JP2012032233A - 赤外線センサ - Google Patents
赤外線センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012032233A JP2012032233A JP2010170878A JP2010170878A JP2012032233A JP 2012032233 A JP2012032233 A JP 2012032233A JP 2010170878 A JP2010170878 A JP 2010170878A JP 2010170878 A JP2010170878 A JP 2010170878A JP 2012032233 A JP2012032233 A JP 2012032233A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- infrared
- insulating film
- thermal
- heat sensitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
【解決手段】 絶縁性フィルム2と、該絶縁性フィルム2の一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bと、絶縁性フィルム2の一方の面に形成され第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bに別々に接続された複数対の導電性の配線膜4と、第1の感熱素子3Aに対向して絶縁性フィルム2の他方の面に設けられた赤外線吸収膜5と、第2の感熱素子3Bに対向して絶縁性フィルム2の他方の面に設けられた赤外線反射膜6と、を備え、赤外線吸収膜5が、酸化チタン膜である。
【選択図】図1
Description
例えば、特許文献1には、保持体に設置した樹脂フィルムと、該樹脂フィルムに設けられ保持体の導光部を介して赤外線を検知する赤外線検知用感熱素子と、樹脂フィルムに遮光状態に設けられ保持体の温度を検知する温度補償用感熱素子と、を備えた赤外線センサが提案されている。この赤外線センサでは、導光部の内側面に赤外線吸収膜を形成すると共に、樹脂フィルムにカーボンブラック等の赤外線吸収材料を含有させて赤外線の吸収を高めている。また、赤外線検知用感熱素子及び温度補償用感熱素子には、薄膜サーミスタが用いられている。
すなわち、特許文献1及び2の赤外線センサでは、樹脂フィルムにカーボンブラック等の赤外線吸収材料を含有させると共に一方の感熱素子側を温度補償用に遮光する構造が採用されているが、赤外線吸収材料を含有した樹脂フィルムの熱伝導が高く、赤外線検知用と温度補償用との感熱素子間で温度差分が生じ難いという不都合があった。また、これら感熱素子間で温度差分を大きくするためには、感熱素子間の距離を大きくする必要があり、全体形状が大きくなってしまい、小型化が困難になる問題がある。さらに、温度補償用の感熱素子を遮光する構造をケース自体に設ける必要があるため、高価になってしまう。
また、特許文献2では、熱伝導の良い枠体を採用しているため、赤外線吸収膜からの熱も放熱されてしまい感度が劣化する不都合がある。また、リード線が接続された松葉型のため、サーミスタとリード線との間で熱の空間伝導が生じてしまう。さらに、松葉型やチップ型のサーミスタの場合、スポット計測となってしまい、樹脂フィルムに温度の面内分布が生じた場合に測定誤差が生じてしまう不都合があった。
すなわち、フィルムに赤外線吸収材料等を含有させていない低熱伝導性の絶縁性フィルムでも、赤外線吸収膜によって絶縁性フィルムの第1の感熱素子の直上部分のみに赤外線吸収による熱を伝導させることができる。特に、薄い絶縁性フィルムを挟んで赤外線吸収膜の熱が伝導されるため、感度の劣化がなく、高い応答性を有している。また、赤外線吸収膜の面積を任意に設定可能であるため、測定対象物との距離に合わせた赤外線検出の視野角を面積で設定でき、高い受光効率を得ることができる。
また、赤外線反射膜によって絶縁性フィルムの第2の感熱素子の直上部分における赤外線を反射してその吸収を阻止することができる。
なお、絶縁性フィルム上に赤外線吸収膜と赤外線反射膜とを形成しているので、赤外線吸収膜と赤外線反射膜との間の熱を伝導する媒体が、空気以外にこれら膜が対向した間の絶縁性フィルムのみとなり、伝導する断面積が小さくなる。したがって、相互の感熱素子への熱が伝わり難くなり、干渉が少なくなって検出感度が向上する。
このように、低熱伝導性の絶縁性フィルム上で互いに熱の影響が抑制された第1の感熱素子と第2の感熱素子とが、それぞれ赤外線吸収膜の直下と赤外線反射膜の直下との絶縁性フィルムの部分的な温度を測定する構造を有している。したがって、赤外線検知用とされる第1の感熱素子と温度補償用とされる第2の感熱素子との良好な温度差分を得られ、高感度化を図ることができる。
また、赤外線吸収膜及び赤外線反射膜が導電性材料で構成されていても、絶縁性フィルムを挟んで設置された第1の感熱素子及び第2の感熱素子との絶縁が確保されているので、膜の絶縁性を問わずに効率の良い材料の選択が可能になる。
さらに、絶縁性フィルム上に薄く熱伝導性の低い配線膜を設けているので、従来のようにリード線とサーミスタとの間の空間伝導による他の箇所との熱結合を防ぐことができる。
また、赤外線吸収膜が、酸化チタン膜であるので、カーボンブラック等に比べて近赤外(波長700〜2500nm)の領域で高い赤外線の吸収性を有しており、高い感度を得ることができる。
すなわち、この赤外線センサでは、赤外線吸収膜が、黒色酸化チタン膜(いわゆるチタンブラック)であるので、熱伝導性が低く、素子外への熱伝導が少なくなり、空気など周囲媒体の対流の影響が軽減される。
すなわち、本発明に係る赤外線センサによれば、第1の感熱素子に対向して絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線吸収膜と、第2の感熱素子に対向して絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜と、を備えているので、第1の感熱素子と第2の感熱素子との良好な温度差分を得ることができ、高感度化を図ることができると共に、小型かつ安価に作製可能である。さらに、赤外線吸収膜が、酸化チタン膜であるので、カーボンブラック等に比べて高い赤外線の吸収性を有しており、高い感度を得ることができる。特に、黒色酸化チタン膜を採用することで、対流熱の影響を軽減でき、より正確な検出が可能になる。
上記絶縁性フィルム2は、赤外線透過性フィルムで形成されている。なお、本実施形態では、絶縁性フィルム2がポリイミド樹脂シートで形成されている。
なお、絶縁性フィルム2上に赤外線吸収膜5と赤外線反射膜6とを形成しているので、赤外線吸収膜5と赤外線反射膜6との間の熱を伝導する媒体が、空気以外にこれら膜が対向した間の絶縁性フィルム2のみとなり、伝導する断面積が小さくなる。したがって、相互の感熱素子への熱が伝わり難くなり、干渉が少なくなって検出感度が向上する。
さらに、絶縁性フィルム2上に薄く熱伝導性の低い配線膜4を設けているので、従来のようにリード線とサーミスタとの間の空間伝導による他の箇所との熱結合を防ぐことができる。
なお、感熱素子としては、上述したように薄膜サーミスタやチップサーミスタが用いられるが、サーミスタ以外に焦電素子等も採用可能である。
Claims (2)
- 絶縁性フィルムと、
該絶縁性フィルムの一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子及び第2の感熱素子と、
