JP2012036274A - オルガノポリシロキサン組成物及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)二官能性シロキサン単位(D単位)及び三官能性シロキサン単位(T単位)を有し、且つ重量平均分子量が37,000以上140,000以下のオルガノポリシロキサンであって、D単位とT単位とのモル比(T/D)が0.3以上0.8以下のオルガノポリシロキサンと、(B)二官能性シロキサン単位(D単位)及び三官能性シロキサン単位(T単位)を有し、且つ重量平均分子量が1,000以上60,000以下のオルガノポリシロキサンであって、D単位とT単位とのモル比(T/D)が0.15以下のオルガノポリシロキサンとを含み、前記(A)オルガノポリシロキサンと前記(B)オルガノポリシロキサンとのモル比(B/A)が1.5以上6.5以下であることを特徴とするオルガノポリシロキサン組成物とする。
【選択図】なし
Description
上記のような特徴を持つ半導体素子を半導体装置に実装するためには、175℃以上の高温下においても長時間熱分解しない絶縁材料で半導体素子を封止し、回路の絶縁性を確保する必要がある。そこで、耐熱性に優れたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物で半導体素子を封止する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
一方、半導体素子に対する硬化物の接着性を高めるためには、一般的に、硬化物の架橋(すなわち、枝分かれ構造)を多くすればよいとも考えられる。しかしながら、このような硬化物は硬くて脆いため、熱応力が発生すると硬化物の剥離や亀裂が生じてしまい、上記と同じように半導体装置の絶縁性が損なわれてしまう。
高温下におけるオルガノポリシロキサン組成物の硬化物の剥離や亀裂を防止するためには、一般的に硬化物の接着性を高める必要がある。しかし、この硬化物の接着性を高めるために硬化物の架橋密度を高くし過ぎると、硬化物の可とう性が低下してしまい、高温下において硬化物の剥離や亀裂が生じてしまう。そこで、本発明では、オルガノポリシロキサン組成物に含有されるオルガノポリシロキサンの分子構造や分子量、及びオルガノポリシロキサンの配合割合を制御することにより、硬化物の架橋密度を制御して硬化物の接着性を適切な範囲に保持しつつ、硬化物の粘性を高め、高温下において硬化物に発生する歪を低減し、高温下における硬化物の剥離や亀裂を防止する。すなわち、本発明のオルガノポリシロキサン組成物は、硬化物の接着性と硬化物の粘性とをバランスよく高めることによって高温下における剥離や亀裂を防止する硬化物を与えるものである。
オルガノポリシロキサン(A)は、図1に示すような枝分かれ構造が多い耐熱性に優れた樹脂である。このオルガノポリシロキサン(A)は、二官能性シロキサン単位(D単位:R16R17SiO2/2)及び三官能性シロキサン単位(T単位:R18SiO3/2)を有する。ここで、R16〜R18は、同一又は異種の基であり、ケイ素に結合可能な基であれば特に限定されない。ケイ素に結合可能な基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基及びシクロヘキシル基などのアルキル基;ビニル基及びアリル基などのアルケニル基;フェニル基;メトキシ基、エトキシ基及びプロポキシ基などのアセトキシ基;水素;水酸基などが挙げられる。
このオルガノポリシロキサン(B)もまた、オルガノポリシロキサン(A)と同様に、二官能性シロキサン単位(D単位:R16R17SiO2/2)及び三官能性シロキサン単位(T単位:R18SiO3/2)を有する。ここで、R16〜R18は上記と同じである。
オルガノポリシロキサン(B)におけるD単位とT単位とのモル比(T/D)は、0.15以下である。このモル比が0.15を超えると、オルガノポリシロキサン組成物の硬化物において所望の粘性が得られない。その結果、上記範囲外のモル比を有するオルガノポリシロキサンを含むオルガノポリシロキサン組成物を用いて作製される半導体装置では、高温下において硬化物の剥離や亀裂が生じるため、絶縁性が低下する。なお、オルガノポリシロキサン(B)におけるD単位及びT単位の量は、29Si NMRスペクトルのピーク面積により算出することができる。
また、オルガノポリシロキサン(A)及びオルガノポリシロキサン(B)として、市販のオルガノポリシロキサンを用いることもできる。例えば、信越化学株式会社のKE1833をオルガノポリシロキサン(A)として用いることができ、信越化学株式会社のKE1204や東レ・ダウコーニング株式会社のSE18854をオルガノポリシロキサン(B)として用いることができる。
このようにして得られるオルガノポリシロキサン組成物の硬化物は、典型的に下記の一般式(I)により表されるオルガノポリシロキサン共重合体を含む。
また、オルガノポリシロキサン組成物の硬化物は、下記式で表される−50℃以上200℃以下におけるtanδ(損失正接)の面積Sが、好ましくは21以上、より好ましくは21以上92以下である。tanδ(損失正接)の面積Sが21未満であると、硬化物の粘性が十分でなく、高温下における硬化物の剥離や亀裂が生じてしまうことがある。
本発明の半導体装置は、上記のオルガノポリシロキサン組成物の硬化物で半導体素子が封止されたものである。
以下、図面を参照して本発明の半導体装置の一例について説明する。
