以比仅使用另外的初始体积的空气可能的情况更迅速地使所述涡轮泵减速。具有可以输送不同体积的空气的设备使得所述涡轮泵能够比通过仅输送相同大小体积的空气可能的情况安全且更快速地减速。
在一个实施例中，初始体积的空气小于次级体积的空气。因此，初始体积的空气可以小于次级体积的空气，或者不像次级体积的空气那样大。
在一个实施例中，初级手动致动器具有其中初始体积的空气被输送到涡轮泵的排气位置和其中防止初始体积的空气输送到涡轮泵的分离位置。因此，初级致动器可以具有其中初始体积的空气被输送或提供到涡轮泵的排气或打开位置。初级致动器可以具有其中防止或阻止初始体积的空气输送到涡轮泵的分离或关闭位置。因此，单独阵的初始体积的空气可以被输送到涡轮泵。
在一个实施例中，初级手动致动器可在排气位置与分离位置之间手动配置。因此，致动器可以在排气位置与分离位置之间由用户操作。
在一个实施例中，初级手动致动器朝向分离位置偏置。因此，致动器可以预先安置到分离位置。
在一个实施例中，初级手动致动器可以可释放地配置到排气位置。因此，所述致动器可以由用户操作到排气位置，但是然后，在释放时，可以返回到分离位置。
在一个实施例中，初级手动致动器具有阀布置结构，所述阀布置结构可操作成当在排气位置中时使初始体积的空气的源与涡轮泵流体联接，并且当在分离位置中时使初始体积的空气的源与涡轮泵流体分离。因此，可以提供阀，所述阀当在排气位置中时可以使初始体积的空气的源与涡轮泵流体联接，并且当在分离位置中时可以使初始体积的空气的源与涡轮泵分离。
在一个实施例中，所述阀布置结构当在排气位置中时可手动操作成使初始体积的空气的源与涡轮泵流体联接，并且当在分离位置中时偏置以使初始体积的空气的源与涡轮泵流体分离。
在一个实施例中，初级手动致动器具有使初始体积的空气的源与涡轮泵流体联接的管道，所述管道具有被配置成当在排气位置中时限制通过管道的流量的限流器。因此，当输送到涡轮泵时，初始体积的空气的流量可能受到限流器的限制。
在一个实施例中，初始体积的空气的源包括贮存器，所述贮存器可操作成当在分离位置中时保持所存储体积的空气，并且当在排气位置中时将所存储体积的空气作为第一体积的空气输送到涡轮泵。因此，可以提供贮存器，其提供被包含为所存储或固定体积的空气的初始体积的空气。所存储体积的空气可以当在分离位置中时被保持，并且当在排气位置中时被输送到涡轮泵。
在一个实施例中，初级手动致动器包括阀布置结构，所述阀布置结构可操作成当在分离位置中时使贮存器与空气的外部源流体联接以填充贮存器。因此，所述阀当在分离位置中时可以使贮存器与空气的外部源联接以填充或补充贮存器。
在一个实施例中，所述阀布置结构可操作成当在分离位置中时使贮存器与涡轮泵流体分离。因此，所述阀当在分离位置中时可以使贮存器和涡轮泵分离或流体分开。
在一个实施例中，所述阀布置结构可操作成当在排气位置中时使贮存器与涡轮泵流体联接，以将所存储体积的空气作为第一体积的空气输送到涡轮泵。因此，所述阀布置结构当在排气位置中时可以使贮存器和涡轮泵联接或流体连接。
在一个实施例中，所述阀布置结构可操作成当在排气位置中时使贮存器与空气的外部源流体分离。
在一个实施例中，贮存器可在分离位置与排气位置之间移位。因此，贮存器可以在分离位置与排气位置之间移动、平移或移位。贮存器的移动可以导致其被填充和排放。
在一个实施例中，贮存器可以以线性地和旋转地中的一种方式移位。
在一个实施例中，初级手动致动器具有多个贮存器。因此，可以提供多于一个贮存器以便促进单独的多个初始体积的空气的输送。
在一个实施例中，每一贮存器可单独地操作成当在相关联排气位置中时将第一体积的空气输送到涡轮泵。因此，一次仅一个贮存器可以将一体积的空气输送到涡轮泵。
在一个实施例中，次级手动致动器具有其中第二体积的空气被输送到涡轮泵的排气位置和其中防止第二体积的空气被输送到涡轮泵的分离位置。因此，可以提供第二或另外的手动致动器，其可以将第二体积的空气输送到涡轮泵。
在一个实施例中，次级手动致动器可在排气位置与分离位置之间手动配置。
在一个实施例中，所述涡轮泵排气组件包括可操作成由涡轮泵的互补联接件接收的联接件，并且次级手动致动器可操作成在分离位置中使所述联接件与互补联接件脱开，以将第二体积的空气输送到涡轮泵。因此，次级手动致动器可以包括涡轮泵排气部与涡轮泵排气部之间的联接。
