JP2012027007A - 光学スケール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベース基板3と、ベース基板3上に形成された回折格子4を有する回折格子
膜5と、回折格子膜5上に形成され、回折格子4の凹凸に対応して形成された表面7aの
凹凸が除去されて平坦化された保護膜7とを有し、上記保護膜は、上記回折格子膜のうねりに合せて形成され、膜厚を均一とする。
【選択図】 図1
Description
、6 反射膜、7 保護膜、7a 最表面、10a 型、10 原版、11 研磨機械
Claims (1)
- ベース基板と、
上記ベース基板上に形成された回折格子を有する回折格子膜と、
上記回折格子膜上に形成され、上記回折格子の凹凸に対応して形成された表面の凹凸が
除去されて平坦化された保護膜とを有し、
上記保護膜は、上記回折格子膜のうねりに合せて形成され、膜厚が均一であることを特
徴とする光学スケール。
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- 2011-05-06 JP JP2011103497A patent/JP5789409B2/ja active Active
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