図3は、半導体装置の断面模式図である。図3において、半導体装置1は、ベース板2と、ベース板2の上面に配置された電極3と、電極3の上面に配置されたセラミック板4と、セラミック板4の上面に配置された電極5と、電極5の上面に配置された半導体素子6と、配線部材7によって半導体素子6と接続された外部電極8と、ベース板1の上面に設けられたケース9と、半導体素子6などの半導体装置1の内部を封止するオルガノポリシロキサン組成物の硬化物10とを備えている。なお、図3では、図面の簡略化のために半導体素子6を2個としているが、半導体素子6の数は、特に限定されることはなく、用途にあわせて適宜設定すればよい。また、オルガノポリシロキサン組成物の硬化物10以外の半導体装置1に用いられる材料は、特に限定されることはなく、当該技術分野において公知のものを使用することができる。例えば、半導体素子6としては、集積回路、大規模集積回路、トランジスタ、サイリスタ、ダイオード、固体撮像素子などを使用することができる。また、配線部材7としては、銅、アルミニウム、金などを使用することができる。
また、ワイドバンドギャップ半導体により形成された半導体素子6は、耐熱性も高いため、放熱部材(図示していない)などの小型化にもつながり、半導体装置1の一層の小型化が可能になる。
さらに、ワイドバンドギャップ半導体により形成された半導体素子6は、電力損失も低いため、素子としての高効率化も可能となる。
<実施例1>
(オルガノポリシロキサンの合成)
様々なD単位とT単位のモル比(T/D)及び重量平均分子量(Mw)を有するオルガノポリシロキサンを公知の方法に従って合成した。
以下、幾つかのオルガノポリシロキサンについて合成方法を例示する。
還流管、滴下漏斗及び温度計を備えた500mlの三口フラスコに、300mlのN,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、0.1molの水、及び0.01molの塩酸を入れて−5℃に冷却した。次に、この冷却溶液に、0.075molのフェニルトリメトキシシラン(LS−2750、信越化学株式会社)、0.005molのビニルトリメトキシシラン(LS−815、信越化学株式会社)及び0.2molのジメトキシジメチルシラン(LS−520、信越化学株式会社)を、窒素雰囲気下にて攪拌しながら15分かけて滴下した。滴下が完了した後、室温で3時間攪拌した。次に、100℃で6時間攪拌した後、160℃でさらに6時間攪拌した。このようにして得られた反応物からDMFを減圧除去することによって、無色透明の粘稠な固体を得た。この固体を29Si NMRで分析した結果、T/Dが0.4のオルガノポリシロキサンであることがわかった。また、GPC(Gel Permeation Chromatography)により測定した結果、Mwが100,019であることがわかった。
また、160℃での攪拌を3時間に変えたこと以外は、上記と同様の方法で合成を行った結果、無色透明の粘稠な固体を得た。この固体を29Si NMRで分析した結果、T/Dが0.4のオルガノポリシロキサンであることがわかった。また、GPCにより測定した結果、Mwが38,020であることがわかった。
さらに、0.155molのフェニルメトキシシラン及び0.005molのビニルトリメトキシシランを用い、160℃での攪拌を10時間に変えたこと以外は、上記と同様の方法で合成を行った結果、無色透明の粘稠な固体を得た。この固体を29Si NMRで分析した結果、T/Dが0.8のオルガノポリシロキサンであることがわかった。また、GPCにより測定した結果、Mwが141,068であることがわかった。
フェニルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン及びジメトキシジメチルシランの配合割合、並びに攪拌時間の条件を変更したこと以外は、上記と同様の方法で様々なT/D及びMwを有するオルガノポリシロキサンを合成した。
上記で合成されたオルガノポリシロキサンの中から2つを選択して各種割合で混合し、様々なオルガノポリシロキサン組成物を調製した。
ここで、この組成物の硬化(共重合)を可能にするために、ラジカル開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルをこの組成物に配合した。この組成物中のアゾビスイソブチロニトリルの含有量は0.1mol%とした。或いは、上記で合成されたオルガノポリシロキサン中のSi−OH基の一部を、水素ガスを用いた熱処理によってSi−H基に還元すると共に、触媒として白金−シクロビニルメチルシロキサン錯体を配合した。この組成物の白金−シクロビニルメチルシロキサン錯体の配合量は3mol%とした。
図3の構成を有する半導体装置(ただし、オルガノポリシロキサン組成物の硬化物10を除く)を組み立てた後、ケース9内部にオルガノポリシロキサン組成物を上部から注入し、10torr(約1333Pa)で15分間脱泡させた。なお、半導体装置に注入する前にも、オルガノポリシロキサン組成物を十分に攪拌し、10torr(約1333Pa)で15分間脱泡させておいた。次に、注入したオルガノポリシロキサン組成物を120℃で1時間加熱した後、150℃で3時間加熱し、さらに200℃で1時間加熱することによって、オルガノポリシロキサン組成物を共重合させ、オルガノポリシロキサン組成物の硬化物で半導体装置を封止した。
上記で得られた半導体装置に対して、−50℃〜200℃のヒートサイクル試験を100回行った後、絶縁破壊試験を行った。絶縁破壊試験は、オルガノポリシロキサン組成物の硬化物に対して0.5kVごとに30秒間印加し、短絡するまでに30秒を保持できた最大電圧を絶縁破壊電圧として求めた。その結果を以下の表1〜8に示す。
この絶縁破壊電圧の結果を考察するために、下記の接着強度試験及び粘性試験の評価を行った。
上記で合成したオルガノポリシロキサン組成物について、JIS−K6850に従って接着強度試験を行った。具体的には、一対のアルミ板の間にオルガノポリシロキサン組成物を注入し、150℃で3時間、200℃で1時間加熱して完全に硬化させ、その試験片を用いて引張剪断試験を行った。その結果を以下の表9〜23に示す。
