JP2012041607A - 化学気相成長装置および化学気相成長方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wに対して比較的小さいヘッド30を所定の方向に所定の速度で相対的に移動させる。ヘッド30には、基板Wに還元ガスを供給する還元室40と炭素源ガスを供給する炭素源室50とを設けている。また、基板Wに対するヘッド30の相対移動方向に沿って還元室40を炭素源室50よりも前段側に設ける。基板Wの表面に配置された触媒が還元室40または炭素源室50に対向しているときには、その触媒を加熱することにより還元処理およびカーボンナノチューブの成膜処理を行う。大面積の基板Wであっても還元室40および炭素源室50の雰囲気置換に長時間を要することはなく、短時間にカーボンナノチューブを形成することができる。
【選択図】図5
Description
図1は、本発明の第1実施形態の化学気相成長装置1の全体概略構成を示す正面図である。また、図2は、化学気相成長装置1の平面図である。また、図3は、化学気相成長装置1を図2のC−C断面から見た図である。図1および以降の各図においては、それらの方向関係を明確にするためZ軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を適宜付している。また、図1および以降の各図においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法を誇張して描いている。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第1実施形態ではローラコンベア20によって基板Wを水平方向に搬送するようにしていたが、第2実施形態においては浮上搬送方式によって基板WをY方向に搬送するようにしている。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記各実施形態においては、ヘッド30を固定設置するとともに、基板WをY方向に沿って搬送するようにしていたが、これに代えて、基板Wを載置台上に静止状態で載置してヘッド30を基板Wに対して走査するようにしても良い。この場合、載置台のサイズを基板Wよりも相応に大きくしておけば、ヘッド30が基板Wの上方に位置していなくても載置台によって還元室40および炭素源室50を覆うことができるため、還元室40および炭素源室50への大気雰囲気の混入を防止することができる。その結果、基板Wの端縁部近傍(基板端より2mm程度内側)にも細線80を配置して成膜処理を行うことができ、基板Wの表面領域を有効に利用することができる。
10 筐体
20 ローラコンベア
21 ローラ
30 ヘッド
40 還元室
42 還元ノズル
47 雰囲気遮断ノズル
49 仕切壁
50 炭素源室
52 炭素源ノズル
59 排気ノズル
60 給電ユニット
66 プローブ
80 細線
81a,81b 基幹電極
82a,82b 電極パッド
85 支持体層
87 触媒
90 制御部
W 基板
Claims (13)
- 表面に触媒を配置した基板の一部を覆うヘッドと、
前記ヘッドに炭素源ガスを供給する炭素源ノズルと、
前記ヘッドに還元ガスを供給する還元ノズルと、
前記基板に対して前記ヘッドを所定の方向に所定の速度で相対的に移動させる移動部と、
前記基板に対して前記ヘッドが相対的に移動される間、前記基板の表面のうち、前記ヘッドに対向し、かつ、前記触媒が配置された領域を加熱する加熱部と、
を備え、
前記ヘッドは、前記炭素源ノズルから供給された炭素源ガスを前記基板の対向する領域に供給する炭素源室、および、前記還元ノズルから供給された還元ガスを前記基板の対向する領域に供給する還元室、を備え、
前記還元室は、前記基板に対する前記ヘッドの相対移動方向に沿って前記炭素源室よりも前段側に設けられることを特徴とする化学気相成長装置。 - 請求項1記載の化学気相成長装置において、
前記炭素源室および前記還元室は、前記基板に近接するように前記ヘッドに設けられた仕切壁を挟み込んで設けられることを特徴とする化学気相成長装置。 - 請求項1または請求項2に記載の化学気相成長装置において、
前記仕切壁に、排気またはアルゴンガスの供給を行う雰囲気遮断ノズルを設けることを特徴とする化学気相成長装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の化学気相成長装置において、
前記炭素源室および前記還元室から炭素源ガスおよび還元ガスをそれぞれ供給している間の前記還元室内の圧力は前記炭素源室内の圧力よりも高圧であることを特徴とする化学気相成長装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の化学気相成長装置において、
前記ヘッドと前記基板との間隔は0.01mm以上1mm以下であり、
前記移動部は、前記基板に対して前記ヘッドを10mm/秒以上1000mm/秒以下の速度で相対的に移動させることを特徴とする化学気相成長装置。 - 請求項5記載の化学気相成長装置において、
前記搬送部は、前記基板をローラによって搬送するローラコンベア機構を備え、
前記加熱部は、触媒を載置する線状部材に電圧を印加して通電加熱する通電部を備え、
前記ローラコンベア機構による前記基板の搬送に同期させて前記通電部を移動させる通電部移動機構をさらに備えることを特徴とする化学気相成長装置。 - 請求項5記載の化学気相成長装置において、
前記搬送部は、前記基板の下面から気体を噴出することによって前記基板を浮上させつつ搬送する浮上搬送機構を備えることを特徴とする化学気相成長装置。 - 表面に触媒を配置した基板の一部を覆うヘッドを前記基板に対して所定の方向に所定の速度で相対的に移動させる移動工程と、
前記ヘッドに設けられた還元室から還元ガスを前記基板の対向する領域に供給する還元ガス供給工程と、
前記基板の還元ガスが供給された領域に、前記ヘッドに設けられた炭素源室から炭素源ガスを供給する炭素源ガス供給工程と、
前記基板に対して前記ヘッドが相対的に移動される間、前記基板の表面のうち、前記ヘッドに対向し、かつ、前記触媒が配置された領域を加熱する加熱工程と、
を備えることを特徴とする化学気相成長方法。 - 請求項8記載の化学気相成長方法において、
前記還元ガス供給工程にて還元ガスが供給された領域が大気に暴露されることなく前記炭素源ガス供給工程に移行して当該領域に炭素源ガスを供給することを特徴とする化学気相成長方法。 - 請求項8または請求項9に記載の化学気相成長方法において、