根据第二方面，提供一种涡轮泵排气方法，其包括：使用初级手动致动器输送初始体积的空气以使涡轮泵减速；以及使用次级手动致动器输送次级体积流量以使涡轮泵减速，其中次级体积的空气大于初始体积的空气。
在一个实施例中，初始体积的空气小于次级体积的空气。
在一个实施例中，所述方法包括将初级手动致动器从其中防止初始体积的空气输送到涡轮泵的分离位置手动致动到排气位置，以输送初始体积的空气。
在一个实施例中，所述方法包括在排气位置与分离位置之间手动致动初级手动致动器。
在一个实施例中，所述方法包括使初级手动致动器偏置到分离位置。
在一个实施例中，所述方法包括将初级手动致动器手动致动到排气位置。
在一个实施例中，所述方法包括使用阀当在排气位置中时使空气的源与涡轮泵流体联接，并且当在分离位置中时使空气的源与涡轮泵流体分离。
在一个实施例中，所述方法包括当在排气位置中时抵抗偏置手动地使空气的源与涡轮泵流体联接，并且当在分离位置中时通过偏置使空气的源与涡轮泵流体分离。
在一个实施例中，所述方法包括当在排气位置中时限制通过初级手动致动器的流量。
在一个实施例中，所述方法包括当在分离位置中时使所存储体积的空气保持在贮存器中，并且当在排气位置中时将所存储体积的空气作为第一体积的空气输送到涡轮泵。
在一个实施例中，所述方法包括当在分离位置中时使贮存器与空气的外部源流体联接以填充贮存器。
在一个实施例中，所述方法包括当在分离位置中时使贮存器与涡轮泵流体分离。
在一个实施例中，所述方法包括当在排气位置中时使贮存器与涡轮泵流体联接，以将所存储体积的空气作为第一体积的空气输送到涡轮泵。
在一个实施例中，所述方法包括当在排气位置中时使贮存器与空气的外部源流体分离。
在一个实施例中，所述方法包括使贮存器在分离位置与排气位置之间手动移位。
在一个实施例中，所述方法包括以线性地和旋转地中的一种方式使贮存器移位。
在一个实施例中，所述方法包括提供多个贮存器。
在一个实施例中，所述方法包括当在相关联排气位置中时将第一体积从每一贮存器输送到涡轮泵。
在一个实施例中，所述方法包括将次级手动致动器致动到排气位置，以将第二体积输送到涡轮泵。
在一个实施例中，所述方法包括将次级手动致动器致动到分离位置，以防止第二体积输送到涡轮泵。
在一个实施例中，所述方法包括在排气位置与分离位置之间手动配置次级手动致动器。
在一个实施例中，所述方法包括使涡轮泵排气组件的联接件与涡轮泵的互补联接件脱开，以将第二体积的空气输送到涡轮泵。
根据第三方面，提供一种如上文中参考附图所述的涡轮泵排气组件或方法。
在所附独立权利要求和从属权利要求中阐述进一步特定和优选方面。从属权利要求的特征可以视情况与独立权利要求的特征组合，并且可以是除权利要求中明确阐述的那些组合以外的组合。
在设备特征被描述为可操作成提供功能的情况下，将了解，这包括提供所述功能或者适于或被配置成提供所述功能的设备特征。
附图说明
现在将参考附图进一步描述本发明的实施例，其中：
图1示出根据一个实施例的排气组件；
图2示出根据一个实施例的排气组件；并且
图3示出根据一个实施例的排气组件。
具体实施方式
在更详细地讨论实施例之前，首先将提供概述。在处理装备（例如半导体制作装备）中在不同处理级之间迅速地切换的能力的一个限制因素是在所述处理装备内形成和释放真空的能力。特别地，当利用涡轮泵形成真空时，在给出导致涡轮泵甚至在被停用之后也继续旋转达长时间周期的此类涡轮泵的旋转速度、动量和低损耗的情况下，可以使涡轮泵减速的速度是限制因素。
实施例认识到，用于使涡轮泵减速的简单机制是将气流引入到涡轮泵腔室中。引入到涡轮泵腔室中的气流的摩擦作用有助于涡轮泵转子的减速。然而，将气体引入到涡轮泵中在转子和支撑转子的轴承上导致应力。因此，可引入的气体的量或数量根据转子的速度变化。特别地，需要小心控制最初引入的气体的量以便避免损坏涡轮泵。然而，继续输送所述初始流量的气体导致转子的减速花费比必需时间长的时间，因为一旦为使其安全地这样做而已经显著减慢转子速度，便可以引入更大体积的气体。虽然存在可用于迅速地使涡轮泵减速的机电布置结构，但是这些布置结构很复杂并且由许多部件组成。