前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第1の感熱素子及び前記第2の感熱素子に別々に接続された複数対の導電性の配線膜と、
前記第1の感熱素子に対向して前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線吸収膜と、
前記第2の感熱素子に対向して前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜と、を備え、
前記赤外線吸収膜が、酸化チタン膜であることを特徴とする赤外線センサ。 - 請求項1に記載の赤外線センサにおいて、
前記酸化チタン膜が、黒色酸化チタン膜であることを特徴とする赤外線センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010170878A JP2012032233A (ja) | 2010-07-29 | 2010-07-29 | 赤外線センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010170878A JP2012032233A (ja) | 2010-07-29 | 2010-07-29 | 赤外線センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012032233A true JP2012032233A (ja) | 2012-02-16 |
Family
ID=45845826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010170878A Pending JP2012032233A (ja) | 2010-07-29 | 2010-07-29 | 赤外線センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012032233A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012068115A (ja) * | 2010-09-23 | 2012-04-05 | Mitsubishi Materials Corp | 赤外線センサ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06509912A (ja) * | 1992-06-19 | 1994-11-02 | トムソン−セエスエフ、セミコンデュクタール、スペシフィック | 電子部品およびそのパッケージ内への装着方法 |
JPH07260579A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Ishizuka Denshi Kk | 赤外線検出器 |
JP2004061283A (ja) * | 2002-07-29 | 2004-02-26 | Ishizuka Electronics Corp | 赤外線センサ及びこれを用いた物体の大きさと表面温度の判定装置 |
JP2004146586A (ja) * | 2002-10-24 | 2004-05-20 | Murata Mfg Co Ltd | ZnO系薄膜、ZnO系薄膜を用いた熱電変換素子、及び赤外線センサ |
JP2008150240A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Ishihara Sangyo Kaisha Ltd | 酸化チタン及びその製造方法 |
JP2010134352A (ja) * | 2008-12-08 | 2010-06-17 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 |
-
2010
- 2010-07-29 JP JP2010170878A patent/JP2012032233A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06509912A (ja) * | 1992-06-19 | 1994-11-02 | トムソン−セエスエフ、セミコンデュクタール、スペシフィック | 電子部品およびそのパッケージ内への装着方法 |
JPH07260579A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Ishizuka Denshi Kk | 赤外線検出器 |
JP2004061283A (ja) * | 2002-07-29 | 2004-02-26 | Ishizuka Electronics Corp | 赤外線センサ及びこれを用いた物体の大きさと表面温度の判定装置 |
JP2004146586A (ja) * | 2002-10-24 | 2004-05-20 | Murata Mfg Co Ltd | ZnO系薄膜、ZnO系薄膜を用いた熱電変換素子、及び赤外線センサ |
JP2008150240A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Ishihara Sangyo Kaisha Ltd | 酸化チタン及びその製造方法 |
JP2010134352A (ja) * | 2008-12-08 | 2010-06-17 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012068115A (ja) * | 2010-09-23 | 2012-04-05 | Mitsubishi Materials Corp | 赤外線センサ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2011046163A1 (ja) | 赤外線センサ及びこれを備えた回路基板 | |
JP5696831B2 (ja) | 赤外線センサ | |
JP5736906B2 (ja) | 赤外線センサ | |
JP5832007B2 (ja) | 赤外線センサ及びその製造方法 | |
JP2011013213A (ja) | 赤外線センサ | |
US9568371B2 (en) | Infrared sensor | |
JP5754626B2 (ja) | 赤外線センサ | |
JP5741830B2 (ja) | 赤外線センサ装置 | |
JP2011216323A (ja) | 誘導加熱調理器 | |
JP6350933B2 (ja) | 赤外線検出器 | |
JP2011033358A (ja) | 温度センサ | |
JP2015224964A (ja) | 温度センサ | |
JP2012032233A (ja) | 赤外線センサ | |
JP5741924B2 (ja) | 赤外線センサ | |
JP5720999B2 (ja) | 赤外線センサ及びこれを備えた回路基板 | |
JP5754223B2 (ja) | 定着装置 | |
JP5569268B2 (ja) | バッテリー用温度センサ装置 | |
JP5573599B2 (ja) | 赤外線センサおよびこれを備えた誘導加熱調理器 | |
JP2013072821A (ja) | 赤外線センサ | |
JP5747628B2 (ja) | 誘導加熱調理器 | |
JP2012154700A (ja) | 赤外線センサおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130329 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140313 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140708 |