前記炭素源室および前記還元室から炭素源ガスおよび還元ガスをそれぞれ供給している間の前記還元室内の圧力は前記炭素源室内の圧力よりも高圧であることを特徴とする化学気相成長方法。 - 請求項8から請求項10のいずれかに記載の化学気相成長方法において、
前記ヘッドと前記基板との間隔は0.01mm以上1mm以下であり、
前記基板に対して前記ヘッドを10mm/秒以上1000mm/秒以下の速度で相対的に移動させることを特徴とする化学気相成長方法。 - 請求項11記載の化学気相成長方法において、
前記移動工程は、ローラによって前記基板を搬送し、
前記加熱工程は、通電部によって触媒を載置する線状部材に電圧を印加して通電加熱を行い、
前記ローラによる前記基板の搬送に同期させて前記通電部を移動させることを特徴とする化学気相成長方法。 - 請求項11記載の化学気相成長方法において、
前記移動工程は、前記基板の下面から気体を噴出することによって前記基板を浮上させつつ搬送することを特徴とする化学気相成長方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150037500A (ko) * | 2013-09-30 | 2015-04-08 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 전자 디바이스용 구조체, 플라즈마 cvd 장치, 및 성막 방법 |
JP2015220340A (ja) * | 2014-05-16 | 2015-12-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
KR20160038727A (ko) * | 2014-09-30 | 2016-04-07 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 |
CN114046892A (zh) * | 2021-09-29 | 2022-02-15 | 四川华能氢能科技有限公司 | 一种标准化的多功能电解槽测试系统 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105448542A (zh) * | 2015-12-04 | 2016-03-30 | 大连理工常州研究院有限公司 | 一种等离子体增强化学气相沉积法制备多孔碳膜的方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10275776A (ja) * | 1997-03-28 | 1998-10-13 | Super Silicon Kenkyusho:Kk | 半導体ウエハ製造装置 |
JP2002105649A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Toppan Printing Co Ltd | 真空成膜装置及び真空成膜方法 |
JP2006173242A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Sharp Corp | 触媒接触型ラジカル生成装置および半導体装置ならびに液晶表示装置 |
WO2010092786A1 (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-19 | 日本ゼオン株式会社 | カーボンナノチューブ配向集合体生産用基材及びカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法 |
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2010
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10275776A (ja) * | 1997-03-28 | 1998-10-13 | Super Silicon Kenkyusho:Kk | 半導体ウエハ製造装置 |
JP2002105649A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Toppan Printing Co Ltd | 真空成膜装置及び真空成膜方法 |
JP2006173242A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Sharp Corp | 触媒接触型ラジカル生成装置および半導体装置ならびに液晶表示装置 |
WO2010092786A1 (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-19 | 日本ゼオン株式会社 | カーボンナノチューブ配向集合体生産用基材及びカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150037500A (ko) * | 2013-09-30 | 2015-04-08 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 전자 디바이스용 구조체, 플라즈마 cvd 장치, 및 성막 방법 |
KR101659156B1 (ko) | 2013-09-30 | 2016-09-22 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 전자 디바이스용 구조체, 플라즈마 cvd 장치, 및 성막 방법 |
JP2015220340A (ja) * | 2014-05-16 | 2015-12-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
KR20160038727A (ko) * | 2014-09-30 | 2016-04-07 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 |
KR101719423B1 (ko) * | 2014-09-30 | 2017-03-23 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 |
CN114046892A (zh) * | 2021-09-29 | 2022-02-15 | 四川华能氢能科技有限公司 | 一种标准化的多功能电解槽测试系统 |
CN114046892B (zh) * | 2021-09-29 | 2023-09-26 | 四川华能氢能科技有限公司 | 一种标准化的多功能电解槽测试系统 |
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