因此，实施例提供一种迅速地使涡轮泵减速的简单机械布置结构。实施例提供一种可以改装到现有涡轮泵的涡轮泵排气组件。所述涡轮泵排气组件是手动致动的机械布置结构，其具有在采用时输送一个或更多个初始流量、体积或阵的空气的初级、初始或第一致动器或装置，其最初使涡轮泵减速。所述排气组件还包括在采用时将第二流量或体积的空气输送到涡轮泵的另一、第二或另外的手动操作的致动器或装置。由次级手动致动器提供的空气量大于由初级手动致动器提供的空气量。因此，通过简单用户操作，涡轮泵可以最初使用初级致动器减速，并且然后通过用户操作次级致动器而完全停止。这提供了用于快速地使涡轮泵停止的简单、可靠且有效的机制。通常，初级手动致动器输送受控的固定体积量的空气以逐渐使涡轮泵减速。通常，次级致动器向涡轮泵组件提供受限的连续流量的气体以使转子减速到完全停止。
排气组件-第一实施例
图1示出根据一个实施例的排气组件，通常为10A。所述排气组件通常改装到形成在涡轮泵30的壳体20中的管道40中。管道40从真空侧50延伸到处于大气压力的环境侧60，所述真空侧50在涡轮泵30内部并且在其内提供转子、轴承和相关联的结构。提供初级手动致动器70A。所述初级手动致动器包括通过弹簧80A偏置到图1中所示的分离位置的活塞布置结构。
当在图1中所示的位置中时，限定在活塞布置结构内的体积90A经由通道110A和入口120A与环境侧60上的空气流体连通。在此位置中，空气可以流入体积90A中。当通常由用户向活塞布置结构的端部130A施加力时，所述力克服弹簧80A的偏置，并且所述活塞布置结构沿方向A纵向平移到排气位置（未示出）。当所述活塞布置结构沿方向A移动时，保持在所述活塞布置结构的表面上的沟槽150A内的O形环密封件140A在通道110A内沿方向A移动，并且使体积90A与入口120A流体分离。活塞布置结构沿方向A的继续压缩导致体积90A移动经过保持在设置在排气组件的内表面上的沟槽170A中的O形环密封件160A。一旦所捕获的体积90A通过O形环密封件160A并且处于排气位置中，则其与真空侧50流体连通，并且存储在所捕获的体积90A内的空气经由限流器孔200A被输送到真空侧50，限流器孔200A限制所存储体积的空气进入到真空侧50中的流动，以使涡轮泵30的转子减速。
当用户停止向端部130A施加压力时，活塞布置结构通过弹簧80A的作用沿方向B移位，并且返回到图1中所示的位置，其中所捕获的体积90A被空气补充。
端部130A的每次按压导致固定体积的空气输送到涡轮泵30的真空侧50。这些固定体积的空气的输送导致涡轮泵30内的转子的顺序减速。
将保持活塞布置结构的壳体190A设置为次级手动致动器。壳体190A的外表面180A带凸边或成脊状，以促进壳体190A的抓握和旋转，这使得壳体190A能够被部分或完全移除。这使限流器孔200与环境侧60流体联接以使得第二流量的空气能够进入真空侧50，这继而使涡轮泵30内的转子停止。当期望重新启动涡轮泵时，壳体190被重新装配成使限流器孔200A与环境侧60流体分离。
排气组件–第二实施例
图2示出根据一个实施例的排气组件10B。排气组件10B通常改装到形成在涡轮泵30的壳体20中的管道40中。管道40从真空侧50延伸到处于大气压力的环境侧60，所述真空侧50在涡轮泵30内部并且在其内提供转子、轴承和相关联的结构。限流器孔200B限制由排气组件10B提供到真空侧50的任何空气流动的速率。排气组件10B类似于上述实施例，但是使用双掷活塞布置结构作为初级手动致动器70B，其具有延伸通过其的一对所捕获的体积90B1、90B2。
用户交替按压端部130B1; 103B2。按压在端部130B1中的一者上导致沿方向C的移位，这导致保持在所捕获的体积90B1内的空气能够与真空侧流体连通以便经由限流器孔200B输送到其。当在此位置中时，所捕获的体积90B2经由填充有空气的入口120B2流体连通。所捕获的体积90B2内的空气由一对O形环密封件140B2保持。按压在端部130B2上导致活塞布置结构沿方向D的移位，并且导致所捕获的体积90B2与真空侧50流体连通以便经由限流器孔200B将所捕获的体积90B2内的空气输送到其。当处于所述位置中时，所捕获的体积90B1经由入口120B1与环境侧60流体连通，并且重新填充有空气。所捕获的体积90B1内的空气由一对O形环密封件140B1保持。
端部130B1和130B2上的持续交替的按压导致固定体积的空气经由限流器孔200B输送到真空侧50以最初使涡轮泵30的转子减速。