表9〜11には、T/Dが0.2のオルガノポリシロキサン(A)を用いたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物における接着強度を測定した結果を示す。具体的には、表9は、0.2のT/D及び各種Mwを有するオルガノポリシロキサン(A)と、0.1のT/D及び各種Mwを有するオルガノポリシロキサン(B)とを各種配合割合で含むオルガノポリシロキサン組成物の硬化物における接着強度を測定した結果である。また、表10及び11は、オルガノポリシロキサン(B)のT/Dを0.15及び0.2に変えたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物における接着強度を測定した結果である。
なお、表10の試験で得られたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物は、表1の試験で得られたものと同じ構造を有するオルガノポリシロキサン共重合体であった。
なお、表13及び14の試験で得られたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物はそれぞれ、表2及び3の試験で得られたものと同じ構造を有するオルガノポリシロキサン共重合体であった。
なお、表16及び17の試験で得られたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物はそれぞれ、表4及び5の試験で得られたものと同じ構造を有するオルガノポリシロキサン共重合体であった。
なお、表19及び20の試験で得られたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物はそれぞれ、表6及び7の試験で得られたものと同じ構造を有するオルガノポリシロキサン共重合体であった。
なお、表22の試験で得られたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物は、表8の試験で得られたものと同じ構造を有するオルガノポリシロキサン共重合体であった。
上記で合成したオルガノポリシロキサン組成物の硬化物について、10mm×50mm×1mmの試験片を用い、−50℃以上200℃以下における貯蔵弾性率及び損失弾性率を測定してtanδを算出し、−50℃以上200℃以下におけるtanδ面積Sを求めた。その結果を表24〜38に示す。
表24〜26には、T/Dが0.2のオルガノポリシロキサン(A)を用いたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物におけるtanδ面積Sを算出した結果を示す。具体的には、表24は、0.2のT/D及び各種Mwを有するオルガノポリシロキサン(A)と、0.1のT/D及び各種Mwを有するオルガノポリシロキサン(B)とを各種配合割合で含むオルガノポリシロキサン組成物の硬化物におけるtanδ面積Sの算出結果である。また、表25及び26は、オルガノポリシロキサン(B)のT/Dを0.15及び0.2に変えたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物におけるtanδ面積Sの算出結果である。
また、オルガノポリシロキサン(A)のT/Dが0.3以上0.8以下であっても、その他の条件を満たさなければ、接着強度又はtanδ面積Sのいずれかが小さくなり、硬化物の接着性と粘性とのバランスを適切な範囲に保持できないため、硬化物の剥離や亀裂が生じてしまうと考えられる。
(オルガノポリシロキサンの合成)
フェニルトリメトキシシランの代わりにビニルトリメトキシシラン(LS−815、信越化学株式会社)を用い、ビニルトリメトキシシラン及びジメトキシジメチルシランの配合割合、並びに攪拌時間の条件を変更したこと以外は実施例1と同様の方法にて様々なT/D及びMwを有するオルガノポリシロキサンを合成した。
(オルガノポリシロキサン組成物の調製)
上記で合成されたオルガノポリシロキサンの中から2つを選択して各種割合で混合し、様々なオルガノポリシロキサン組成物を調製した。
(半導体装置の作製)
上記のオルガノポリシロキサン組成物を用い、実施例1と同様の方法にて半導体装置を作製した。
上記で得られた半導体装置に対して、−50℃以上200℃以下のヒートサイクル試験を100回行った後、実施例1と同様にして絶縁破壊試験を行った。その結果を以下の表39〜42に示す。
表39には、T/Dが0.2、Mwが37,008のオルガノポリシロキサン(A)を用いて作製した半導体装置の絶縁破壊電圧を測定した結果を示す。
なお、mは、オルガノポリシロキサン(A)とオルガノポリシロキサン(B)とのモル比(B/A)である。
上記で合成したオルガノポリシロキサン組成物について、JIS−K6850に従い、実施例1と同様にして接着強度試験を行った。その結果を以下の表43〜46に示す。
表43には、T/Dが0.2、Mwが37,008のオルガノポリシロキサン(A)を用いたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物における接着強度を測定した結果を示す。
なお、表43〜46の試験で得られたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物はそれぞれ、表39〜42の試験で得られたものと同じ構造を有するオルガノポリシロキサン共重合体であった。
上記で合成したオルガノポリシロキサン組成物の硬化物について、実施例1と同様にしてtanδ面積Sを求めた。その結果を表47〜50に示す。
表47には、T/Dが0.2、Mwが37,008のオルガノポリシロキサン(A)を用いたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物におけるtanδ面積Sを示す。