塞子210B被设置为次级手动致动器并且具有带凸边或成脊状的表面220B以促进旋转，以用于塞子210B从壳体190B部分或完全移除。当塞子210B被移除时，环境侧60变成经由限流器孔200B与真空侧50流体连接，并且空气经由限流器孔200B输送到真空侧50以使涡轮泵30内的转子减速和停止。然后，在重新启动涡轮泵30之前，塞子210B可以被重新装配成使真空侧50与环境侧60流体分离。
排气组件–第三实施例
图3示出根据一个实施例的排气组件10C。排气组件10C通常改装到形成在涡轮泵30的壳体20中的管道40中。管道40从真空侧50延伸到处于大气压力的环境侧60，所述真空侧50在涡轮泵30内部并且在其内提供转子、轴承和相关联的结构。限流器孔200C限制由排气组件10C提供到真空侧50的任何空气流动的速率。排气组件10C类似于上述实施例，但是使用旋转构件作为初级手动致动器70C，其中具有一个或更多个所捕获的体积90C。
在此布置结构中，初级手动致动器70C由壳体190C使用轴230C保持，轴230C由保持弹簧80C同心地环绕。初级手动致动器70C沿方向E围绕壳体190C自由旋转。
当在图3中示出的位置中时，主体130C内的所捕获的体积90C经由管道240C与真空侧50流体联接以便将所捕获的体积90内的空气输送到真空侧以最初使涡轮泵30的转子减速。
初级手动致动器70C的继续旋转使所捕获的体积90C与管道240C分离。继续旋转使所捕获的体积90C与入口120C对准，以便使所捕获的体积90C与环境侧60流体联接，使得空气重新填充所捕获的体积90C。O形环密封件140C使空气保持在所捕获的体积90C内。
构件130C的继续旋转导致所捕获的体积90C变成与管道240C重新流体联接以便经由限流器200C将另外的体积的空气输送到真空侧50，从而进一步使涡轮泵30的转子减速。
初级手动致动器70C具有双重用途并且还提供次级手动致动器的功能。一旦涡轮泵30的转子的速度已经充分减慢，便可以抵抗弹簧80C的偏置沿方向F抓握和拉动初级手动致动器70C。这使真空侧50经由限流器200C与环境侧60流体联接，并且允许空气从环境侧60进入真空侧50以进一步使涡轮泵30的转子减速和停止。
虽然在此实施例中，仅示出一个所捕获的体积90C，但是将了解，可以提供多个此类所捕获的体积，使得可以在初级手动致动器70C不到一整圈的情况下补充和输送所捕获的体积。
虽然本文中已经参考附图详细公开了本发明的说明性实施例，但是应理解，本发明并不限于精确实施例，并且本领域技术人员可以在其中实现各种改变和修改，而不背离如由所附权利要求及其等效方案限定的本发明的范围。
附图标记
排气组件 10A; 10B; 10C
壳体 20
涡轮泵 30
管道 40
真空侧 50
环境侧 60
初级手动致动器 70A; 70B; 70C
弹簧 80A; 80C
体积 90A; 90B1; 90B2; 90C
通道 110A
入口 120A; 120B1; 120B2; 120C
端部 130A; 130B1; 130B2
O形环密封件 140A; 160A; 140B1; 140B2; 140C
沟槽 150A; 170A
表面 180A
壳体 190A; 190B; 190C
限流器孔 200A; 200B; 200C
塞子 210B
表面 220B
轴 230C
管道 240C

Claims (23)

1.一种涡轮泵排气组件，包括：
可操作成将初始体积的空气输送到涡轮泵的初级手动致动器；以及
可操作成将次级体积的空气输送到所述涡轮泵的次级手动致动器，其中，所述次级体积的空气大于所述初始体积的空气。
2.根据权利要求1所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初始体积的空气小于所述次级体积的空气。
3.根据权利要求1或2所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器具有其中所述初始体积的空气被输送到所述涡轮泵的排气位置和其中防止所述初始体积的空气被输送到所述涡轮泵的分离位置。
4.根据权利要求3所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器可在所述排气位置与所述分离位置之间手动配置。
5.根据权利要求3或4所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器朝向所述分离位置偏置。
6.根据权利要求3至5中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器可以可释放地配置到所述排气位置。
7.根据权利要求3至6中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器具有阀布置结构，所述阀布置结构可操作成当在所述排气位置中时使所述初始体积的空气的源与所述涡轮泵流体联接，并且当在所述分离位置中时使所述初始体积的空气的所述源与所述涡轮泵流体分离。
8.根据权利要求7所述的涡轮泵排气组件，其中，所述阀布置结构当在所述排气位置中时可手动操作成使所述初始体积的空气的源与所述涡轮泵流体联接，并且当在所述分离位置中时偏置以使所述初始体积的空气的所述源与所述涡轮泵流体分离。
9.根据权利要求3至8中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器具有使所述初始体积的空气的所述源与所述涡轮泵流体联接的管道，所述管道具有被配置成当在所述排气位置中时限制通过所述管道的流量的限流器。
10.根据权利要求3至9中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初始体积的空气的所述源包括贮存器，所述贮存器可操作成当在所述分离位置中时保持所存储体积的空气，并且当在所述排气位置中时将所述所存储体积的空气作为所述第一体积的空气输送到所述涡轮泵。
11.根据权利要求10所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器包括阀布置结构，所述阀布置结构可操作成当在所述分离位置中时使所述贮存器与所述空气的外部源流体联接，以填充所述贮存器。
12.根据权利要求11所述的涡轮泵排气组件，其中，所述阀布置结构可操作成当在所述分离位置中时使所述贮存器与所述涡轮泵流体分离。
13.根据权利要求11或12所述的涡轮泵排气组件，其中，所述阀布置结构可操作成当在所述排气位置中时使所述贮存器与所述涡轮泵流体联接，以将所述所存储体积的空气作为所述第一体积的空气输送到所述涡轮泵。
14.根据权利要求11至13中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述阀布置结构可操作成当在所述排气位置中时使所述贮存器与所述空气的所述外部源流体分离。
15.根据权利要求11至14中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述贮存器可在所述分离位置与所述排气位置之间移位。
16.根据权利要求11至15中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述贮存器可以以线性地和旋转地中的一种方式移位。
17.根据权利要求11至16中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，所述初级手动致动器具有多个所述贮存器。
18.根据权利要求11至17中的任一项所述的涡轮泵排气组件，其中，每一贮存器可操作成当在相关联的排气位置中时将所述第一体积的空气输送到所述涡轮泵。
19.根据任一前述权利要求所述的涡轮泵排气组件，其中，所述次级手动致动器具有其中所述第二体积的空气被输送到所述涡轮泵的排气位置和其中防止所述第二体积的空气被输送到所述涡轮泵的分离位置。
20.根据权利要求19所述的涡轮泵排气组件，其中，所述次级手动致动器可在所述排气位置与所述分离位置之间手动配置。
21.根据任一前述权利要求所述的涡轮泵排气组件，其中，所述涡轮泵排气组件包括可操作成由所述涡轮泵的互补联接件接收的联接件，并且所述次级手动致动器可操作成在所述分离位置中使所述联接件与所述互补联接件脱开，以将所述第二体积的空气输送到所述涡轮泵。
22.一种涡轮泵排气方法，包括：
使用初级手动致动器将初始体积的空气输送到涡轮泵；以及
使用次级手动致动器将次级体积流量输送到所述涡轮泵，其中，所述次级体积的空气大于所述初始体积的空气。
23.一种如上文中参考附图所述的涡轮泵排气组件或方法。
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