また、オルガノポリシロキサン(A)のT/Dが0.3以上0.8以下であっても、その他の条件を満たさなければ、接着強度又はtanδ面積Sのいずれかが小さくなり、硬化物の接着性と粘性とのバランスを適切な範囲に保持できないため、硬化物の剥離や亀裂が生じてしまうと考えられる。
なお、表47〜50の試験で得られたオルガノポリシロキサン組成物の硬化物はそれぞれ、表39〜42の試験で得られたものと同じ構造を有するオルガノポリシロキサン共重合体であった。
Claims (6)
- (A)二官能性シロキサン単位(D単位)及び三官能性シロキサン単位(T単位)を有し、且つ重量平均分子量が37,000以上140,000以下のオルガノポリシロキサンであって、D単位とT単位とのモル比(T/D)が0.3以上0.8以下のオルガノポリシロキサンと、
(B)二官能性シロキサン単位(D単位)及び三官能性シロキサン単位(T単位)を有し、且つ重量平均分子量が1,000以上60,000以下のオルガノポリシロキサンであって、D単位とT単位とのモル比(T/D)が0.15以下のオルガノポリシロキサンと
を含み、前記(A)オルガノポリシロキサンと前記(B)オルガノポリシロキサンとのモル比(B/A)が1.5以上6.5以下であることを特徴とするオルガノポリシロキサン組成物。 - オルガノポリシロキサン組成物の硬化物で半導体素子が封止された半導体装置であって、
オルガノポリシロキサン組成物の硬化物は、
(A)二官能性シロキサン単位(D単位)及び三官能性シロキサン単位(T単位)を有し、且つ重量平均分子量が37,000以上140,000以下のオルガノポリシロキサンであって、D単位とT単位とのモル比(T/D)が0.3以上0.8以下のオルガノポリシロキサンと、
(B)二官能性シロキサン単位(D単位)及び三官能性シロキサン単位(T単位)を有し、且つ重量平均分子量が1,000以上60,000以下のオルガノポリシロキサンであって、D単位とT単位とのモル比(T/D)が0.15以下のオルガノポリシロキサンと
から構成され、且つ前記(A)オルガノポリシロキサンと前記(B)オルガノポリシロキサンとのモル比(B/A)が1.5以上6.5以下のオルガノポリシロキサン共重合体を含むことを特徴とする半導体装置。 - 前記オルガノポリシロキサン組成物の硬化物は、接着強度が0.19MPa以上であり、且つ−50℃以上200℃以下におけるtanδの面積が21以上であることを特徴とする請求項2又は3に記載の半導体装置。
- 前記半導体素子は、ワイドバンドギャップ半導体によって形成されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ワイドバンドギャップ半導体は、炭化ケイ素、窒化ガリウム系材料又はダイヤモンドであることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Families Citing this family (3)
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Citations (2)
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---|---|---|---|---|
JP2006073950A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 高耐熱半導体装置 |
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Family Cites Families (3)
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US7588967B2 (en) * | 2005-05-27 | 2009-09-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Curable silicone rubber composition and semiconductor device |
JP5282400B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2013-09-04 | 信越化学工業株式会社 | 付加硬化型シリコーン接着剤組成物及びその硬化物 |
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Patent Citations (2)
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---|---|---|---|---|
JP2006073950A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 高耐熱半導体装置 |
JP2010189507A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | シリコーン樹脂組成物及び半導体装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9617455B2 (en) | 2015-05-11 | 2017-04-11 | Fuji Electric Co., Ltd. | Silicone resin composition for sealant and power semiconductor module that uses this composition |
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US8222752B2 (en) | 2012-07-17 |
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